KR20100123591A - 페이스트 도포 장치 및 도포 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는, 기판의 대형화에 대해, 기판 보유 지지 기구의 소형 경량화를 실현 가능하게 하고, 가대를 포함하는 장치 전체의 경량화를 실현 가능하게 하는 것이다.
가대(1)(도 1)에 설치되어 기판을 적재하는 기판 보유 지지 기구(8)는, U자형 부재(33a 내지 33e) 상에 평판 형상의 흡착 플레이트(34a 내지 34e)가 적재된 구성의 복수의 기판 적재 부재(32a 내지 32e)가 X축 방향으로 등간격으로 배치되고, 이들에 직교하고, 또한 등간격으로 배치된 복수의 연결 부재(35a 내지 35d)가 이들 기판 적재 부재(32a 내지 32e)의 하면측에 연결되어 있고, 이들 기판 적재 부재(32a 내지 32e)와 연결 부재(35a 내지 35d)로 우물 정자 형상의 테이블을 이루고 있다. 흡착 플레이트(34a 내지 34e)의 상면이, 흡착 구멍이 형성되어, 기판의 적재면을 이루고 있다. 이러한 기판 보유 지지 기구(8)는, 복수의 크로스 롤러 베어링(36, 36a)에 의해 θ축 방향으로 회전하고, 직교 베어링(37)에 의해 X, Y축 방향으로 이동한다.

Description

페이스트 도포 장치 및 도포 방법{PASTE APPLYING DEVICE AND APPLYING METHOD}

본 발명은, 플랫 패널의 제조 과정에서, 기판 상에 페이스트의 도포, 혹은 액정의 적하를 하기 위한 페이스트 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.

종래의 페이스트 도포 장치의 기판 보유 지지 기구로서, 그 장치의 가대 상에 X축 테이블이 설치되고, 이 X축 테이블 상에 X축 방향으로 이동 가능한 Y축 테이블이 설치되고, 이 Y축 테이블 상에 Y축 방향으로 이동 가능하고, 또한 회전 가능한(즉, θ축 방향으로 이동 가능한) θ축 테이블이 설치되고, 또한 이 θ축 테이블 상에 기판을 흡착 고정하는 흡착대가 설치된 구성의 것이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).

이 특허 문헌 1에 기재된 기술에서는, 흡착대에 흡착된 기판이, 그 각 변이 X, Y축에 평행이 되도록, 또한 페이스트를 토출하는 도포 헤드부의 노즐에 대해 소정의 위치 관계가 되도록, X, Y축 테이블이나 θ축 테이블에 의해 위치, 자세 조정하여, 기판 상의 소정의 위치에 페이스트 등을 토출하는 것이며, 이들 X, Y축 테이블이나 θ축 테이블은 제어 장치가 컨트롤하는 서보 모터에 의해 구동된다.

또한, 도포 헤드부가 설치되어 갠트리[문형(門型) 프레임]를 갖고, 기판에 대해, 갠트리를 이동시키고, 또한 갠트리 상에서 도포 헤드부를 이동시킴으로써, 이 도포 헤드부를 기판에 대해 이동시키도록 한 구조의 페이스트 도포 장치도 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 2 참조).

이러한 특허 문헌 2에 기재된 기술은, 보다 구체적으로는 장치의 가대 상에 X축 방향으로 이동 가능한 2대의 갠트리를 설치하고, 이들 각각의 갠트리에, 이들 갠트리의 가로 빔 상을 Y축 방향으로 이동 가능한 도포 헤드부가 설치된 구성을 이루는 것이며, 이들 갠트리가 X축 방향으로, 도포 헤드부가 Y축 방향으로 각각 구동됨으로써, 도포 헤드부의 노즐이 기판 상의 임의의 위치로 이동할 수 있도록 한 것이다. 여기서, 갠트리 자체는 리니어 모터에 의해 가대 상에서 X축 방향으로 구동되고, 도포 헤드부도 리니어 모터에 의해 갠트리를 따라 이동한다. 기판은 가대 상에 설치된 θ축 테이블 상에 흡착 보유 지지되어 있고, 이 θ축 테이블이 회전함으로써 기판의 방향이 조정된다. 이 θ축 테이블은, 통상의 금속 덩어리를 가공한 부품으로 구성되는 것이며, 기판을 흡착하는 수단이 설치되어 있다.

[특허문헌1]일본특허평7-275770호공보 [특허문헌2]일본특허제3701882호공보

LCD(액정 표시 장치) 등의 플랫 패널의 분야에 있어서는, 그 패널을 형성하기 위한 유리 기판의 사이즈의 대형화가 급속하게 진행되고 있고, 이것에 수반하여, 이러한 플랫 패널을 제작하기 위한 페이스트 도포 장치도 대형화되고 있고, 상기한 바와 같은 금속 덩어리를 가공한 구조의 유리 기판을 탑재하는 기판 보유 지지 기구로서의 테이블에서는, 지나치게 커 그 질량이 증대화되어, 그것을 구동하기 위해서는 많은 시간을 필요로 하게 되고, 이러한 테이블을 지지하는 장치의 가대도 대형화, 중량화된다고 하는 문제가 있다.

본 발명의 목적은, 이러한 문제를 해소하여, 기판의 대형화에 대해, 기판 보유 지지 기구의 경량화를 실현 가능하게 하고, 가대를 포함하는 장치 전체의 경량화를 실현 가능하게 한 페이스트 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 가동시에 있어서도, 진애 대책을 실시하면서, 도포 정밀도를 저감시키는 일 없이, 설치 공간을 작게 할 수 있도록 한 페이스트 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 페이스트가 충전된 페이스트 수납 통(6)과 페이스트 수납 통으로부터의 페이스트를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1개 또는 복수의 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 탑재된 기판에 대해 갠트리가 이동하여, 노즐 토출구로부터 기판 상에 페이스트를 토출시키는 페이스트 도포 장치이며, 기판 적재 테이블은 복수의 흡착 구멍이 형성된 복수의 제1 부재와 복수의 제2 부재가 직교하여 조합되어 우물 정(井)자 형상을 이루는 구조의 테이블이며,

기판 적재 테이블을 이동 및 회전시켜, 기판 적재 테이블에 적재된 기판의 위치, 자세를 조정하기 위한 XYθ축 이동 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따른 페이스트 도포 장치는, 페이스트가 충전된 페이스트 수납 통과 페이스트 수납 통으로부터의 페이스트를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1개 또는 복수의 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 탑재된 기판에 대해 갠트리가 이동하여, 노즐 토출구로부터 기판 상에 페이스트를 토출시키는 페이스트 도포 장치이며, 기판 적재 테이블의 중심에 θ축 방향의 회전 방향의 위치 결정을 위한 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 θ축 이동 적재 기구를 설치하고, 기판 적재 테이블은 복수의 제1 부재와 복수의 제2 부재가 직교하여 조합되어 우물 정자 형상을 이루는 구조의 테이블이며, 제1, 제2 부재가 직교하는 위치에, 기판 적재 테이블의 X, Y축 방향의 위치 결정을 위한 직교 베어링과 θ방향의 회전 방향 위치 결정을 위한 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 XYθ축 이동 기구를 설치한 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따른 페이스트 도포 장치는, 갠트리와 가대측에 설치되어 갠트리를 이동시키는 기구를 지지하는 부분을, 기판 적재 테이블의 외측에서 분리할 수 있는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따른 페이스트 도포 장치는, 기판이 적재된 기판 적재 테이블을, 갠트리에 설치된 1개 또는 복수의 도포 헤드에 의한 페이스트의 도포 가능 범위의 외측으로 이동시키는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 페이스트가 충전된 페이스트 수납 통과 페이스트 수납 통으로부터의 페이스트를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1개 또는 복수의 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 탑재된 기판에 대해 갠트리가 이동하여, 노즐 토출구로부터 기판 상에 페이스트를 토출시키는 페이스트 도포 방법이며, 기판 적재 테이블은, 복수의 제1 부재와 복수의 제2 부재가 직교하여 조합되어 우물 정자 형상을 이루는 구조의 테이블이며, 기판 적재 테이블의 중심부에 θ축 방향의 회전 방향의 위치 결정을 위한 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 θ축 이동 기구를 구비하는 동시에, 기판 적재 테이블의 중심부 이외의 위치에 직교 베어링과 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 XYθ축 이동 기구를 구비하고, 제1, 제2 부재가 직교하는 위치에 설치된 직교 베어링에 의해 기판 적재 테이블을 X, Y축 방향으로 위치 결정하고, 제1, 제2 부재가 직교하는 위치에 설치된 크로스 롤러 베어링에 의해 기판 적재 테이블을 θ축 방향의 회전 방향으로 위치 결정하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 도포 방법은, 갠트리와 가대측에 설치되어 갠트리를 이동시키는 기구를 지지하는 부분을 분리 가능하게 한 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 도포 방법은, 기판이 적재된 기판 적재 테이블을, 갠트리에 설치된 도포 헤드에 의한 페이스트의 도포 가능 범위의 외측으로 이동 가능하게 한 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따르면, 취급하는 기판이 대형화되어도, 기판이 탑재되는 테이블을 경량화할 수 있고, 이 테이블이 설치된 가대도 경량화할 수 있어, 장치 전체의 경량화를 도모할 수 있다.

또한, 이러한 테이블의 경량화에 수반하여, 이러한 테이블의 구동력도 저감할 수 있고, 기판의 위치 맞춤을 위한 이러한 테이블의 이동 속도를 높일 수 있어, 기판의 처리 시간을 단축할 수 있고, 처리 효율의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 상기 테이블이나 가대 등의 경량화에 수반하여, 장치의 조립, 조정 작업을 단시간에 행하는 것이 가능해져 작업 효율이 향상된다.

또한, 상기 테이블의 구동부의 제어 부품, 모터 본체, 전달 기구 등이 작은 용량인 것으로 되는 것이므로, 이들의 콤팩트화, 경제성의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 상기 테이블이나 그 구동부 등에서 공동부(空洞部)가 많이 나타나게 되므로, 유지 보수나 조립 등의 작업이 용이해져 작업의 효율화를 도모할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 페이스트 도포 장치 및 방법의 제1 실시 형태를 도시하는 사시도.
도 2는 도 1에 있어서의 도포 헤드부의 일 구체예를 도시하는 사시도.
도 3은 도 1에 도시하는 제1 실시 형태에서의 주 제어 계통의 일 구체예를 도시하는 블록도.
도 4는 도 1에 도시하는 제1 실시 형태에서의 부 제어 계통의 일 구체예를 도시하는 블록도.
도 5는 도 1에 도시하는 제1 실시 형태의 전체 동작의 일 구체예를 도시하는 흐름도.
도 6a는 도 1에 도시하는 페이스트 도포 장치의 갠트리를 베이스로부터 제거한 상태의 일 구체예를 도시하는 사시도.
도 6b는 도 1에 도시하는 페이스트 도포 장치의 갠트리를 베이스로부터 제거한 상태의 다른 구체예를 도시하는 사시도.
도 7은 도 1에 있어서의 기판 보유 지지 기구의 일 구체예의 일부를 확대하여 도시하는 사시도.
도 8은 도 7에 있어서의 흡착 플레이트의 일 구체예를 도시하는 도면.
도 9는 도 8에 도시하는 흡착 플레이트의 분단선 A-A를 따르는 횡단면도.

본 발명은, 노즐을 갖는 1개 또는 복수개의 도포 헤드부를 직동 안내하는 도포 헤드의 Y축 방향 이동 기구를 구비한 문형 프레임(갠트리)의 가로 빔을 구비한 구성을 이루는 것이다.

유리 기판은 해마다 증대화되고, 이것에 수반하여 이러한 유리 기판을 탑재하는 X, Y, θ축의 각 테이블도 대형화되고, 그들의 중량도 증가하는 일로를 걷고 있다. 이러한 테이블의 대형화는, 또한 그 구동원인 모터의 대형화, 볼 나사나 가이드 등의 베어링, 동력 전달 기구의 대형화로 이어져, 관련되는 많은 기구 부품의 대형화를 초래하고 있다. 또한, 모터 드라이버의 대용량화나 배선 규모의 증대화 등의 기구계의 대규모화에 그치지 않고, 제어계도 부가한 기판 구동부의 대규모화로 이어져 버린다.

또한, 기판 구동부가 대규모화되면, 중량이 증대화된다고 하는 문제도 있다. 장치를 제조원으로부터 설치처 등으로 육상 운송하는 경우에는 화물 차량을 이용하지만, 그 적재 중량이 한계 내에 들어가지 않는 등의 문제도 있고, 또한 한계 내라도 보다 대형의 화물 차량을 필요로 하는 등의 문제도 있다. 또한, 장치의 중량 증대에 수반하여, 장치의 설치 장소의 바닥면 상태를 보강할 필요가 있고, 클린룸 내의 바닥면 강성을 보강하는 경우에는, 그 때문에 특히 비용의 증대화를 초래한다고 하는 문제가 있다.

따라서, 본 발명은 기판을 적재하는 테이블을, 평행하게 배열된 내부에 공간을 갖는 복수의 중공 부재를, 이들에 직교하는 복수의 연결 부재로 연결함으로써, 전체적으로 우물 정자 형상 구조의 테이블로 하는 것이며, 이에 의해 기판 구동부의 경량화 도모할 수 있는 구조로 하는 것이다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 바탕으로 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 페이스트 도포 장치 및 방법의 일 실시 형태를 대략 X축 방향으로 본 사시도이며, 부호 1은 가대, 1a, 1b는 가대 측면, 2a, 2b는 갠트리(문형 프레임), 3a, 3b는 가로 빔, 4a, 4b는 가로 빔측 지지 부재, 5a, 5b는 가대측 지지 부재, 6a, 6b는 X축 방향 이동 기구, 7은 자석판, 8은 기판 보유 지지 기구, 9는 헤드 설치면, 10은 도포 헤드부, 11은 리니어 레일을 포함하는 Y축 방향 이동 기구, 12는 Z축 서보 모터, 13은 Z축 이동 테이블 지지 브래킷, 14는 Z축 이동 테이블, 15는 유리 기판이다.

또한, 도 1에서는, 이 도면이 번잡해지는 것을 피하기 위해, 도면 상에 나타나 있는 부분에만 부호를 부여하고, 그 이외의 부분에 대해서는 부호를 생략하고 있다. 또한, 본 제1 실시 형태는, 기판면 상에 페이스트 패턴(밀봉재 패턴)을 묘화하는 페이스트 도포 장치 및 방법에 관한 것으로 하는 것이지만, 기판 상에 액정을 적하하는 적하 장치에도 적용할 수 있는 것은 물론이다.

도 1에 있어서, 가대(1) 상에 기판 보유 지지 기구(8)가 설치되어 있고, 반송되어 온 유리 기판(15)[이하, 단순히 기판(15)이라 함]이 이 기판 보유 지지 기구(8)에 탑재된다. 이 기판 보유 지지 기구(8)는 탑재된 기판(15)을 X, Y축 방향으로 이동시키거나, 회전(θ축 방향의 이동)시키는 것이 가능하며, 이에 의해 기판(15)의 위치, 자세가 미세 조정된다.

가대(1) 상의 이 기판 보유 지지 기구(8)의 양측의 하측에는, X축 방향을 따르는 가대(1)의 양측의 변부를 따라 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)가 설치되어 있다. 이들 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)는 각각, 여기서는 예를 들어, 리니어 모터를 형성하는 것이며, 그 자석판(7)이 X축 방향으로 설치되어 있다. 이들 X축 방향 이동 기구(6a, 6b) 상에 2개의 갠트리(2a, 2b)가 적재되어 있고, 이들 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)에 의해 X축 방향으로 이동할 수 있다. 사용되는 최대폭의 기판(15)에 대해, 가대(1)의 Y축 방향의 폭(이하, 횡폭이라 힘)을 가능한 한 작게 하여 가능한 한 소형화하기 위해, 이 횡폭 방향의 대향하는 변에 각각 설치된 자석판(7)은, 가대(1)의 X축 방향의 측면(즉, 좌우 측면)(1a, 1b)에 근접하여 설치되어 있다.

여기서, 도면상 전방측의 갠트리(2b)에 대해 설명하면, 이 갠트리(2b)는 X축 방향에 수직인 Y축 방향으로 긴 가로 빔(3b)과, 이 가로 빔(3b)의 양단부에 설치되고, 이 가로 빔(2b)을 지지하는 다리 형상의 2개의 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)로 이루어지고, 이들 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)가 각각 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)에 이동 가능하게 설치되어 있는 가대측 지지 부재(슬라이더)(5a, 5b)에 장착되어 있다.

갠트리(2b)의 가로 빔(3b)은 가대(1)의 Y축 방향의 폭보다도 길고, 이로 인해 가로 빔(3b)의 양단부는 가대(1)의 X축에 평행인 양측의 측면, 즉 가대 측면(1a, 1b)으로부터 돌출되어 있고, 이로 인해 이 가로 빔(3b)의 양단부의 하면에 설치되어 있는 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)도 각각, 가대(1)의 이러한 양측의 가대 측면(1a, 1b)으로부터 돌출되어 있다. 이에 의해, 갠트리(2b)는 가로 빔(3b)이 기판 보유 지지 기구(8)를 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)와 가대측 지지 부재(5a, 5b)로 안고 있는 것과 같은 형상을 이루고 있다.

다른 쪽의 갠트리(2a)에 대해서도, 갠트리(2b)의 이상의 구성과 동일한 구성을 이루고 있다.

갠트리(2a, 2b)의 가로 빔(3a, 3b)의 서로 대향하는 헤드 설치면(9)에는 각각, 1개 또는 복수개의 도포 헤드부(10)가 설치되어 있다. 도 1에서는, 반대측의 갠트리(2a)의 헤드 설치면(9)이 정면측을 향해 도시되어 있으므로, 이하, 이 갠트리(2a)에 대해 그 헤드 설치면(9)을 설명한다.

갠트리(2a)의 헤드 설치면(9)에는, 그 면의 길이 방향(즉, Y축 방향)을 따라 Y축 방향 이동 기구(11)의 리니어 레일이 나란히 설치되어 있고, 이 리니어 레일에 1개 또는 복수개의 도포 헤드부(10)가 장착되어 있다[또한, 여기서는, 1개의 도포 헤드부(10)에만 번호를 부여하고 있음]. 이들 도포 헤드부(10)에는 각각, 리니어 레일과 함께 구성되는 Y축 방향 이동 기구(11)의 리니어 모터가 설치되어 있고, 이러한 리니어 모터가, 이들 도포 헤드부(10)를 리니어 레일을 따라 Y축 방향으로 이동시킨다.

각각의 도포 헤드부(10)의 베이스에는, 그 이면측[헤드 설치면(9)측]에, 상기와 같이, Y축 방향 이동 기구(11)의 리니어 모터가 설치되고, 그 표면측에 Z축 서보 모터(12)를 갖는 Z축 이동 테이블 지지 브래킷(13)이 설치되어 있고, 이 Z축 서보 모터(12)에 의해, 도포 헤드부(10)를 상하로 이동시키는 Z축 이동 테이블(14)이 설치되어 있다. 이 Z축 이동 테이블(14)에, 후술하는 바와 같이 페이스트 수납 통(시린지)이나 노즐이 설치된 노즐 지지구, 거리계, 조명 광원을 구비한 경통(鏡筒)과 화상 인식 카메라 등이 장착되어 있다.

이상의 구성은, 전방측의 갠트리(2b)의 헤드 설치면에 대해서도 동일하다. 그리고 이러한 구성에 의해, Y축 방향 이동 기구(11)에 의해 각 도포 헤드부(10)가 기판 보유 지지 기구(8)에 적재된 기판(15) 상에서 Y축 방향으로 구동되고, 또한 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)에 의해 갠트리(2a, 2b)가 X축 방향으로 구동됨으로써, 각 도포 헤드부(10)가 마찬가지로 X축 방향으로 구동되어, 이 기판(15) 상에 복수의 동일 형상의 페이스트 패턴이 동시에 묘화된다.

도 2는 도 1에 있어서의 도포 헤드부(10)의 일 구체예의 주요부를 확대하여 도시하는 사시도이며, 부호 16은 노즐 지지구, 17은 페이스트 수납 통, 18은 노즐, 19는 거리계이다.

도 2에 있어서, 페이스트 수납 통(17)이나 노즐(18)이 설치된 노즐 지지구(16) 및 거리계(19)는, Z축 이동 테이블(14)(도 1)에 설치되어 있다.

거리계(19)는, 노즐(18)의 선단부로부터 기판 보유 지지 기구(8)(도 1)에 탑재되어 있는 기판(15)의 표면(상면)까지의 거리를 비접촉식의 삼각 측거법으로 계측한다. 즉, 거리계(19)의 하우징 내에 발광 소자가 설치되고, 이 발광 소자로부터 방사된 레이저광은 기판(15) 상의 계측점(S)에서 반사하고, 마찬가지로 하우징 내에 설치된 수광 소자에서 수광되어, 그 수광 위치에 따라서 계측된다. 또한, 기판(15) 상에서의 레이저광의 계측점(S)과 노즐(18)의 직하 위치는, 기판(15) 상에서 근소한 거리(ΔX 및 ΔY)만큼 어긋나 있지만, 이 근소한 거리 정도의 어긋남으로는, 기판(15)의 표면의 요철의 차를 무시할 수 있는 범위이므로, 거리계(19)의 계측 결과와 노즐(18)의 선단부로부터 기판(15)의 표면(상면)까지의 거리와의 사이에 차는 거의 존재하지 않는다. 따라서, 이 거리계(19)의 계측 결과에 기초하여 Z축 이동 테이블(14)을 제어함으로써, 기판(15)의 표면의 요철(굴곡)에 맞추어 노즐(18)의 선단부로부터 기판(15)의 표면(상면)까지의 거리(간격)를 일정하게 유지할 수 있다.

이와 같이 하여, 노즐(18)의 선단부로부터 기판(15)의 표면(상면)까지의 거리(간격)를 일정하게 유지하고, 또한 노즐(18)로부터 토출되는 단위 시간당의 페이스트량을 정량으로 유지함으로써, 기판(15) 상에 도포 묘화되는 페이스트 패턴은 그 폭이나 두께가 똑같아진다.

또한, 도시하지 않지만, 조명이 가능한 광원을 구비한 경통과 화상 인식 카메라는, 각 노즐(18)의 평행 조정이나 간격 조정용으로 사용되는 것 외에, 기판(15)의 위치 맞춤이나 페이스트 패턴의 형상 인식 등을 위해, 기판에 대향하도록 설치되어 있다.

도 1로 되돌아가, 본 실시 형태에서는, 이상의 각 부를 제어하는 제어부를 구비하고 있다. 즉, 가대(1)의 내부에는, 각 기구의 구동을 행하는 리니어 모터와 테이블을 이동시키는 모터를 제어하는 주 제어부가 설치되어 있다. 그리고 이 주 제어부에, 케이블을 통해 부 제어부가 접속되어 있다. 부 제어부는, Z축 이동 테이블(14)을 구동하는 Z축 서보 모터(12)를 제어한다.

도 3은 이러한 주 제어부의 구성과 그 제어의 일 구체예를 도시하는 블록도이며, 부호 20a는 주 제어부, 20aa는 마이크로 컴퓨터, 20ab는 모터 컨트롤러, 20ac는 화상 처리 장치, 20ad는 외부 인터페이스, 20ae는 데이터 통신 버스, 20b는 부 제어부, 21은 USB(유니버설 시리얼 버스) 메모리, 22는 하드 디스크, 23은 모니터, 24는 키보드, 25는 레귤레이터, 26은 밸브 유닛, 27a는 갠트리 이동용 Y축 리니어 모터용 드라이버, 27b는 도포 헤드부 이동용 X축 리니어 모터용 드라이버, 27c는 테이블 회전용 θ축 모터용 드라이버, 28은 통신 케이블이다.

도 3에 있어서, 주 제어부(20a)는, 마이크로 컴퓨터(20aa), Y축 방향 이동 기구(11)(도 1)를 구동하는 도포 헤드부 이동용 Y축 리니어 모터용 드라이버(이하, Y축 드라이버라 약칭함)(27a)나 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)(도 1)를 구동하는 갠트리 이동용 X축 리니어 모터용 드라이버(이하, X축 드라이버라 약칭함)(27b), 기판(15)이 탑재된 기판 보유 지지 기구(8)(도 1)를 θ축 방향으로 구동하는 테이블 회전용 θ축 모터용 드라이버(이하, θ축 드라이버라 약칭함)(27c)를 제어하는 모터 컨트롤러(20ab), 도시하지 않은 화상 인식 카메라로 얻어지는 영상 신호를 처리하는 화상 처리 장치(20ac) 및 부 제어부(20b)나 도포 헤드부(10)(도 1)의 페이스트 도포 동작을 제어하는 레귤레이터(25), 밸브 유닛(26)과 통신을 행하는 외부 인터페이스(20ad)를 내장하고 있고, 이들 마이크로 컴퓨터(20aa)와 모터 컨트롤러(20ab)와 화상 처리 장치(20ac)와 외부 인터페이스(20ad)가 데이터 통신 버스(20ae)를 통해 서로 접속되어 있다. 여기서, 부 제어부(20b)는 이 외부 인터페이스(20ad)에 통신 케이블(28)을 통해 접속되어 있다.

또한, 주 제어부(20a)에는 USB 메모리(21)나 외부 기억 장치인 하드 디스크(22), 모니터(23)나 키보드(24) 등이 접속되어 있다. 키보드(24)로부터 입력된 데이터 등은, 모니터(23)에서 표시되는 동시에, 하드 디스크(22)나 USB 메모리(21) 등의 기억 매체에 기억 보관된다.

마이크로 컴퓨터(20aa)에는, 도시하지 않지만 주 연산부나 후술하는 도포 묘화를 행하기 위한 처리 프로그램을 저장한 ROM, 주 연산부에서의 처리 결과나 외부 인터페이스(20ad), 모터 컨트롤러(20ab)로부터의 입력 데이터를 저장하는 RAM, 외부 인터페이스(20ad)나 모터 컨트롤러(20ab)와 데이터를 교환하는 입출력부 등을 구비하고 있다.

이들 Y축 드라이버(27a)에서 구동되는 각 도포 헤드부(10)의 Y축 방향 이동 기구(11)로서의 리니어 모터나 X축 드라이버(27b)에서 구동되는 갠트리(2a, 2b)(도 1)의 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)로서의 리니어 모터는, 각 도포 헤드부(10)나 갠트리(2a, 2b)의 위치를 검출하는 리니어 스케일이 설치되어 있고, 그 검출 결과를 각각 Y축 드라이버(27a), X축 드라이버(27b)에 공급하여 도포 헤드부(10)의 Y축 방향, X축 방향의 위치 제어가 행해진다. 또한, 마찬가지로 하여, θ축 드라이버(27c)에서 구동되는 기판 보유 지지 기구(8)(도 1)의 회전 구동 모터는, 이 기판(15)의 회전량을 검출하는 인코더가 내장되어 있고, 그 검출 결과를 θ축 드라이버(27c)에 공급하여 기판(15)의 방향의 제어가 행해진다.

도 4는 도 3에 있어서의 부 제어부(20b)의 일 구체예를 도시하는 블록도이며, 부호 20ba는 마이크로 컴퓨터, 20bb는 모터 컨트롤러, 20bc는 외부 인터페이스, 20bd는 데이터 통신 버스, 29는 Z축 모터용 드라이버이고, 앞에 나온 도면에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

도 4에 있어서, 부 제어부(20b)는 마이크로 컴퓨터(20ba)나 모터 컨트롤러(20bb), 거리계(19)(도 2)에서 얻어지는 높이 데이터의 입력이나 주 제어부(20a)와의 신호 전송을 행하는 외부 인터페이스(20bc)를 내장하고 있고, 이들은 데이터 통신 버스(20bd)를 통해 서로 접속되어 있다. 또한, 마이크로 컴퓨터(20ba)에는, 도시하지 않지만, 주 연산부나 후술하는 도포 묘화시의 노즐(18)(도 2)의 기판(15)의 표면으로부터의 높이 제어를 행하기 위한 처리 프로그램을 저장한 ROM, 주 연산부에서의 처리 결과나 외부 인터페이스(20bc) 및 모터 컨트롤러(20bb)로부터의 입력 데이터를 저장하는 RAM, 외부 인터페이스(20bc)나 모터 컨트롤러(20bb)와 데이터를 교환하는 입출력부 등을 구비하고 있다. 모터 컨트롤러(20bb)에 의해 제어되는 Z축 모터용 드라이버(29)는, 도포 헤드부(10)(도 1)마다 설치되어 그 Z축 서보 모터(12)(도 1)를 구동하는 것이며, 이들 Z축 서보 모터(12)에는 그 회전량을 검출하는 인코더가 내장되어 있고, 그 검출 결과가 Z축 모터용 드라이버(29)로 복귀되어 노즐(18)의 높이 위치 제어가 행해진다.

주 제어부(20a)와 부 제어부(20b)가 연계된 제어하에서, 각 모터(리니어 모터나 Z축 서보 모터, θ축 서보 모터)가, 키보드(24)(도 3)로부터 입력되어 마이크로 컴퓨터(20aa)의 RAM에 저장되어 있는 데이터에 기초하여 이동·회전함으로써, X축 방향 이동 기구(6a, 6b)가 갠트리(2a, 2b)를 X축 방향으로 임의의 거리만큼 이동시키고, 또한 노즐(18)(도 2)을 상하로 이동하는 Z축 이동 테이블(14)(도 1)을 개재하여, 가로 빔(2a, 2b)에 설치된 도포 헤드부(10)의 Y축 방향 이동 기구(11)에 의해, Y축 방향으로 임의의 거리만큼 이동시키고, 그 이동 중, 페이스트 수납 통(17)(도 2)에 설정한 압력으로 계속해서 가압되어 노즐(18)의 선단부의 토출구로부터 페이스트가 토출되고, 기판(15)에 원하는 페이스트 패턴이 묘화된다.

노즐(18)이 Y축 방향으로 수평 이동 중에, 거리계(19)가 노즐(18)과 기판(15)의 표면과의 사이의 간격을 계측하고, 이것을 항상 일정한 간격을 유지하도록 노즐(18)이 Z축 이동 테이블(14)의 상하 이동으로 제어된다.

도 5는 도 1에 도시하는 실시 형태의 전체 동작을 도시하는 흐름도이다.

도 5에 있어서, 도 1에 도시하는 페이스트 도포 장치에 전원이 투입되면(단계 S100), 우선 장치의 초기 설정이 실행된다(단계 S101). 이 초기 설정 공정에서는, 도 1에 있어서, Y축 방향 이동 기구(11)나 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)의 리니어 모터나 Z축 이동 테이블(14)을 구동함으로써, 갠트리(2a, 2b)를 X축 방향으로, 도포 헤드부(10)를 Y축 방향으로 각각 이동시켜 소정의 기준 위치에 위치 결정하고, 또한 노즐(18)(도 2)의 위치가, 그 페이스트 토출구가 페이스트 도포를 개시하는 위치(즉, 페이스트 도포 개시점)가 되도록 소정의 원점 위치로 설정하는 동시에, 또한 페이스트 패턴 데이터나 기판 위치 데이터, 페이스트 토출 종료 위치 데이터의 설정을 행하는 것이다.

이러한 데이터의 입력은 키보드(24)(도 3)에 의해 행해지고, 입력된 데이터는, 상기한 바와 같이 마이크로 컴퓨터(20aa)(도 3)에 내장된 RAM에 저장된다.

이 초기 설정 공정(단계 S101)이 종료되면, 다음에 기판(15)을 기판 보유 지지 기구(8)(도 1)에 탑재하여 보유 지지한다(단계 S102).

계속해서, 기판 예비 위치 결정 처리(단계 S103)를 행한다. 이 처리에서는, 기판 보유 지지 기구(8)에 탑재된 기판(15)의 위치 결정용 마크를 화상 인식 카메라로 촬영하고, 그 영상 신호로부터 위치 결정용 마크의 무게 중심 위치를 화상 처리로 구하여 기판(15)의 θ축 방향에서의 기울기를 검출하고, 이것에 따라서 Y축 드라이버(27a)나 X축 드라이버(27b)나 θ축 드라이버(27c)(도 3)를 구동하여 도포 헤드부(10)를 X, Y축 방향으로 이동하고, 또한 θ축 방향의 기울기를 보정한다. 이상에 의해, 기판 예비 위치 결정 처리(단계 S103)를 종료한다.

다음에, 페이스트 패턴 묘화 처리(단계 S104)를 행한다. 이 처리에서는, 우선 기판(15)의 도포 개시 위치로 노즐(18)의 페이스트 토출구를 이동시키고, 노즐 위치를 정밀하게 위치 결정한다. 다음에, Z축 드라이버(29)(도 4)를 동작시켜 각 노즐(18)의 높이를 페이스트 패턴 묘화 높이로 설정한다. 노즐의 초기 이동 거리 데이터에 기초하여 각 노즐(18)을 초기 이동 거리분 하강시킨다. 계속해서, 기판(15)의 표면 높이를 거리계(19)로 측정하고, 노즐(18)의 선단이 페이스트 패턴을 묘화하는 높이로 설정되어 있는지 여부를 확인하고, 묘화 높이로 설정되어 있지 않은 경우에는, 노즐(18)을 미소 거리 하강시켜, 상기한 기판(15)의 표면 계측과 노즐(18)의 미소 거리 하강 동작을 반복하여 행하고, 노즐(18)의 선단을 페이스트 패턴의 도포 묘화 높이로 설정한다.

이상의 처리가 종료되면, 다음에 마이크로 컴퓨터(20aa)(도 3)의 RAM에 저장된 페이스트 패턴 데이터와 θ축 방향의 기울기의 보정에 기초하여 X축 방향 이동 기구(6a, 6b)나 Y축 방향 이동 기구(11)의 리니어 모터가 구동되고, 이에 의해, 노즐(18)의 페이스트 토출구가 기판(15)에 대향한 상태에서, 이 페이스트 패턴 데이터에 따라서, 노즐(18)이 기판(15)에 대해 각각 X, Y축 방향으로 이동하는 동시에, 각 페이스트 수납 통(17)(도 2)에 설정한 압력으로 기체를 가압하여 노즐(18)의 페이스트 토출구로부터의 페이스트의 토출을 개시한다. 이에 의해, 기판(15)으로의 페이스트 패턴의 도포가 개시된다.

그리고 이들과 함께, 앞서 설명한 바와 같이, 부 제어부(20b)의 마이크로 컴퓨터(20ba)는 거리계(19)로부터 노즐(18)의 페이스트 토출구와 기판(15)의 표면과의 사이의 간격의 실측 데이터를 취득하고, 기판(15)의 표면의 굴곡을 측정하여, 이 측정값에 따라서 Z축 서보 모터(12)를 구동함으로써, 기판(15)의 표면으로부터의 노즐(18)의 설정 높이가 일정하게 유지된다. 이에 의해, 원하는 도포량으로 페이스트 패턴을 도포할 수 있다.

이상과 같이 하여, 페이스트 패턴의 묘화가 진행되지만, 노즐(18)의 페이스트 토출구가 기판(15) 상의 상기 페이스트 패턴 데이터에 의해 정해지는 묘화 패턴의 종단부인지 여부의 판단에 의해, 이 종단부가 아니면, 다시 기판의 표면 굴곡의 측정 처리로 복귀하고, 이하, 상기한 도포 묘화를 반복하여, 형성되는 페이스트 패턴이 그 묘화 패턴의 종단부에 도달할 때까지 계속한다.

그리고 이 묘화 패턴 종단부에 도달하면, Z축 서보 모터(12)를 구동하여 노즐(18)을 상승시키고, 이 페이스트 패턴 묘화 공정(단계 S104)이 종료된다.

다음에, 기판 배출 처치(단계 S105)로 진행하여, 도 1에 도시하는 기판 보유 지지 기구(8)로부터 기판(15)을 해제하여 장치 밖으로 배출한다.

그리고 이상의 전체 공정이 대상으로 하는 모든 기판(15)에 대해 이루어졌는지 여부를 판정하고(단계 S106), 복수매의 기판에 동일한 페이스트 패턴을 형성하는 경우에는, 기판 탑재 처리(단계 S102)로부터 반복되고, 모든 기판에 대해 이러한 일련의 처리가 종료되면(단계 S106의 "예"), 작업이 모두 종료된다(단계 S107).

도 1로 되돌아가, 그런데 갠트리(2a, 2b)의 헤드 설치면(9)에 설치되는 Y축 방향 이동 기구(11)는, 복수의 도포 헤드부(10)가 기판 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 데 필요한 범위를 넘어 Y축 방향으로 연장되어 있다. 이에 의해, 도포 헤드부(10)는 기판(15) 상으로부터 벗어난 위치까지 이동할 수 있다. 이러한 기판(15)으로부터 벗어난 장소에서 각 도포 헤드부(10)의 유지 보수나 페이스트 수납 통(17)의 장착, 제거 등의 작업이 행해진다.

이로 인해, 각 갠트리(2a, 2b)의 가로 빔(3a, 3b)은, 가대(1)의 횡폭보다도 길어져, 이들의 양단부가 가대(1)의 가대 측면(1a, 1b)으로부터 돌출되게 된다. 또한, 이러한 길이의 가로 빔(2a, 2b)은, 보다 안정적으로 지지하기 위해, 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)가 가로 빔(2a, 2b)의 선단부에 설치되어, 각각 가대측 지지 부재(5a, 5b)에 장착되어 있다. 이에 의해, 특히 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)도 가대(1)의 가대 측면(1a, 1b)으로부터 돌출되게 된다.

그런데, 예를 들어 액정 패널의 대형화에 수반하여, 이러한 패널의 제조 효율을 높이기 위한 복수의 페이스트 패턴을 동시에 묘화하는 기판(15)을 이용하는 페이스트 도포 장치가, 페이스트 패턴의 묘화에 사용되는 기판이 대면적화하는 데 수반하여 대형화되고 있고, 그 가대(1)가 대형화되고 있지만, 가대(1)가 지나치게 대형화되어 그 횡폭이 지나치게 커지면, 페이스트 도포 장치를, 예를 들어 운송하는 데, 운반 차량에 탑재할 수 없게 되는 등의 지장을 초래하게 된다. 이로 인해, 가대(1)의 횡폭에 제한이 가해지고 있다.

그러나 이와 같이 가대(1)의 횡폭에 제한이 가해지고, 이에 의해 가대(1)를 운반 차량에 탑재할 수 있는 것이라고 해도, 가대(1)의 횡폭을, 대면적의 기판을 사용할 수 있도록, 이러한 기판(15)을 사용 가능한 최대한의 제한 횡폭으로 하였다고 해도, 도 1에 도시하는 바와 같이, 갠트리(2a, 2b)의 가로 빔(3a, 3b)의 양측의 선단부나 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)가 가대(1)의 가대 측면(1a, 1b)으로부터 돌출되어 버리게 되어, 가대(1)의 횡폭의 제한값을 넘어 버려, 동일한 문제가 발생하게 된다.

본 실시 형태에서는, 이러한 문제를 해소하기 위해, 가대측 지지 부재(5a, 5b)와 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)가 체결 볼트로 결합된 구성으로 하고, 이 체결 볼트를 제거함으로써, 가대측 지지 부재(5a, 5b)와 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)를 분리할 수 있도록 하여, 갠트리(2b)를 가대(1)로부터 해제할 수 있도록 한 것이다. 다른 쪽의 갠트리(2a)에 있어서도, 동일한 구성을 이루고 있다.

도 6a는 도 1에 도시하는 페이스트 도포 장치의 갠트리(2a, 2b)를 가대(1)로부터 제거한 상태의 일 구체예를 도시하는 사시도이며, 부호 7a, 7b는 직동 가이드, 30a, 30b는 하면에 코일이 설치된 슬라이더, 31a, 31b는 L자형 금속 부재이고, 도 1에 대응 도면 부분에는 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

도 6a에 있어서, X축 방향 이동 기구(6a)는, 서로 평행하게 설치된 자석판(7)과 직동 가이드(7a)를 구비하고, 이들 자석판(7)과 직동 가이드(7a) 상에 배치되어 이들 자석판(7)과 직동 가이드(7a)를 따라 이동 가능한 슬라이더(30a)로 구성되어 있고, 자석판(7)과 슬라이더(30a)에 설치된 도시하지 않은 부품에 의해, 리니어 모터가 형성되어 있다. 또한, 마찬가지로, X축 방향 이동 기구(6b)도, 서로 평행하게 설치된 자석판(7)과 직동 가이드(7b)를 구비하고, 이들 자석판(7)과 직동 가이드(7b) 상에 배치되어 이들 자석판(7)과 직동 가이드(7b)를 따라 이동 가능한 슬라이더(30b)로 구성되어 있고, 자석판(7)과 슬라이더(30b)에 설치된 도시하지 않은 부품에 의해, 리니어 모터가 형성되어 있다. 이들 슬라이더(30a)나 슬라이더(30b)가, 도 1에 있어서의 가대측 지지 부재(5a, 5b)에 상당하는 것이며, 그 상면이 평탄면을 이루고 있다.

한편, 갠트리(2b)에 설치된 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)에는 각각, 그 선단부에 L자형 금속 부재(31a, 31b)가 일체로 설치되어 있고, 이들 L자형 금속 부재(31a, 31b)의 하면이 평탄면을 이루고 있다. 이들 L자형 금속 부재(31a, 31b)의 하면을 해당되는 슬라이더(30a, 30b)의 상면에 고정함으로써, 도 1에 도시하는 바와 같이, 갠트리(2b)가 가대측 지지 부재(5a, 5b)에, 따라서 가대(1)에 장착된 상태가 되고, 기판으로의 페이스트 패턴의 도포에 사용할 수 있는 상태가 된다. 또한, 도 6에 도시하는 바와 같이, L자형 금속 부재(31a, 31b)의 하면과 슬라이더(30a, 30b)의 상면의 고정을 해제함으로써, 갠트리(2b)를 들어올려 가대(1)로부터 제거할 수 있다.

또한, 상기한 바와 같이, 갠트리(2b)의 가로 빔(3b)의 양단부나 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)가 가대(1)의 가대 측면(1a, 1b)으로부터 돌출되어 있으므로, 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)의 양단부면은 서로 대향한 수직면을 이루고 있고, 이러한 수직인 단부면에 L자형 금속 부재(31a, 31b)의 수직인 장착면이 장착되어 있는 구성을 이루고 있다. 이로 인해, 이들 L자형 금속 부재(31a, 31b)는 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)의 선단부로부터 수평 방향으로 서로 대향하여 배치됨으로써, 이에 의해 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)가 가대(1)의 가대 측면(1a, 1b)으로부터 돌출되어도, L자형 금속 부재(31a)의 평탄한 하면을 자석판(7)과 직동 가이드(7a) 상에 설치된 가대(1) 상의 슬라이더(30a)의 평탄한 상면에, 또한 L자형 금속 부재(31b)의 평탄한 하면을 자석판(7)과 직동 가이드(7b) 상에 설치된 가대(1) 상의 슬라이더(30b)의 평탄한 상면에, 각각 동시에 대향시킬 수 있다. 이에 의해, 상기한 바와 같이, 갠트리(2b)를 슬라이더(30a, 30b)에 장착할 수 있고, 제거할 수 있다.

이와 같이, 슬라이더(30a, 30b)의 상면부가 갠트리(2b)의 체결부를 이루고 있다.

다른 쪽의 갠트리(2a)에 관해서도, 동일한 구성을 이루고 있다.

도 6b는 도 1에 도시하는 페이스트 도포 장치의 갠트리(2a, 2b)를 가대(1)로부터 제거한 상태의 다른 구체예를 도시하는 사시도이며, 도 6a에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.

도 6b에 있어서, 이 구체예는 슬라이더(30a, 30b)에 각각 L자형 금속 부재(31a, 31b)가 일체로 설치되어 있는 것이며, 이들 L자형 금속 부재(31a, 31b)와 갠트리(2b)에 설치된 가로 빔측 지지 부재(4a, 4b)로 분리할 수 있도록 한 것이다.

이상과 같이, 이 구체예에서는 갠트리(2a, 2b)를 가대(1)로부터 분리할 수 있도록 한 것이지만, 이러한 분해 전의 상태에서는, 이 페이스트 도포 장치를 상면으로부터 본 경우, 갠트리(2a, 2b)의 길이인 장치의 짧은 변의 치수를 A로 하면, 현재도 제10세대라고 불리는 마더 유리 기판(mother glass substrate)의 사이즈는 약 2.85(m)×3.05(m)이고, 이것을 둘러싸는 갠트리를 일체로 되어 있었던 것에서는, 장치의 폭(A)이 3.5(m)를 넘어, 4(m) 정도까지 확대된다. 이로 인해, 일반 공도(公道)에 의한 장치 반송시, 수송 차량 내부에 이러한 장치를 수납할 수 없게 되는 문제가 발생한다. 이 대응으로서, 통상이면, 가대(1)로부터 기판 보유 지지 기구(8)도 포함하여 장치를 분할하는 구조를 검토하게 되고, 그 경우, 기판 보유 지지 기구(8)가 제거되거나, 장착되면, 그때마다 장치의 조립 정밀도가 저하되고, 나아가서는 도포 위치 정밀도도 열화시켜 버린다.

그러나 이 구체예의 구성에서는, 갠트리(2a, 2b)에 한하여 분해할 수 있는 구조로 한 것에 의해, 장치로서는 가대(1)의 횡폭의 치수(B)까지 협소화될 수 있다. 또한, 갠트리(2a, 2b)로서는, 더욱 작은 짧은 변의 폭(C)으로 충분하므로, 분해 후의 장치의 최대 치수는 B로 할 수 있고, 2(m) 초과의 대형 마더 유리 기판에 이용한다고 해도, 3(m)를 약간 넘을 정도의 폭으로 억제할 수 있다. 그 결과, 일반 공도에 의한 장치의 반송도 문제없이 해결하는 것이다.

도 7은 도 1에 있어서의 기판 보유 지지 기구(8)의 일 구체예의 일부를 확대하여 도시하는 사시도이며, 부호 32a 내지 32e는 기판 적재 부재, 33a 내지 33e는 U자형 부재, 34a 내지 34e는 흡착 플레이트, 35a 내지 35d는 연결 부재, 36, 36a는 크로스 롤러 베어링, 37은 직교 베어링이다.

도 7에 있어서, 기판 보유 지지 기구(8)는 Y축 방향을 따르는 복수의 기판 적재 부재(32a 내지 32e)가 X축 방향으로 등간격으로 배치되고, 이들 기판 적재 부재(32a 내지 32e)에 직교하고, 또한 등간격으로 배치된 복수의 연결 부재(35a 내지 35d)가 이들 기판 적재 부재(32a 내지 32e)의 하면측에 연결되어 있고, 서로 직교하는 이들 기판 적재 부재(32a 내지 32e)와 연결 부재(35a 내지 35d)로 우물 정자 형상의 테이블을 이루고 있다.

기판 적재 부재(32a 내지 32e)는 각각, 횡단면 형상이 상측이 개방된 U자 형상이고 내측이 공동을 이루는 가늘고 긴 각 형상의 U자형 부재(33a 내지 33e) 상에 평판 형상의 가늘고 긴 흡착 플레이트(34a 내지 34e)가 적재된 구성을 이루고 있고, 이들 U자형 부재(33a 내지 33e)와 흡착 플레이트(34a 내지 34e)에 의해, 내부가 공동인 통 형상을 이루고, 그 상면이 흡착 플레이트(34a 내지 34e)에 의해 평탄한 면을 이루고 있다. 이들 흡착 플레이트(34a 내지 34e)의 상면이 기판의 적재면이 된다. 그리고 이들 U자형 부재(33a 내지 33e)의 저부가 각각 가늘고 긴 각 형상의 연결 부재(35a 내지 35d)와 체결 볼트(도시하지 않음)에 의해 고정되어 있다.

이러한 우물 정자 형상의 테이블의 중심부[U자형 부재(33a 내지 33e) 중 중심에 위치하는 U자형 부재의 중심 위치, 혹은 연결 부재(35a 내지 35d) 중 중심에 위치하는 연결 부재, 또는 우물 정자 형상의 테이블의 중심부가 되는 U자형 부재와 연결 부재의 교차점. 또한, 여기서는, 이 중앙부는 U자형 부재(33c)의 중심 위치로 함]는, 크로스 롤러 베어링(36)으로 이루어지는 테이블 회전 부재에 의해 지지되고, 이러한 중심부 이외의 U자형 부재(33a 내지 33e)와 연결 부재(35a 내지 35d)의 교차점이 각각, 복수의 크로스 롤러 베어링(36a)과 직교 베어링(37)으로 이루어지는 테이블 회전/이동 부재에 의해 지지되어 있다. 이 테이블 이동 부재의 크로스 롤러 베어링(36, 36a)은 U자형 부재(33a 내지 33e)를 θ축 방향으로 회전시키는 것이고, 직교 베어링(37)은 U자형 부재(33a 내지 33e)를 X, Y축 방향으로 이동시키는 것이며, 여기서는 직교 베어링(37) 상에 크로스 롤러 베어링(36a)이 설치되고, 이 크로스 롤러 베어링(36a) 상에 U자형 부재(33a 내지 33e)와 연결 부재(35a 내지 35d)의 교차점이 적재되어 있다.

크로스 롤러 베어링(36, 36a)과 직교 베어링(37)으로 이루어지는 테이블 이동 기구는, 우물 정자 형상의 테이블인 기판 보유 지지 기구(8)를 크로스 롤러 베어링(36)을 중심으로 θ축 방향으로 회전시키는 것이며, 이 회전에 수반하여, 크로스 롤러 베어링(36a)과 직교 베어링(37)에 의해, 우물 정자 형상의 테이블인 기판 보유 지지 기구(8)의 이들이 설치된 부분을, θ축 방향으로 회전시키는 동시에, X, Y축 방향으로 이동시킨다. 이러한 크로스 롤러 베어링(36a)과 직교 베어링(37)으로 이루어지는 테이블 이동 기구는, 크로스 롤러 베어링(36)이 설치된 우물 정자 형상의 테이블의 중심부를 중심점으로 하는 복수의 원주 상에 등간격으로 설치되어 있다. 이들 크로스 롤러 베어링(36a)과 직교 베어링(37)으로 이루어지는 테이블 이동 기구가 설치되는 위치는, 물론 U자형 부재(33a 내지 33e)와 연결 부재(35a 내지 35d)의 교차점이다. 또한, 기판 보유 지지 기구(8)에서의 모든 U자형 부재(33a 내지 33e)와 연결 부재(35a 내지 35d)의 교차점에 이러한 크로스 롤러 베어링(36)과 직교 베어링(37)으로 이루어지는 테이블 이동 기구를 설치하도록 해도 좋다.

또한, 이들 크로스 롤러 베어링(36, 36a)과 직교 베어링(37)으로 이루어지는 테이블 이동 기구는, 기판 보유 지지 기구(8)에 적재된 기판의 θ축 방향의 자세를 미세 조정하는 것이지만, 기판 보유 지지 기구(8)에 적재된 기판을, 도 1에 도시하는 도포 헤드부(10)에서 페이스트 패턴의 묘화를 하기 위한 에어리어 내(즉, 장치 내)로부터 이 장치 밖으로 반송하고, 또한 장치 밖으로부터 이 장치 내로 반송하기 위해, 기판 보유 지지 기구(8)를 그 기판의 반송 방향(X축 방향)으로 이동시킬 수도 있다. 반입 방향이 Y축 방향이라도 좋다.

또한, 기판 보유 지지 기구(8)의 X, Y축 방향의 위치의 미세 조정은, 갠트리(2a, 2b)의 Y축 방향의 위치의 미세 조정이나 이들 갠트리(2a, 2b)에서의 도포 헤드부(10)의 Y축 방향의 위치의 미세 조정에 의해 행해진다.

도 8은 도 7에 있어서의 흡착 플레이트(34a 내지 34e)의 일 구체예를 도시하는 사시도이며, 부호 34는 흡착 플레이트[흡착 플레이트(34a 내지 34e)의 총칭], 38은 흡착 구멍, 39는 공동부, 40은 볼트 구멍이다.

도 8에 있어서, 흡착 플레이트(34)에는 그 길이 방향 전체에 걸쳐 그 내부가 공동부(39)를 이루고 있고, 이 공동부(39)로부터 상면으로 연통되는 흡착 구멍(38)이 복수 등간격으로 형성되어 있다. 또한, 이 공동부(39)의 양측에는, 이 흡착 플레이트(34)를 U자형 부재(33)[U자형 부재(33a 내지 33e)의 총칭]에 고정하기 위한 체결 볼트의 볼트 구멍(40)이 등간격으로 형성되어 있다.

도 9는 도 8에 도시하는 흡착 플레이트(34a 내지 34e)의 분단선 A-A를 따르는 횡단면도이며, 부호 41은 플레이트 본체, 42는 접속판, 43은 배관 이음부, 44는 체결 볼트이고, 도 8에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.

도 9에 있어서, 흡착 플레이트(34)는 횡단면 형상이 하측이 개방된 U자 형상이며 공동 형상인 플레이트 본체(41)와, 이 플레이트 본체(41)의 하측에 체결 볼트(44)에 의해 장착된 접속판(42)으로 구성되어 있고, 플레이트 본체(41)의 개방부가 이 접속판(42)에 의해 폐색됨으로써, 흡착 플레이트(34) 내에 밀폐된 공동부(39)가 형성되어 있다. 이 플레이트 본체(41)의 상벽부에는, 도 8에서도 도시하는 바와 같이, 흡착 구멍(38)이 플레이트 본체(41)의 길이 방향으로 등간격으로 설치되어 있다.

또한, 접속판(42)에는 공동부(39)에 개방된 배관 이음부(43)가 설치되어 있고, 이것에 도시하지 않은 배관 호스가 접속되어 있다. 이러한 흡착 플레이트(34)를, 도 7에 도시하는 바와 같이 U자형 부재(33) 상에 장착하고, 이 흡착 플레이트(34)의 볼트 구멍(40)에 도시하지 않은 체결 볼트를 삽입하여 U자형 부재(33)에 비틀어 넣음으로써, 흡착 플레이트(34)가 U자형 부재(33)에 고정되지만, 이러한 상태에서는 흡착 플레이트(34)의 배관 이음부(43)에 접속된 도시하지 않은 배관 호스가 U자형 부재(33)의 공동부 내를 통해 도시하지 않은 진공 펌프로 유도되어 있다.

이와 같이, 기판 적재 부재(32a 내지 32e)와 연결 부재(35a 내지 35d)로 우물 정자 형상의 테이블의 구조를 이루는 기판 보유 지지 기구(8) 상에, 즉, 기판 적재 부재(32a 내지 32e)의 표면 상에 기판이 적재되면, 상기한 진공 펌프가 작동함으로써, 배관 호스나 배관 이음부(43)를 통해 흡착 플레이트(34)의 공동부(39) 내가 배기되고, 이에 의해 흡착 플레이트(34)의 흡착 구멍(38)에 의해 기판이 흡착 플레이트(34)의 상면, 즉, 기판 적재 부재(32a 내지 32e)의 상면에 흡착되어 고정 보유 지지된다.

이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 기판 보유 지지 기구(8)를, 가늘고 긴 각 형상의 기판 적재 부재(32a 내지 32e)를 가늘고 긴 연결 부재(35a 내지 35d)로 연결하여 우물 정자 형상의 간극이 있는 테이블 형상으로 하고 있으므로, 대면적의 기판이 사용되는 것이라도, 기판 보유 지지 기구(8)의 대폭적인 경량화를 실현할 수 있고, 이러한 기판 보유 지지 기구(8)가 설치된 가대도 포함한 페이스트 도포 장치의 경량화를 실현할 수 있다.

그리고 이러한 기판 보유 지지 기구(8)의 경량화에 의해, 그 이동을 신속하게 행할 수 있어, 이러한 기판 보유 지지 기구(8)에 탑재된 유리 기판의 위치 맞춤 작업에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있고, 또한 페이스트 도포 장치를 반송할 때에는, 경량화된 이러한 기판 보유 지지 기구(8)를 가대(1)로부터 분리할 필요가 없고, 따라서 반송 후의 이 페이스트 도포 장치의 설치시에는, 기판 보유 지지 기구(8)의 장착 작업을 필요로 하지 않고, 또한 기판 보유 지지 기구(8)의 조정에 필요로 하는 작업 시간이나 단시간으로 충분하게 된다.

1 : 가대
1a, 1b : 가대 측면
2a, 2b : 갠트리(문형 프레임)
3a, 3b : 가로 빔
4a, 4b : 가로 빔측 지지 부재
5a, 5b : 가대측 지지 부재
6a, 6b : X축 방향 이동 기구
7 : 자석판
7a, 7b : 직동 가이드
8 : 기판 보유 지지 기구
9 : 헤드 설치면
10 : 도포 헤드부
11 : Y축 방향 이동 기구
12 : Z축 서보 모터
13 : Z축 이동 테이블 지지 브래킷
14 : Z축 이동 테이블
15 : 기판
30a, 30b는 슬라이더, 31a, 31b는 L자형 금속 부재
32a 내지 32e : 기판 적재 부재
33a 내지 33e : U자형 부재
34, 34a 내지 34e : 흡착 플레이트
35a 내지 35d : 연결 부재
36, 36a : 크로스 롤러 베어링
37 : 직교 베어링
38 : 흡착 구멍
39 : 공동부
40 : 볼트 구멍
41 : 플레이트 본체
42 : 접속판
43 : 배관 이음부
44 : 체결 볼트

Claims (7)

1. 페이스트가 충전된 페이스트 수납 통과 상기 페이스트 수납 통으로부터의 페이스트를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1개 또는 복수의 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 상기 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 탑재된 기판에 대해 상기 갠트리가 이동하여, 상기 노즐 토출구로부터 기판 상에 상기 페이스트를 토출시키는 페이스트 도포 장치에 있어서,
   상기 기판 적재 테이블은, 복수의 흡착 구멍이 형성된 복수의 제1 부재와 복수의 제2 부재가 직교하여 조합되어 우물 정자 형상을 이루는 구조의 테이블이며,
   상기 기판 적재 테이블을 이동 및 회전시켜, 상기 기판 적재 테이블에 적재된 상기 기판의 위치, 자세를 조정하기 위한 XYθ축 이동 기구를 구비한 것을 특징으로 하는, 페이스트 도포 장치.
2. 페이스트가 충전된 페이스트 수납 통과 상기 페이스트 수납 통으로부터의 페이스트를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1개 또는 복수의 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 상기 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 탑재된 기판에 대해 상기 갠트리가 이동하여, 상기 노즐 토출구로부터 기판 상에 상기 페이스트를 토출시키는 페이스트 도포 장치에 있어서,
   상기 기판 적재 테이블의 중심에 θ축 방향의 회전 방향의 위치 결정을 위한 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 θ축 이동 기구를 설치하고,
   상기 기판 적재 테이블은, 복수의 제1 부재와 복수의 제2 부재가 직교하여 조합되어 우물 정자 형상을 이루는 구조의 테이블이며,
   상기 제1, 제2 부재가 직교하는 위치에, 상기 기판 적재 테이블의 X, Y축 방향의 위치 결정을 위한 직교 베어링과 θ방향의 회전 방향 위치 결정을 위한 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 XYθ축 이동 기구를 설치한 것을 특징으로 하는, 페이스트 도포 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 갠트리와 상기 가대측에 설치되어 상기 갠트리를 이동시키는 기구를 지지하는 부분을, 상기 기판 적재 테이블의 외측에서 분리할 수 있는 구성으로 한 것을 특징으로 하는, 페이스트 도포 장치.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 기판이 적재된 상기 기판 적재 테이블을, 상기 갠트리에 설치된 1개 또는 복수의 상기 도포 헤드에 의한 페이스트의 도포 가능 범위의 외측으로 이동시키는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 페이스트 도포 장치.
5. 페이스트가 충전된 페이스트 수납 통과 상기 페이스트 수납 통으로부터의 페이스트를 토출하는 노즐 토출구를 구비한 1개 또는 복수의 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리가 가대 상에 설치되고, 상기 가대 상에 설치된 기판 적재 테이블에 탑재된 기판에 대해 상기 갠트리가 이동하여, 상기 노즐 토출구로부터 기판 상에 상기 페이스트를 토출시키는 페이스트 도포 방법에 있어서,
   상기 기판 적재 테이블은, 복수의 제1 부재와 복수의 제2 부재가 직교하여 조합되어 우물 정자 형상을 이루는 구조의 테이블이며,
   상기 기판 적재 테이블의 중심부에 θ축 방향의 회전 방향의 위치 결정을 위한 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 θ축 이동 기구를 구비하는 동시에, 상기 기판 적재 테이블의 중심부 이외의 위치에 직교 베어링과 크로스 롤러 베어링으로 이루어지는 XYθ축 이동 기구를 구비하고,
   상기 제1, 제2 부재가 직교하는 위치에 설치된 상기 직교 베어링에 의해 상기 기판 적재 테이블을 X, Y축 방향으로 위치 결정하고, 상기 제1, 제2 부재가 직교하는 위치에 설치된 상기 크로스 롤러 베어링에 의해 상기 기판 적재 테이블을 θ축 방향의 회전 방향으로 위치 결정하는 것을 특징으로 하는, 페이스트 도포 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 갠트리와 상기 가대측에 설치되어 상기 갠트리를 이동시키는 기구를 지지하는 부분을 분리 가능하게 한 것을 특징으로 하는, 페이스트 도포 방법.
7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 기판이 적재된 상기 기판 적재 테이블을, 상기 갠트리에 설치된 상기 도포 헤드에 의한 페이스트의 도포 가능 범위의 외측으로 이동 가능하게 한 것을 특징으로 하는, 페이스트 도포 방법.

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