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JP3031904B2
(ja)
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1998-02-18 |
2000-04-10 |
キヤノン株式会社 |
複合部材とその分離方法、及びそれを利用した半導体基体の製造方法
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1998-02-18 |
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Canon Kk |
Composite member, its separation method, and preparation method of semiconductor substrate by utilization thereof
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FR2797714B1
(fr)
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1999-08-20 |
2001-10-26 |
Soitec Silicon On Insulator |
Procede de traitement de substrats pour la microelectronique et substrats obtenus par ce procede
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FR2809867B1
(fr)
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2000-05-30 |
2003-10-24 |
Commissariat Energie Atomique |
Substrat fragilise et procede de fabrication d'un tel substrat
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FR2816445B1
(fr)
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2000-11-06 |
2003-07-25 |
Commissariat Energie Atomique |
Procede de fabrication d'une structure empilee comprenant une couche mince adherant a un substrat cible
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FR2817394B1
(fr)
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2000-11-27 |
2003-10-31 |
Soitec Silicon On Insulator |
Procede de fabrication d'un substrat notamment pour l'optique, l'electronique ou l'optoelectronique et substrat obtenu par ce procede
|
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FR2894990B1
(fr)
*
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2005-12-21 |
2008-02-22 |
Soitec Silicon On Insulator |
Procede de fabrication de substrats, notamment pour l'optique,l'electronique ou l'optoelectronique et substrat obtenu selon ledit procede
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|
FR2823599B1
(fr)
*
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2001-04-13 |
2004-12-17 |
Commissariat Energie Atomique |
Substrat demomtable a tenue mecanique controlee et procede de realisation
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FR2827423B1
(fr)
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2001-07-16 |
2005-05-20 |
Soitec Silicon On Insulator |
Procede d'amelioration d'etat de surface
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JP4526818B2
(ja)
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2001-07-17 |
2010-08-18 |
信越半導体株式会社 |
貼り合わせウエーハの製造方法
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FR2835095B1
(fr)
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2002-01-22 |
2005-03-18 |
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Procede de preparation d'ensembles a semi-conducteurs separables, notamment pour former des substrats pour l'electronique, l'optoelectrique et l'optique
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KR100511656B1
(ko)
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2002-08-10 |
2005-09-07 |
주식회사 실트론 |
나노 에스오아이 웨이퍼의 제조방법 및 그에 따라 제조된나노 에스오아이 웨이퍼
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US6911375B2
(en)
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2003-06-02 |
2005-06-28 |
International Business Machines Corporation |
Method of fabricating silicon devices on sapphire with wafer bonding at low temperature
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FR2857983B1
(fr)
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2003-07-24 |
2005-09-02 |
Soitec Silicon On Insulator |
Procede de fabrication d'une couche epitaxiee
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(en)
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2003-12-19 |
2010-08-10 |
Commissariat A L'energie Atomique |
Method of catastrophic transfer of a thin film after co-implantation
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(ja)
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2004-01-08 |
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株式会社Sumco |
Soiウェーハの作製方法
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System and method for hydrogen exfoliation
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FR2877491B1
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2004-10-29 |
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Soitec Silicon On Insulator |
Structure composite a forte dissipation thermique
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2005-01-07 |
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International Business Machines Corporation |
Quasi-hydrophobic Si-Si wafer bonding using hydrophilic Si surfaces and dissolution of interfacial bonding oxide
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(ja)
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2005-02-04 |
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Sumco Corp |
Soiウェーハの製造方法
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FR2890489B1
(fr)
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2005-09-08 |
2008-03-07 |
Soitec Silicon On Insulator |
Procede de fabrication d'une heterostructure de type semi-conducteur sur isolant
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JP2007242972A
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2006-03-09 |
2007-09-20 |
Shin Etsu Handotai Co Ltd |
Soiウェーハの製造方法
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2006-07-20 |
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Sumco Corp |
貼り合わせウェーハの製造方法
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(en)
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2006-09-14 |
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Nicholas Francis Borrelli |
Image sensor using thin-film SOI
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FR2910179B1
(fr)
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2006-12-19 |
2009-03-13 |
Commissariat Energie Atomique |
PROCEDE DE FABRICATION DE COUCHES MINCES DE GaN PAR IMPLANTATION ET RECYCLAGE D'UN SUBSTRAT DE DEPART
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FR2911430B1
(fr)
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2007-01-15 |
2009-04-17 |
Soitec Silicon On Insulator |
"procede de fabrication d'un substrat hybride"
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FR2912259B1
(fr)
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2007-02-01 |
2009-06-05 |
Soitec Silicon On Insulator |
Procede de fabrication d'un substrat du type "silicium sur isolant".
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FR2913528B1
(fr)
*
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2007-03-06 |
2009-07-03 |
Soitec Silicon On Insulator |
Procede de fabrication d'un substrat comportant une couche d'oxyde enterree pour la realisation de composants electroniques ou analogues.
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US7767542B2
(en)
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2007-04-20 |
2010-08-03 |
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd |
Manufacturing method of SOI substrate
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US7619283B2
(en)
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2007-04-20 |
2009-11-17 |
Corning Incorporated |
Methods of fabricating glass-based substrates and apparatus employing same
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US7763502B2
(en)
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2007-06-22 |
2010-07-27 |
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd |
Semiconductor substrate, method for manufacturing semiconductor substrate, semiconductor device, and electronic device
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JP5386856B2
(ja)
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2008-06-03 |
2014-01-15 |
株式会社Sumco |
貼り合わせウェーハの製造方法
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JP5478199B2
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2008-11-13 |
2014-04-23 |
株式会社半導体エネルギー研究所 |
半導体装置の作製方法
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JP5310004B2
(ja)
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2009-01-07 |
2013-10-09 |
信越半導体株式会社 |
貼り合わせウェーハの製造方法
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JP5607399B2
(ja)
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2009-03-24 |
2014-10-15 |
株式会社半導体エネルギー研究所 |
Soi基板の作製方法
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CN102986020A
(zh)
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2013-03-20 |
康宁股份有限公司 |
对绝缘体基材上的硅进行精整的方法
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Modulating implantation for improved workpiece splitting
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JP5802436B2
(ja)
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2011-05-30 |
2015-10-28 |
信越半導体株式会社 |
貼り合わせウェーハの製造方法
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JP5587257B2
(ja)
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2011-07-06 |
2014-09-10 |
信越半導体株式会社 |
イオン注入機の基板保持具の劣化判定方法
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CN102386123B
(zh)
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2011-07-29 |
2013-11-13 |
上海新傲科技股份有限公司 |
制备具有均匀厚度器件层的衬底的方法
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CN102347219A
(zh)
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2011-09-23 |
2012-02-08 |
中国科学院微电子研究所 |
形成复合功能材料结构的方法
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JP5670303B2
(ja)
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2011-12-08 |
2015-02-18 |
信越半導体株式会社 |
イオン注入機の基板保持具の劣化判定方法
|
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JP5927894B2
(ja)
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2011-12-15 |
2016-06-01 |
信越半導体株式会社 |
Soiウェーハの製造方法
|