JP6310819B2 - 純水製造装置、超純水製造システム及び純水製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態の純水製造装置10を概略的に示すブロック図である。純水製造装置10は、前処理装置11と、ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置12を備えている。ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置12は、ホウ素吸着性樹脂及び強塩基性陰イオン交換樹脂を混合してなるホウ素吸着/陰イオン交換混床樹脂、又は、ホウ素吸着性樹脂、強酸性陽イオン交換樹脂及び強塩基性陰イオン交換樹脂を混合してなるホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂を備えて構成される。
ホウ素吸着性樹脂の比重は、1.05〜1.15g/cm3であることが好ましい。
強酸性陽イオン交換樹脂の比重は、1.2〜1.3g/cm3であることが好ましい。
強酸性陽イオン交換樹脂の市販品として、Duolite CGP(ローム・アンド・ハース社製)、ダイヤイオンSKT20L(三菱化学(株)社製)等が挙げられる。
強塩基性陰イオン交換樹脂の比重は、1.0〜1.1g/cm3であることが好ましい。
強塩基性陰イオン交換樹脂の市販品として、Duolite AGP(ローム・アンド・ハース社製)、ダイヤイオンSAT20L(三菱化学(株)社製)等が挙げられる。
先ず、原水を、前処理装置11に通水して、前処理水を得る。この前処理水を、必要に応じて脱塩処理、酸化分解処理を行った後、ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置12へ通水する。このとき、ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置12への通水速度は特に限定されず、被処理水中のホウ素濃度、混合される各イオン交換樹脂の交換容量等の態様に応じて適宜決定することができる。より長期間ホウ素を高度に除去する観点からは、ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置12での通水速度は、空間速度SVが、10〜100[1/h]であることが好ましく、20〜50[1/h]であることが特に好ましい。通水速度が上記した上限値より速すぎる場合にはホウ素を十分に除去できないおそれがある。一方、上記した下限値より遅い場合には、混床樹脂から有機物等の溶出が起こり、処理水の水質が低下するおそれがある。
次に、第2の実施形態に係る超純水製造システム20について説明する。図5は、超純水製造システム20の構成を概略的に示すブロック図である。超純水製造システム20は、純水製造装置10を用いた超純水製造システムであり、純水製造装置10の下流側に、二次純水システム26を備えている。
図6は、第2の実施形態の超純水製造システム20の変形例である超純水製造システム30を概略的に示すブロック図である。超純水製造システム30は、2床3塔式装置22及び逆浸透膜装置23に代えて2段逆浸透膜装置31,32を備える点で第2の実施形態の超純水製造システム20と異なる他は、第2の実施形態の超純水製造システム20と同様の構成である。
図7は、第2の実施形態の超純水製造システム20の他の変形例である超純水製造システム40を概略的に示すブロック図である。超純水製造システム40は、2床3塔式装置22及び逆浸透膜装置23に代えて、逆浸透膜装置41と電気脱イオン装置42を備える点で、第2の実施形態の超純水製造システム20と異なる他は、第2の実施形態の超純水製造システム20と同様の構成である。
内径φ50mmのカラムに、ホウ素吸着性樹脂(ダイヤイオンCRB03、三菱化学(株)社製、交換容量:0.8meq/mL)750mL及び強塩基性陰イオン交換樹脂(Duolite AGP、ローム・アンド・ハース社製、交換容量:1.1meq/mL)12450mLを充填し、ホウ素吸着/陰イオン交換混床樹脂塔(B・SA塔)61aを構成した。B・SA塔61aにおける樹脂層の高さは1630mmであった。
内径φ50mmのカラムに、ホウ素吸着性樹脂(ダイヤイオンCRB03、三菱化学(株)社製、交換容量:0.8meq/mL)750mL、強酸性陽イオン交換樹脂(Duolite CGP、ローム・アンド・ハース社製、交換容量:2.0meq/mL)530mL、強塩基性陰イオン交換樹脂(Duolite AGP、ローム・アンド・ハース社製、交換容量:1.1meq/mL)1920mLを充填し、ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換樹脂塔(B・MB塔)61bを構成した。ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換樹脂塔B・MB塔61bにおける樹脂層の高さは1630mmであった。
強酸性陽イオン交換樹脂1280mL、強塩基性陰イオン交換樹脂1920mLとして混床式イオン交換樹脂塔(MB塔)62を構成し、B・SA塔61aに代えてMB塔62を用いた他は例1と同様の条件で試験を行い、MB塔62の出口水のホウ素濃度を例1と同様に測定した。結果を、図9に示す。
強酸性陽イオン交換樹脂及び強塩基性陰イオン交換樹脂を混合した混床式イオン交換樹脂と、ホウ素吸着性樹脂との積層樹脂を模擬し、B・SA塔61aに代えて、ホウ素吸着性樹脂を750mL充填したホウ素樹脂塔(B塔)63と、強酸性陽イオン交換樹脂530mL及び強塩基性陰イオン交換樹脂1920mLを混合して充填した混床式イオン交換樹脂塔(MB塔)64とを上流側からこの順に直列に接続した。その他は例1と同様の条件で試験を行い、B塔63の出口水、MB塔4の出口水のホウ素濃度を例1と同様に測定した。結果を図9に示す。
なお、例1〜4において、TOC濃度は、TOC濃度計(Anatel社製、Anatel A1000 XP)、ホウ素濃度は、誘導結合プラズマ質量分析(ICP−MS)装置、抵抗率は抵抗率計(HORIBA社製、HE-960RW)によって測定した。
例1と同様の超純水に、IPAを濃度15μg/Lで混合して、これを紫外線酸化装置(TOC−UV)に通水した。この紫外線酸化装置(TOC−UV)の処理水にホウ素(B)濃度が0.41μg/L(as B)となる量のホウ酸(H3BO3)を添加したサンプル水を、例4と同様のB塔63に、空間速度SV=136(1/h)、線速度LV=51.9(m/h)で通水し、B塔63の出口水の水質を測定した。B塔63の出口水のホウ素濃度と、サンプル水の通水量(B.V.)を、ホウ素濃度を縦軸、通水量を横軸として図10に示す。
例1と同様の超純水に、ホウ素(B)濃度が0.4μg/L(as B)となる量のホウ酸(H3BO3)を添加したサンプル水(IPAの添加と、紫外線酸化装置(TOC−UV)での処理を行っていないサンプル水)を、例4と同様のB塔63に、空間速度SV=90(1/h)、線速度LV=18(m/h)で通水し、B塔63の出口水の水質を測定した。B塔63の出口水のホウ素濃度と、サンプル水の通水量(B.V.)を、ホウ素濃度を縦軸、通水量を横軸として実験例1と併せて図10に示す。また、実験例2において、B塔63の出口水中にホウ素が検出されるまでの、B塔63内の単位体積当たりのイオン交換樹脂のホウ素吸着量(mgB/L)を算出した。実験例2における通水条件及び吸着されたホウ素の量を、実験例1と併せて表2に示す。
実験例2において、B塔63への被処理水の通水条件を、空間速度SV=45(1/h)、線速度LV=9(m/h)として実験を行った。実験例3における、B塔63の出口水中にホウ素が検出されるまでの、B塔63内の単位体積当たりのイオン交換樹脂のホウ素吸着量(mg/L(as B))を算出した。実験例3における通水条件及びホウ素吸着(mg/L(as B))を実験例1、2と併せて表2に示す。
(ホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂の逆洗分離試験)
ホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂の混合状態と、逆洗の際の分離状態の観察を次のように行った。
ホウ素吸着性樹脂:733[g/L]
強酸性陽イオン交換樹脂:798[g/L]
強塩基性陰イオン交換樹脂:689[g/L]
これらにより、ホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂は、逆洗により分離されることが分かった。そのため、ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置は、アルカリ再生剤、酸再生剤を順に用いて再生が可能であることが分かる。
Claims (14)
- 前処理装置で処理され、ホウ素成分と全有機炭素成分とを含む被処理水を処理して純水を製造する純水製造装置であって、
ホウ素吸着性樹脂及び強塩基性陰イオン交換樹脂を前記強塩基性陰イオン交換樹脂の交換容量を「C A 」、前記ホウ素吸着性樹脂の交換容量を「C B 」として、C A /C B が0.2〜5の割合で混合してなるホウ素吸着/陰イオン交換混床樹脂を備えるホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置を具備することを特徴とする純水製造装置。 - 前記ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置は、前記ホウ素吸着性樹脂及び前記強塩基性陰イオン交換樹脂にさらに強酸性陽イオン交換樹脂を混合してなるホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂を備えることを特徴とする請求項1記載の純水製造装置。
- 前記ホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂における前記ホウ素吸着性樹脂、前記強酸性陽イオン交換樹脂及び前記強塩基性陰イオン交換樹脂の混合割合は、前記強酸性陽イオン交換樹脂の交換容量を「CC」として、CC/(CA+CB)が0.3〜1.3であることを特徴とする請求項2記載の純水製造装置。
- 前処理装置で処理され、ホウ素成分と全有機炭素成分とを含む被処理水を処理して純水を製造する純水製造装置であって、
ホウ素吸着性樹脂、強酸性陽イオン交換樹脂及び強塩基性陰イオン交換樹脂を、前記強塩基性陰イオン交換樹脂の交換容量を「C A 」、前記ホウ素吸着性樹脂の交換容量を「C B 」、前記強酸性陽イオン交換樹脂の交換容量を「C C 」として、C C /(C A +C B )が0.3〜1.3の割合で混合してなるホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂を備えるホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置を具備することを特徴とする純水製造装置。 - 前記ホウ素吸着/陽イオン交換/陰イオン交換混床樹脂は、純水を用いて逆洗分離した際に、下層から前記強酸性陽イオン交換樹脂、前記ホウ素吸着性樹脂、前記強塩基性陰イオン交換樹脂の順に分離することを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項記載の純水製造装置。
- 前記被処理水は、二酸化炭素(炭酸水素イオン及び/又は炭酸イオンを含む。)及び/又はカルボン酸化合物を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の純水製造装置。
- 前記被処理水は、カルボン酸化合物として、ギ酸、酢酸及びシュウ酸から選ばれる1種以上を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の純水製造装置。
- 前記前処理装置と前記ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置の間に、酸化分解装置を具備し、前記酸化分解装置の処理水を前記ホウ素吸着性樹脂混合イオン交換装置に供給することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項記載の純水製造装置。
- 前記前処理装置と前記酸化分解装置の間に、逆浸透膜装置を単段もしくは複数段で具備することを特徴とする請求項8記載の純水製造装置。
- 前記前処理装置と前記逆浸透膜装置の間に、2床3塔式装置を具備することを特徴とする請求項9記載の純水製造装置。
- 前記逆浸透膜装置と前記酸化分解装置の間に、電気脱イオン装置を単段もしくは複数段で具備することを特徴とする請求項9又は10記載の超純水製造装置。
- 前記酸化分解装置は、紫外線酸化装置であることを特徴とする請求項8乃至11のいずれか1項記載の純水製造装置。
- 請求項1乃至12のいずれか1項記載の純水製造装置の下流側に、二次純水システムを具備することを特徴とする超純水製造システム。
- 原水を前処理した、ホウ素成分と、全有機炭素成分とを含む被処理水を、
ホウ素吸着性樹脂及び強塩基性陰イオン交換樹脂を前記強塩基性陰イオン交換樹脂の交換容量を「C A 」、前記ホウ素吸着性樹脂の交換容量を「C B 」として、C A /C B が0.2〜5の割合で混合してなるホウ素吸着/陰イオン交換混床樹脂に通流することで、ホウ素の低減された処理水を得ることを特徴とする純水製造方法。
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