JP2016197241A - パターン形成方法、及びパターン形成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2011年11月4日に出願された日本国特願2011−242788号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
図1は、本実施形態に係る基板処理装置100の構成を示す模式図である。
図1に示すように、基板処理装置100は、帯状の基板(例えば、帯状のフィルム部材)Sを供給する基板供給部2と、基板Sの表面(被処理面)Saに対して処理を行う基板処理部(パターン形成装置)3と、基板Sを回収する基板回収部4と、これらの各部を制御する制御部CONTと、を有している。基板処理部3は、基板供給部2から基板Sが送り出されてから、基板回収部4によって基板Sが回収されるまでの間に、基板Sの表面に各種処理を実行する。
この基板処理装置100は、基板S上に例えば有機EL素子、液晶表示素子等の表示素子(電子デバイス)を形成する場合に用いることができる。
なお、基板供給部2は、ロール状に巻かれた基板Sを送り出す機構に限定されず、帯状の基板Sをその長さ方向に順次送り出す機構(例えばニップ式の駆動ローラ等)を含むものであればよい。
図2及び図3に示すように、基板処理部3は、第1ローラー11(回転ローラー)、ニップローラー11a(回転ローラー)、第2ローラー12(回転ローラー)、ニップローラー12a(回転ローラー)、筐体13及び加工処理装置10としての露光装置EXを有している。
第2ローラー12は、筐体13に対して基板Sの搬送方向の下流側(+X軸側)においてY軸に平行に配置され、Y軸と平行な回転軸を中心としてモータ等によって回転可能に設けられている。基板Sは、第2ローラー12とニップローラー12aとによって挟持され、+X軸方向に向かって矢印Dxのように搬送されるように支持される。
なお、筐体13の+Z軸側には、投影露光方式の場合には投影光学系PLが配置され、プロキシミティ露光方式の場合には、マスクステージ部MSTが配置される。
(1)2つのローラー(11、12)から基板Sの中央に向けて、X軸方向に30mmピッチ毎にY軸方向収縮量を求め、その変化分が0.3μm以下〔収縮変化率がほぼゼロ〕。
(2)変化分が0.3μm以下になっている範囲全体のうち、収縮した基板Sの幅TD1の絶対値の変化幅が1.5μm以内。
しかしながら、厚みtが極端に薄かったり、表面に何らかの薄膜を積層したりしている場合は、線Sim2よりも左下に結果が出現することもあり得るが、境界線BSの右上に出現することはない。
Sv=k・Mv・(1+A)、或いは、Sv・(1−A)=k・Mv…(1)
但し、kは、近接露光方式なら1、投影露光方式なら投影系の倍率である。
例えば、上述の図2、図3の構成では、アライメントカメラ18は投影領域EAの−X軸方向の位置に一組しか設けられていなかった。しかし、図9に示すように、投影領域EAの−X軸方向の位置に配置した一組のアライメントカメラ18a,18d、投影領域EAとほぼ同じX軸方向位置に配置した一組のアライメントカメラ18b,18e、そして投影領域EAの後方の位置(+X軸方向の位置、又は、基板Sの搬送方向に関して投影領域EAの下流位置)に配置した一組のアライメントカメラ18c,18f、の計6個のアライメントカメラ(顕微鏡撮像システム)を設けても良い。
図10、図11は、プロキシミティ方式による走査露光装置の構成を示し、マスクステージMSTは、固定子LMaと可動子LMbを有するリニアモータ機構LMによって精密に駆動される。
また、本構成では、投影領域EAのX軸方向の幅を充分に小さくすることになるので、図4、図5〜図8で説明した安定領域Wxの幅を狭くでき、第1ローラー11と第2ローラー12の間隔(距離L)も短くできることから、装置全体を小型にできる。
本実施形態において、基板ステージ機構14は、気体層形成部として、気体供給装置、気体供給路、及び複数の供給口等を含む。
Xpd<L<(Xpd+2Np)…(2)
Claims (15)
- 可撓性を有する長尺のシート基板を長尺方向に搬送し、前記シート基板の被処理面に電子デバイス用のパターンを形成するパターン形成方法であって、
前記シート基板の長尺方向に距離Lだけ離れた2ヶ所の位置の各々を案内部材によって支持しつつ、前記シート基板の前記2ヶ所の位置の間に、前記長尺方向と直交する短尺方向の寸法が所定の度合いで収縮してからほぼ一定となる安定領域が前記長尺方向に所定幅で形成されるように、前記シート基板の前記距離Lの部分に前記長尺方向の張力を付与する段階と、
前記シート基板の前記安定領域に対応した前記被処理面の平坦な部分に前記電子デバイス用のパターンを形成する段階と、
を含むパターン形成方法。 - 請求項1に記載のパターン形成方法であって、
前記案内部材は、前記シート基板の前記被処理面、又は裏側の面と接触して回転可能なローラー、或いは前記シート基板を挟持するニップローラーを含む、
パターン形成方法。 - 請求項2に記載のパターン形成方法であって、
前記パターンを形成する段階は、マスクに形成された前記パターンを投影方式、又はプロキシミティ方式で露光する露光装置、DMDを使ったマスクレス露光装置、レーザスポットを走査してパターン描画を行うプリンタ、或いはインクジェットプリンタのいずれかによって実施される、
パターン形成方法。 - 請求項2に記載のパターン形成方法であって、
前記パターンを形成する段階は、前記パターンを投影方式、又はプロキシミティ方式で露光する露光装置、DMDを使ったマスクレス露光装置、レーザスポットを走査してパターン描画を行うプリンタのいずれかによって実施され、
前記パターンを形成する際は、前記シート基板の前記安定領域に対応した裏側の面を基板支持部材によって平坦に保持することを含む、
パターン形成方法。 - 請求項4に記載のパターン形成方法であって、
前記基板支持部材は、前記安定領域に対応した前記シート基板の裏側の面を吸着保持する平面ホルダを含む、
パターン形成方法。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載のパターン形成方法であって、
前記パターンが形成される前記シート基板の被処理面上のパターン領域の前記長尺方向の幅が、前記安定領域の前記所定幅内に収まるように、前記案内部材の間の前記距離Lを設定する、
パターン形成方法。 - 可撓性を有する長尺のシート基板を長尺方向に搬送し、前記シート基板の被処理面に電子デバイス用のパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記シート基板の長尺方向に距離Lだけ離れた2ヶ所の位置の各々を案内部材で支持しつつ、前記シート基板を前記長尺方向に搬送する搬送機構と、
前記シート基板の前記2ヶ所の位置の間に、前記長尺方向と直交する短尺方向の寸法が所定の度合いで収縮してからほぼ一定となる安定領域が前記長尺方向に所定幅で形成されるように、前記シート基板の前記距離Lの部分に前記長尺方向の張力を付与する張力付与機構と、
前記シート基板の前記安定領域に対応した前記被処理面に前記電子デバイス用のパターンを形成するパターン形成部と、
を備えるパターン形成装置。 - 請求項7に記載のパターン形成装置であって、
前記パターン形成部は、マスクに形成された前記パターンを投影方式、又はプロキシミティ方式で露光する露光装置、DMDを使ったマスクレス露光装置、レーザスポットを走査してパターン描画を行うプリンタ、或いはインクジェットプリンタのいずれかによって構成される、
パターン形成装置。 - 請求項8に記載のパターン形成装置であって、
前記2ヶ所に位置する前記案内部材の前記距離Lは、前記パターンが形成される前記シート基板の被処理面上のパターン領域の前記長尺方向の幅が前記安定領域の前記所定幅内に収まるように設定される、
パターン形成装置。 - 請求項8に記載のパターン形成装置であって、
前記パターン形成部は、前記シート基板の前記被処理面の裏側の面の一部分であって、前記安定領域となる部分を平坦に保持する基板支持部材を備える、
パターン形成装置。 - 請求項10に記載のパターン形成装置であって、
前記基板支持部材は、前記安定領域に対応した前記シート基板の裏側の面を吸着保持する平面ホルダを含む、
パターン形成装置。 - 可撓性を有する長尺のシート基板の被処理面にパターンを形成するパターン形成方法であって、
前記シート基板の長尺方向に距離Lだけ離れた2ヶ所の位置の各々を支持部材によって支持し、前記2ヶ所の位置の各々の近傍には、前記シート基板の前記長尺方向と直交する短尺方向の寸法が所定の度合いで収縮する非線形領域が形成され、前記2ヶ所の位置の中央部には、前記短尺方向の寸法がほぼ一定となる安定領域が前記長尺方向に所定幅で形成されるように、前記2ヶ所の前記支持部材の間の前記シート基板に前記長尺方向の張力を付与する段階と、
前記シート基板の前記非線形領域または前記安定領域において、加工処理装置によって前記シート基板の前記被処理面に前記パターンを転写する段階と、
前記転写する段階の際に、前記加工処理装置によって転写される前記パターンと前記シート基板との前記短尺方向の相対的なスケーリングが設定されるように前記張力を調整する段階と、
を含むパターン形成方法。 - 請求項12に記載のパターン形成方法であって、
前記2ヶ所の位置の前記距離Lは、前記パターンが形成される前記シート基板の被処理面上のパターン領域の前記長尺方向の幅が前記安定領域の前記所定幅内に収まるように設定される、
パターン形成方法。 - 請求項12に記載のパターン形成方法であって、
前記加工処理装置による前記パターンの転写領域を前記短尺方向に延びたスリット状にする場合は、前記シート基板の前記非線形領域と前記安定領域のいずれか一方に前記スリット状の転写領域を設定し、前記調整された張力が保たれた状態で前記シート基板を前記長尺方向に所定速度で搬送する、
パターン形成方法。 - 請求項12〜14のいずれか一項に記載のパターン形成方法であって、
前記加工処理装置は、平面マスク又は円筒マスクを使った走査型露光装置、マイクロレンズアレイによる小マスクパターンの投影器、マスクレスの光パターンジェネレータ、レーザスポットによる走査描画器、インクジェットプリンタのうちのいずれか1つである、
パターン形成方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018105906A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
KR20190091861A (ko) * | 2018-01-29 | 2019-08-07 | 충북대학교 산학협력단 | 구리 전극 제작 방법 및 구리 전극 제작 시스템 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108227408B (zh) * | 2013-04-30 | 2020-02-14 | 株式会社尼康 | 曝光装置及曝光方法 |
CN110297403B (zh) * | 2014-09-04 | 2023-07-28 | 株式会社尼康 | 处理系统 |
JP5799181B1 (ja) | 2015-01-07 | 2015-10-21 | 住友化学株式会社 | 有機電子素子の製造方法 |
JP6447151B2 (ja) | 2015-01-14 | 2019-01-09 | 株式会社Ihi | テンション制御装置及び搬送装置 |
CN108919610B (zh) * | 2015-02-27 | 2021-02-02 | 株式会社尼康 | 基板处理装置及元件制造方法 |
JP2019079594A (ja) * | 2016-03-18 | 2019-05-23 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の発光パターン形成方法 |
JP2019079595A (ja) * | 2016-03-18 | 2019-05-23 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子のパターニング方法及びパターニング装置 |
KR102379193B1 (ko) * | 2016-05-19 | 2022-03-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 지지 장치, 노광 장치, 및 패터닝 장치 |
CN106226968B (zh) * | 2016-09-30 | 2018-11-09 | 成都捷翼电子科技有限公司 | 一种卷对卷柔性电子纸贴合装置及贴合方法 |
JP6824713B2 (ja) * | 2016-11-30 | 2021-02-03 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、型、および物品の製造方法 |
JP6461235B2 (ja) * | 2017-05-22 | 2019-01-30 | キヤノントッキ株式会社 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
WO2019089518A1 (en) | 2017-10-30 | 2019-05-09 | Corning Incorporated | Systems and methods for processing thin glass ribbons |
JP7058385B2 (ja) * | 2018-03-23 | 2022-04-22 | 株式会社浅野研究所 | 差圧成形装置、及び、差圧成形方法 |
MX2021002774A (es) * | 2018-09-10 | 2021-05-12 | Ball Corp | Método y aparato para controlar una operación realizada en una lámina continua de material. |
TW202100832A (zh) * | 2019-03-11 | 2021-01-01 | 以色列商核心流有限公司 | 用於卷對卷製程之流體流腹板張力裝置 |
CN109850657B (zh) * | 2019-04-15 | 2022-09-06 | 厦门前润科技有限公司 | 一种高延展柔性材料的分切机及其恒定宽度的控制方法 |
JP7223211B2 (ja) | 2019-12-31 | 2023-02-15 | ゼジアン シャオシン スーポア ドメスティック エレクトリカル アプライアンス カンパニー リミテッド | 調理器具 |
CN112340455B (zh) * | 2020-11-10 | 2022-02-08 | 深圳市全洲自动化设备有限公司 | 一种为玻璃工件贴偏光片的贴片生产线 |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6019037U (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-08 | 株式会社リコー | 露光装置 |
JPS60205452A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Canon Inc | 露光方法 |
JP2000035677A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Adtec Engineeng:Kk | 露光装置 |
JP2000075497A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-14 | Adtec Engineeng Co Ltd | 露光装置 |
JP2002294547A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Konica Corp | 布帛捺染装置 |
JP2003312911A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Nsk Ltd | 偏張力補償機構及び該機構を備える露光装置 |
JP2004341279A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ |
JP2004341280A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ |
JP2005053615A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Canon Sales Co Inc | 加工装置 |
JP2005129935A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Hewlett-Packard Development Co Lp | ロールツーロール工程におけるウェブの変形を補正するための方法およびシステム |
JP2006098727A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 伸縮状態の検出手段を設けた長尺の可撓性記録媒体と、この可撓性記録媒体に伸縮状態を補正して画像を描画可能な描画方法及び装置 |
JP2006106097A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録装置及び画像記録方法 |
JP2008076949A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | アライメント用フィルム固定位置決め装置 |
JP2010014939A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Nikon Corp | 回路素子の製造装置及び製造方法 |
JP2010217207A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Nikon Corp | 転写装置、転写方法、及びデバイス製造方法 |
JP2011022584A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-03 | Nikon Corp | パターン形成装置及びパターン形成方法、並びにデバイス製造方法 |
JP2011033907A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Nikon Corp | 照明装置、露光装置、照明方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
WO2011129369A1 (ja) * | 2010-04-13 | 2011-10-20 | 株式会社ニコン | 露光装置、基板処理装置及びデバイス製造方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5481463A (en) * | 1977-12-12 | 1979-06-28 | Fuji Electric Co Ltd | Take-up motion system |
JP2758110B2 (ja) * | 1992-10-15 | 1998-05-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 殖版式画像記録装置 |
JPH0784291B2 (ja) * | 1993-01-20 | 1995-09-13 | クインライト電子精工株式会社 | 可撓性シート状物の耳端揃え装置 |
JP2000302290A (ja) * | 1999-04-21 | 2000-10-31 | Kyocera Corp | 用紙供給装置 |
JP2001192158A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-07-17 | Mas Fab Wifag | ウェブ幅補正のための回転体構造 |
JP4060734B2 (ja) * | 2003-03-06 | 2008-03-12 | Tdk株式会社 | 搬送方法、搬送装置、塗布方法及び塗布物製造方法 |
US8547592B2 (en) * | 2003-11-03 | 2013-10-01 | Xeikon Ip Bv | Device and method for digital exposure |
JP2006098726A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | アライメント部の校正方法と、アライメント校正可能な描画装置と、搬送装置 |
WO2006100868A1 (ja) | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 有機化合物層の形成方法、有機el素子の製造方法、有機el素子 |
US7311234B2 (en) * | 2005-06-06 | 2007-12-25 | The Procter & Gamble Company | Vectored air web handling apparatus |
JP2008233112A (ja) * | 2005-06-22 | 2008-10-02 | Fujifilm Holdings Corp | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに表示装置 |
US20070148337A1 (en) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Nichols Jonathan A | Flame-perforated aperture masks |
CN101274720B (zh) * | 2007-03-27 | 2010-05-19 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种带钢张力调节方法及装置 |
CN100572242C (zh) * | 2008-01-18 | 2009-12-23 | 济南大学 | 用于预应力模具制造的变张力钢带缠绕装置及其控制方法 |
KR100953495B1 (ko) * | 2008-05-21 | 2010-04-16 | 건국대학교 산학협력단 | 롤투롤 방식 인쇄 방법 및 장치 |
US8541163B2 (en) | 2009-06-05 | 2013-09-24 | Nikon Corporation | Transporting method, transporting apparatus, exposure method, and exposure apparatus |
JP2011037587A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 基板搬送位置制御装置 |
CN102803109B (zh) * | 2010-02-12 | 2015-04-22 | 株式会社尼康 | 用于带状片材基板的搬送装置及处理装置 |
-
2012
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-
2014
- 2014-09-05 JP JP2014181202A patent/JP5822016B2/ja active Active
-
2015
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-
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-
2018
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Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6019037U (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-08 | 株式会社リコー | 露光装置 |
JPS60205452A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Canon Inc | 露光方法 |
JP2000035677A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Adtec Engineeng:Kk | 露光装置 |
JP2000075497A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-14 | Adtec Engineeng Co Ltd | 露光装置 |
JP2002294547A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Konica Corp | 布帛捺染装置 |
JP2003312911A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Nsk Ltd | 偏張力補償機構及び該機構を備える露光装置 |
JP2004341279A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ |
JP2004341280A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ |
JP2005053615A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Canon Sales Co Inc | 加工装置 |
JP2005129935A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Hewlett-Packard Development Co Lp | ロールツーロール工程におけるウェブの変形を補正するための方法およびシステム |
JP2006098727A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 伸縮状態の検出手段を設けた長尺の可撓性記録媒体と、この可撓性記録媒体に伸縮状態を補正して画像を描画可能な描画方法及び装置 |
JP2006106097A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録装置及び画像記録方法 |
JP2008076949A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | アライメント用フィルム固定位置決め装置 |
JP2010014939A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Nikon Corp | 回路素子の製造装置及び製造方法 |
JP2010217207A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Nikon Corp | 転写装置、転写方法、及びデバイス製造方法 |
JP2011022584A (ja) * | 2009-07-17 | 2011-02-03 | Nikon Corp | パターン形成装置及びパターン形成方法、並びにデバイス製造方法 |
JP2011033907A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Nikon Corp | 照明装置、露光装置、照明方法、露光方法及びデバイス製造方法 |
WO2011129369A1 (ja) * | 2010-04-13 | 2011-10-20 | 株式会社ニコン | 露光装置、基板処理装置及びデバイス製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018105906A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
KR20190091861A (ko) * | 2018-01-29 | 2019-08-07 | 충북대학교 산학협력단 | 구리 전극 제작 방법 및 구리 전극 제작 시스템 |
KR102100550B1 (ko) | 2018-01-29 | 2020-04-13 | 충북대학교 산학협력단 | 구리 전극 제작 방법 및 구리 전극 제작 시스템 |
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