JP2520410B2 - 半導体製造設備 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造設備に係り、特に半導体生産ラ
インのフレキシブルな量産ライン化を実現するために好
適な半導体製造設備に関する。

［従来の技術］ 従来、ウエハ処理装置としては、例えば実公昭60-176
547号公報に開示されているように、ウエハのリング状
搬送路を中心としてウエハプロセスにおける複数の処理
装置を放射状に配置し、リング状搬送路と各処理装置間
にウエハを搬入，搬出できるようにした技術がある。し
かしながら、この従来技術では放射状に配置された処理
装置へウエハを送る場合、ワークの流れをコントロール
する機能や、生産性を向上させるための機能については
配慮されていなかった。

また、ウエハの搬送システムとして、例えば特開昭60
-229347号公報に開示されているように、搬送中のキャ
リアボックスに付着する塵埃の量を軽減するため、上部
空間に搬送路を設ける技術や、ウエハ搬送制御方法とし
て特開昭60-229348号公報に開示されているように、ウ
エハ処理部に搬送するウエハの枚数を、平均処理時間を
考慮して決定する方法がある。しかし、これら特開昭60
-229347号公報や特開昭60-229348号公報に示されている
技術は、ワークの全体の流れを考慮して量産ライン化す
るための機能については配慮されていなかった。

生産ライン化を目的とした半導体連続組立装置とし
て、例えば特開昭60-231334号公報に開示されているよ
うに、組み立てに必要な処理装置に部品やワークを給排
する装置を配備し、処理装置とストッカとを搬送路に並
設し、さらに部品やワークの搬入，搬出を行う移動ロボ
ットを設けることにより、各装置の処理能力を平均化さ
せ、同一ラインで連続して組み立てる装置がある。しか
しながら、前記従来技術は処理工程で欠陥が生じたワー
クを救済する機能について考慮されておらず、また設備
全体の小型化についても配慮されていない。

一方、データを送る方式として、例えば特開昭58-159
89号公報、特開昭58-15990号公報に開示されているよう
に、通信路の設定と、通信文の分割を経済的に、効率的
に行うため、通信要求の発生時、予め通信路，通信文を
規定する方式がある。しかしながら、前記従来技術は通
信を目的とした技術であり、通信速度は物の生産ライン
における物流に比較して桁違いに早く、一定のスピード
に物の流れを維持するため、コントロールする点につい
ては考慮されていない。

［発明が解決しようとする問題点］ 前記従来技術は、ワークの流れをコントロールする機
能を持っていない問題、処理工程で処理されたワークに
欠陥がある場合に、これを救済する機能を有しておら
ず、生産性が悪いという問題、前記ワークの流れをコン
トロールする機能や欠陥を持ったワークの救済機能を持
たせた場合には、設備全体が大型化するという問題の少
なくとも一つの問題を有していた。

本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決し、複数
の職場に送って処理するワークの流れをスムーズにコン
トロールでき、かつ生産ライン全体の効率を向上させる
ことができ、しかも設備全体の小型化を図り得る半導体
製造設備を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的は、リング状のワーク搬送路を設け、このワ
ーク搬送路の外側に複数の職場を配置し、各職場に少な
くとも処理設備と検査設備と、ワークを分岐，合流，一
時保管するステーションとを設置し、前記ワーク搬送路
の内側に少なくともワーク救済設備を配置するととも
に、各職場のステーションとワーク搬送路とワーク救済
設備間をワーク搬送設備により連結したことにより、達
成される。

［作用］ 本発明では、ワークをリング上のワーク搬送路に載
せ、このワーク搬送路からワーク搬送設備を通じて予め
決められた最初の職場に送る。

この職場では、ワークをいったんステーションに入れ
る。ついで、ステーションではワークを分岐し、最初の
職場の処理設備に送り、ワークに予め決められた条件で
処理する。最初の職場の処理設備でワークを処理した
後、該職場の検査設備によりワークを検査する。検査の
結果、ワークに欠陥がない場合には、いったんステーシ
ョンに入れ、保管する。ワークに欠陥がある場合には、
ステーションからワーク搬送設備を通じてワーク救済設
備に送る。

前記ワーク救済設備では、救済可能なワークについて
救済処理を施す。次いで、救済処理したワークをワーク
搬送設備およびワーク搬送路を通じて次に処理工程の職
場、つまり、２番目の職場へ送り、そのステーションに
入れる。

前記最初の職場で処理した後、そのステーションに保
管されているワークは、２番目の職場のワークの仕掛り
量が適正になった時点で、最初の職場のステーションで
分岐され、最初の職場に連なるワーク搬送設備→ワーク
搬送路→２番目の職場に連なるワーク搬送設備を経て、
この２番目の職場に送り込まれる。

以後、前述の工程が繰り返し行われ、所期の半導体が
製造される。

前述のごとく、本発明ではワークをワーク搬送路およ
びワーク搬送設備を通じて送り、次にそのワークを各職
場に設置されたステーションに入れ、ついで当該職場に
送り、当該職場で処理した後、欠陥のないワークは再び
ステーションに入れて保管し、次の処理工程の職場のワ
ークの仕掛り量が適正になった時点で当該ステーション
からワークを分岐し、次の処理工程の職場に送り込むよ
うにしているので、各職場のワークに仕掛り量を考慮し
てワークの流れをスムーズにコントロールすることがで
きる。

また、本発明では各職場の処理設備でワークを処理し
た後、検査設備で検査し、欠陥のあるワークをワーク救
済設備に送り、救済可能なワークに救済処理を施した
後、次の処理工程の職場に送るようにしているので、生
産ライン全体の効率を向上させることができる。

しかも、本発明ではリング状のワーク搬送路の外側に
複数の職場を配置し、同ワーク搬送路の内側にワーク救
済設備を配置しているので、ワークの流れをスムーズに
コントロールする機能と、欠陥を持ったワークの救済機
能とを兼備した設備において、設備全体を小型にまとめ
ることができる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図〜第７図（Ａ），（Ｂ）は本発明の第１の実施
例を示すもので、その第１図は設備全体の概念図であ
る。

この第１図に示す実施例の半導体製造設備は、複数と
しての４基の職場１〜４と、これらの職場１〜４のコン
トローラ９と、リング状のワーク搬送路10と、各職場１
〜４の設備，プロセス状態監視システム12〜15と、各職
場１〜４の抜き取り評価用検査設備16〜19と、ワーク救
済設備20と、ワーク搬送設備21〜24とを備えて構成され
ている。

そして、この実施例で取り扱うワークは、ロットケー
スに例えば25〜50枚の範囲内で予め決められた枚数のウ
エハを入れたロットである。

各職場１〜４は、前記リング状のワーク搬送路10の外
側に配置されている。各職場１〜４には、複数台の処理
設備５と、洗浄設備６と、検査設備７と、マルチステー
ション８とを備えている。

各職場１〜４では、ロットケースからワークとしての
ウエハを１枚ずつ自動的に取り出して処理するようにな
っている。そして、例えば職場１の処理設備５ではフォ
トレジスト処理を行い、職場２の処理設備５では酸化，
拡散，インプラ処理を行い、職場３の処理設備５では蒸
着,CVD処理を行い、職場４の処理設備５ではエッチング
処理を行うようになっている。

各職場１〜４の洗浄設備６は、当該職場１〜４の処理
設備５によって処理されたワークを洗浄するようになっ
ている。

各職場１〜４の検査設備７は、当該職場１〜４の処理
設備５で処理されかつ洗浄設備７されたワークを検査
し、その検査結果を状態監視用計算機（第５図参照）に
出力するようになっている。

各職場１〜４のマルチステーション８は、ワークであ
るロットを分岐，合流，一時保管するステーションとし
て機能するように構成されている。

前記コントローラ９は、各職場１〜４のマルチステー
ション８を管理し、後処理工程の職場のワークの仕掛り
量に基づいて、前処理工程の職場のマルチステーション
８からのワークの出荷量を適正に調整するようになって
いる。

前記ワーク搬送路10には、ワーク供給，製品排出部11
が設けられている。

前記設備，プロセス状態監視システム12〜15は、各職
場１〜４に対応させて設けられ、かつリング状のワーク
搬送路10の内側に配置されている。この設備，プロセス
状態監視システム12〜15は、当該職場１〜４の処理中の
設備の状態をモニタし、判断するようになっている。判
断の結果、ワークの処理結果や当該職場１〜４の設備の
状態が正常でないと認定された時は、正常でない設備の
状態を正常に戻す対策を行うとともに、ワークの処理状
態を評価する抜き取り評価用検査設備16〜19に送るよう
になっている。さらに、この設備，プロセス状態監視シ
ステム12〜15は、当該抜き取り評価用検査設備16〜19か
ら評価結果を入力し、ワークを救済するか，否かを判断
する。判断の結果、救済する時はそのワークをワーク救
済設備20に送り、救済しない時は廃棄するようになって
いる。

前記抜き取り評価用検査設備16〜19は、各職場１〜４
に対応させて設けられ、かつリング状のワーク搬送路10
の内側に配置されている。この抜き取り評価用検査設備
16〜19は、当該職場１〜４で処理されたワークを抜き取
って評価するとともに前記設備，プロセス状態監視シス
テム12〜15から送られて来たワークを検査し、検査結果
を設備，プロセス状態監視システム12〜15に出力するよ
うになっている。また、この抜き取り評価用検査設備16
〜19は、ワーク救済設備20で救済されたワークを受け取
り、使用可能か，否かを検査する。検査の結果、使用可
能となったワークは次の処理工程の職場に送り、使用不
能のワークは救済前に不適と判断されたワークと同様廃
棄するようになっている。

前記ワーク救済設備20は、救済可能と判断されたワー
クに適正な処理を施し、正常なワークに救済したうえ
で、抜き取り評価用検査設備16〜19に送るようになって
いる。

前記ワーク搬送設備21〜24は、リング状のワーク搬送
路10の外側に配置された各職場１〜４のマルチステーシ
ョン８と、ワーク搬送路10と、リング状のワーク搬送路
10の内側に配置された諸設備とを結んでいる。

第２図はワークとしてのロットの処理工程順序を示す
図である。

この第２図において、工程A,B,Cは例えば第１図に示
す各職場１〜４の処理設備5,洗浄設備6,検査設備７で行
う処理工程を示す。そして、第１図に示す設備では第２
図に示すロットａ、ロットｂのように順次，処理する。

第３図（Ａ），（Ｂ）はワークであるロットの流れに
ついて、従来技術と本発明の第１の実施例とを比較して
示した図である。

この第３図（Ａ），（Ｂ）は、例えば第２図に示す品
種別処理順序が工程A,B,Cを繰り返して行う場合を示し
ている。

そして、前記工程A,B,Cの繰り返しについて、第１回
目の処理をで、第２回目の処理をで、第３回目の処
理をで、第４回目の処理をで表示している。

その第３図（Ａ）に示す従来技術では、工程単位にワ
ークを保管するために、流れが混乱していた。つまり、
例えば工程Ａにおいて、の処理に該当する複数の
ワークが仕掛っているので作業の優先順序を自由に決め
ることが可能である。その結果、工程Ａの作業能率を重
視した処理順序が支配的となっていた。

そこで、本発明では第３図（Ｂ）に示すように、マル
チステーションに工程別に繰り返し回数単位に保管する
ことによって、ワークの流れを作るようにしている。さ
らに、後処理工程の仕掛り量を見ながらワークを動かす
ように、つまり例えば工程Ｂののワークは、工程Ｃの
の処理でワークがなくなってから動かすようにし、ラ
イン化している。このように、従来の工程の機能別配置
のままで、ライン化が可能となる。

第４図は各職場に設置されたマルチステーションの一
実施例を示す拡大斜視図である。

この第４図に示すマルチステーション８は、第１の搬
送設備25と、ワーク分岐，合流設備26と、ワーク受け渡
し窓口27と、センサ28と、第２の搬送設備29とを備えて
いる。

前記第１の搬送設備25は、第１図に示す職場１〜４と
ワーク搬送路10とこれの内側に配置された諸設備とを結
ぶ当該ワーク搬送設備21〜24からワークを受け取ってワ
ーク分岐，合流設備26が配列されている位置まで運び、
またワーク分岐，合流設備26からワークを受け取り、当
該ワーク搬送設備21〜24に引き渡すようになっている。

前記センサ28は、各ワーク分岐，合流設備26に対応さ
せて設けられている。このセンサ28は、第１の搬送設備
25により搬送されて来たワークの表示されている事項を
読み取り、コントローラ９に出力するようになってい
る。

前記ワーク受け渡し窓口27は、第1,第２の搬送設備2
5,29に配列され、かつ品種別工程の繰り返し数の最大値
に合わせて、つまり第２図に示すロットa,b,……の数に
合わせて設置されている。そして、例えばNo.iのワーク
受け渡し窓口27には特定のワークとしてのロットａを入
れ、No.iiのワーク受け渡し窓口27にはロットｂを入れ
るというように、予め決められており、例えばロットａ
が、ある職場に送られていて、No.iのワーク受け渡し窓
口27が空いていても、そのNo.iのワーク受け渡し窓口27
には他のロットを入れないようにしている。

前記ワーク分岐，合流設備26は、各ワーク受け渡し窓
口27に対応させて配置されている。各ワーク分岐，合流
設備26は、コントローラ９からの指令により第１の搬送
設備25からワークを受け取って当該ワーク受け渡し窓口
27に入れ、また同コントローラ９からの指令により当該
ワーク受け渡し窓口27からワークを引き出し、第２の搬
送設備29に渡すようになっている。さらに、ワーク分
岐，合流設備26は、当該職場１〜４で処理されたワーク
を第２の搬送設備29から受け取り、コントローラ９から
の指令に基づいて予め決められたワーク受け渡し窓口27
にいったん入れるようになっている。

前記第２の搬送設備29は、ワーク分岐，合流設備26か
らワークを受け取り、当該職場１〜４に送るようになっ
ている。また、この第２の搬送設備29は当該職場１〜４
で処理されたワークを受け取り、予め決められたワーク
受け渡し窓口27に対応するワーク分岐，合流設備26に引
き渡すようになっている。

而して、各職場１〜４のマルチステーション８は、当
該職場１〜４で処理されたワークをワーク受け渡し窓口
27に入れて一時保管し、後処理工程の触媒のワークの仕
掛り量、つまり職場１の場合は職場２のワークの仕掛り
量、職場２の場合は職場３のワークの仕掛り量が適正値
になった時に、コントローラ９からの指令にによりワー
ク分岐，合流設備26によりワーク受け渡し窓口27からワ
ークを引き出し、第１の搬送設備25に引き渡し、当該ワ
ーク搬送設備→ワーク搬送路10→後処理工程のワーク搬
送設備→後処理工程の職場のマルチステーション８にワ
ークを送るように構成されている。

このように構成したことにより、以下の特徴を有す
る。

すなわち、ワークの自動認識手段を組み込むことによ
り、搬送設備が１本のコンベアのような簡単なもので実
現できる。また、このマルチステーション８を含むライ
ンの流れに対して、例えば垂直方向に流れを変更するよ
うな分岐，合流設備（図示せず）を設けることにより、
ワークの追い越しや通過が可能となる。この結果、多品
種のワークの対応ができる。

第５図は各職場の設備状態監視システムの概念図であ
る。

この第５図に示す設備状態監視システムは、状態監視
計算機30と、これと各職場の処理設備5,洗浄設備6,検査
設備７とを結ぶローカルエリアネットワーク31とを有し
て構成されている。

この設備状態監視システムでは、各職場の処理設備５
の処理時間などの実績値や、洗浄設備６の汚染度合，濃
度などの実績値や、検査設備７で検査した膜厚，成分の
含有量など、ワークや設備の状態を的確に示す実績値を
オンラインで収集する。そして、処理されたワークや各
設備の特性を表す実績値により設備状態を管理図32を用
いて自動的に管理し、異常発生や設備状態に関する傾向
をリアルタイムで把握する。設備状態の変化を認めた時
は、当該設備の正常状態への回復対策の指示や、その設
備を持った職場で処理されたワークについて、第１図に
示す当該設備，プロセス状態監視システム12〜15に詳細
な検査をうながすようになっている。

第６図（Ａ）は従来技術における品種別工程順序を示
し、第６図（Ｂ）は本発明のこの実施例における品種別
工程順序を示す図である。

本発明のこの実施例では、前記第５図に示す設備状態
監視システムを取り入れた結果、第６図（Ａ）に示すよ
うに、従来の品種別工程順序にうち、常に実施している
検査工程の省略が可能となり、ワークの処理時間の短縮
を図ることができる外、処理されたワークの異常を各職
場別に発見することが可能となり、その職場の設備に対
して的確な対策を講じることが可能となる。

なお、ある職場の設備がその性格上、安定状態を維持
しにくい場合、設備やワークの処理の立ち上がり時の不
安定な状態が予想される場合、異常状態が多発する場合
には、検査工程を省略しない。

職場の設備が立ち上がり状態から安定状態に移行した
場合、異常状態から安定状態に戻ったと判断された時
は、第５図に示す設備状態監視システムを自動化し、集
中的に管理する。この結果、各職場の監視業務を中心と
する作業員を不要とし、また処理作業エリアは無人と
し、管理，保全エリアは有人として分離することによっ
て、各職場の無人化による無塵化を指向した自動化ライ
ンの構築が可能となり、各職場の管理も容易となる。

さらに、前記設備状態監視システムにより、設備状態
の変化がワークの処理の悪影響を与えていると判断され
る場合には、第１図に示す設備，プロセス状態監視シス
テム12〜15および抜き取り評価用検査設備16〜19を利用
して、職場１〜４で処理されたワークの救済対策を調べ
る。

第７図（Ａ）は職場の設備状態の変化によってワーク
に異常（欠陥）が生じた場合の一例として、ウエハ上に
異物が付着した場合を示す。

この第７図（Ａ）に示すように、ワークとしてのウエ
ハ上に異物が付着したような場合には、前記抜き取り評
価用検査設備16〜19から設備，プロセス状態監視システ
ム12〜15にウエハへの異物付着の検査結果が出力され、
設備，プロセス状態監視システム12〜15では“ウエハ上
から異物を除去する”という救済対策が起てられ、その
ワークと救済対策とがワーク救済設備20に送られ、救済
処理が施される。

前記ワーク救済設備20により救済処理が施されたワー
クは、前述のごとく、再び抜き取り評価用検査設備16〜
19に戻され、再検査され、ワークとして再利用できる時
は後処理工程の職場へ送られ、再利用できない時は廃棄
される。

第７図（Ｂ）は処理工程の途中において、ワークとし
てウエハに施すべき処理の一例を示す図である。

この第７図（Ｂ）に示すように、処理工程の途中でさ
らに必要となる処理は、前記リング状のワーク救済設備
20では行わず、各職場１〜４に設置した処理設備を行
う。

これにより、各職場で発生するワークの異常に対し
て、均一なサービスが可能となり、ワーク救済設備の多
様化を図ることができる。

その結果、前述のごとく、検査工程の省略化により処
理時間を短縮することができる外、異常と判断されたワ
ークの救済ができるため、生産性の向上を図ることが可
能となる。

前記第１の実施例の半導体製造設備は、次のように運
転され、作用する。

まず、第１図に示すワーク供給，製品排出部11からワ
ークとしてのロットケースにウエハを収容したロットを
リング状のワーク搬送路10に供給する。

前記ワーク搬送路10は、ワークを受け取って一定の方
向に搬送し、最初の処理工程の職場１に対応するワーク
搬送設備21により、前記職場１のマルチステーション８
の設置位置まで搬送し、第４図に示すマルチステーショ
ン８の第１の搬送設備25に引き渡す。

前記職場１のマルチステーション８の第１の搬送設備
25により、ワーク分岐，合流設備26の配列位置まで搬送
する。ワークを職場１のマルチステーション８のワーク
分岐，合流設備26の配列位置に搬送すると、センサ28は
ワークの品種を検出し、検出結果をコントローラ９に出
力する。

前記コントローラ９は、センサ28からのワークの品種
の検出結果を入力し、これに基づいてワーク分岐，合流
設備26に指令を送り、このワーク分岐，合流設備26を介
してワークを品種別に予め決められた番号のワーク受け
渡し窓口27にいったん入れる。つまり、例えばワークが
ロットａの場合は第４図に示すNo.iのワーク受け渡し窓
口27に入れ、ロットｂの場合はNo.iiのワーク受け渡し
窓口27に入れる。

前記職場１は、ワークを受け取ると、コントローラ９
からワークの品種，工程別の作業内容に応じた設備操作
条件を探索して入手し、その設備操作条件を処理設備5,
洗浄設備６および検査設備７に払い出す。

ついで、前記職場１のマルチステーション８のワーク
分岐，合流設備26はコントローラ９からの指令により、
決められたワーク受け渡し窓口27から引き出し、そのワ
ークを第２の搬送設備29に引き渡す。続いて、前記第２
の搬送設備29はワークを受け取って職場１の処理設備5,
洗浄設備6,検査設備７の順に送る。

前記職場１の処理設備５では、ワークに予め決められ
た処理を施し、洗浄設備６ではこれを洗浄し、検出設備
７ではこれを検査する。

その間、第５図に示す設備状態監視システムでは、ロ
ーカルエリアネットワーク31を通じて状態監視用計算機
30に、職場１の処理設備５の処理時間などの実績値や、
洗浄設備６の汚染度合，濃度などの実績値や、洗浄設備
７の検査結果、つまり生成された膜厚，成分の含有量の
データなど、処理されたワークや設備の状態を的確に示
す実績値をオンラインで収集する。

ついで、設備状態監視システムは処理されたワークや
職場１の設備の特性を表す実績値により、設備状態を第
５図に示す管理図32を用いて自動的に管理する。これに
より、設備状態監視システムは異常発生や設備状態の傾
向をリアルタイムで把握する。

そして、設備状態監視システムは、設備状態の変化を
認めた時は、その設備の正常状態への回復対策の指示
や、職場１で処理されたワークを、第１図に示す設備，
プロセス状態監視システム12に詳細に検査するようにう
ながす。

前記設備，プロセス状態監視システム12は、抜き取り
評価用検査設備16に職場１で処理されたワークの抜き取
り検査の指令を送る。

前記抜き取り評価用検査設備16は、設備，プロセス状
態監視システム12からの指令により職場１のマルチステ
ーション８からワーク搬送設備21を通じてワークを抜き
取り検査し、その検査結果を前記設備，プロセス状態監
視システム12に出力する。

前記設備，プロセス状態監視システム12では、前記抜
き取り評価用検査設備16から入力した検査結果に基づい
て、欠陥を持ったワークが救済可能か，否かを判断し、
その救済対策を起てる。

前記設備，プロセス状態監視システム12は、欠陥を持
ったワークを救済可能と判断した時はそのワークと救済
対策とを第１図に示すワーク救済設備20に送り、救済不
能と判断した時はそのワークを廃棄する。

前記ワーク救済設備20では、設備，プロセス状態監視
システム12から欠陥を持ったワークと、その救済対策と
を受け取り、ワークに救済処理を施し、そのワークを再
び抜き取り評価用検査設備16に送る。

前記抜き取り評価用検査設備16は、ワーク救済設備20
で救済処理されたワークを検査し、検査の結果そのワー
クを使用可能と判断した時はワーク搬送設備21→ワーク
搬送路10→ワーク搬送設備22を経て後処理工程の職場２
のマルチステーション８に送る。検査の結果、救済処理
されたワークがなお使用不能と判断した時は廃棄する。

なお、前記設備状態監視システムで職場１の諸設備を
監視の結果、正常状態が安定していると判断された時は
職場１の検査設備７で行う検査工程を省略する。

前記職場１で処理されたワークは、この職場１のマル
チステーション８の第２の搬送設備29によりワーク分
岐，合流設備26の配列位置まで搬送される。ついで、コ
ントローラ９からの指令によりワーク分岐，合流設備26
が制御され、ワークは予め品種別に決められたワーク受
け渡し窓口27に一時保管される。

その間、コントローラ９は後処理工程の職場２におけ
るワークの仕掛り量を演算する。そして、職場２のワー
クの仕掛り量が適正になった時点で、コントローラ９は
前処理工程の職場１のマルチステーション８のワーク分
岐，合流設備26に指令を送る。前記職場１のワーク分
岐，合流設備26は、コントローラ９からの指令により当
該ワーク受け渡し窓口27からワークを引き出し、そのワ
ークを第１の搬送設備25→ワーク搬送設備21→職場２の
マルチステーション８の第１の搬送設備25を通じてマル
チステーション８の予め決められたワーク受け渡し窓口
27に入れる。

以下、前記職場１における工程と同様の工程を繰り返
し、職場2,3および４でワークに次々に処理を施す。

最終の職場４で処理され、仕上げられた製品は、ワー
ク搬送路10に付設されたワーク供給，製品排出部11を通
じて排出され、半導体製造の１サイクルが完了する。

この場合において、職場１〜４の設備の処理速度／ワ
ーク（ロット）をワーク搬送路10の搬送速度と同じにす
れば、コンベアによる流れ作業のようなライン化が可能
となる。また、職場１〜４に仕掛るワーク（ロット）数
を制御することにより、製造時間や、仕掛り量を小さく
することが可能となる。

次に、第８図（Ａ）は本発明の第２の実施例を示す概
念図、第８図（Ｂ）はワークとしての品種別のロットの
一例を示す図である。

この第８図（Ａ）に示す実施例では、リング状のワー
ク搬送路33に、ロット35の品種a,b,c別の搬送指定席34
が設けられている。

この場合、ワークとしてのロット35の送り先であるマ
ルチステーションｊのマルチステーション（エリア）数
Sjを、品種ｉのマルチステーションｊでの繰り返し処理
の必要な回数Nijの最大値と仮定すると、マルチステー
ションｊの搬送指定席数Ljは、以下の式で表現できる。

ここで、Ｚは全職場の最適仕掛り量である。

そして、ワーク搬送路33には品種別の搬送指定席34が
各職場別に均等に設けられている。

これにより、この第２の実施例によれば無駄のない搬
送指定席がワーク搬送路に設定することができる。

第９図（Ａ）は本発明の第３の実施例を示す概念図、
第９図（Ｂ）は取り扱うワークを示す図である。

この第９図（Ａ）に示す実施例では、各職場１〜４に
対応させて、職場別のワーク搬送路36〜39が同心のリン
グ状に形成されている。

而して、この実施例では例えば最初の処理工程の職場
１にワークとしてのロット35を送る時はロット35をワー
ク搬送路36に載せる。この職場１でロット35に対する処
理が終了して職場１のマルチステーション８から他の職
場に移す場合、予め準備されているロットの進行管理テ
ーブルから次の処理工程の職場を探索する。

探索された職場が、例えば職場２の場合にはロット35
をワーク搬送路37に移し、このワーク搬送路37を通じて
職場２へ搬送する。

この第３の実施例によれば、職場別のワーク搬送路36
〜39がワークの保管手段として利用できるので、各職場
のマルチステーション８は受けエリア、払い出しエリ
ア、予備エリアの三つのエリアだけでも運用できる。

また、職場別の設備処理速度／ワーク（ロット）に対
応したワーク搬送路の搬送速度を確保できるので、処理
単位の異なる職場の生産性の向上を図ることができる。

第10図（Ａ）は本発明の第４の実施例を示す概念図、
第10図（Ｂ）は取り扱うワークとしてのロットの一例を
示す図である。

この第10図（Ａ）に示す実施例では、ロット35の品種
別a,b,cに、同心のリング状のワーク搬送路40,41,42が
形成されている。

そして、この実施例ではロット35の例えば品種ａを職
場１で処理し、次の処理工程の職場２に送る場合、職場
１のマルチステーション８で品種ａを識別し、この品種
専用のワーク搬送路40に移載する。

このように、ワークとしてのロット35の品種a,b,cを
識別し、該品種専用のワーク搬送路40,41,42にロット35
を移載するだけで、次の職場へ移動させることができ
る。

また、品種別に各職場の処理速度／ワーク（ロット）
が極端に異なる場合、職場内を品種別設備群に分類する
ことにより、品種別に流れ生産のライン化が可能とな
る。この場合、各職場のマルチステーション８を品種別
に管理してもよい。

第11図（Ａ）は本発明の第５の実施例を示す概念図、
第11図（Ｂ）は取り扱うワークとしてのロットの一例を
示す図である。

この第11図（Ａ）に示す実施例では、同心でリング上
のワーク搬送路43,44が設けられている。

一方のワーク搬送路43は時計方向に回り、他方のワー
ク搬送路44は反時計方向に回るように構成されている。

この実施例では、例えば職場１で処理されたロット35
を次の処理工程の職場としての職場３に移送する場合、
コントローラ９によりワーク搬送路43,44のうち、いず
れが職場３に早く搬送できるかを判断し、最も早く移送
可能なワーク搬送路にロット35を移載する。

この実施例によれば、多品種の製品を生産する場合に
好適である外、生産性の向上を図ることができる。

第12図（Ａ）は本発明の第６の実施例を示す概念図、
第12図（Ｂ）は取り扱うワークの一例を示す図である。

この実施例では、ワーク35にワーク進行管理情報を表
示するICカード等の記録媒体46が貼り付けられている。

一方、職場１〜４とワーク搬送路10間のワーク搬送設
備21〜24には、ワーク搬送路10側の位置に、前記記録媒
体46に表示されているワーク進行管理情報の読み取り部
47〜50が設けられている。

また、職場１〜４のマルチステーション８には、前記
記録媒体46のワーク進行管理情報を読み取りかつ当該職
場で処理情報を書き込む読み取り／書き込み部51〜54が
設けられている。

前記ワーク搬送設備21〜24、これに設けられた読み取
り部47〜50、およびマルチステーション８に設けられた
読み取り／書き込み部51〜54は、職場１〜４や、そのマ
ルチステーション８などを管理するコントローラ９に接
続されている。

而して、この実施例ではリング状のワーク搬送路10に
より、記録媒体46を有するワーク45を搬送する。

ワーク45が移動して来ると、ワーク搬送設備21〜24に
設けられた読み取り部47〜50がワーク45の記録媒体46に
表示されているワーク進行管理情報を読み取り、コント
ローラ９に報告する。

コントローラ９は、その読み取り結果に基づいて、例
えば最初の処理工程の職場が職場１の場合、この職場１
とワーク45の授受を行うワーク搬送設備21にワーク45を
受け取るべく指令を送る。

前記ワーク搬送設備21は、決められたワーク45を受け
取って職場１のマルチステーション８まで移送する。

前記職場１のマルチステーション８にワーク45が移送
されて来ると、マルチステーション８に設けられた読み
取り／書き込み部51でワーク45の記録媒体46に表示され
ているワーク進行管理情報を確認し、コントローラ９に
報告する。

前記職場１のマルチステーション８は、ワーク45をい
ったんワーク受け渡し窓口（この第12図（Ａ）では省
略）に入れ、ついで引き出し、職場１に送り、ワーク45
に予め決められた処理を施す。

前記職場１でワーク45に所定の処理を施した後、該職
場１のマルチステーション８に設けられた読み取り／書
き込み部51により、記録媒体46に職場１での処理終了を
書き込み、コントローラ９に報告する。ついで、職場１
のマルチステーション８はそのワーク45を決められたワ
ーク受け渡し窓口に入れ、一時保管する。

ついで、コントローラ９は後処理工程の職場が、例え
ば職場２の場合には、その職場２のワークの仕掛り量を
演算し、仕掛り量が適正になった時点で、職場１のマル
チステーション８にワーク45の払い出しの指令を送り、
職場２に対応するワーク搬送設備22にワーク45の受け取
りの指令を送る。

以下、職場2,3および４においても前記職場１の場合
と同様に制御される。

この実施例によれば、ワーク45に貼り付けられた記録
媒体46と、読み取り部47〜50と、読み取り／書き込み部
51〜54と、コントローラ９との機能により、複雑に錯綜
する工程を流れ生産と同様にライン化することができ
る。

また、品種別に工程順序を変更したり、追加したり、
削除する場合にも、簡単に対応することができ、したが
って多品種の生産に適する。

なお、前記第２〜第６の実施例において、リング状の
ワーク搬送路の内側に、設備，プロセス状態監視システ
ムや、抜き取り評価用検査設備や、ワーク救済設備が配
置され、リング状のワーク搬送路の外側に配置された職
場と、リング状のワーク搬送路と、リング状のワーク搬
送路の内側に配置された諸設備とがワーク搬送設備によ
り連絡されていること、第１の実施例と同様である。

［発明の効果］ 以上説明した本発明によれば、リング状のワーク搬送
路を設け、このワーク搬送路の外側に複数の職場を配置
し、各職場に少なくとも処理設備と検査設備と、ワーク
を分岐，合流，一時保管するステーションとを設置し、
前記ワーク搬送路の内側にワーク救済設備を配置すると
ともに、各職場のステーションとワーク搬送路とワーク
救済設備間をワーク搬送設備により連結しており、ワー
クをワーク搬送路およびワーク搬送設備を通じて送り、
次にそのワークを各職場に設備されたステーションに入
れ、ついで当該職場に送り、当該職場で処理した後、欠
陥のないワークは再びステーションに入れて保管し、次
の処理工程の職場のワークの仕掛り量が適正になった時
点で当該ステーションからワークを分岐し、次の処理工
程の職場に送り込むようにしているので、各職場のワー
クの仕掛り量を考慮してワークの流れをスムーズにコン
トロールし得る効果がある。

また、本発明によれば、ワーク救済設備を設け、各職
場の処理設備でワークを処理した後、検査設備で検査
し、欠陥のあるワークをワーク救済設備に送り、救済可
能なワークに救済処理を施した後、次の処理工程の職場
に送るようにしているので、生産ライン全体の効率を向
上させ得る効果がある。

しかも、本発明によれば、リング状のワーク搬送路の
外側に複数の職場を配置し、同ワーク搬送路の内側にワ
ーク救済設備を配置しているので、ワークの流れをスム
ーズにコントロールする機能と、欠陥を持ったワークの
救済機能とを兼備した設備において、設備全体を小型に
まとめ得る効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す概念図、第２図は
ワークとしてのロットの処理工程順序を示す図、第３図
（Ａ），（Ｂ）は従来技術と本発明の第１の実施例とに
おいてワークの流れを比較して示した図、第４図は各職
場のマルチステーションの一実施例を示す拡大斜視図、
第５図は各職場の設備状態監視システムの概念図、第６
図（Ａ），（Ｂ）は従来技術と本発明の第１の実施例と
において品種別工程順序を比較して示した図、第７図
（Ａ）はワークの異常発生の一例を示す図、第７図
（Ｂ）は処理工程の途中においてワークに施すべき処理
の一例を示す図、第８図（Ａ）は本発明の第２の実施例
の図、第８図（Ｂ）は取り扱うワークとしてのロットの
一例を示す図、第９図（Ａ）は本発明の第３の実施例の
概念図、第９図（Ｂ）は取り扱うワークとしてのロット
の一例を示す図、第10図（Ａ）は本発明の第４の実施例
の概念図、第10図（Ｂ）は取り扱うワークとしてのロッ
トの一例を示す図、第11図（Ａ）は本発明の第５の実施
例を示す概念図、第11図（Ｂ）は取り扱うワークとして
のロットの一例を示す図、第12図（Ａ）は本発明の第６
の実施例を示す概念図、第12図（Ｂ）は取り扱うワーク
の一例を示す図である。 １〜４……職場、５……各職場の処理設備、６……同洗
浄設備、７……同検査設備、８……同マルチステーショ
ン、９……コントローラ、10……リング状のワーク搬送
路、12〜15……設備，プロセス状態監視システム、16〜
19……抜き取り評価用検査設備、20……ワーク救済設
備、21〜24……ワーク搬送設備、30……各職場の設備状
態監視システムの状態監視用計算機、31……同ローカル
エリアネットワーク、32……管理図、33……ワーク搬送
路、34……ロットの品種別の搬送指定席、35……ロッ
ト、36〜39;40〜42:43,44……ワーク搬送路、45……ワ
ーク、46……ワーク進行管理情報の記録媒体、47〜50…
…同読み取り部、51〜54……同読み取り／書き込み部。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークに対し同じ生産工程を繰り返して処
   理する半導体製造設備において、リング状のワーク搬送
   路を設け、このワーク搬送路の外側に複数の職場を配置
   し、各職場に少なくとも処理設備と検査設備と、ワーク
   を分岐，合流，一時保管するステーションとを設置し、
   前記ワーク搬送路の内側に少なくともワーク救済設備を
   配置するとともに、各職場のステーションとワーク搬送
   路とワーク救済設備間をワーク搬送設備により連結した
   ことを特徴とする半導体製造設備。