JP3853776B2 - 超純水製造装置 - Google Patents
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紫外線照射装置5,5′入口 50TOC(μgc/g)
混床式イオン交換装置6出口 9
紫外線照射装置8入口 9
混床式イオン交換装置9出口 1
なお、実施例の紫外線照射装置の電源として用いた電子安定器を電磁安定器に代えて同一条件で行ったところ、結果は次の通りであった。
紫外線照射装置I 入口 50TOC(μgc/g)
混床式イオン交換装置出口 11
紫外線照射装置8入口 11
混床式イオン交換装置9出口 4
また、比較のために、一次純水システムにのみ0.5kW・h/m3 の低圧紫外線ランプを有する紫外線照射装置(電子安定器付き)を配置し、二次純水システムには紫外線照射装置を用いずに実験を行ったところ、次の結果が得られた。
紫外線照射装置入口 50TOC(μgc/g)
混床式イオン交換装置9出口 6
2,2′…前処理タンク
3,4,4′…逆浸透膜装置
3′…2床3塔型イオン交換装置
5,5′,8…紫外線照射装置
6,6′…再生型混床式イオン交換装置
7………1次純水タンク
9………非再生型混床式イオン交換装置
10………限外濾過膜装置
11………ユースポイント
A1,A2…一次純水システム
B………二次純水システム
Claims (5)
- 一次純水システムと二次純水システムからなる超純水製造装置において、
前記一次純水システムは、2床3塔型イオン交換装置と逆浸透膜装置と180〜190nmの波長を含む紫外線を照射する低圧紫外線ランプを備えた紫外線照射装置と混床式イオン交換装置の組合せを流路に沿って設けてなり、
前記二次純水システムは、180〜190nmの波長を含む紫外線を照射する低圧紫外線ランプを備えた紫外線照射装置と混床式イオン交換装置の組合わせを流路に沿って少くとも1組設けてなることを特徴とする超純水製造装置。 - 前記一次純水システムの前には、前処理装置が配置されていることを特徴とする請求項1記載の超純水製造装置。
- 一次純水システムにおける2床3塔型イオン交換装置と逆浸透膜装置の代わりに、逆浸透膜装置が2段に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の超純水製造装置。
- 前記紫外線照射装置における紫外線ランプの1m3 /h当たりの照射量は、0.1〜2kW・h/m3 であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の超純水製造装置。
- 前記紫外線照射装置における紫外線ランプは、電子安定器により20〜80kHzとされた高周波電源により点灯されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1記載の超純水製造装置。
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