JPS6019037U - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JPS6019037U
JPS6019037U JP11132883U JP11132883U JPS6019037U JP S6019037 U JPS6019037 U JP S6019037U JP 11132883 U JP11132883 U JP 11132883U JP 11132883 U JP11132883 U JP 11132883U JP S6019037 U JPS6019037 U JP S6019037U
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JP
Japan
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exposure
photomask
cylindrical
slit
feed roller
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JP11132883U
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Inventor
酒井　重幸
Original Assignee
株式会社リコー
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の装置の説明図、第２図は同じ〈従来の装
置における光学系の説明図、第３図、第４図、第５図は
この考案の各実施例を示す説明図、第６図は第５図の要
部を示す斜面図である。 図中符号、１はフォトマスク、２は光ｉ、：Ｈｔ。 被露光物、４は露光スリット、５は透明ローラー、６は
送りローラーを示す。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）円棒状の光源の軸を中心として回転する円筒状に
    形成されたフォトマスクと、シート状の被露光物を該フ
    ォトマスクの外周部に近接して連続的に走行させる機構
    とからなる露出装置。
  2. （２）該披露光物は可撓性長尺シーＩ・であって、前記
    被露光物走行機構は、該円筒状フォトマスクの回転軸と
    平行な軸を中心として回転しその外周面に沿って被露光
    物を走行させる送りローラーである実用新案登録請求の
    範囲第１項の露光装置。
  3. （３）　　該円筒状フォトマスクと送りローラーとの間
    に露光スリットが介設され、該スリットを通して露光す
    るようにした実用新案登録請求の範囲第２項の露光装置
    。
JP11132883U 1983-07-18 1983-07-18 露光装置 Pending JPS6019037U (ja)

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