JP2016020894A - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016020894A JP2016020894A JP2015064273A JP2015064273A JP2016020894A JP 2016020894 A JP2016020894 A JP 2016020894A JP 2015064273 A JP2015064273 A JP 2015064273A JP 2015064273 A JP2015064273 A JP 2015064273A JP 2016020894 A JP2016020894 A JP 2016020894A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- electrode
- gas
- temperature
- heat generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/409—Oxygen concentration cells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/4067—Means for heating or controlling the temperature of the solid electrolyte
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4075—Composition or fabrication of the electrodes and coatings thereon, e.g. catalysts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/41—Oxygen pumping cells
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
【解決手段】センサ素子及びヒータが積層されたセンサ構造体は、保持体から先端側に突出するセンサ突出部を有している。センサ素子は、固体電解質体、被測定ガス空間、基準ガス空間、ポンプセル、モニタセル及びセンサセルを備えている。ヒータの発熱部の全体は、センサ突出部に配置されている。センサ突出部が保持体から突出する長手方向における、発熱部が形成された範囲の長さL(mm)及びセンサ突出部の長さH(mm)は、H=L、H=20、H=−4.24L+42.71、H=−4.24L+68.6の各関係ラインX1,X2,X3,X4によって囲まれる範囲内にある。
【選択図】図6
Description
例えば、特許文献1に開示されたガスセンサ素子は、通電により発熱する発熱体を備えたヒータ部を有している。特許文献1においては、ヒータ抵抗とヒータ電力との関係がヒータ制御関数を満たすように、ヒータ電圧を調整して、ガスセンサ素子の温度を制御することが開示されている。
上記センサ素子は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質体と、
該固体電解質体の一方の表面側に形成され、被測定ガスとしての上記排気ガスが拡散抵抗体を通過して導入される被測定ガス空間と、
上記固体電解質体の他方の表面側に形成され、基準ガスが導入される基準ガス空間と、
上記固体電解質体の上記被測定ガス空間側の表面に設けられたポンプ電極を有し、該ポンプ電極と上記固体電解質体の上記基準ガス空間側の表面に設けられた基準電極との間に電圧を印加して、上記被測定ガス空間における酸素濃度を調整するポンプセルと、
上記固体電解質体の上記被測定ガス空間側の表面であって、上記ポンプ電極の配置位置よりも基端側に設けられたセンサ電極を有し、該センサ電極と上記基準電極との間に流れる酸素イオン電流を測定するセンサセルと、を備えており、
上記ヒータは、通電によって発熱する発熱部と、該発熱部の一対の端部に繋がる一対のリード部とを備えており、
上記発熱部の全体は、上記センサ突出部に配置されており、
上記発熱部の発熱中心は、上記センサ電極の中心よりも先端側に位置しており、
上記センサ突出部の先端から上記発熱部の基端までの距離をDとしたとき、上記センサ突出部の先端から上記センサ電極の中心までの距離Eは、E=0.7〜1.3Dの範囲内にあり、上記センサ突出部の先端から上記ポンプ電極の中心までの距離Fは、F=0.3〜0.7Dの範囲内にあり、
上記センサ突出部が上記保持体から突出する長手方向における、上記発熱部が形成された範囲の長さL(mm)及び上記センサ突出部の長さH(mm)は、H=L、H=20、H=−4.24L+42.71、H=−4.24L+68.6の各関係ラインによって囲まれる範囲内にあることを特徴とするガスセンサにある。
具体的には、発熱部が形成された範囲の長さL(mm)及びセンサ突出部の長さH(mm)は、H=L、H=20、H=−4.24L+42.71、H=−4.24L+68.6の各ラインによって囲まれる範囲内にある。これにより、ヒータによって固体電解質体、ポンプ電極、センサ電極、基準電極の各電極を加熱する際に、ポンプセルの温度を740℃以上の適切な範囲内に保ち、センサセルの温度を650〜830℃の適切な範囲内に保つことができる。なお、ここでいうポンプセルの温度とは、被測定ガス空間内のポンプ電極の温度のことをいい、ここでいうセンサセルの温度とは、被測定ガス空間内のセンサ電極の温度のことをいう。
それ故、上記ガスセンサによれば、ヒータによるポンプセル及びセンサセルの適切な温度制御が可能になる。
上記ガスセンサは、上記ポンプセルによって酸素濃度が調整された後の残留酸素濃度を測定するモニタセルを備えていてもよい。モニタセルは、上記固体電解質体の被測定ガス空間側の表面であって、上記センサ電極に対して上記長手方向に直交する幅方向に並んで設けられたモニタ電極を有しており、モニタ電極と上記基準電極との間に流れる酸素イオン電流を測定するよう構成することができる。
上記距離Fが0.3D未満になると、上記ヒータによって上記センサ素子を加熱する効率が低下する。一方、上記距離Fが0.7D超過になると、上記ポンプ電極の温度を適切に制御できなくなる。
本例のガスセンサ1は、図1、図4に示すように、センサ素子11及びヒータ6が積層されたセンサ構造体10と、センサ構造体10を保持する保持体12とを有している。センサ構造体10の長手方向Mにおける先端部は、保持体12から先端側に突出するセンサ突出部100を形成している。センサ突出部100は、被測定ガスGに晒される部分である。
本例のガスセンサ1は、図4に示すように、センサ構造体10のセンサ突出部100を収容するカバー13を有しており、カバー13に設けられた貫通孔131から、センサ構造体10のセンサ突出部100に、被測定ガスGとしての排気ガスを導入するよう構成されている。ガスセンサ1は、自動車の排気管内に配置されて使用される。被測定ガスGは排気管を通過する排気ガスであり、ガスセンサ1は、排気ガス中の特定ガスとしてのNOx(窒素酸化物)の濃度を検出するために用いられる。
保持体12は、センサ構造体10をガスセンサ1のハウジング14に保持するための絶縁碍子から構成されている。センサ構造体10の長手方向Mにおける基端側部分は、保持体12の内部に埋設されている。
また、発熱部62とリード部63とは、セラミック基板61に別々に印刷されて形成される
。そのため、発熱部62とリード部63とは、一部が重なりあう。
ポンプ電極21におけるPt−Au合金中のAuの含有量は、20質量%以下とすることができる。センサ電極23におけるPt−Rh合金中のRhの含有量は、80質量%以下とすることができる。
図7には、保持体12の直径φd(mm)と、センサ素子11におけるポンプ電極21の温度(平均温度)の違い(℃)との関係を示す。ポンプ電極21の温度の違いは、保持体12の直径φdがφ7.5mmであるときのポンプ電極21の温度を基準温度として0(℃)で表すとともに、保持体12の直径φdがφ7.5mmから変化したときのポンプ電極21の温度から、基準温度を差し引いた温度差(℃)として表す。
なお、ポンプ電極21、固体電解質体2及び基準電極25によって構成されるポンプセル41の温度はポンプ電極21の温度に等しいとする。また、モニタセル42及びセンサセル43についても同様に、それぞれモニタ電極22又はセンサ電極23の温度に等しいとする。
同図において、ポンプ電極21の温度が740℃よりも低下していくと、センサセル43におけるオフセット電流が増加していくことが分かる。この理由は、ポンプ電極21の温度が低下すると、ポンプセル41が酸素を十分に排出することができず、被測定ガス空間51内の残存酸素が増加したためである。
同図において、ポンプ電極21の温度が920℃よりも上昇していくと、センサセル43における酸素イオン電流が減少することが分かる。この理由は、ポンプ電極21の温度が上昇すると、ポンプセル41においてNOxが分解され、被測定ガス空間51内のNOxが減少したためである。
同図において、センサ電極23の温度が650〜760℃の範囲内にある場合には、センサセル43によるNOx濃度の検出精度にほとんど誤差は生じていないことが分かる。これに対し、センサ電極23の温度が760℃よりも上昇していくと、ポンプ電極23を構成するPt−Au合金中のAuが飛散して、センサ電極23を被毒することにより、センサセル43におけるNOx活性が低下し、NOx濃度の検出誤差が大きくなる。一方、センサ電極23の温度が650℃よりも低下していくと、センサセル43がNOx活性を示す温度に加熱されず、NOx濃度の検出誤差が大きくなる。
同図において、センサ電極23の温度が830℃よりも上昇していくと、センサセル43におけるオフセット電流が増加していくことが分かる。この理由は、センサ電極23の温度が上昇すると、センサセル43において被測定ガス空間51内の水分が分解されたためである。
図6に示すように、発熱部62が形成された範囲の長さL(mm)及びセンサ突出部100の長さH(mm)は、L≦H≦20の関係式を満たすよう決定される。L≦Hの関係式X1は、発熱部62の全体がセンサ突出部100に配置されている構成から導き出される関係式である。つまり、発熱部62が形成された範囲の長さL(mm)の全体は、センサ突出部100の長さH(mm)以下となる。
また、H≦20の関係式X2は、センサ突出部100の長さH(mm)が長すぎると、このセンサ突出部100が折れる可能性が高くなることより、センサ突出部100が折れないための条件となる。
まず、図5に示すように、ポンプ電極21の温度を740℃としたときの、発熱部62が形成された範囲の長さL(mm)とセンサ電極23の温度T(℃)との関係を求めた。また、この関係は、センサ突出部100の長さH(mm)を15.3mm、13.3mm、11.3mmと変化させて求めた。これにより、センサ突出部100の長さH(mm)が15.3mm、13.3mm、11.3mmの各場合について直線回帰を行い、各関係直線Y1,Y2,Y3を求めた。
そのため、センサ電極23の温度が650〜830℃の範囲内になるよう、発熱部62が形成された範囲の長さL(mm)とセンサ突出部100の長さH(mm)とを決定すれば、ポンプ電極21の温度を740〜920℃の範囲内にすることができる。
H=−4.24L+58.53の関係ラインX5は、関係式X3及び関係式X4と同様にして、センサ突出部100の長さH(mm)が15.3mm、13.3mm、11.3mmの各場合について、センサ電極23の温度が760℃となるときの、発熱部62が形成された範囲の長さL(mm)を上記各関係直線Y1,Y2,Y3に代入して求めた。また、ポンプ電極21の温度はセンサセル43の温度に比例し、センサ電極23が760℃になるときのポンプ電極21の温度は約850℃である。
10 センサ構造体
100 センサ突出部
11 センサ素子
12 保持体
2 固体電解質体
21 ポンプ電極
23 センサ電極
25 基準電極
32 拡散抵抗体
41 ポンプセル
43 センサセル
51 被測定ガス空間
52 基準ガス空間
6 ヒータ
62 発熱部
63 リード部
G 被測定ガス
A 基準ガス
M 長手方向
Claims (4)
- センサ素子(11)及びヒータ(6)が積層されたセンサ構造体(10)と、該センサ構造体(10)を保持する保持体(12)とを有し、該保持体(12)から先端側に突出する、上記センサ構造体(10)におけるセンサ突出部(100)が被測定ガス(G)に晒されるよう構成されたガスセンサ(1)において、
上記センサ素子(11)は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質体(2)と、
該固体電解質体(2)の一方の表面側に形成され、被測定ガス(G)としての上記排気ガスが拡散抵抗体(32)を通過して導入される被測定ガス空間(51)と、
上記固体電解質体(2)の他方の表面側に形成され、基準ガス(A)が導入される基準ガス空間(52)と、
上記固体電解質体(2)の上記被測定ガス空間(51)側の表面(201)に設けられたポンプ電極(21)を有し、該ポンプ電極(21)と上記固体電解質体(2)の上記基準ガス空間(52)側の表面(202)に設けられた基準電極(25)との間に電圧を印加して、上記被測定ガス空間(51)における酸素濃度を調整するポンプセル(41)と、
上記固体電解質体(2)の上記被測定ガス空間(51)側の表面(201)であって、上記ポンプ電極(21)の配置位置よりも基端側に設けられたセンサ電極(23)を有し、該センサ電極(23)と上記基準電極(25)との間に流れる酸素イオン電流を測定するセンサセル(43)と、を備えており、
上記ヒータ(6)は、通電によって発熱する発熱部(62)と、該発熱部(62)の一対の端部(622)に繋がる一対のリード部(63)とを備えており、
上記発熱部(62)の全体は、上記センサ突出部(100)に配置されており、
上記発熱部(62)の発熱中心(601)は、上記センサ電極(23)の中心(231)よりも先端側に位置しており、
上記センサ突出部(100)の先端(101)から上記発熱部(62)の基端(621)までの距離をDとしたとき、上記センサ突出部(100)の先端(101)から上記センサ電極(23)の中心(231)までの距離Eは、E=0.7〜1.3Dの範囲内にあり、上記センサ突出部(100)の先端(101)から上記ポンプ電極(21)の中心(211)までの距離Fは、F=0.3〜0.7Dの範囲内にあり、
上記センサ突出部(100)が上記保持体(12)から突出する長手方向(M)における、上記発熱部(62)が形成された範囲の長さL(mm)及び上記センサ突出部(100)の長さH(mm)は、H=L、H=20、H=−4.24L+42.71、H=−4.24L+68.6の各関係ライン(X1,X2,X3,X4)によって囲まれる範囲内にあることを特徴とするガスセンサ(1)。 - 上記センサ突出部(100)が上記保持体(12)から突出する長手方向(M)における、上記発熱部(62)が形成された範囲の長さL(mm)及び上記センサ突出部(100)の長さH(mm)は、H=L、H=20、H=−4.24L+42.71、H=−4.24L+58.53の各関係ライン(X1,X2,X3,X5)によって囲まれる範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ(1)。
- 上記ポンプ電極(21)は、Pt−Au合金を含有し、上記センサ電極(23)は、Pt−Rh合金を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載のガスセンサ(1)。
- 上記保持体(12)における、上記センサ構造体(10)を保持する部分は、直径(φd)がφ5〜12mmである円柱形状に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のガスセンサ(1)。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015064273A JP6350359B2 (ja) | 2014-06-16 | 2015-03-26 | ガスセンサ |
PCT/JP2015/067117 WO2015194490A1 (ja) | 2014-06-16 | 2015-06-15 | ガスセンサ |
US15/319,128 US10261045B2 (en) | 2014-06-16 | 2015-06-15 | Gas sensor |
DE112015002843.9T DE112015002843B4 (de) | 2014-06-16 | 2015-06-15 | Gassensor |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014123454 | 2014-06-16 | ||
JP2014123454 | 2014-06-16 | ||
JP2015064273A JP6350359B2 (ja) | 2014-06-16 | 2015-03-26 | ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016020894A true JP2016020894A (ja) | 2016-02-04 |
JP6350359B2 JP6350359B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=54935477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015064273A Active JP6350359B2 (ja) | 2014-06-16 | 2015-03-26 | ガスセンサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10261045B2 (ja) |
JP (1) | JP6350359B2 (ja) |
DE (1) | DE112015002843B4 (ja) |
WO (1) | WO2015194490A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018100938A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びガスセンサユニット |
WO2020100644A1 (ja) * | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
WO2021166549A1 (ja) * | 2020-02-17 | 2021-08-26 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6561719B2 (ja) * | 2014-10-30 | 2019-08-21 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000321238A (ja) * | 1996-09-17 | 2000-11-24 | Riken Corp | ガスセンサ |
JP2003149199A (ja) * | 2001-11-16 | 2003-05-21 | Nissan Motor Co Ltd | ガスセンサ |
JP2009265085A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-11-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2009287939A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Denso Corp | NOxセンサ素子 |
JP2010271283A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | NOxセンサ |
WO2015025924A1 (ja) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2913633C2 (de) | 1979-04-05 | 1986-01-23 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Elektrochemischer Meßfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungsmotoren sowie Verfahren zur Herstellung desselben |
JP3488591B2 (ja) | 1996-03-28 | 2004-01-19 | 日本碍子株式会社 | 酸化物センサ |
US6068747A (en) | 1997-03-10 | 2000-05-30 | Denso Corporation | Solid electrolyte gas sensor |
JP3878339B2 (ja) * | 1997-11-14 | 2007-02-07 | 株式会社リケン | 窒素酸化物センサ |
JP4681170B2 (ja) | 2001-08-28 | 2011-05-11 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子の温度制御装置及び温度制御方法 |
DE102004013545A1 (de) | 2004-03-19 | 2005-10-06 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement |
DE102006014248A1 (de) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement zur Bestimmung eines Gasanteils mit verbesserten thermischen Eigenschaften |
-
2015
- 2015-03-26 JP JP2015064273A patent/JP6350359B2/ja active Active
- 2015-06-15 WO PCT/JP2015/067117 patent/WO2015194490A1/ja active Application Filing
- 2015-06-15 DE DE112015002843.9T patent/DE112015002843B4/de active Active
- 2015-06-15 US US15/319,128 patent/US10261045B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000321238A (ja) * | 1996-09-17 | 2000-11-24 | Riken Corp | ガスセンサ |
JP2003149199A (ja) * | 2001-11-16 | 2003-05-21 | Nissan Motor Co Ltd | ガスセンサ |
JP2009265085A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-11-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2009287939A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Denso Corp | NOxセンサ素子 |
JP2010271283A (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | Ngk Spark Plug Co Ltd | NOxセンサ |
WO2015025924A1 (ja) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018100938A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びガスセンサユニット |
WO2020100644A1 (ja) * | 2018-11-15 | 2020-05-22 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
JP2020085465A (ja) * | 2018-11-15 | 2020-06-04 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
JP7149166B2 (ja) | 2018-11-15 | 2022-10-06 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
WO2021166549A1 (ja) * | 2020-02-17 | 2021-08-26 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
JP2021128108A (ja) * | 2020-02-17 | 2021-09-02 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
CN115087863A (zh) * | 2020-02-17 | 2022-09-20 | 株式会社电装 | 气体传感器元件 |
DE112021001096T5 (de) | 2020-02-17 | 2022-12-15 | Denso Corporation | Gassensorelement |
JP7294178B2 (ja) | 2020-02-17 | 2023-06-20 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015194490A1 (ja) | 2015-12-23 |
DE112015002843B4 (de) | 2023-06-15 |
US20170122897A1 (en) | 2017-05-04 |
US10261045B2 (en) | 2019-04-16 |
DE112015002843T5 (de) | 2017-03-02 |
JP6350359B2 (ja) | 2018-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6393722B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6350359B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6321968B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP6561719B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6596535B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2009222561A (ja) | ガスセンサ素子 | |
JPS63302356A (ja) | 酸素濃度測定装置の調整方法 | |
JP2008008665A (ja) | 限界電流式酸素センサ | |
US10866210B2 (en) | Gas sensor | |
JP2015137998A (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP6731283B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2015068820A (ja) | ガスセンサ装置 | |
JP6382178B2 (ja) | ガスセンサ | |
WO2016129661A1 (ja) | ガスセンサ | |
JP2017133940A (ja) | ガスセンサユニット | |
JP6511405B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6410398B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JPS63275949A (ja) | 電気化学的装置 | |
JP2009287939A (ja) | NOxセンサ素子 | |
JP2021032812A (ja) | センサ素子 | |
JP2020034505A (ja) | ガスセンサ、及びガス検出システム | |
JP2010066218A (ja) | セラミックヒータ、これを有するセンサ素子、及びセンサ | |
WO2016067975A1 (ja) | ガスセンサ | |
JP2015025783A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
JP2017111037A (ja) | 粒子状物質検出センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180508 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180521 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6350359 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |