JP2003312911A - 偏張力補償機構及び該機構を備える露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 幅方向に関して薄板材における張力の分布を
均一にすることができる偏張力補償機構及び該機構を備
える露光装置を提供する。 【解決手段】 露光装置１００は、フープ材１１を搬送
する搬送装置１０と、フープ材１１にマスクパターン転
写露光を行う露光部４０とを備える。搬送装置１０は、
フープ材１１を送るローラユニット２０と、ローラユニ
ット２０によって送られるフープ材１１に張力を加える
ローラユニット３０とを備える。ローラユニット２０
は、フレーム部５０と、フレーム部５０をθ方向に旋回
自在に支持する軸受５９と、旋回制御機構８０を備え
る。旋回制御機構８０は、通常、フープ材１１に垂直な
軸の回りに旋回自在なフレーム部５０の旋回を固定し、
Ｙ方向に関してフープ材１１を位置決めする際に、フレ
ーム部５０の旋回固定を解除し、フレーム部５０は旋回
してＹ方向に関してフープ材１１の偏張力を補償する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、偏張力補償機構及
び該機構を備える露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＩＣパッケージ基板等の材料
（鉄、銅、又は樹脂フィルム）に露光処理を行う露光装
置は、フープ材と呼ばれる材料としての薄板材を送る送
りローラと、送りローラによって送られる薄板材を引っ
張る張力ローラとを有する。張力ローラは、特に薄板材
を材料の対象とした露光装置においては、薄板材が弛ま
ないように薄板材に張力を与えるものであり、この張力
は、張力ローラ及び薄板材間の摩擦力並びに送りローラ
及び薄板材間の摩擦力によって発生する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、張力ロ
ーラ又は送りローラの形状精度や回転運動精度、張力ロ
ーラ及び送りローラ間の相対位置精度が必ずしも良好で
はなく、加えて張力ローラ若しくは送りローラの表面状
態の不均一性や薄板材の表面状態の不均一性、又は張力
ローラ若しくは送りローラの薄板材への押付け状態の不
均一性に起因して、薄板材の幅方向に関して張力ローラ
又は送りローラ及び薄板材間の摩擦力が偏り、もって薄
板材の幅方向に関して張力の分布に偏りが発生する（以
下、分布が偏った張力を「偏張力」という）。

【０００４】薄板材にその幅方向に関して偏張力が発生
している場合に、基準穴開け加工やマスクパターン転写
露光を行う際には、前回のパターンとの相対位置精度を
確保しようとしても、前回の基準穴位置やパターンが歪
んでいては、確保するのが困難となってしまう。

【０００５】本発明の目的は、幅方向に関して薄板材に
おける張力の分布を均一にすることができる偏張力補償
機構及び該機構を備える露光装置に関する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の偏張力補償機構は、送りローラによ
って送られる薄板材に張力を与える張力ローラによる前
記薄板材への張力の偏りを補償する偏張力補償機構にお
いて、前記送りローラ及び前記張力ローラの少なくとも
一方を前記薄板材に垂直な軸の回りに旋回自在に支持す
る支持手段を備えることを特徴とする。

【０００７】請求項１記載の偏張力補償機構によれば、
送りローラ及び張力ローラの少なくとも一方を薄板材に
垂直な軸の回りに旋回自在に支持するので、送りローラ
及び張力ローラの少なくとも一方の旋回が自然に所定の
位置で停止し、もって幅方向に関して薄板材における張
力の分布を均一にすることができる。

【０００８】請求項２記載の偏張力補償機構は、請求項
１記載の偏張力補償機構において、前記支持手段は、前
記送りローラ及び前記張力ローラの少なくとも一方の旋
回を阻止する旋回阻止手段を備えることを特徴とする。

【０００９】請求項２記載の偏張力補償機構によれば、
送りローラ及び張力ローラの少なくとも一方の旋回を阻
止するので、送りローラ及び張力ローラの少なくとも一
方の旋回を阻止しているときは、薄板材を送り方向に安
定して送ることができる。

【００１０】請求項３記載の偏張力補償機構は、請求項
２記載の偏張力補償機構において、前記支持手段は、前
記薄板材への張力の偏りを補償するときに、前記送りロ
ーラ及び前記張力ローラの少なくとも一方の旋回を開放
する旋回開放手段を備えることを特徴とする。

【００１１】請求項３記載の偏張力補償機構によれば、
薄板材への張力の偏りを補償するときに、送りローラ及
び張力ローラの少なくとも一方の旋回を開放するので、
薄板材への張力の偏りを補償するときに請求項１による
効果を確実に奏することができる。

【００１２】請求項４記載の偏張力補償機構は、請求項
３記載の偏張力補償機構において、前記旋回開放手段
は、前記送りローラ及び前記張力ローラの少なくとも一
方における旋回の開放を、前記旋回阻止手段による旋回
阻止を解除することによって行うことを特徴とする。

【００１３】請求項４記載の偏張力補償機構によれば、
送りローラ及び張力ローラの少なくとも一方の旋回阻止
を解除することによって送りローラ及び張力ローラの少
なくとも一方の旋回を開放するので、送りローラ及び張
力ローラの少なくとも一方の旋回を容易に開放すること
ができる。

【００１４】請求項５記載の偏張力補償機構は、請求項
１乃至４のいずれか１項に記載の偏張力補償機構におい
て、前記支持手段は、前記送りローラを前記薄板材に垂
直な軸の回りに旋回自在に支持する第１の支持手段と、
前記張力ローラを前記薄板材に垂直な軸の回りに旋回自
在に支持する第２の支持手段とから成ることを特徴とす
る。

【００１５】請求項５記載の偏張力補償機構によれば、
送りローラを薄板材に垂直な軸の回りに旋回自在に支持
すると共に、張力ローラを薄板材に垂直な軸の回りに旋
回自在に支持するので、送りローラ及び張力ローラの双
方の旋回がそれぞれ自然に所定の位置で停止し、もって
幅方向に関して薄板材における張力の分布を容易に均一
にすることができる。

【００１６】上記目的を達成するために、請求項６記載
の露光装置は、前記送りローラは前記薄板材を一方向に
断続的に送り、前記断続的に送られた薄板材の所定部分
を露光する露光手段を備える露光装置において、請求項
１乃至５のいずれか１項に記載の偏張力補償機構を備え
ることを特徴とする。

【００１７】請求項６記載の露光装置によれば、送りロ
ーラによって一方向に断続的に送られた薄板材の所定部
分を露光する露光装置において、請求項１乃至５のいず
れか１項に記載の偏張力補償機構を備えるので、露光す
る前に断続的に送られた薄板材の幅方向に関する張力の
分布を均一にすることができる。

【００１８】上記目的を達成するために、請求項７記載
の露光装置は、前記送りローラは前記薄板材を一方向に
断続的に送り、前記断続的に送られた薄板材の所定部分
を露光する露光手段と、前記露光手段により露光される
薄板材の所定部分を幅方向に関して位置決めする位置決
め手段とを備える露光装置において、請求項５記載の偏
張力補償機構を備えることを特徴とする。

【００１９】請求項７記載の露光装置によれば、送りロ
ーラによって一方向に断続的に送られた薄板材の露光さ
れる所定部分を幅方向に関して位置決めすることによ
り、露光される薄板材の所定部分を位置決めするのを効
率的に行うことができる機能を有し、請求項５記載の偏
張力補償機構を備えることにより、送りローラ及び張力
ローラの双方を旋回可能としたので、幅方向に関する薄
板材の位置決めを行う際にも幅方向に関して薄板材にお
ける張力の分布を均一にすることができる。

【００２０】請求項８記載の露光装置は、請求項６又は
７記載の露光装置において、前記支持手段は、前記送り
ローラによる前記薄板材の送りを行った後から前記薄板
材の所定部分の露光を１回終了するまでの間、前記送り
ローラ及び前記張力ローラの少なくとも一方を前記薄板
材に垂直な軸の回りに旋回自在に支持することを特徴と
する。

【００２１】請求項８記載の露光装置によれば、薄板材
の所定部分を位置決めし露光する場合において、送りロ
ーラによる薄板材の送りを行った後から所定部分の露光
を１回終了するまでの間に、送りローラ及び張力ローラ
の少なくとも一方を薄板材に垂直な軸の回りに旋回自在
に支持するので、位置決め、露光等の際に薄板材の張力
の偏りを除くことができ、所定部分を正確に位置決めす
ることができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
偏張力補償機構を図面を参照しながら説明する。

【００２３】図１は、本発明の実施の形態に係る偏張力
補償機構を備える露光装置の主要部の概略構成を示す平
面図である。

【００２４】図１において、露光装置１００は、薄板材
としてのフープ材１１を水平状態で搬送する搬送装置１
０と、マスクを介する露光によりフープ材１１に所定の
パターンを転写するマスクパターン転写露光を行う後述
する露光部４０とを備える。

【００２５】搬送装置１０は、フープ材１１を巻き取る
巻取りボビン１２と、巻取りボビン１２を回転駆動させ
る巻取りモータ１３と、巻き取られるフープ材１１を巻
き出す巻出しボビン１４と、巻出しボビン１４を回転駆
動させる巻出しモータ１５とを備え、さらに、巻き取ら
れるフープ材１１を後述の１ピッチ分ずつ断続的に送る
ローラユニット２０と、ローラユニット２０によって送
られるフープ材１１に張力を加え、ローラユニット２０
との間でフープ材１１に弛みが生じるのを防止するロー
ラユニット３０とを備える。ローラユニット２０，３０
は同じ構成から成り、ローラユニット２０に着目してロ
ーラユニット２０の概略構成を図２を用いて後述する。
露光部４０は、ローラユニット２０，３０の間に配され
ている。ローラユニット２０によるフープ材１１の送り
量に合わせてフープ材１１は、巻取りボビン１２によっ
て巻き取られると共に、巻出しボビン１４から巻出され
る。

【００２６】搬送装置１０は、また、露光部４０とロー
ラユニット２０，３０との間においてローラユニット３
０側から順に、フープ材１１の側縁の位置を検出する側
縁アライメント用ＣＣＤカメラ３１と、フープ材１１の
両側縁の内側に基準穴を開ける一対のパンチ３２とを有
する。

【００２７】露光部４０は、中央部に開口部を有すると
共にＸ方向（フープ材１１の搬送方向）、Ｙ方向（Ｘ方
向と鉛直方向とに直角に交差する方向）（幅方向）、θ
方向（鉛直軸（薄板材に垂直な軸）の回りの旋回方向）
に移動自在なマスクホルダ３３と、マスクホルダ３３を
支持する不図示のＸＹθステージと、ＸＹθステージに
対し、マスクホルダ３３をＸ方向，Ｙ方向，θ方向に移
動又は旋回させる不図示のアクチュエータとを備える。
ＸＹθステージは、Ｚ方向（鉛直方向）に移動可能に構
成されている。マスクホルダ３３の底面の中央部には、
露光により転写すべきパターンに応じたパターン３４ａ
を有する、例えばガラス製のマスク３４が例えば吸着等
により保持されている。更に、露光部４０は、鉛直方向
上方から開口部を通して露光光を照射する不図示の露光
光源と、Ｘ方向，Ｙ方向，及びθ方向に関してマスクホ
ルダ３３を位置決めするための一対の前側アライメント
用ＣＣＤカメラ３６及び一対の後側アライメント用ＣＣ
Ｄカメラ３７とを備える。パンチ３２及びＣＣＤカメラ
３６，３７は、それぞれの中心位置がフープ材１１のＸ
方向に関して順に等間隔で配されている。この等間隔の
間隔に等しいフープ材１１（材料）の送り量をピッチと
いう。

【００２８】不図示のＸＹθステージには、上述のよう
にマスクホルダ３３を位置決めするために、マスクホル
ダ３３をわずかに移動させる不図示のアクチュエータ３
台が設けられている。

【００２９】マスク３４には、ＣＣＤカメラ３６，３７
によってマスクホルダ３３を容易に位置決めするために
マスクアライメント用マークが付与されている。

【００３０】図２は、図１におけるローラユニット２０
の概略構成を示す部分断面図である。

【００３１】ローラユニット２０は、フレーム部５０の
筐体としてのフレーム５１と、フレーム５１により軸受
５２を介して回転自在に支持され、フープ材１１を下か
ら保持するローラ５３と、ローラ５３を回転駆動させる
モータ５３ａと、フープ材１１を鉛直方向上方から保持
するニップローラ５４と、ニップローラ５４を回転自在
に支持する軸受５５を介してニップローラ５４を鉛直方
向に摺動自在に支持するための、スライダ５６及びガイ
ド５７からなるガイド装置と、フレーム部５０の頂部に
設けられ、スライダ５６を鉛直方向に駆動するシリンダ
部５８とを備える。

【００３２】ローラユニット２０は、さらに、フレーム
部５０の下面において中央部に設けられている軸受５９
を介してフレーム部５０をθ方向に旋回自在に支持する
ＥＰＣステージ６０と、ＥＰＣステージ６０をＹ方向に
移動自在とするＹ移動機構７０とを備える。Ｙ移動機構
７０は、ベース６３に支持された送りネジ機構７３を備
え、送りネジ機構７３は、ブラケットを介してＥＰＣス
テージ６０に固定されているナット７２と、軸受を介し
てベース６３により回転自在に支持される送りネジ７１
と、送りネジ７１を回転駆動させるモータ７４と、送り
ネジ７１を挟んで両側に平行に配された一対のガイド装
置から成る。このガイド装置は、ベース６３に固定され
たガイド６２と、ＥＰＣステージ６０に固定され、ガイ
ド６２上をＹ方向に移動可能なスライダ６１とから成
る。

【００３３】ローラユニット２０は、さらに、旋回制御
機構８０（旋回固定手段，旋回開放手段）として、フレ
ーム５１の下面に配された旋回固定突部８１と、軸受５
９を介してθ方向に旋回自在なフレーム部５０の旋回を
旋回固定突部８１を介して固定可能に支持する旋回固定
部８２とを備える。

【００３４】旋回固定部８２は２本のサイズの異なるエ
アシリンダが旋回固定突部８１を挟んで対向するように
配されたものであり、大きなサイズのエアシリンダは基
準側、小さなサイズのエアシリンダは押付側として機能
する。フレーム部５０の旋回固定を行う際には、これら
のエアシリンダの進退可能な可動部を突出させることに
より、旋回固定部８１を２本のエアシリンダで両側から
挟持させて、各ローラ５３，５４の軸方向がＹ方向と一
致するようにローラユニット２０を拘束する。なお、旋
回固定部８１は、上記構成に限られず、その可動部はエ
アシリンダの弾圧機構に代えて、送りネジ機構、カム機
構等各種のアクチュエータとしてもよい。また、これら
のアクチュエータが基準側、エアシリンダ等の弾圧機構
が押付側となるように組合わせてもよい。

【００３５】ローラユニット２０におけるローラ５３は
送りローラから成り、ローラユニット３０におけるロー
ラ５３は張力ローラから成る。

【００３６】次に、図１の露光装置１００の主要部の各
作動を説明する。

【００３７】露光装置１００は、ピッチ毎に定量送りさ
れたフープ材１１にマスクパターン転写露光を行う。こ
の定量送りはローラユニット２０のモータ５３ａにより
行われる。

【００３８】巻取りモータ１３は、ローラユニット２０
によるフープ材１１のピッチ毎の定量送りに合わせて、
ローラユニット２０の後側（図１の右側）へ送り出され
た分の巻取りを行う。フープ材１１は、巻取りボビン１
２によって巻き取られ、巻出しボビン１４によって巻き
出される。張力ローラ５３は、モータ５３ａによって張
力ローラ５３にトルクが与えられているときに、張力ロ
ーラ５３に当接するフープ材１１と、送りローラ５３に
当接するフープ材１１との間においてフープ材１１にＸ
方向に関して張力を与える。また、ローラ５３，５３
は、ニップローラ５４と共にフープ材１１を挟持し、フ
ープ材１１に摩擦力を与える。

【００３９】旋回制御機構８０は、通常は、鉛直軸の回
りに旋回自在なフレーム部５０の旋回を固定している。
フープ材１１に対してマスク３４を位置決めするために
整合動作を行うときには、フレーム部５０の旋回固定が
不図示の旋回制御装置により解除され、フレーム部５０
の旋回を開放する。

【００４０】ＥＰＣステージ６０は、Ｙ方向に関してフ
ープ材１１を位置決めするためのものであり、ローラ５
３とニップローラ５４との間にフープ材１１を挟持した
状態でフレーム部５０をＹ方向に移動させることによ
り、フープ材１１をＹ方向における所定位置へ移動す
る。

【００４１】ＣＣＤカメラ３１は、フープ材１１の側縁
の位置を検出するために、フープ材１１の側縁を撮影す
る。これにより、撮影されたフープ材１１の側縁の映像
を映像画像処理を施すことによって、フープ材１１の側
縁の位置を計測可能とする。

【００４２】ＣＣＤカメラ３６，３７は、Ｘ方向，Ｙ方
向，及びθ方向に関してマスクホルダ３３を位置決めす
るために、マスク３４上のマスクアライメント用マーク
と、フープ材１１にパンチ３２により開けられた露光用
の基準穴とを撮影する。これにより、撮影されたこれら
の映像を映像画像処理を施すことによって、マスク３４
上のマスクアライメント用マークと、フープ材１１に開
けられた露光用の基準穴との各位置を観察可能とする。

【００４３】また、不図示のＸＹθステージは、上記Ｃ
ＣＤカメラ３６，３７を介して映像画像処理が施された
結果に基づいて、フープ材１１に対してマスク３４を位
置決めするために整合動作を行う。

【００４４】露光部４０は、上記整合動作が終了して位
置決めされたマスク３４を介して不図示の露光光光源か
ら露光光を照射することによりフープ材１１に塗布され
た感光剤にマスク３４のパターンを転写する後述する図
３のマスクパターン転写露光処理を行う。この露光光の
照射は、不図示の露光シーケンス制御装置により制御さ
れる。

【００４５】以下、上記マスクパターン転写露光処理を
図３を参照しながら説明する。

【００４６】図３は、図１の露光装置１００によって実
行されるマスクパターン転写露光処理のフローチャート
である。

【００４７】図３において、まず、材料としてのフープ
材１１の上面に感光剤を塗布し、マスクホルダ３３の下
面にマスク３４を保持し、このマスク３４を感光剤が塗
布されているフープ材１１の上面に配置すると共に、ロ
ーラユニット２０，３０の各シリンダ５８を作動させて
フープ材１１をローラ５３，５４で挟持する（ステップ
Ｓ１）。なお、ステップＳ１の処理は、最初の１回のみ
行われればよい。次に、ローラユニット２０によりフー
プ材１１を１ピッチ分定量送りする（ステップＳ２）。

【００４８】そして、既に生じている偏張力の解消、あ
るいはＥＰＣステージ６０をＹ方向に関して位置決めす
ることによる偏張力が生じるのを防止するために、フレ
ーム部５０の旋回固定を開放し、フレーム部５０の旋回
固定が開放されるとフレーム部５０が旋回してフープ材
１１のＹ方向に関する偏張力を図４で後述するように補
償し（ステップＳ３）、さらに、ＣＣＤカメラ３１によ
り撮影された映像に基づいてフープ材１１の側縁（エッ
ジ）の位置を検出し、検出結果に基づいてフープ材１１
の位置を調整するためにＥＰＣステージ６０をＹ方向に
所定量移動させるＥＰＣ動作（エッジ位置調整動作）を
行う（ステップＳ４）。

【００４９】その後、マスクホルダ３３をＸ方向，Ｙ方
向，及びθ方向に関して位置決めするために、パンチ３
２，３２によりフープ材１１に次回露光用の基準穴を２
つ開け（ステップＳ５）、不図示のマスク−フープ材密
着制御装置により不図示のＸＹθステージを上下移動さ
せ、マスク３４とフープ材１１との吸着による密着を行
い、次いで、ＣＣＤカメラ３６，３７により撮影された
映像に基づいて、既に開けられている計４つの基準穴と
マスクアライメント用マークの中心点とのズレ量を検出
し（ステップＳ６）、上記密着を解除して、マスクホル
ダ３３を上記ズレ量分だけ駆動させる（ステップＳ
７）。ズレ量分だけ駆動させることにより、マスクホル
ダ３３をＸ方向，Ｙ方向，及びθ方向に関して位置決め
する。

【００５０】次に、再びマスク３４とフープ材１１との
密着を行い、次いで位置決めされたマスクホルダ３３の
下面に保持されているマスク３４を介して露光部４０が
備える露光光光源から露光光を照射することによりフー
プ材１１に塗布された感光剤にマスク３４のパターンを
転写して（ステップＳ８）、処理を終了する。

【００５１】以降、ステップＳ２〜Ｓ８の処理を繰り返
す。なお、ステップＳ６〜Ｓ８の処理は、計４つの基準
穴が開けられておらず露光光を照射することなくフープ
材１１の空送りになるので、最初の２回までは行われな
くてよい。

【００５２】図３の処理によれば、フレーム部５０が旋
回してＹ方向に関してフープ材１１の偏張力を補償する
ので（ステップＳ３）、ＥＰＣステージ６０をＹ方向に
関して正確に位置決めすることができる。

【００５３】また、フレーム部５０が旋回してＹ方向に
関してフープ材１１の偏張力を補償した後に（ステップ
Ｓ３）、ＣＣＤカメラ３６，３７により撮影された映像
に基づいて既に開けられている計４つの基準穴とマスク
アライメント用マークの中心点とのズレ量を検出して
（ステップＳ６）、マスクホルダ３３を上記ズレ量分だ
け駆動させ（ステップＳ７）、マスクホルダ３３をＸ方
向，Ｙ方向，及びθ方向に関して位置決めするので、マ
スクホルダ３３をＸ方向，Ｙ方向，及びθ方向に関して
より正確に位置決めすることができる。

【００５４】上記図１の露光装置１００は、マスク３４
とフープ材１１とに関する位置決め精度を高めるために
計４台のＣＣＤカメラ３６，３７を備えるとしたが、計
２台や計３台のＣＣＤカメラであってもよい。露光装置
１００が計２台のＣＣＤカメラを備えるときは、位置決
め精度を向上させるために、計２台のＣＣＤカメラはマ
スク３４の対角線上に配置されることが好ましい。しか
しながら、本実施の形態で示したように、露光装置１０
０は計４台のＣＣＤカメラを備えることがより好ましい
のはいうまでもない。

【００５５】但し、逆にフープ材１１上にパターンを転
写させるための位置決め精度の高さがあまり要求され
ず、マスクホルダ３３のＸ方向，Ｙ方向，及びθ方向に
関する位置決めが不要であるときは、その位置決め機
構、ＣＣＤカメラ３６，３７、及びパンチ３２を設けな
くてもよい。これによりコストを低減させることができ
る。さらにフープ材１１のＹ方向に関する位置決めも不
要であるときは、ＣＣＤカメラ３１及びＹ移動機構７０
を設けなくてもよい。これによりさらにコストを低減さ
せることができる。

【００５６】上記図１の露光装置１００は、鉛直方向上
方からフープ材１１を露光したが、鉛直方向下方からフ
ープ材１１を露光してもよく、さらには鉛直方向上方及
び下方からフープ材１１を露光してもよい。鉛直方向上
方及び下方からフープ材１１を露光する両面露光装置に
は、フープ材１１の上面及び下面にそれぞれマスクホル
ダ３３、マスク３４、露光光光源等が配される。

【００５７】上記実施の形態では、ローラユニット２
０，３０のフレーム部５０，５０の双方を旋回可能とし
たが、一方を旋回可能としてもよい。フレーム部５０，
５０の一方を旋回可能としたときは、フレーム部５０，
５０の双方を旋回可能としたときに比べて旋回方向にお
けるフレーム部５０の移動量が増大する。また、上記実
施の形態のように双方を旋回可能とすることにより、フ
ープ材１１のＹ方向に関する位置を調整可能とした場合
であっても確実に偏張力が生じるのを防止することがで
きるので、双方を旋回可能とするのがより好ましい。さ
らに、ローラユニット２０，３０のフレーム５１に支持
されているローラ５３，５３が旋回可能となっていても
よい。

【００５８】また、上記実施の形態における露光装置１
００によって露光される材料を、感光剤が塗布されたフ
ープ材１１としたが、具体的には、例えばＩＣパッケー
ジ基板等の材料等として用いられる各種金属（例えば、
鉄、鋼等）、樹脂フィルム等としてもよい。

【００５９】以下、図１の運搬装置１０の作動を図４を
用いて説明する。

【００６０】図４は、図１の露光装置１００の主要部の
簡略構成を示す底面図である。

【００６１】なお、図１の露光装置１００の主要部の構
成を簡略化するために、図４では、ローラユニット２
０，３０をそれぞれ張力ローラ５３、送りローラ５３と
して示していると共に、旋回固定突部８１をローラ５３
に接続させて示している。旋回固定突部８１は、ローラ
５３の回転軸であってもよい。

【００６２】図４において、運搬装置１０は、不図示の
モータ回転制御装置が不図示のモータを回転させ、該回
転しているモータがローラ５３，５３を回転駆動させる
ことにより、張力ローラ５３側から送りローラ５３側へ
フープ材１１を運搬する。該フープ材１１の運搬中にお
いては、旋回制御機構８０，８０がローラ５３，５３の
旋回を固定すべく旋回固定突部８１を固定している。

【００６３】そして、フープ材１１の運搬を停止しＥＰ
Ｃステージ６０をＹ方向に関して位置決めするときに、
旋回制御機構８０，８０によるローラ５３，５３の旋回
固定を解除すべく旋回固定突部８１の固定を開放する。
旋回固定突部８１の固定が開放されると、ローラ５３，
５３は旋回自在な状態となるので、ローラ５３，５３は
旋回する。この旋回する方向は、フープ材１１のＹ方向
に関する張力の分布に応じてこの張力の分布を均一化す
る方向である。

【００６４】具体的には、図４（ａ）に示すように、フ
ープ材１１のＹ方向に関して互いに異なる張力の大きさ
Ａ，Ｂを含む偏張力が発生している場合、張力の大きい
張力Ａを補償するためにローラ５３，５３は互いに近づ
く方向に同期して移動し、時を同じくして張力の小さい
Ｂを補償するためにローラ５３，５３は互いに離れる方
向に同期して移動し、もってローラ５３，５３は互いに
逆方向に同期して旋回する。即ち、ローラ５３，５３間
の相対的な位置が変化しながら旋回する。

【００６５】図４によれば、ローラ５３，５３は互いに
近づく方向に同期して移動し、時を同じくして張力の小
さいＢを補償するためにローラ５３，５３は互いに離れ
る方向に同期して移動し、もってローラ５３，５３は互
いに逆方向に同期して旋回するので、ローラ５３，５３
間の相対的な位置が変化しながら旋回し、もってフープ
材１１のＹ方向に関する偏張力を、張力Ｂよりも大きく
張力Ａよりは小さい張力Ｃで均一化された図４（ｂ）に
示すような張力の分布とすることができ、もってフープ
材１１のＹ方向に関して発生していた偏張力を補償する
ことができる。また、露光装置１００を用いて基準穴開
け加工やマスクパターン転写露光を行う際には、前回の
基準穴位置やパターンが歪むことがなく、前回のパター
ンとの相対位置精度を確保することができる。

【００６６】なお、上記図４（ａ）のような偏張力は、
ローラ５３，５３及びフープ材１１の表面凹凸の状態の
不均一やフープ材１１の押付けの状態の不均一に起因し
たローラ５３，５３及びフープ材１１間の摩擦力の偏り
が生じているときや、上記表面凹凸や押付けの状態の不
均一、ローラ５３，５３の形状精度や回転運動精度の低
下、フープ材１１に配されているローラ５３，５３の相
対位置精度の低下等に影響を受けてフープ材１１の送り
量に偏りが生じているときなどに発生し得る。

【００６７】また、図４の偏張力補償機構は、図１に係
る露光装置１００に適用されているが、フープ材１１の
幅方向に関して偏張力が発生するようなその他の装置に
適用することができるのはいうまでもない。

【００６８】また、上記実施の形態において、ローラユ
ニット２０，３０の双方に旋回制御機構８０を設け、双
方ともを旋回固定／開放の切換が可能な構成としたが、
例えば、張力ローラ５３側のローラユニット３０に旋回
制御機構８０を設けるのを省き、ローラユニット３０を
旋回が常に可能な構成としてもよい。但し、フープ材１
１を定量送りする際に双方を旋回固定することにより、
より安定した定量送りを行うことができるという意味で
双方に旋回制御機構８０を設けるのがより好ましい。

【００６９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１記
載の偏張力補償機構によれば、送りローラ及び張力ロー
ラの少なくとも一方を薄板材に垂直な軸の回りに旋回自
在に支持するので、送りローラ及び張力ローラの少なく
とも一方の旋回が自然に所定の位置で停止し、もって幅
方向に関して薄板材における張力の分布を均一にするこ
とができる。

【００７０】請求項２記載の偏張力補償機構によれば、
送りローラ及び張力ローラの少なくとも一方の旋回を阻
止するので、送りローラ及び張力ローラの少なくとも一
方の旋回を阻止しているときは、薄板材を送り方向に安
定して送ることができる。

【００７１】請求項３記載の偏張力補償機構によれば、
薄板材への張力の偏りを補償するときに、送りローラ及
び張力ローラの少なくとも一方の旋回を開放するので、
薄板材への張力の偏りを補償するときに請求項１による
効果を確実に奏することができる。

【００７２】請求項４記載の偏張力補償機構によれば、
送りローラ及び張力ローラの少なくとも一方の旋回阻止
を解除することによって送りローラ及び張力ローラの少
なくとも一方の旋回を開放するので、送りローラ及び張
力ローラの少なくとも一方の旋回を容易に開放すること
ができる。

【００７３】請求項５記載の偏張力補償機構によれば、
送りローラを薄板材に垂直な軸の回りに旋回自在に支持
すると共に、張力ローラを薄板材に垂直な軸の回りに旋
回自在に支持するので、送りローラ及び張力ローラの双
方の旋回がそれぞれ自然に所定の位置で停止し、もって
幅方向に関して薄板材における張力の分布を容易に均一
にすることができる。

【００７４】以上詳細に説明したように、請求項６記載
の露光装置によれば、送りローラによって一方向に断続
的に送られた薄板材の所定部分を露光する露光装置にお
いて、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の偏張力補
償機構を備えるので、露光する前に断続的に送られた薄
板材の幅方向に関する張力の分布を均一にすることがで
きる。

【００７５】以上詳細に説明したように、請求項７記載
の露光装置によれば、送りローラによって一方向に断続
的に送られた薄板材の露光される所定部分を幅方向に関
して位置決めすることにより、露光される薄板材の所定
部分を位置決めするのを効率的に行うことができる機能
を有し、請求項５記載の偏張力補償機構を備えることに
より、送りローラ及び張力ローラの双方を旋回可能とし
たので、幅方向に関する薄板材の位置決めを行う際にも
幅方向に関して薄板材における張力の分布を均一にする
ことができる。

【００７６】請求項８記載の露光装置によれば、薄板材
の所定部分を位置決めし露光する場合において、送りロ
ーラによる薄板材の送りを行った後から所定部分の露光
を１回終了するまでの間に、送りローラ及び張力ローラ
の少なくとも一方を薄板材に垂直な軸の回りに旋回自在
に支持するので、位置決め、露光等の際に薄板材の張力
の偏りを除くことができ、所定部分を正確に位置決めす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る偏張力補償機構を備
える露光装置の主要部の概略構成を示す平面図である。

【図２】図１におけるローラユニット２０の概略構成を
示す部分断面図である。

【図３】図１の露光装置１００によって実行されるマス
クパターン転写露光処理のフローチャートである。

【図４】図１の露光装置１００の主要部の簡略構成を示
す底面図である。

【符号の説明】

１０ 搬送装置 １１ フープ材 ２０，３０ ローラユニット ５０ フレーム部 ５３，５３ ローラ ５４ ニップローラ ５９ 軸受 ８０ 旋回制御機構 ８１ 旋回固定突部 ８２ 旋回固定部 １００ 露光装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 送りローラによって送られる薄板材に張
   力を与える張力ローラによる前記薄板材への張力の偏り
   を補償する偏張力補償機構において、前記送りローラ及
   び前記張力ローラの少なくとも一方を前記薄板材に垂直
   な軸の回りに旋回自在に支持する支持手段を備えること
   を特徴とする偏張力補償機構。
2. 【請求項２】 前記支持手段は、前記送りローラ及び前
   記張力ローラの少なくとも一方の旋回を阻止する旋回阻
   止手段を備えることを特徴とする請求項１記載の偏張力
   補償機構。
3. 【請求項３】 前記支持手段は、前記薄板材への張力の
   偏りを補償するときに、前記送りローラ及び前記張力ロ
   ーラの少なくとも一方の旋回を開放する旋回開放手段を
   備えることを特徴とする請求項２記載の偏張力補償機
   構。
4. 【請求項４】 前記旋回開放手段は、前記送りローラ及
   び前記張力ローラの少なくとも一方における旋回の開放
   を、前記旋回阻止手段による旋回阻止を解除することに
   よって行うことを特徴とする請求項３記載の偏張力補償
   機構。
5. 【請求項５】 前記支持手段は、前記送りローラを前記
   薄板材に垂直な軸の回りに旋回自在に支持する第１の支
   持手段と、前記張力ローラを前記薄板材に垂直な軸の回
   りに旋回自在に支持する第２の支持手段とから成ること
   を特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の偏
   張力補償機構。
6. 【請求項６】 前記送りローラは前記薄板材を一方向に
   断続的に送り、前記断続的に送られた薄板材の所定部分
   を露光する露光手段を備える露光装置において、請求項
   １乃至５のいずれか１項に記載の偏張力補償機構を備え
   ることを特徴とする露光装置。
7. 【請求項７】 前記送りローラは前記薄板材を一方向に
   断続的に送り、前記断続的に送られた薄板材の所定部分
   を露光する露光手段と、前記露光手段により露光される
   薄板材の所定部分を幅方向に関して位置決めする位置決
   め手段とを備える露光装置において、請求項５記載の偏
   張力補償機構を備えることを特徴とする露光装置。
8. 【請求項８】 前記支持手段は、前記送りローラによる
   前記薄板材の送りを行った後から前記薄板材の所定部分
   の露光を１回終了するまでの間、前記送りローラ及び前
   記張力ローラの少なくとも一方を前記薄板材に垂直な軸
   の回りに旋回自在に支持することを特徴とする請求項６
   又は７記載の露光装置。