JP2018183761A - 超純水製造システム及び超純水製造方法 - Google Patents
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- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 79
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 title claims abstract description 79
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 192
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 192
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 168
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 168
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 141
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 116
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 89
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 claims abstract description 71
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 claims abstract description 71
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 65
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 65
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 claims abstract description 48
- 238000005349 anion exchange Methods 0.000 claims abstract description 47
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims abstract description 37
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 16
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 70
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 claims description 37
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 claims description 30
- 238000009296 electrodeionization Methods 0.000 claims description 26
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 claims description 21
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 13
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 11
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- MBBZMMPHUWSWHV-BDVNFPICSA-N N-methylglucamine Chemical group CNC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO MBBZMMPHUWSWHV-BDVNFPICSA-N 0.000 description 7
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 6
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 5
- -1 carboxylic acid compound Chemical class 0.000 description 5
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 4
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 4
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 4
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102100035925 DNA methyltransferase 1-associated protein 1 Human genes 0.000 description 2
- 101000930289 Homo sapiens DNA methyltransferase 1-associated protein 1 Proteins 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000003011 anion exchange membrane Substances 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 description 2
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- 239000002349 well water Substances 0.000 description 2
- 235000020681 well water Nutrition 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- 229920001890 Novodur Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 229940023913 cation exchange resins Drugs 0.000 description 1
- 229920001429 chelating resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000005115 demineralization Methods 0.000 description 1
- 230000002328 demineralizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010612 desalination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000003673 groundwater Substances 0.000 description 1
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000002891 organic anions Chemical class 0.000 description 1
- 150000002892 organic cations Chemical class 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000009287 sand filtration Methods 0.000 description 1
- 125000000467 secondary amino group Chemical group [H]N([*:1])[*:2] 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 239000008400 supply water Substances 0.000 description 1
- 125000001302 tertiary amino group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/04—Processes using organic exchangers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
- C02F1/441—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by reverse osmosis
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- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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Abstract
Description
(第1の実施形態)
図1に示すように、第1の実施形態に係る超純水製造システム1は、前処理装置11と、第1の紫外線酸化装置(TOC−UV1)12と、ホウ素吸着樹脂混合イオン交換装置13と、第2の紫外線酸化装置(TOC−UV2)14と、非再生型混床式イオン交換樹脂装置(Polisher)15をこの順に備えている。超純水製造システム1において、非再生型混床式イオン交換樹脂装置(Polisher)15の処理水(末端水)がユースポイント(POU)16に供給される。超純水製造システム1において、第1の紫外線酸化装置12における紫外線照射量は、0.05〜0.2kWh/m3である。
以下、本発明の超純水製造システムが具備する各装置について説明する。
次に、図2を参照して、第2の実施形態に係る超純水製造システム2について説明する。超純水製造システム2は、上記第1の実施形態に係る超純水製造システム1の、第1の紫外線酸化装置(TOC−UV1)の上流側に、逆浸透膜装置(RO)21及び電気脱イオン装置(EDI)22を備えて構成される。図2において、図1に示す超純水製造システム1と同様の機能を有する構成には同一の符号を付して重複する説明を省略する。
ホウ素吸着樹脂(B)、陰イオン交換樹脂(A)、陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂(MB)、ホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂(BMB)についてTOC成分の漏出による後段の非再生型混床式イオン交換樹脂装置への負荷の相違を確認した。
ホウ素吸着樹脂(B):ダイヤイオンCRB03、三菱化学(株)社製、交換容量:0.8eq/Lの3.8Lを使用、空間速度SV=13.2(1/h)、流量50L/h。
陰イオン交換樹脂(A):強塩基性陰イオン交換樹脂(Duolite AGP、ローム・アンド・ハース社製、交換容量:1.1eq/L)の2.8Lを使用、空間速度SV=18(1/h)、流量50L/h。
ホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂(BMB):上記ホウ素吸着樹脂、強塩基性陰イオン交換樹脂及び強塩基性陰イオン交換樹脂を、ホウ素吸着樹脂/強塩基性陰イオン交換樹脂/強塩基性陰イオン交換樹脂で表わされる交換容量比(CC/CA/CB)を5.6/10.6/3.0で混合したもの16.2Lを使用、空間速度SV=3.2(1/h)、流量50L/h。
非再生型混床式イオン交換樹脂装置:Duolite CGP、ローム・アンド・ハース社製とDuolite AGP、ローム・アンド・ハース社製を等量混合したもの、樹脂量1Lを使用、空間速度SV=50(1/h)、流量50L/h。
例1〜6では、図1と同様の構成を用いて、第1の紫外線酸化装置(TOC−UV1)における紫外線照射量と、末端TOC濃度の関係を調べた。例2〜5は実施例であり、例1、6は比較例である。
第1の紫外線酸化装置、第2の紫外線酸化装置:日本フォトサイエンス社製JPW−2。
非再生型混床式イオン交換樹脂装置:上記実験例と同様のもの、SV=30(1/h)。
例7〜16では、図2と同様の構成を用いて、逆浸透膜装置(RO)及び電気脱イオン装置(EDI)における処理条件と、非再生型混床式イオン交換樹脂装置の処理水の水質(末端水質)との関係を調べた。上記の例で使用した構成の、第1の紫外線酸化装置の上流側に、逆浸透膜装置と電気脱イオン装置をこの順に配置した。原水の水質は、TOC濃度200μg/L(as C)、ホウ素濃度100μg/L、導電率150μS/cmである。
TM820K(膜抵抗120MPa/(m/h))、TM820M(膜抵抗94MPa/(m/h))、TM820V(膜抵抗65MPa/(m/h))、TM820(膜抵抗55MPa/(m/h))、SU720RB(膜抵抗50MPa/(m/h))、SUL−G20P(膜抵抗40MPa/(m/h))(いずれも、東レ社製)、SWC4 MAX(膜抵抗72MPa/(m/h)、日東電工社製)
Claims (10)
- ホウ素成分と全有機炭素成分とを含む被処理水を処理して超純水を製造する超純水製造システムであって、
第1の紫外線酸化装置と、ホウ素吸着樹脂混合イオン交換装置と、第2の紫外線酸化装置と、非再生型混床式イオン交換樹脂装置をこの順に備え、
前記ホウ素吸着樹脂混合イオン交換装置は、ホウ素吸着樹脂及び陰イオン交換樹脂を混合してなるホウ素吸着/陰イオン交換混床樹脂を有し、
前記第1の紫外線酸化装置における紫外線照射量は、0.05〜0.2kWh/m3である
ことを特徴とする超純水製造システム。 - 前記ホウ素吸着/陰イオン交換混床樹脂における、前記ホウ素吸着樹脂及び前記陰イオン交換樹脂の混合割合は、前記陰イオン交換樹脂の交換容量を「CA」、前記ホウ素吸着樹脂の交換容量を「CB」として、CA/CBが0.2〜5であることを特徴とする請求項1に記載の超純水製造システム。
- 前記ホウ素吸着樹脂混合イオン交換装置は、前記ホウ素吸着/陰イオン交換混床樹脂にさらに陽イオン交換樹脂を混合してなるホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の超純水製造システム。
- 前記ホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂における、ホウ素吸着樹脂、陰イオン交換樹脂及び陽イオン交換樹脂の混合割合は、前記陰イオン交換樹脂の交換容量を「CA」、前記ホウ素吸着樹脂の交換容量を「CB」、前記陽イオン交換樹脂の交換容量を「CC」として、CC/(CA+CB)が0.3〜1.3であることを特徴とする請求項3記載の超純水製造システム。
- 前記第1の紫外線酸化装置の上流側に、逆浸透膜装置と電気脱イオン装置をこの順に備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の超純水製造システム。
- 前記電気脱イオン装置における、1セルペア処理流量あたりの電流値は、30A/(m3/h)×セル数以上であることを特徴とする請求項5に記載の超純水製造システム。
- 前記逆浸透膜装置における膜抵抗は、45MPa/(m/h)以上であることを特徴とする請求項5又は6に記載の超純水製造システム。
- 前記ホウ素吸着樹脂混合イオン交換装置の処理水中の全有機炭素濃度が、5μg/L以下であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の超純水製造システム。
- 前記非再生型混床式イオン交換樹脂装置の処理水中の全有機炭素濃度は0.5μg/L(as C)未満、ホウ素濃度は0.5ng/L未満であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の超純水製造システム。
- ホウ素成分と全有機炭素成分とを含む被処理水を処理して超純水を製造する超純水製造方法であって、
前記被処理水を、第1の紫外線酸化装置によって、紫外線照射量を0.05〜0.2kWh/m3にして処理する工程と、
前記第1の紫外線酸化装置の処理水を、ホウ素吸着樹脂及び陰イオン交換樹脂を混合してなるホウ素吸着/陰イオン交換混床樹脂を有するホウ素吸着樹脂混合イオン交換装置で処理する工程と、
前記ホウ素吸着樹脂混合イオン交換装置の処理水を第2の紫外線酸化装置で処理する工程と、
前記第2の紫外線酸化装置の処理水を非再生型混床式イオン交換樹脂装置で処理する工程とを備えることを特徴とする超純水製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017088793A JP2018183761A (ja) | 2017-04-27 | 2017-04-27 | 超純水製造システム及び超純水製造方法 |
CN201880027433.2A CN110678420A (zh) | 2017-04-27 | 2018-04-06 | 超纯水制造系统及超纯水制造方法 |
PCT/JP2018/014702 WO2018198723A1 (ja) | 2017-04-27 | 2018-04-06 | 超純水製造システム及び超純水製造方法 |
KR1020197034201A KR20190141208A (ko) | 2017-04-27 | 2018-04-06 | 초순수 제조 시스템 및 초순수 제조 방법 |
TW110134392A TW202200508A (zh) | 2017-04-27 | 2018-04-17 | 超純水製造系統及超純水製造方法 |
TW107112998A TWI754042B (zh) | 2017-04-27 | 2018-04-17 | 超純水製造系統及超純水製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017088793A JP2018183761A (ja) | 2017-04-27 | 2017-04-27 | 超純水製造システム及び超純水製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018183761A true JP2018183761A (ja) | 2018-11-22 |
Family
ID=63919020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017088793A Pending JP2018183761A (ja) | 2017-04-27 | 2017-04-27 | 超純水製造システム及び超純水製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018183761A (ja) |
KR (1) | KR20190141208A (ja) |
CN (1) | CN110678420A (ja) |
TW (2) | TW202200508A (ja) |
WO (1) | WO2018198723A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2023166881A1 (ja) * | 2022-03-01 | 2023-09-07 | オルガノ株式会社 | 超純水製造システム及び超純水の製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6806202B1 (ja) * | 2019-08-15 | 2021-01-06 | 栗田工業株式会社 | 非再生型イオン交換樹脂装置の微粒子破過時間の予測方法及び非再生型イオン交換樹脂装置の管理方法 |
JP7368310B2 (ja) * | 2020-05-20 | 2023-10-24 | オルガノ株式会社 | ホウ素除去装置及びホウ素除去方法、並びに、純水製造装置及び純水の製造方法 |
CN112279435A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-01-29 | 天津城建大学 | 生产高品质冷凝水的组合装置与方法 |
CN112657560B (zh) * | 2020-12-11 | 2021-12-28 | 安徽三星树脂科技有限公司 | 一种高效、环保的抛光阳树脂生产系统及生产工艺 |
CN112759031A (zh) * | 2020-12-17 | 2021-05-07 | 苏州业华环境科技有限公司 | 一种超纯水的处理工艺及系统 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3200301B2 (ja) * | 1994-07-22 | 2001-08-20 | オルガノ株式会社 | 純水又は超純水の製造方法及び製造装置 |
TW446687B (en) * | 1996-02-20 | 2001-07-21 | Nomura Micro Science Kk | Method and apparatus for producing ultra pure water |
JP5211414B2 (ja) * | 2001-03-12 | 2013-06-12 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
JP3852926B2 (ja) * | 2002-08-08 | 2006-12-06 | オルガノ株式会社 | ホウ素選択吸着能を有する有機多孔質体、これを用いたホウ素除去モジュールおよび超純水製造装置 |
JP3853776B2 (ja) * | 2003-10-06 | 2006-12-06 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 超純水製造装置 |
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JP6029948B2 (ja) * | 2012-11-21 | 2016-11-24 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 純水製造方法及び純水製造システム |
JP6310819B2 (ja) * | 2014-08-27 | 2018-04-11 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 純水製造装置、超純水製造システム及び純水製造方法 |
CZ2014627A3 (cs) * | 2014-09-12 | 2016-05-04 | Centrum Výzkumu Řež S.R.O. | Zařízení k redukci organického uhlíku v roztoku kyseliny borité |
-
2017
- 2017-04-27 JP JP2017088793A patent/JP2018183761A/ja active Pending
-
2018
- 2018-04-06 CN CN201880027433.2A patent/CN110678420A/zh active Pending
- 2018-04-06 KR KR1020197034201A patent/KR20190141208A/ko not_active Application Discontinuation
- 2018-04-06 WO PCT/JP2018/014702 patent/WO2018198723A1/ja active Application Filing
- 2018-04-17 TW TW110134392A patent/TW202200508A/zh unknown
- 2018-04-17 TW TW107112998A patent/TWI754042B/zh active
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JP7289206B2 (ja) | 2019-03-13 | 2023-06-09 | オルガノ株式会社 | ホウ素除去装置及びホウ素除去方法、並びに、純水製造装置及び純水の製造方法 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI754042B (zh) | 2022-02-01 |
CN110678420A (zh) | 2020-01-10 |
TW202200508A (zh) | 2022-01-01 |
TW201841837A (zh) | 2018-12-01 |
KR20190141208A (ko) | 2019-12-23 |
WO2018198723A1 (ja) | 2018-11-01 |
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