JP2017090067A - 検査用配線基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この検査用配線基板21は、セラミック多層基板31の主面上に、オーガニック配線構造部41を設けてなる。オーガニック配線構造部41を構成する複数の内層導体層51は、第1プレーン層P11〜P13と第2プレーン層P2とを含む。第1プレーン層P11〜P13は、同一層内にて複数エリアに分割される。第2プレーン層P2は、層内での面積が第1プレーン層P11〜P13よりも大きい。一部のコンデンサ接続用の接続パッド61及び複数の検査パッド群64毎の一部の検査パッド62が、最外層の第1プレーン層P11を介して電気的に接続される。
【選択図】図4
Description
(2)また、セラミック多層基板31をベースとしてその上にオーガニック配線構造部41を設けた構造であることから、オーガニック多層配線基板のみからなる従来のものとは異なり、基板全体として耐熱性や剛性が向上する。よって、シリコンとの熱膨張係数差が小さくなり、熱ストレスをかけた条件下での電気検査の際でも、検査パッド62上のプローブ67が半導体素子側の接続端子から位置ずれしにくくなる。従って、このような条件下での一括検査を確実に行うことができる。さらに、剛性の向上によって一括検査の際でも基板が撓みにくくなり、試験対象となる半導体素子の位置の如何を問わず、検査パッド62上のプローブ67を確実に半導体素子側の接続端子に接触させることができる。よって、この場合も同様に、一括検査を確実に行うことができる。しかも、上記従来技術の検査用配線基板に比べて、検査対象となる半導体素子の数を増やすことが可能となる。
(2)上記手段1において、前記第1プレーン層よりも外層側に少なくとも1層の前記第2プレーン層が配置されていること。
(3)上記手段1において、前記第1プレーン層は、低電圧電源電流用のパワープレーン層と、中電圧電源電流用のパワープレーン層と、高電圧電源電流用のパワープレーン層とを含むこと。
(4)上記(3)において、前記低電圧電源電流用のパワープレーン層は、2層以上存在すること。
(5)上記手段1において、前記樹脂絶縁層は樹脂フィルムを用いて形成されたものであること。
(6)上記手段1において、前記樹脂絶縁層の形成に用いられる樹脂フィルムは厚さが20μm〜40μmであること。
(7)上記手段1において、前記樹脂絶縁層の形成に用いられる樹脂フィルムはポリイミドフィルムであり、前記内層導体層は銅箔に由来する銅層であること。
(8)上記手段1において、前記接続パッドは前記検査パッドよりも面積が大きく、前記検査パッド上にはプローブが立設可能であること。
(9)上記手段1において、前記検査パッドは基板中央部に配置され、前記接続パッド群は基板外周部に配置されていること。
(10)上記手段1において、前記オーガニック配線構造部内のビアピッチは、前記セラミック多層基板内のビアピッチよりも小さいこと。
31…セラミック多層基板
32…主面
33…セラミック層
34…導体層
41…オーガニック配線構造部
42…表面
61…接続パッド
62…検査パッド
64…検査パッド群
43,44,45,46,47,48,49…樹脂絶縁層
51…内層導体層
P11…最外層の第1プレーン層としての最外層のパワー用のプレーン層
P12,P13…第1プレーン層としてのパワー用のプレーン層
P2…第2プレーン層としてのグランド用のプレーン層
Claims (4)
- 複数のセラミック層と複数の導体層とが交互に積層されてなるセラミック多層基板の主面上にオーガニック配線構造部が設けられ、前記オーガニック配線構造部の表面上に、コンデンサ接続用の複数の接続パッド及び複数の検査パッドからなる半導体素子検査用の複数の検査パッド群がそれぞれ形成され、複数の半導体素子の一括検査に使用可能な配線基板であって、
前記オーガニック配線構造部は、複数の樹脂絶縁層と複数の内層導体層とが交互に積層されてなるとともに、最表層が前記樹脂絶縁層により構成され、
前記複数の内層導体層には、同一層内にて複数エリアに分割された状態で配置された第1プレーン層と、前記第1プレーン層とは異なる層に配置されかつ当該層内での面積が前記第1プレーン層よりも大きい第2プレーン層とが含まれ、
少なくとも一部の前記接続パッド及び前記複数の検査パッド群毎の少なくとも一部の前記検査パッドが、複数層ある前記第1プレーン層のうち最外層の第1プレーン層を介して電気的に接続されている
ことを特徴とする検査用配線基板。 - 前記第1プレーン層はパワー用のプレーン層であり、前記第2プレーン層はグランド用のプレーン層であることを特徴とする請求項1に記載の検査用配線基板。
- 前記最外層の第1プレーン層は、複数層ある前記パワー用のプレーン層のうち最も低電圧の電源電流が流されるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の検査用配線基板。
- 前記接続パッド及び前記複数の検査パッド群毎の前記検査パッドは、前記最外層の第1プレーン層のうち互いに異なるエリアの部分を介して、電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査用配線基板。
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