JP6410542B2 - ガスセンサおよびガス検出器 - Google Patents
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Description
また、前記接続端部のうち、前記第2架橋部が接続される第2接続端部が前記低温部位に接触していると好ましい。
1/R=1/r1+1/r2+1/r3+・・・・ (式1)
ここで経路抵抗値riが大きくなると、1/riの値は小さくなるので、riの値が変化したときにRに与える影響度は小さくなる。
加えて、基板は、基板の接続端部に接続された架橋部によって支持基板に支持されており、架橋部は、加熱部に給電する給電線が設けられた第1架橋部と、給電線が設けられない第2架橋部とを有しているので、上述の宙吊り構造のガスセンサとなる。よって、基板から熱が逃げにくいため、省電力の面で有利である。
更に、基板の接続端部のうち、第2架橋部が接続される第2接続端部が低温部位に接触していると、第2架橋部により熱が流出して低温部位のガス感応体がより低温となっても、ガス感応体の低温部位が検知部の検知結果に及ぼす影響が小さくなっているので、低温部位において湿度による感度変化や長期的な感度低下が生じたとしても、ガスセンサの出力に対する影響を小さくすることができ、短期的な湿度依存性と長期的な感度低下が抑制されたガスセンサを実現することができる。
また、前記接続端部のうち、前記第2架橋部が接続される第2接続端部が前記低温部位に接触していると好ましい。
加えて、基板は、基板の接続端部に接続された架橋部によって支持基板に支持されており、架橋部は、加熱部に給電する給電線が設けられた第1架橋部と、給電線が設けられない第2架橋部とを有しているので、上述の宙吊り構造のガスセンサとなる。よって、基板から熱が逃げにくいため、省電力の面で有利である。
更に、基板の接続端部のうち、第2架橋部が接続される第2接続端部が低温部位に接触していると、第2架橋部により熱が流出して低温部位のガス感応体がより低温となっても、ガス感応体の低温部位が検知部の検知結果に及ぼす影響が小さくなっているので、低温部位において湿度による感度変化や長期的な感度低下が生じたとしても、ガスセンサの出力に対する影響を小さくすることができ、短期的な湿度依存性と長期的な感度低下が抑制されたガスセンサを実現することができる。
まず図1および図2を用いて第1実施形態に係る半導体式ガスセンサ1a(ガスセンサ1)の構造と動作を説明する。図1の斜視図に示す通り、半導体式ガスセンサ1aでは、ガス感応体50が上面に設けられた基板10が、第1架橋部21と第2架橋部22とによって宙吊りの状態で、支持基板2に支持される。基板10の下側は空洞部3となっている。半導体式ガスセンサ1aは、その構造全体がMEMS技術により形成されている。例えば支持基板2にはシリコンが用いられる。
1/R=1/r1+1/r2+1/r3+・・・・ (式1)
ここで経路抵抗値riが大きくなると、1/riの値は小さくなるので、riの値が変化したときにRに与える影響度は小さくなる。
図5を用いて第2実施形態に係る熱線型半導体式ガスセンサ(ガスセンサ1)について説明する。図5は熱線型半導体式ガスセンサ(ガスセンサ1)の基板10の上面図である。なお、第1実施形態と共通する構成については説明を省略する。
図6を用いて第3実施形態に係る半導体式ガスセンサ(ガスセンサ1)について説明する。なお、第1実施形態と共通する構成については説明を省略する。
上述のガスセンサ1と、ガスセンサ1の出力に基づいて検知対象ガスに関係したガス情報を出力する出力部とを用いて、ガス検出器を構成することができる。
ガスセンサ1は、基板10の低温部位17に一対の電極41、42のうち少なくとも一方の電極が配置されない構成となっているので、短期的な湿度依存性と長期的な感度低下が抑制されたガスセンサ1となっている。これに、ガスセンサ1の出力に基づいて検知対象ガスに関係したガス情報を出力する出力部を組み合わせてガス検出器を構成すると、短期的な湿度依存性と長期的な感度低下が抑制され、信頼性の高いガス検出器を実現することができる。
上述の各実施形態では、2つの第1架橋部21と2つの第2架橋部22、すなわち4つの架橋部で基板10を支持する形態としたが、架橋部の数は5本以上でもよいし、3本あるいは2本でもよい。架橋部が2つの場合は、1つの第1架橋部21に給電線23を設け、1つの第2架橋部22が基板10に接続される第2接続端部14にガス感応体非被覆領域15が設けられる。
以下、第1実施形態に係る実施例と比較例についての短期湿度影響・長期湿度影響の試験結果を示す。
支持基板2にシリコンを用いて、ベース11と第1架橋部21と第2架橋部22と絶縁層12とをSiO2で形成し、ヒータ30と電極41、42とを白金パターンにて形成し、ガス感応体50として酸化スズを用いて、上述の第1実施形態に係る実施例の試験サンプルを作成した。
比較例の試験サンプルとして、図7に示すように、電極41の先端部411および電極42の先端部421が低温部位17に配置された形態の試験サンプルを作成した。その他の構成は実施例と同様とした。
試験サンプルを相対湿度5%、65%、90%の環境下におき、空気中における抵抗値Raとメタン3000ppmにおける抵抗値Rmを測定した。メタン(3000ppm)感度S(以下「感度S」と省略して記す。感度S=Ra/Rm)の相対湿度に対する依存性を実施例と比較例とで比較した。比較結果を図8に示す。
試験サンプルを45日間、温度50℃、相対湿度90%の環境下におき、空気中における抵抗値Raとメタン3000ppmにおける抵抗値Rmを測定して、感度Sを算出した。測定開始時の感度Sを初期値として、初期値との変化率を図9に示す。
1a :半導体式ガスセンサ
2 :支持基板
3 :空洞部
10 :基板
11 :ベース
12 :絶縁層
16 :適温部位
17 :低温部位
18 :測定寄与部位
21 :第1架橋部
22 :第2架橋部
23 :給電線
24 :検知線
25 :給電検知線(給電線)
30 :ヒータ
40 :検知部
41 :電極
42 :電極
43 :抵抗体(給電検知部)
50 :ガス感応体
Claims (8)
- 基板に設けられたガス感応体と、検知対象ガスが前記ガス感応体に接触したことを検知する検知部と、測定時に前記ガス感応体を所定の検知温度以上に加熱する加熱部とを有するガスセンサであって、
前記基板は、前記基板の接続端部に接続された架橋部によって支持基板に支持されており、
前記検知部は前記ガス感応体に設けられた一対の電極を有し、前記検知部は一対の前記電極の間の抵抗値の変化に基づいて前記検知対象ガスを検知し、
前記ガス感応体は、測定時に前記検知温度以上の温度となる適温部位と、測定時に前記検知温度未満の温度となる低温部位とを有し、
前記架橋部は、前記加熱部に給電する給電線が設けられた第1架橋部と、前記給電線が設けられない第2架橋部とを有し、
前記低温部位には、前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極が配置されないことを特徴とするガスセンサ。 - 基板に設けられたガス感応体と、検知対象ガスが前記ガス感応体に接触したことを検知する検知部と、測定時に前記ガス感応体を所定の検知温度以上に加熱する加熱部とを有するガスセンサであって、
前記基板は、前記基板の接続端部に接続された架橋部によって支持基板に支持されており、
前記検知部は前記ガス感応体に設けられた一対の電極を有し、前記検知部は一対の前記電極の間の抵抗値の変化に基づいて前記検知対象ガスを検知し、
前記ガス感応体は、測定時に前記検知温度以上の温度となる適温部位と、測定時に前記検知温度未満の温度となる低温部位とを有し、
前記架橋部は、前記加熱部に給電する給電線が設けられた第1架橋部と、前記給電線が設けられない第2架橋部とを有し、
前記基板には、一方の前記電極からの距離と他方の前記電極からの距離との和が所定の測定寄与距離以下となる部位である測定寄与部位が存在し、前記測定寄与部位が平面視において前記低温部位と重複して設けられないことを特徴とするガスセンサ。 - 前記接続端部のうち、前記第2架橋部が接続される第2接続端部が前記低温部位に接触している請求項1又は2に記載のガスセンサ。
- 基板に設けられたガス感応体と、検知対象ガスが前記ガス感応体に接触したことを検知する検知部と、測定時に前記ガス感応体を所定の検知温度以上に加熱する加熱部とを有するガスセンサであって、
前記基板に、前記検知部と前記加熱部とを兼ねる導電体である検知加熱部が設けられ、
前記ガス感応体は、測定時に前記検知温度以上の温度となる適温部位と、測定時に前記検知温度未満の温度となる低温部位とを有し、
前記低温部位に前記検知加熱部が配置されないことを特徴とするガスセンサ。 - 前記基板は、前記基板の接続端部に接続された架橋部によって支持基板に支持されており、
前記架橋部は、前記加熱部に給電する給電線が設けられた第1架橋部と、前記給電線が設けられない第2架橋部とを有し、
前記接続端部のうち、前記第2架橋部が接続される第2接続端部が前記低温部位に接触している請求項4に記載のガスセンサ。 - 前記ガス感応体が酸化物半導体を主成分とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 前記検知温度が350℃以上550℃以下である請求項1〜6のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のガスセンサと、前記ガスセンサの出力に基づいて前記検知対象ガスに関係したガス情報を出力する出力部とを有するガス検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014197412A JP6410542B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | ガスセンサおよびガス検出器 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014197412A JP6410542B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | ガスセンサおよびガス検出器 |
Publications (2)
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JP2016070703A JP2016070703A (ja) | 2016-05-09 |
JP6410542B2 true JP6410542B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014197412A Active JP6410542B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | ガスセンサおよびガス検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6410542B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH079411B2 (ja) * | 1986-03-24 | 1995-02-01 | リコ−精器株式会社 | 雰囲気検出装置 |
JPH06118047A (ja) * | 1991-12-27 | 1994-04-28 | Ricoh Seiki Co Ltd | 雰囲気センサの構造 |
JP3402453B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2003-05-06 | 株式会社ダイフク | 物品移載装置及びそれを用いた物品段積み装置 |
JP4798961B2 (ja) * | 2004-04-26 | 2011-10-19 | 株式会社倉元製作所 | ヒータデバイス及びこれを用いた気体センサ装置 |
KR20090064693A (ko) * | 2007-12-17 | 2009-06-22 | 한국전자통신연구원 | 마이크로 가스 센서 및 그 제작 방법 |
-
2014
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Publication number | Publication date |
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