JPH02197119A - 熱処理炉用基板保持具の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、熱処理炉用基板保持具の搬送装置に関する。

（従来の技術） 従来、半導体ウェハ等の被処理基板を加熱して薄膜形成
、熱拡散等の処理を施す加熱処理装置としては、反応管
をほぼ水平に配設した横型熱処理装置が主に用いられて
いたが、近年は、反応管へのボートの搬送技術やクリー
ンルームの有効利用の点から反応管をほぼ垂直に配設し
た縦型熱処理装置が用いられるようになってきた。

すなわち、このような縦型熱処理装置では、石英等から
なる円筒状の反応管およびその周囲を囲繞する如く設け
られた筒状ヒータ、均熱管、断熱材等から構成された反
応炉本体はほぼ垂直に配設されている。そして、石英等
からなる基板保持具、いわゆるウェハボートに間隔を設
けて同軸的に積層する如く多数の半導体ウェハを配置し
て、例えば上下動可能とされた搬送装置によって、反応
管内へ下方又は上方から半導体ウェハをロード・アンロ
ードするよう構成されている。

このような縦型熱処理装置では、反応管内壁とウェハボ
ートとを非接触でロード・アンロード可能である、占有
面積が少ない、処理半導体ウェハの大口径化が容易であ
る等の利点を有する。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このような縦型熱処理装置においても、
さらに設置面積の縮小化、処理能力の向上あるいはレイ
アウト上のフレキシビリティ−の向上等が当然要求され
る。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、従来に較べて設置面積の縮小化、処理能力の向上ある
いはレイアウト上のフレキシビリティ−の向上等を実現
した縦型熱処理装置システムを構築可能とする熱処理炉
用基板保持具の搬送装置を提供しようとするものである
。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） すなわち本発明は、基板を保持する基板保持具を、予め
設けられた搬送路上を水平方向に搬送する基板保持具の
搬送装置であって、前記搬送′路は、所定搬送路長を有
する搬送路ユニットを、所望数接続して構成されている
ことを特徴とする。

（作　用） 上記構成の本発明の熱処理炉用基板保持具の搬送装置で
は、従来に較べて設置面積の縮小化、処理能力の向上あ
るいはフレキシビリティ−の向上等を実現した縦型熱処
理装置システムを構築することができる。

（実施例） 以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図において筐体１ａ〜１ｄは、例えば前方がクリー
ンルーム２側となるように、クリーンルーム２とメンテ
ナンスルーム３との境界に沿って一列に複数、例えば４
列縦型炉が並べて配列されている。これらの筐体１ａ〜
ｌｄ内の上部には、それぞれ例えば石英等から円筒状に
構成された縦型反応管およびその周囲を囲繞する如く設
けられた筒状ヒータ、このヒータおよび上記反応管外壁
面間に設けられた均熱管、上記ヒータの外側に設けられ
た断熱材等から構成された反応炉本体（図示せず）がほ
ぼ垂直に配設されている。これらの各構成は縦型炉とし
て当業者において周知である。

また、これらの筐体１ａ〜ｌｄ内の下部には、反応炉本
体内に被処理物例えばウェハボート上に配列された半導
体ウェハをロード・アンロードするための機構としてボ
ートエレベータ４８〜４ｄ（第１図では４ｄのみ示す）
およびこれらのボートエレベータ４ａ〜４ｄと後述する
基板保持具の搬送装置１１との間でウェハボートの受は
渡しを行うハンドリングアーム５ａ〜５ｄがそれぞれ収
納されている。

一方、これらの筐体１ａ〜１ｄの前方すなわちクリーン
ルーム２内には、前工程から搬送されたウェハカセット
内に収容された半導体ウェハを、水平に置かれた熱処理
炉用ウェハボート（基板保持具）上に移載するための移
載装置１０と、このウェハが移載されたウェハボートを
垂直に保持し、各筐体１ａ〜１ｄの前方へ搬送する如く
各筐体１ａ〜１ｄの前面に配設された基板保持具の搬送
装置１１と、上記移載装置１０と搬送装置１１との間に
介在し、これらの間のウェハボートの受は渡しおよび水
平垂直変換を行う水平垂直変換装置１２とから構成され
た搬送システムが設けられている。

また、上記搬送装置１１は、第２図にも示すように、各
筐体１ａ〜１ｄの前方に設けられた搬送路′２０と、こ
の搬送路２０上を移動する搬送台２１とから構成されて
いる。そして、この搬送路２０は、所定搬送路長、例え
ば筐体１ａ〜ｌｄ　　１つの横幅分の搬送路長（例えば
９２０ａ＋ｍ　）を有する搬送路ユニット２２ａ〜２２
ｄを直線状に４つ（筐体と同数）接続し、これらの搬送
路ユニット２２８〜２２ｄの端部に駆動用搬送路ユニッ
ト２３を接続して構成されている。

上記駆動用搬送路ユニット２３内には、駆動用ベルト２
４を駆動するためのモータおよびエンコーダ等からなる
駆動機構２５が設けられている。

また、搬送路ユニット２２ａ〜２２ｄには、それぞれ両
側にガイドレール２６、これらの間に駆動用ベルト２４
をガイドするための上部ガイドローラ２７および下部ガ
イドローラ２８、停止位置検出用フォトセンサ２９が設
けられている。そして、搬送台２１は、ガイドレール２
６上を駆動機構２５によって駆動される駆動用ベルト２
４によって移動し、停止位置検出用フォトセンサ２９に
よって検出される所定の受は渡し位置に停止して各ボ−
トエレベータ４ａ〜４ｄにハンドリングアーム５ａ〜５
ｄを介してウェハボートの受は渡しを行うよう構成され
ている。

すなわち、上記搬送装置１１の数は、例えば反応炉数が
３の場合は３、反応炉数が４の場合は４と、反応炉数（
筐体数）に応じた数だけ搬送路ユニット２２ａ、２２ｂ
、・・・・・・を接続することによって搬送路２０を構
成することができるような構造とされている。すなわち
、縦型炉の増設にともなって組立式に搬送路を増設でき
るように構成されていることが特徴である。

なお、筺体１ａ〜１ｄの後方のメンテナンスルーム３内
には、筐体１ａ〜１ｄと所定間隔、例えば１．２０ｃｍ
隔てて、各反応炉本体に対応して所定のガスおよび電力
を供給するための制御部および真空ポンプ（いずれも図
示せず）等の制御系が配設されており、これらの間から
反応炉本体および制御部等のメンテナンスを行うことが
できるように構成されている。

上記構成のこの実施例の縦型熱処理装置では、移載機構
１０により、ウェハカセット内に収容された半導体ウェ
ハをウェハボート上に移載し、水平垂直変換装置１２に
よってこのウェハボートを垂直に立てて搬送装置１１の
搬送台２１上に載置する。この後、この搬送装置１１に
よってウェハボートを各筐体１ａ〜１ｄの前方へ搬送し
、ハンドリングアーム５ａ〜５ｄによりボートエレベー
タ４ａ〜４ｄ上に載置する。そして、このボートエレベ
ータ４８〜４ｄによってウェハボートを反応炉本体内に
挿入し、この反応炉本体内に所定のガスを流通させると
ともに、電力を供給して反応炉本体内を所定温度に加熱
し、半導体ウェハの処理、例えばＣＶＤによる成膜を行
う。一つのウェハ移換え器で複数個の反応炉間のボート
のロード−アンロードが実行できるよう構成したもので
ある。

すなわち、この実施例では、クリーンルーム２とメンテ
ナンスルームの境界に沿って一列に配列された筐体１８
〜ｌｄ内の反応炉に、移載装置１０と水平垂直変換装置
１２および基板保持具の搬送装置１１によってウェハボ
ートを搬送し処理を行うよう構成されている。したがっ
て、４つの反応炉により多数の半導体ウェハの処理を行
うことができるとともに、設置に必要となる床面積、特
にクリーンルーム２内の設置面積を従来の縦型熱処理装
置を４台設ける場合に較べて大幅に縮小することができ
、スペースを有効に利用することができる。また、搬送
システムが、移載装置１０、基板保持具の搬送装置１１
、水平垂直変換装置１２によって構成されており、基板
保持具の搬送装置１１は、筐体数（反応炉数）によって
任意に搬送路長さを設定可能に構成されているので、例
えば筐体数（反応炉数）の変更等、レイアウトの変更を
行う場合等も柔軟に対応することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明め熱処理炉用基板保持具の
搬送装置によれば、従来に較べて設置面積の縮小化、処
理能力の向上あるいはフレキシビリティ−の向上等を実
現した拡散炉、酸化炉等縦型熱処理装置システムを構築
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の熱処理炉用基板保持具の搬
送装置を用いた縦型熱処理装置システム示す斜視図、第
２図は第１図の基板保持具の搬送装置を示す透視図であ
る。 ｌａ〜１ｄ・・・・・・筐体（縦型反応炉を収容）、１
０・・・・・・移載装置、１１・・・・・・基板保持具
の搬送装置、１２・・・・・・水平垂直変換装置、２０
・・・・・・搬送路、２１・・・・・・搬送台、２２ａ
〜２２ｄ・・・・・・搬送路ユニット、２３・・・・・
・駆動用搬送路ユニット。 出願人　　　　　　チル相模株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板を保持する基板保持具を、予め設けられた搬
   送路上を水平方向に搬送する基板保持具の搬送装置であ
   って、前記搬送路は、所定搬送路長を有する搬送路ユニ
   ットを、所望数接続して構成されていることを特徴とす
   る熱処理炉用基板保持具の搬送装置。