JP2952331B2 - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
- Publication number
- JP2952331B2 JP2952331B2 JP9117190A JP9117190A JP2952331B2 JP 2952331 B2 JP2952331 B2 JP 2952331B2 JP 9117190 A JP9117190 A JP 9117190A JP 9117190 A JP9117190 A JP 9117190A JP 2952331 B2 JP2952331 B2 JP 2952331B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- measurement
- measured
- measuring
- tweezers
- Prior art date
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Description
「発明の目的」
本発明は、プローブ装置に関するものである。
通常、この種のプローブ装置、例えば半導体ウエハの
プローブ装置は、ウエハ上の多数の素子の電気的特性を
測定する測定部と、ウエハを収納しているカセットより
ウエハを取り出して測定部に供給し、測定後はウエハを
カセット内に戻して搬送するローダ部から構成されてい
る。 上記の測定部には、触針を有するプローブカードを設
け、このプローブカードにテスタを接続して各素子の電
気的特性を順次測定するようにしている。 上記した装置は、クリーンルームの測定スペースに複
数台のプローブ装置を配列し、この装置には、複数枚の
ウエハを収容したカセットを装置に個別に設け、このカ
セットよりウエハを取り出し、次いでロード部を介して
ウエハを対応する測定部に搬送して測定するようにして
いる。
プローブ装置は、ウエハ上の多数の素子の電気的特性を
測定する測定部と、ウエハを収納しているカセットより
ウエハを取り出して測定部に供給し、測定後はウエハを
カセット内に戻して搬送するローダ部から構成されてい
る。 上記の測定部には、触針を有するプローブカードを設
け、このプローブカードにテスタを接続して各素子の電
気的特性を順次測定するようにしている。 上記した装置は、クリーンルームの測定スペースに複
数台のプローブ装置を配列し、この装置には、複数枚の
ウエハを収容したカセットを装置に個別に設け、このカ
セットよりウエハを取り出し、次いでロード部を介して
ウエハを対応する測定部に搬送して測定するようにして
いる。
しかしながら、上記した従来のプローブ装置には、次
のような問題点がある。 即ち、各プローブ装置には、対応するカセット内のウ
エハを順次測定部に搬入し、測定後のウエハは当該測定
部に設けたロード部を介して空のカセット内に収納する
ようにしているため、複数台のプローブ装置が稼働して
いる場合はスループットの点において問題となることは
ないが、複数台のプローブ装置のうちのいずれかが稼働
して残りの装置が稼働していない場合を例に挙げると、
稼働中の装置は、カセット内のウエハを順次測定するの
で、その測定時間は、当該１台の装置で１枚のウエハを
測定する時間と、ウエハの測定枚数との関係で求めるこ
とができる。 しかし、この場合、稼働していないプローブ装置で
は、上記のウエハを測定することができないので、稼働
効率が悪いばかりでなくスループットの低下をきたして
いた。 これを改善する手段として、１ローダ２ステージ型プ
ローブ装置につき提案されているが、更に稼動効率の向
上が望まれている。 本発明は上記の問題点に鑑みて開発したものであり、
複数台のプローブ装置の稼働率の向上を企図すると共
に、スループットの向上を図ることを目的としたもので
ある。 「発明の構成」
のような問題点がある。 即ち、各プローブ装置には、対応するカセット内のウ
エハを順次測定部に搬入し、測定後のウエハは当該測定
部に設けたロード部を介して空のカセット内に収納する
ようにしているため、複数台のプローブ装置が稼働して
いる場合はスループットの点において問題となることは
ないが、複数台のプローブ装置のうちのいずれかが稼働
して残りの装置が稼働していない場合を例に挙げると、
稼働中の装置は、カセット内のウエハを順次測定するの
で、その測定時間は、当該１台の装置で１枚のウエハを
測定する時間と、ウエハの測定枚数との関係で求めるこ
とができる。 しかし、この場合、稼働していないプローブ装置で
は、上記のウエハを測定することができないので、稼働
効率が悪いばかりでなくスループットの低下をきたして
いた。 これを改善する手段として、１ローダ２ステージ型プ
ローブ装置につき提案されているが、更に稼動効率の向
上が望まれている。 本発明は上記の問題点に鑑みて開発したものであり、
複数台のプローブ装置の稼働率の向上を企図すると共
に、スループットの向上を図ることを目的としたもので
ある。 「発明の構成」
未検査および検査済測定体を収納する収納部と、この
収納部から被測定体を搬出又は搬入し、予め定められた
搬送路を移動する搬送手段と、この搬送手段の搬送路に
沿って設けられた複数個の測定部と、これら測定部へ被
測定体を搬入又は測定済の被測定体を搬出し、この搬送
手段に設けられた操作機構と、これら一連の制御を予め
定められたプログラムで実行するコンピュータとを具備
し、前記搬送路は直線状であり、前記測定部は当該搬送
路の少なくとも片側に配列されているプローブ装置であ
る。
収納部から被測定体を搬出又は搬入し、予め定められた
搬送路を移動する搬送手段と、この搬送手段の搬送路に
沿って設けられた複数個の測定部と、これら測定部へ被
測定体を搬入又は測定済の被測定体を搬出し、この搬送
手段に設けられた操作機構と、これら一連の制御を予め
定められたプログラムで実行するコンピュータとを具備
し、前記搬送路は直線状であり、前記測定部は当該搬送
路の少なくとも片側に配列されているプローブ装置であ
る。
本発明は、複数の測定部を適宜の配列で配設し、各測
定部に対して共通の収納部内に複数の被測定体を収納
し、この被測定体を搬送手段により所望の測定部に搬入
搬出するようにしたので、複数枚の被測定体を収容した
１個の収納部から被測定体を１枚ごと取り出し、予め定
められたプログラムによりロード部を駆動制御させて一
定のプリアライメントの後、所望の測定体に搬送して測
定することができる。又、搬送手段により取り出された
被測定体は別の測定体に搬送されて同様の工程を経て測
定体に搬送され、収納部内の被測定体は順次１枚毎に搬
送されて測定され、従来に比較して測定時間のロスを極
力少なくすることができ、スループットの向上に寄与す
ることができる。
定部に対して共通の収納部内に複数の被測定体を収納
し、この被測定体を搬送手段により所望の測定部に搬入
搬出するようにしたので、複数枚の被測定体を収容した
１個の収納部から被測定体を１枚ごと取り出し、予め定
められたプログラムによりロード部を駆動制御させて一
定のプリアライメントの後、所望の測定体に搬送して測
定することができる。又、搬送手段により取り出された
被測定体は別の測定体に搬送されて同様の工程を経て測
定体に搬送され、収納部内の被測定体は順次１枚毎に搬
送されて測定され、従来に比較して測定時間のロスを極
力少なくすることができ、スループットの向上に寄与す
ることができる。
本発明を半導体ウエハのプローブ装置に適用した一実
施例を図面に基づいて説明する。 このウエハプローバは、被測定体例えばウエハ１を測
定する測定部２を適宜の配列で複数配設し、この複数の
各測定部２は、触針を有するプローブカード（図示しな
い）にテスタ３をそれぞれ接続して各素子の電気的特性
を測定するようにしている。 更に、複数枚のウエハ１を収納するカセット４（収納
部）を上記各測定部共通の搬送系により構成し、これら
カセット４（収納部）は、複数の測定部２に共通するよ
うに１個又は複数個設ける。このウエハ１を１個又は複
数個の搬送系に設けたロボットアームからなるロード部
（搬送路）５により所望の測定部２に搬入するように構
成している。 第１図はその代表的実施例を示している。複数の測定
部２は直線状に２列搬送路５に沿って両側に１系統に配
設され、各測定部２の背面にテスタ３を配し、上記搬送
路５を上記ロボットアームを支持する移動機構が移動す
る。 この搬送路５は各種の手段が適用可能であるが、本例
においては、ボールスクリュー等の駆動機構によってＹ
方向に移動するウエハ搬送手段６が設けられ、この搬送
手段６は、θ回転が可能に構成され、キャリッジ７を有
し、キャリッジ７には、ウエハ１を吸着保持するバキュ
ームピンセット８、８が上下に取付けられ、このピンセ
ット８、８はそれぞれ独立にＸ方向、Ｙ方向に移動可能
でピンセット８、８は同時にＺ方向に移動可能であっ
て、かつθ方向に回転することもできる。このピンセッ
ト８、８の回転駆動は、キャリッジ７に設けたステッピ
ングモータとこれに連結されたボールスクリュー等の駆
動機構によってなされている。 ピンセット８、８は、一方のピンセットでウエハ１を
保持して所望の測定部２に搬送し、この測定部２に処理
済みのウエハ１があったときに、他のピンセットで処理
済みのウエハ１をピックアップして上記ウエハをセット
する。 搬送系の一端側には、ウエハ受渡機構９が設けられ、
この受渡機構９には、測定前のウエハ１を収容したカセ
ット4aと測定後のウエハ１を収容したカセット4bが設け
られている。 また、受渡機構９は、ウエハ１の裏面を吸着保持する
ためのピンセット10を具えており、このピンセット10
は、上記したピンセット８と同様に移動しかつ回動でき
るように構成している。 しかも、このピンセット10は検査前のウエハ１を搬送
手段６のピンセット８に渡し、また、検査後のウエハ１
をピンセット８から受け取るように操作可能に設けられ
ている。 この搬送手段６のピンセット８は、測定部２との間で
ウエハ１の受渡を行い、更に、ピンセット８に吸着固定
する際に、適宜の手段によりプリアライメントが行われ
る。 そして、搬送手段６の動作は、全て制御システムによ
って制御され、ウエハ１は、所望の測定部２に搬入され
て測定される。 又、搬送手段はベルトを用いた搬送系も考えられる。 次に、上記実施例の作用を説明する。 複数枚のウエハ１を収容した共通のカセット４からウ
エハ１を１枚ごと取り出し、予め定められたプログラム
により搬送路５の搬送手段６を駆動制御させて受渡機構
９に載置し、ウエハのオリフラを基準とするプリアライ
メントを行う。次に受渡機構９をウエハを一方のピンセ
ット８により取り上げ、検査済みウエハを受渡機構９に
載置する。その後搬送路５を移動し、予め定められた測
定部２に搬送する。この測定部２では測定済のウエハを
取り出し、末測定ウエハを搬入する。測定部２は周知の
手段で微位置合せを実行した後測定する。又、搬送路５
により取り出された１枚の別のウエハ１は所望の測定体
２に搬送されて同様の工程を経て測定され、カセット４
内のウエハ１は順次１枚毎に搬送されて測定されるの
で、従来に比較して測定時間のロスを極力少なくするこ
とができ、スループットの向上に寄与することができ
る。 なお、搬送系に設けたロード部は上記の例に限ること
なく、被測定体を一枚ごと取りだし所望の測定体に適宜
に搬入搬出する手段であればいずれの手段でも選択する
ことができる。 各ウエハに設けられるウエハコードやカセットに設け
られるカセットコードを用いると多品種のウエハどれで
も自動的に選択し自動的に検査できる。即ち、各測定部
に予め測定品種に応じた測定部を用意する。例えばプロ
ーブ針配列の相達、低周波測定、高周波測定、再測定
用、高温低温測定など設定できる。 また、プローブ装置の１つ又は複数をリペア装置にす
ることによりプローブ検査後リペア装置にて例えばメモ
リーデバイス等の救済を行いその後又確認のための検査
をプローブ装置にて行うことができる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると次の
ような優れた効果を有する 即ち、複数台のプローブ装置の稼働率を向上させるこ
とができ、従来に比較して著しくスループットの向上を
図ることができる効果がある。
施例を図面に基づいて説明する。 このウエハプローバは、被測定体例えばウエハ１を測
定する測定部２を適宜の配列で複数配設し、この複数の
各測定部２は、触針を有するプローブカード（図示しな
い）にテスタ３をそれぞれ接続して各素子の電気的特性
を測定するようにしている。 更に、複数枚のウエハ１を収納するカセット４（収納
部）を上記各測定部共通の搬送系により構成し、これら
カセット４（収納部）は、複数の測定部２に共通するよ
うに１個又は複数個設ける。このウエハ１を１個又は複
数個の搬送系に設けたロボットアームからなるロード部
（搬送路）５により所望の測定部２に搬入するように構
成している。 第１図はその代表的実施例を示している。複数の測定
部２は直線状に２列搬送路５に沿って両側に１系統に配
設され、各測定部２の背面にテスタ３を配し、上記搬送
路５を上記ロボットアームを支持する移動機構が移動す
る。 この搬送路５は各種の手段が適用可能であるが、本例
においては、ボールスクリュー等の駆動機構によってＹ
方向に移動するウエハ搬送手段６が設けられ、この搬送
手段６は、θ回転が可能に構成され、キャリッジ７を有
し、キャリッジ７には、ウエハ１を吸着保持するバキュ
ームピンセット８、８が上下に取付けられ、このピンセ
ット８、８はそれぞれ独立にＸ方向、Ｙ方向に移動可能
でピンセット８、８は同時にＺ方向に移動可能であっ
て、かつθ方向に回転することもできる。このピンセッ
ト８、８の回転駆動は、キャリッジ７に設けたステッピ
ングモータとこれに連結されたボールスクリュー等の駆
動機構によってなされている。 ピンセット８、８は、一方のピンセットでウエハ１を
保持して所望の測定部２に搬送し、この測定部２に処理
済みのウエハ１があったときに、他のピンセットで処理
済みのウエハ１をピックアップして上記ウエハをセット
する。 搬送系の一端側には、ウエハ受渡機構９が設けられ、
この受渡機構９には、測定前のウエハ１を収容したカセ
ット4aと測定後のウエハ１を収容したカセット4bが設け
られている。 また、受渡機構９は、ウエハ１の裏面を吸着保持する
ためのピンセット10を具えており、このピンセット10
は、上記したピンセット８と同様に移動しかつ回動でき
るように構成している。 しかも、このピンセット10は検査前のウエハ１を搬送
手段６のピンセット８に渡し、また、検査後のウエハ１
をピンセット８から受け取るように操作可能に設けられ
ている。 この搬送手段６のピンセット８は、測定部２との間で
ウエハ１の受渡を行い、更に、ピンセット８に吸着固定
する際に、適宜の手段によりプリアライメントが行われ
る。 そして、搬送手段６の動作は、全て制御システムによ
って制御され、ウエハ１は、所望の測定部２に搬入され
て測定される。 又、搬送手段はベルトを用いた搬送系も考えられる。 次に、上記実施例の作用を説明する。 複数枚のウエハ１を収容した共通のカセット４からウ
エハ１を１枚ごと取り出し、予め定められたプログラム
により搬送路５の搬送手段６を駆動制御させて受渡機構
９に載置し、ウエハのオリフラを基準とするプリアライ
メントを行う。次に受渡機構９をウエハを一方のピンセ
ット８により取り上げ、検査済みウエハを受渡機構９に
載置する。その後搬送路５を移動し、予め定められた測
定部２に搬送する。この測定部２では測定済のウエハを
取り出し、末測定ウエハを搬入する。測定部２は周知の
手段で微位置合せを実行した後測定する。又、搬送路５
により取り出された１枚の別のウエハ１は所望の測定体
２に搬送されて同様の工程を経て測定され、カセット４
内のウエハ１は順次１枚毎に搬送されて測定されるの
で、従来に比較して測定時間のロスを極力少なくするこ
とができ、スループットの向上に寄与することができ
る。 なお、搬送系に設けたロード部は上記の例に限ること
なく、被測定体を一枚ごと取りだし所望の測定体に適宜
に搬入搬出する手段であればいずれの手段でも選択する
ことができる。 各ウエハに設けられるウエハコードやカセットに設け
られるカセットコードを用いると多品種のウエハどれで
も自動的に選択し自動的に検査できる。即ち、各測定部
に予め測定品種に応じた測定部を用意する。例えばプロ
ーブ針配列の相達、低周波測定、高周波測定、再測定
用、高温低温測定など設定できる。 また、プローブ装置の１つ又は複数をリペア装置にす
ることによりプローブ検査後リペア装置にて例えばメモ
リーデバイス等の救済を行いその後又確認のための検査
をプローブ装置にて行うことができる。 「発明の効果」 以上のことから明らかなように、本発明によると次の
ような優れた効果を有する 即ち、複数台のプローブ装置の稼働率を向上させるこ
とができ、従来に比較して著しくスループットの向上を
図ることができる効果がある。
第１図は本発明におけるプローブ装置の一実施例を示し
た平面説明図、第２図は同上のフローチャートである。 １……ウエハ、２……測定体 ４……収納部、５……搬送部 ６……搬送手段
た平面説明図、第２図は同上のフローチャートである。 １……ウエハ、２……測定体 ４……収納部、５……搬送部 ６……搬送手段
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66 H01L 21/68 G01R 31/26 G01R 31/28
Claims (1)
- 【請求項１】未検査および検査済測定体を収納する収納
部と、この収納部から被測定体を搬出又は搬入し、予め
定められた搬送路を移動する手段と、この搬送手段の搬
送路に沿って設けられた複数個の測定部と、これら測定
部へ被測定体を搬入又は測定済の被測定体を搬出し、こ
の搬送手段に設けられた操作機構と、これら一連の制御
を予め定められたプログラムで実行するコンピュータと
を具備し、前記搬送路は直線状であり、前記測定部は当
該搬送路の少なくとも片側に配列されていることを特徴
とするプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9117190A JP2952331B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9117190A JP2952331B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | プローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03289152A JPH03289152A (ja) | 1991-12-19 |
| JP2952331B2 true JP2952331B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=14019024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9117190A Expired - Lifetime JP2952331B2 (ja) | 1990-04-05 | 1990-04-05 | プローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2952331B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8659311B2 (en) | 2009-02-27 | 2014-02-25 | Advantest Corporation | Test apparatus and test method |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100346147B1 (ko) * | 1995-06-08 | 2002-11-23 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 프로브 시스템 |
| TW518705B (en) * | 2000-12-27 | 2003-01-21 | Tokyo Electron Ltd | Workpiece transfer system, transfer method, vacuum chuck, and wafer centering method |
| US7457680B2 (en) | 2000-12-27 | 2008-11-25 | Tokyo Electron Limited | Conveyance method for transporting objects |
| JP2002313880A (ja) | 2001-04-19 | 2002-10-25 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
| CN102116835B (zh) * | 2009-11-06 | 2014-12-03 | 东京毅力科创株式会社 | 探测装置以及衬底运送方法 |
| JP5967508B1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-08-10 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
| JP5967509B1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-08-10 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
| JP6681572B2 (ja) | 2016-02-26 | 2020-04-15 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
| JP6887332B2 (ja) | 2017-07-19 | 2021-06-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
| JP2017228789A (ja) * | 2017-08-22 | 2017-12-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
| JP6647379B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2020-02-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
-
1990
- 1990-04-05 JP JP9117190A patent/JP2952331B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8659311B2 (en) | 2009-02-27 | 2014-02-25 | Advantest Corporation | Test apparatus and test method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03289152A (ja) | 1991-12-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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