JP2011077334A - 搬送装置の支持構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハを処理する処理装置12、12A、12B、12Cにウェハを搬送するハンド32を備えた搬送装置30を支持する搬送装置30の支持構造であって、搬送装置30を移動可能に支持するガイドレール部材68A、68B、68Cがその端部が自由端となるように増設する処理装置12A、12B、12Cに固定され、複数の処理装置12、12A、12B、12Cが直線上に設けられるときに、増設する処理装置12A、12B、12Cに取り付けられたガイドレール部材68A、68B、68Cの端部同士が、処理装置12、12A、12B、12Cに固定されていないガイド連結部材36によって連結される。
【選択図】 図3
Description
なお、本明細書では、「搬送ガイドの端部」とは、搬送ガイドの軸方向の左右両端部を意味する。
19A、19B、19C レール固定用ベース
24 搬送ガイド
24A、24B、24C 搬送ガイドの増設部
30 搬送装置
32 ハンド
36 ガイド連結部材
43 駆動機構
58 検出センサ
60 カメラ
68 レール状ガイド(ガイドレール部材)
68A、68B、68C ガイドレール部材
78 制御装置
Claims (5)
- ウェハを処理する処理装置に前記ウェハを搬送するハンドを備えた搬送装置を支持する搬送装置の支持構造であって、
前記搬送装置を移動可能に支持するガイドレール部材が当該ガイドレール部材の端部が自由端となるように前記処理装置に固定され、
複数の前記処理装置が直線上に設けられるときに、隣接する前記処理装置に取り付けられた前記ガイドレール部材の端部同士が、前記処理装置に固定されていないガイド連結部材によって連結される搬送装置の支持構造。 - 前記ガイドレール部材の端部は、弾性変形して前記ガイド連結部材に固定される請求項1に記載の搬送装置の支持構造。
- 前記搬送装置は、
複数の前記ハンドと、
複数の前記ハンドを独立して駆動させる駆動機構と、
を有する請求項1に記載の搬送装置の支持構造。 - 前記搬送装置は、
前記ウェハのオリエンテーション・フラット又はノッチを検出する検出センサと、
前記ウェハに形成されたパターンを認識するためのカメラと、
を有し、
前記ウェハのオリエンテーション・フラット又はノッチの検出、及び前記パターンの認識に基づいて前記ウェハを位置合せする請求項1に記載の搬送装置の支持構造。 - 前記搬送装置は、制御装置の無線通信により駆動制御される請求項1に記載の搬送装置の支持構造。
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