JP6410398B2 - ガスセンサ素子 - Google Patents
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例えば、特許文献1のガスセンサにおいては、固体電解質層と、固体電解質層における電極を取り囲む貫通孔が形成された絶縁層と、貫通孔に埋設された多孔質層とが積層されたセンサ素子について記載されている。そして、絶縁層と多孔質層との表面及び裏面には、絶縁層及び多孔質層によって生じるセンサ素子の反りを低減するための蓋部を設けることが記載されている。
また、特許文献1においては、蓋部を余分に設ける必要が生じ、センサ素子の構造が複雑になってしまう。
該固体電解質体の一方の表面側に形成され、拡散抵抗体を通過した被測定ガスが導入される被測定ガス空間と、
上記固体電解質体の他方の表面側に形成され、基準ガスが導入される基準ガス空間と、
上記固体電解質体の上記被測定ガス空間側の表面に設けられ、上記被測定ガス空間における特定ガス成分濃度を検出するためのセンサ電極と、
該センサ電極を構成する金属材料の組成とは異なる金属材料の組成を有し、上記固体電解質体の上記基準ガス空間側の表面に設けられた基準電極と、を備え、
上記固体電解質体、上記センサ電極及び上記基準電極は、上記固体電解質体となるセラミックシートと、該セラミックシートに配置されたセンサ電極材料及び基準電極材料とが焼成されて形成されており、
上記センサ電極材料の焼成前の長さをu0、上記センサ電極材料の焼成後の長さをu1、上記基準電極材料における、上記センサ電極材料を投影した部分の焼成前の長さをv0、上記基準電極材料における、上記センサ電極材料を投影した部分の焼成後の長さをv1としたとき、上記センサ電極材料の焼成時の長さの減少率を示す熱収縮率(u0−u1)/u0×100(%)と、上記基準電極材料における、上記センサ電極材料を投影した部分の焼成時の長さの減少率を示す熱収縮率(v0−v1)/v0×100(%)との差が5%以下であることを特徴とするガスセンサ素子にある。
該固体電解質体の一方の表面側に形成され、拡散抵抗体を通過した被測定ガスが導入される被測定ガス空間と、
上記固体電解質体の他方の表面側に形成され、基準ガスが導入される基準ガス空間と、
上記固体電解質体の上記被測定ガス空間側の表面に設けられた第1電極と、
上記固体電解質体の上記基準ガス空間側の表面に設けられた第2電極と、を備え、
上記固体電解質体、上記第1電極及び上記第2電極は、上記固体電解質体となるセラミックシートと、該セラミックシートに配置された第1電極材料及び第2電極材料とが焼成されて形成されており、
上記第1電極は、白金、金、セラミック材料及び溶媒を含有する上記第1電極材料が焼成されて形成されており、
上記第2電極における、上記第1電極を投影した部分は、白金、金、セラミック材料及び溶媒を含有する上記第2電極材料が焼成されて形成されていることを特徴とするガスセンサ素子にある。
該固体電解質体の一方の表面側に形成され、拡散抵抗体を通過した被測定ガスが導入される被測定ガス空間と、
上記固体電解質体の他方の表面側に形成され、基準ガスが導入される基準ガス空間と、
上記固体電解質体の上記被測定ガス空間側の表面に設けられ、上記被測定ガス空間における特定ガス成分濃度を検出するためのセンサ電極と、
該センサ電極を構成する金属材料の組成とは異なる組成の金属材料を含有し、上記固体電解質体の上記基準ガス空間側の表面に設けられた基準電極と、を備え、
上記固体電解質体、上記センサ電極及び上記基準電極は、上記固体電解質体となるセラミックシートと、該セラミックシートに配置されたセンサ電極材料及び基準電極材料とが焼成されて形成されており、
上記センサ電極は、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する上記センサ電極材料が焼成されて形成されており、
上記基準電極における、上記センサ電極を投影した部分は、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する第1の基準電極材料が焼成された第1層と、該第1層を覆い、白金、セラミック材料及び溶媒を含有する第2の基準電極材料が焼成された第2層とから形成されていることを特徴とするガスセンサ素子にある。
具体的には、センサ電極と基準電極とは互いに異なる金属材料の組成を有しており、ガスセンサ素子の焼成時における、センサ電極材料の熱収縮率と、基準電極材料における、センサ電極材料を投影した部分の熱収縮率との差が5%以下に小さくなるようにしている。これにより、ガスセンサ素子の焼成時に、セラミックシートの両表面において、センサ電極材料が熱収縮する量と基準電極材料が熱収縮する量とができるだけ均衡する。そのため、セラミックシートがいずれかの表面に引っ張られることがほとんどなくなり、焼成後のガスセンサ素子に反りが生じにくくすることができる。なお、各熱収縮率は、各電極材料が単独の状態での値をいう。各電極材料が固体電解質体に接合された状態における、各電極材料間の熱収縮率の差は、接合部の影響を受けて、単独の状態よりも若干小さくなると考えられる。
それ故、上記一態様のガスセンサ素子によれば、簡単な工夫によって焼成時に反りが生じにくくすることができる。
具体的には、第1電極材料及び第2電極材料のいずれもが金を含有することによって、ガスセンサ素子の焼成時における、第1電極材料の熱収縮率と、第2電極材料における、第1電極材料を投影した部分の熱収縮率との差がほとんどなくなる。これにより、ガスセンサ素子の焼成時に、セラミックシートの両表面において、第1電極材料が熱収縮する量と第2電極材料が熱収縮する量とがほとんど均衡する。そのため、セラミックシートがいずれかの表面に引っ張られることがほとんどなくなり、焼成後のガスセンサ素子に反りがほとんど生じないようにすることができる。
それ故、上記参考態様のガスセンサ素子によっても、簡単な工夫によって焼成時に反りがほとんど生じないようにすることができる。
具体的には、センサ電極を構成するセンサ電極材料の組成と、基準電極の第1層を構成する第1の基準電極材料の組成とが同じであることによって、ガスセンサ素子の焼成時における、センサ電極材料の熱収縮率と、基準電極材料における、センサ電極材料を投影した部分の熱収縮率との差が小さくなる。これにより、ガスセンサ素子の焼成時に、セラミックシートの両表面において、センサ電極材料が熱収縮する量と基準電極材料が熱収縮する量とができるだけ均衡する。そのため、セラミックシートがいずれかの表面に引っ張られることがほとんどなくなり、焼成後のガスセンサ素子に反りが生じにくくすることができる。
それ故、上記他の参考態様のガスセンサ素子によっても、簡単な工夫によって焼成時に反りがほとんど生じないようにすることができる。
上記ガスセンサ素子において、基準電極材料における、センサ電極材料を投影した部分(又は基準電極における、センサ電極を投影した部分)とは、センサ電極材料(センサ電極)に対して固体電解質体を挟んで基準電極材料(基準電極)が対向する部分のことをいう。
この場合には、基準電極材料における白金の50%粒子径を適切に大きくすることにより、基準電極材料の熱収縮率を、ロジウムが含有されるセンサ電極材料の熱収縮率に近づけることができる。そのため、焼成時に反りが生じにくいガスセンサ素子を容易に形成することができる。
センサ電極材料を構成する白金及びロジウムには、50%粒子径が0.5〜1μmの金属粉末を用いることができる。そして、基準で電極材料を構成する白金には、50%粒子径が1.6〜4μmと大きな金属粉末を用いることにより、基準電極材料の熱収縮率を小さくして、この熱収縮率をセンサ電極材料の熱収縮率に近づけることができる。
ロジウムの融点は白金の融点よりも高い。また、電極材料の融点が高くなると、焼成が進行しにくくなり、熱収縮率が小さくなる。そこで、基準電極材料に、白金よりも融点が高い金属を含有させることにより、基準電極材料の熱収縮率を小さくして、基準電極材料の熱収縮率を、ロジウムが含有されるセンサ電極材料の熱収縮率に近づけることができる。そのため、焼成時に反りが生じにくいガスセンサ素子を容易に形成することができる。
センサ電極を構成するセンサ電極材料の組成と、基準電極の第1層を構成する第1の基準電極材料の組成とを同じにすることによって、これらの電極材料の熱収縮率の差がほとんどなくなる。そのため、焼成時に反りが生じにくいガスセンサ素子を容易に形成することができる。
また、ロジウムは、基準ガス中の酸素と反応して酸化する性質を有している。そこで、ロジウムが含有される第1層を、ロジウムが含有されない第2層で覆って、第1層が基準ガスに触れないようにしている。これにより、焼成時の反りの発生を抑制しつつ、基準電極が酸化されにくい性能を維持することができる。
(実施例1)
本例のガスセンサ素子1は、図1、図2に示すように、固体電解質体2、被測定ガス空間101、基準ガス空間102、センサ電極23及び基準電極25を備えている。固体電解質体2は、酸素イオン伝導性を有しており、板形状に形成されている。被測定ガス空間101は、固体電解質体2の一方の表面側に形成されており、拡散抵抗体32を通過した被測定ガスGが導入される空間である。基準ガス空間102は、固体電解質体2の他方の表面側に形成されており、基準ガスAが導入される空間である。センサ電極23は、固体電解質体2の被測定ガス空間101側の表面201に設けられており、被測定ガス空間101における特定ガス成分濃度を検出するための電極である。基準電極25は、センサ電極23を構成する金属材料の組成とは異なる金属材料の組成を有しており、固体電解質体2の基準ガス空間102側の表面202に設けられている。
ガスセンサ素子1は、内燃機関の排気管等に配置され、排気管等を流れる排気ガス中の特定ガス成分濃度を測定するために用いられる。ガスセンサ素子1は、絶縁碍子に保持された状態でハウジングに固定され、絶縁碍子から突出する部分が被測定ガスGとして排気ガスに晒される。本例のガスセンサ素子1は、被測定ガスG中の特定ガス成分としてのNOx(窒素酸化物)の濃度を測定するものである。
本例の基準電極25は、ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23のそれぞれの投影位置(固体電解質体2を挟んで対向する位置)を含む範囲全体に共通して、1つ設けられている。なお、基準電極25は、ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23のそれぞれの投影位置に対して別々に設けることもできる。
被測定ガスG中のNOxの濃度は、センサセル43によって検出される酸素イオン電流値からモニタセル42によって検出される酸素イオン電流値を差し引くことによって測定される。
また、基準電極材料251における白金は、50%粒子径が1.6〜4μmの金属粉末によって構成されている。セラミック材料は、固体電解質体2を構成するためのセラミックシート20との接合性を確保するための共材である。
また、基準電極材料251の熱収縮率を小さくすることにより、ポンプ電極材料211及びモニタ電極材料221の熱収縮率と、基準電極材料251における、ポンプ電極材料211及びモニタ電極材料221の投影位置の熱収縮率とも、熱収縮率の差が5%以下になるように近づけることができる。
従って、センサ電極材料231と基準電極材料251との熱収縮率の差を5%以下に小さくすることにより、ガスセンサ素子1の反りを小さく抑え、センサ電極23による特定ガス成分濃度の検出精度を高く維持できることがわかる。なお、熱収縮率の差の5%とは、プラス・マイナスの符号を省略した絶対値のことをいう。
従って、50%粒子径を1.6〜4μmとすることにより、熱収縮率の差を5%以下に抑えられることがわかる。
それ故、本例のガスセンサ素子1によれば、簡単な工夫によって焼成時に反りが生じにくくすることができる。
本例は、基準電極25を構成する基準電極材料251において、白金、セラミック材料、溶媒の他に、白金よりも融点が高い金属を含有させた例である。
本例の基準電極材料251における金属は、イリジウム(Ir)である。イリジウムは、白金とともに白金−イリジウム合金(Pt−Ir合金)を構成し、白金と同様に基準ガスA中の酸素によって酸化されにくい性質を有している。また、基準電極材料251の金属成分の組成は、白金が60wt%、イリジウムが40wt%である。
センサ電極材料231の金属成分の組成は、白金が40〜80wt%、ロジウムが20〜60wt%の範囲で決定することができる。また、基準電極材料251の金属成分の組成は、白金が40〜80wt%、イリジウム等の金属が20〜60wt%の範囲で決定することができる。
なお、基準電極材料251における金属は、イリジウムの他にも、ルテニウム(Ru)等とすることができる。
そして、本例においても、簡単な工夫によってガスセンサ素子1の焼成時に反りが生じにくくすることができる。
本例においても、その他の構成は上記実施例1と同様であり、上記実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
本例は、図6、図7に示すように、基準電極25における、センサ電極23を投影した部分を、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する第1の基準電極材料が焼成された第1層252と、第1層252を覆い、白金、セラミック材料及び溶媒を含有する第2の基準電極材料が焼成された第2層253とから構成した例である。
第1層252は、固体電解質体2の被測定ガス空間101側の表面201において、センサ電極23を投影した部分(センサ電極23に対して固体電解質体2を挟んで対向する部分)にのみ設けられている。基準電極25は、ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23に対して共通に形成されており、センサ電極23を投影した部分以外の残りの部分は、第2層253によって形成されている。
また、第1層252におけるロジウムは、基準ガスA中の酸素と反応して酸化する性質を有している。そこで、ロジウムが含有される第1層252を、ロジウムが含有されない第2層253で覆って、第1層252が基準ガスAに触れないようにしている。これにより、焼成時の反りの発生を抑制しつつ、基準電極25が酸化されにくい性能を維持することができる。
そして、本例においても、簡単な工夫によってガスセンサ素子1の焼成時に反りが生じにくくすることができる。
本例においても、その他の構成及びその他の図中の符号は上記実施例1、2と同様であり、上記実施例1、2と同様の作用効果を得ることができる。
本例は、ポンプ電極21、モニタ電極22及びセンサ電極23の全体について、基準電極25との熱収縮率の差を小さくして、焼成時にガスセンサ素子1に反りが生じない工夫をした例である。
本例のガスセンサ素子1においては、図8、図9に示すように、固体電解質体2の被測定ガス空間101側の表面201に設けられた第1電極としてのポンプ電極21及びモニタ電極22は、白金、金、セラミック材料及び溶媒を含有する第1電極材料が焼成されて形成されている。また、固体電解質体2の被測定ガス空間101側の表面201に設けられたセンサ電極23は、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有するセンサ電極材料が焼成されて形成されている。
固体電解質体2の基準ガス空間102側の表面202に設けられた第2電極としてのポンプ側基準電極25Aは、第1電極材料と同じ組成の第2電極材料が焼成されて形成されている。第2電極としてのモニタ側基準電極25Bは、第1電極材料と同じ組成の第2電極材料が焼成されて形成されている。センサ側基準電極25Cは、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する第1の基準電極材料が焼成された第1層252Cと、第1層252Cを覆い、白金、セラミック材料及び溶媒を含有する第2の基準電極材料が焼成された第2層253Cとから構成されている。センサ側基準電極25Cの構成は、上記実施例3の基準電極25の構成と同様である。
ポンプ電極21及びモニタ電極22の金属成分の組成は、白金が95〜99.5wt%、金が0.5〜5wt%の範囲で決定することができる。また、センサ電極25の金属成分の組成は、白金が40〜80wt%、ロジウムが20〜60wt%の範囲で決定することができる。
本例においても、その他の構成及びその他の図中の符号は上記実施例1〜3と同様であり、上記実施例1〜3と同様の作用効果を得ることができる。
101 被測定ガス空間
102 基準ガス空間
2 固体電解質体
20 セラミックシート
21 ポンプ電極
22 モニタ電極
23 センサ電極
231 センサ電極材料
25 基準電極
251 基準電極材料
Claims (7)
- 酸素イオン伝導性を有する固体電解質体(2)と、
該固体電解質体(2)の一方の表面側に形成され、拡散抵抗体(32)を通過した被測定ガス(G)が導入される被測定ガス空間(101)と、
上記固体電解質体(2)の他方の表面側に形成され、基準ガス(A)が導入される基準ガス空間(102)と、
上記固体電解質体(2)の上記被測定ガス空間(101)側の表面(201)に設けられ、上記被測定ガス空間(101)における特定ガス成分濃度を検出するためのセンサ電極(23)と、
該センサ電極(23)を構成する金属材料の組成とは異なる金属材料の組成を有し、上記固体電解質体(2)の上記基準ガス空間(102)側の表面(202)に設けられた基準電極(25)と、を備え、
上記固体電解質体(2)、上記センサ電極(23)及び上記基準電極(25)は、上記固体電解質体(2)となるセラミックシート(20)と、該セラミックシート(20)に配置されたセンサ電極材料(231)及び基準電極材料(251)とが焼成されて形成されており、
上記センサ電極材料(231)の焼成前の長さをu0、上記センサ電極材料(231)の焼成後の長さをu1、上記基準電極材料(251)における、上記センサ電極材料(231)を投影した部分(250)の焼成前の長さをv0、上記基準電極材料(251)における、上記センサ電極材料(231)を投影した部分(250)の焼成後の長さをv1としたとき、上記センサ電極材料(231)の焼成時の長さの減少率を示す熱収縮率(u0−u1)/u0×100(%)と、上記基準電極材料(251)における、上記センサ電極材料(231)を投影した部分(250)の焼成時の長さの減少率を示す熱収縮率(v0−v1)/v0×100(%)との差が5%以下であることを特徴とするガスセンサ素子(1)。 - 上記センサ電極(23)は、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する上記センサ電極材料(231)が焼成されて形成されており、
上記基準電極(25)における、上記センサ電極(23)を投影した部分(250)は、50%粒子径が1.6〜4μmの白金、セラミック材料及び溶媒を含有する上記基準電極材料(251)が焼成されて形成されていることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ素子(1)。 - 上記センサ電極(23)は、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する上記センサ電極材料(231)が焼成されて形成されており、
上記基準電極(25)における、上記センサ電極(23)を投影した部分(250)は、白金、セラミック材料、溶媒の他に、白金よりも融点が高い金属を含有する、上記基準電極材料(251)が焼成されて形成されていることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ素子(1)。 - 上記センサ電極(23)は、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する上記センサ電極材料(231)が焼成されて形成されており、
上記基準電極(25)は、白金、セラミック材料及び溶媒を含有する、上記基準電極材料(251)が焼成されて形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のガスセンサ素子(1)。 - 上記センサ電極(23)は、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する上記センサ電極材料(231)が焼成されて形成されており、
上記基準電極(25)における、上記センサ電極(23)を投影した部分(250)は、白金、ロジウム、セラミック材料及び溶媒を含有する第1の基準電極材料が焼成された第1層(252)と、該第1層(252)を覆い、白金、セラミック材料及び溶媒を含有する第2の基準電極材料が焼成された第2層(253)とから形成されていることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ素子(1)。 - 上記固体電解質体(2)の上記被測定ガス空間(101)側の表面(201)に設けられ、上記基準電極(25)との間に印加される電圧によって、上記被測定ガス空間(101)における酸素濃度を調整するポンプ電極(21)を更に備えており、
上記ポンプ電極(21)は、白金、金、セラミック材料及び溶媒を含有するポンプ電極材料(211)が上記セラミックシート(20)に配置された状態で焼成されて形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のガスセンサ素子(1)。 - 上記ポンプ電極(21)が設けられた位置よりも上記被測定ガス空間(101)における被測定ガス(G)の流れの下流側において、上記センサ電極(23)に隣接して上記固体電解質体(2)の上記被測定ガス空間(101)側の表面(201)に設けられ、上記基準電極(25)との間に流れる酸素イオン電流に基づいて、上記被測定ガス空間(101)における酸素濃度を検出するモニタ電極(22)を更に備えており、
上記モニタ電極(22)は、白金、金、セラミック材料及び溶媒を含有するモニタ電極材料(221)が上記セラミックシート(20)に配置された状態で焼成されて形成されていることを特徴とする請求項6に記載のガスセンサ素子(1)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014178382A JP6410398B2 (ja) | 2014-09-02 | 2014-09-02 | ガスセンサ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014178382A JP6410398B2 (ja) | 2014-09-02 | 2014-09-02 | ガスセンサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016053475A JP2016053475A (ja) | 2016-04-14 |
JP6410398B2 true JP6410398B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=55745020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014178382A Active JP6410398B2 (ja) | 2014-09-02 | 2014-09-02 | ガスセンサ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6410398B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7118918B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2022-08-16 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0862056B1 (en) * | 1996-09-17 | 2006-02-22 | Kabushiki Kaisha Riken | Gas sensor |
JP2001066289A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-03-16 | Nippon Soken Inc | ガス検出装置 |
JP2001153840A (ja) * | 1999-11-24 | 2001-06-08 | Nippon Soken Inc | ガスセンサ及び可燃性ガス成分濃度の検出方法 |
DE19960338A1 (de) * | 1999-12-15 | 2001-07-05 | Bosch Gmbh Robert | Gassensor zur Bestimmung der Konzentration von Gaskomponenten in Gasgemischen und dessen Verwendung |
JP4588853B2 (ja) * | 2000-08-31 | 2010-12-01 | 日本特殊陶業株式会社 | 積層型ガスセンサ素子の製造方法 |
JP2003149199A (ja) * | 2001-11-16 | 2003-05-21 | Nissan Motor Co Ltd | ガスセンサ |
JP5198832B2 (ja) * | 2007-11-06 | 2013-05-15 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
JP5158009B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-03-06 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びその製造方法、並びにガスセンサ |
JP5322965B2 (ja) * | 2010-02-02 | 2013-10-23 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ及びその製造方法 |
-
2014
- 2014-09-02 JP JP2014178382A patent/JP6410398B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016053475A (ja) | 2016-04-14 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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