JP5158009B2 - ガスセンサ素子及びその製造方法、並びにガスセンサ - Google Patents
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Description
かかるガスセンサ素子は、例えば特許文献1、2に開示されているように、酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の表面に設けられた測定電極と、上記固体電解質体における上記測定電極を設けた側と反対側の表面に設けられた基準電極と、上記測定電極に面し被測定ガスを導入する被測定ガス室と、上記基準電極に面し大気を導入する大気室とを有する。
しかしながら、上述のガスセンサにおけるガスセンサ素子は、小型化にともなって内部に形成された被測定ガス室も小さくなる。これにより、被測定ガス中の特定ガスの測定精度が低下するという問題がある。すなわち、特定ガス濃度を検出するに当たっては、被測定ガス室に導入された被測定ガス中の特定ガスが、測定電極において分解される。このとき、被測定ガス室が小さいと、被測定ガス室における被測定ガス中において特定ガス濃度が低下しやすくなる。それゆえ、実際の被測定ガスと被測定ガス室内の被測定ガスとで、特定ガス濃度に差が生じやすくなる。その結果、測定精度が低下してしまうという問題がある。
また、被測定ガスが測定電極の全体に供給されにくくなることも、測定精度低下の原因となる。
上記被測定ガス室は、上記ガスセンサ素子の長手方向及び積層方向に直交する幅方向の中央部が、他の部位よりも積層方向の高さが大きく、
かつ、上記被測定ガス室は、上記固体電解質体と、該固体電解質体にスペーサ層を介して積層した対向セラミック層との間に形成され、上記固体電解質体と上記対向セラミック層との少なくとも何れか一方が湾曲していることを特徴とするガスセンサ素子にある(請求項1)。
上記固体電解質体を含めた複数の上記セラミック層を未焼成の状態で積層するとともに、上記被測定ガス室となる空洞部に焼失材を充填して積層体を形成する積層工程と、
上記積層体を焼成するとともに上記焼失材を焼失させる焼成工程とを有し、
かつ、上記積層体を積層方向に加圧しながら上記焼成工程を行い、少なくとも、上記空洞部における積層方向の高さが最も大きい部分に向って加圧力が作用しないように
することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法にある(請求項4)。
特に、本発明において、上記被測定ガス室は、上記固体電解質体と、該固体電解質体にスペーサ層を介して積層した対向セラミック層との間に形成され、上記固体電解質体と上記対向セラミック層との少なくとも何れか一方が湾曲している。
そのため、上記被測定ガス室を容易に形成することができると共に、該被測定ガス室の断面積を容易に大きくすることができる。
また、上記焼成工程においては、上記積層体を積層方向に加圧しながら行い、少なくとも、上記空洞部における積層方向の高さが最も大きい部分に向って加圧力が作用しないようにする。
そのため、上記積層体の反りを抑制することができると共に、上記被測定ガス室の形状を所望の形状とすることができる。すなわち、焼成工程においては、セラミックの収縮によって積層体に反りが発生することがあるため、積層体を積層方向に加圧しながら焼成を行うことにより、この反りを抑制することができる。しかし、上記空洞部における積層方向の高さが最も大きい部分に向って加圧力が直接作用すると、積層体焼成後における空洞部の中央部の高さを大きくすることが困難となる。そこで、この空洞部における積層方向の高さが最も大きい部分には少なくとも加圧力が向わないようにして、空洞部すなわち被測定ガス室の形状を確保することができる。
この場合には、被測定ガス室の体積を容易に大きくすることができるとともに、被測定ガス室を形成するセラミック層に生じる応力を低減することができる。すなわち、積層方向の両方に膨らんだ形状とすることにより、被測定ガス室を大きくしやすいし、その分、セラミック層の変形量も少なくすることができるため、セラミック層にかかる応力を低減することができる。また、上記被測定ガス室の形状を、曲面状に膨らんだ形状とすることで、応力を分散させることができ、セラミック層に亀裂等が生じることを防ぐことができる。
そのため、上記被測定ガス室を容易に形成することができると共に、該被測定ガス室の断面積を容易に大きくすることができる。
この場合には、より一層測定精度に優れたガスセンサ素子を得ることができる。
この場合には、容易かつ正確に上記被測定ガス室の体積を調整することができる。
この場合には、上記積層体を容易に形成することができる。
そのため、上記積層体の反りを抑制することができると共に、上記被測定ガス室の形状を所望の形状とすることができる。すなわち、焼成工程においては、セラミックの収縮によって積層体に反りが発生することがあるため、積層体を積層方向に加圧しながら焼成を行うことにより、この反りを抑制することができる。しかし、上記空洞部における積層方向の高さが最も大きい部分に向って加圧力が直接作用すると、積層体焼成後における空洞部の中央部の高さを大きくすることが困難となる。そこで、この空洞部における積層方向の高さが最も大きい部分には少なくとも加圧力が向わないようにして、空洞部すなわち被測定ガス室の形状を確保することができる。
この場合には、より確実に、上記被測定ガス室の形状を所望の形状とすることができる。
本発明の実施例にかかるガスセンサ素子につき、図1〜図13を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子1は、図1に示すごとく、複数のセラミック層10を積層してなる積層型のガスセンサ素子である。該ガスセンサ素子1は、図2に示すごとく、長尺の板棒形状を有し、一方の端部に後述する測定電極21や被測定ガス室3を有し、他方の端部に測定電極21等に電気的に接続された端子部18を形成してなる。この図2におけるA−A線矢視断面が図1のように現れる。
なお、図1において、測定電極21及び基準電極22は厚みを大きく描いてあるが、実際には、これらはセラミック層10に比べて充分に厚みが小さい。他の図面においても同様である。
すなわち、被測定ガス室3は、固体電解質体11と、固体電解質体11にスペーサ層12を介して積層した対向セラミック層13との間に形成され、固体電解質体11と対向セラミック層13とが、その中央部を互いに遠ざける方向へ湾曲している。
かかる構成において、対向セラミック層13(拡散抵抗層)の幅方向Wの端面131から被測定ガスが対向セラミック層13内を拡散されながら透過して被測定ガス室3に導入される。
例えば、固体電解質体11はジルコニアを主成分とし、その他のセラミック層10はアルミナを主成分としている。
具体的には、被測定ガスを、対向セラミック層13(拡散抵抗層)を介して被測定ガス室3に導入する。一方、大気室4には大気を導入する。そして、測定電極21と基準電極22との間に所定の電圧を印加することにより、被測定ガス中の特定ガス(酸素)が測定電極21において分解して酸素イオンとなり、固体電解質体11中を伝導して基準電極22へ移動する。この酸素イオンの移動によるイオン電流の電流値は、被測定ガス中の特定ガス(酸素)の濃度に応じて決まる。そのため、この電流値を測定することにより、被測定ガス中の特定ガス(酸素)の濃度を検出することができる。
本例の製造方法は、下記の積層工程と焼成工程とを有する。
積層工程においては、図11に示すごとく、固体電解質体11を含めた複数のセラミック層10を未焼成の状態で積層するとともに、被測定ガス室3となる空洞部30に焼失材5を充填して積層体100を形成する。
焼成工程においては、積層体100を焼成するとともに焼失材5を焼失させる。
図5に示すごとく、ジルコニアを主成分とする固体電解質体11の未焼成体(以下、単に「固体電解質体11」ともいう)の一方の面と他方の面とに、それぞれ導電ペーストを印刷することによって、測定電極21と基準電極22とを形成する。
ここで、セラミックペースト120の組成は、例えば、アルミナ〔100重量部〕、バインダとしてのPVB(ポリビニルブチラール)〔12重量部〕、溶剤としてのテルピネオール〔41重量部〕とすることができる。
このセラミックペースト120の中で、溶剤は、上記の乾燥の際に揮発することとなる。
焼失材5の組成は、例えば、カーボンパウダ〔100重量部〕、バインダとしてのエチルセルロース〔52重量部〕、可塑剤としてのフタル酸ブチル〔31重量部〕、溶剤としてのテルピネオール〔158重量部〕とすることができる。
このペースト状の焼失材5の中で、溶剤は、上記の乾燥の際に揮発し、焼失材5の中に気孔が形成されることとなる。
また、溶剤が揮発することにより焼失材5の中に形成される気孔の体積によって、後述する熱圧着の際に焼失材5の体積減少が変化するため、ペースト状の焼失材5組成についても、被測定ガス室3の体積調整の観点から調整する必要がある。さらには、ペースト状の焼失材5の粘度は、後述する熱圧着時における焼失材の変形しやすさに影響を与えるため、その調整も重要である。
そして、この積層体に対して積層方向に圧力をかけることにより、熱圧着する。このとき、例えば、80℃の温度下において10分間、50MPaの圧力を加える。
熱圧着の際、焼失材5の中に形成されていた気孔が潰され、焼失材5の体積が小さくなる。このときの焼失材5の体積減少率は、気孔の体積、すなわちペースト状の焼失材5の組成によって変わることとなる。
これにより、ガスセンサ素子1の未焼成の積層体100を得る。
この焼成工程において、焼失材5は焼失し、焼失材5のあった空洞部30が被測定ガス室3となる。
また、焼成工程は、積層体100を積層方向に加圧しながら行う。すなわち、図12に示すごとく、積層体100を、平坦な支持台61の上に、ヒータ層17側の表面を下にして載置したうえで、積層体100における遮蔽層13側の表面に加圧部材62を載置する。
特に本例では、上記加圧力は、空洞部30に向って作用しないようにしている。すなわち、上記当接部102と当接部103との間以外の部分に、空洞部30が配置している。
なお、本例では、図13に示すごとく、加圧部材62は、積層体100の長手方向に沿って、幅方向の両側に一対載置される。
また、セラミック層10は、焼成工程において所定量収縮することとなる。この収縮量は、焼成前のセラミック層10におけるセラミック成分に対するバインダ等の有機成分の含有量に依存する。
上記被測定ガス室3は、中央部31が、他の部位よりも積層方向の高さが大きい。そのため、全体のガスセンサ素子1の体格を小さくしつつ、被測定ガス室3の体積を大きくすることができる。すなわち、被測定ガス室3において、中央部31の高さが他の部位の高さよりも高くしておくことにより、被測定ガス室3を形成する上下のセラミック層10(固体電解質体11と対向セラミック層13)を接合する部分の高さを低くしつつ、被測定ガス室3の体積を大きくすることができる。その結果、ガスセンサ素子1の全体の体格は小さくしたまま、被測定ガス室3の体積を大きくすることができる。
そして、焼失材5の充填量を調整することによって、被測定ガス室3の体積を調整することができるため、容易かつ正確に被測定ガス室3の体積を調整することができる。
また、複数のセラミック層10を互いに熱圧着することによって積層体100を得ることにより、積層体100を容易に形成することができる。
本例においては、特に、加圧力が空洞部30以外の部分に作用するようにしているため、より確実に、上記被測定ガス室の形状を所望の形状とすることができる。
本例は、図14〜図16に示すように、焼成工程における積層体100の加圧方法を種々変更した例である。
図14に示す方法は、積層体100の軸方向に直交する断面が略V字形状にて形成される加圧部材62を用いて、積層体100を加圧するものである。この場合には、角部104において、加圧部材62が積層体100に接触する。
その他は、実施例1と同様の構成及び作用効果を有する。
本例は、被測定ガス室の体積とガスセンサ素子の測定精度との関係を調べた実験例である。
本例のガスセンサ素子1は、上述したごとくA/Fセンサ素子であって、測定電極21と基準電極22との間に電圧を印加したときに電極間に流れる電流値を測定することにより、被測定ガス中の特定ガス(酸素)の濃度(分圧)を検出するものである。
このフラット部Fの傾斜角度は、測定電極21への被測定ガスの供給状態によって変化し、測定電極21の全体に万遍なく被測定ガスが供給される状態が得られるほど、小さくなる。
そこで、本例においては、このフラット部Fの傾斜の小ささ、すなわち「フラット性」を測定精度の指標として、異なる体積の被測定ガス室3を有するガスセンサ素子の評価を行った。
表1において、体積増加率とは、実施例1(図4)において説明した仮想ガス室39の体積V2に対する各試料の被測定ガス室3の体積の増加率を示す。なお、体積増加率がマイナス(−)の試料は、仮想ガス室39よりも体積の小さい被測定ガス室3を有することとなる。この場合の被測定ガス室3の形状は、固体電解質体11と対向セラミック層13とがその中央部を互いに近づける方向に変形したような形状(中央が凹んだ形状)となる。
上記体積増加率の調整は、焼失材5の塗布膜厚によって調整した。
そして、各試料について5つのサンプルのそれぞれにおける被測定ガス室3の体積増加率を測定し、その平均値を算出した。この平均値および最大値、最小値を表1に示す。
その結果、電極間に流れた電流値を測定し、大きい電圧をかけたときの電流値と、小さい電圧をかけたときの電流値との差を、増加電流値として算出した。そして、この増加電流値を各試料ごとに5個のサンプルについて求めた。これらの測定値、及び各試料ごとの増加電流値の平均を、表2に示すと共に、図18にプロットした。
図18において、プロット「○」は、各サンプルの実測値、プロット「−」は、各試料の平均値を示す。また、曲線Mは、上記平均値を結んだ近似曲線を示す。
この結果から、被測定ガス室3を仮想ガス室39(図3)よりも大きくすることにより、センサ精度が向上することが分かる。そして、体積増加率を182%以上とする(すなわち被測定ガス室3を仮想ガス室39の2.82倍以上とする)ことにより、増加電流値を0.2mA以下とすることができ、センサ精度を格段に向上させることができる。
10 セラミック層
11 固体電解質体
12 スペーサ層
13 対向セラミック層
14 遮蔽層
21 測定電極
22 基準電極
3 被測定ガス室
31 中央部
Claims (8)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の表面に設けられた測定電極と、上記固体電解質体における上記測定電極を設けた側と反対側の表面に設けられた基準電極と、上記測定電極に面し被測定ガスを導入する被測定ガス室と、上記基準電極に面し大気を導入する大気室とを有するとともに、複数のセラミック層を積層してなる積層型のガスセンサ素子であって、
上記被測定ガス室は、上記ガスセンサ素子の長手方向及び積層方向に直交する幅方向の中央部が、他の部位よりも積層方向の高さが大きく、
かつ、上記被測定ガス室は、上記固体電解質体と、該固体電解質体にスペーサ層を介して積層した対向セラミック層との間に形成され、上記固体電解質体と上記対向セラミック層との少なくとも何れか一方が湾曲していることを特徴とするガスセンサ素子。 - 請求項1において、上記被測定ガス室は、積層方向の両方に曲面状に膨らんだ形状を呈していることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1において、上記被測定ガス室は、上記固体電解質体と上記対向セラミック層とが何れも平板状であったとしたときに形成される仮想ガス室に対して、2.82倍以上の体積を有することを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のガスセンサ素子を製造する方法であって、
上記固体電解質体を含めた複数の上記セラミック層を未焼成の状態で積層するとともに、上記被測定ガス室となる空洞部に焼失材を充填して積層体を形成する積層工程と、
上記積層体を焼成するとともに上記焼失材を焼失させる焼成工程とを有し、
かつ、上記積層体を積層方向に加圧しながら上記焼成工程を行い、少なくとも、上記空洞部における積層方向の高さが最も大きい部分に向って加圧力が作用しないように
することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。 - 請求項4において、上記焼失材の充填量を調整することによって、上記被測定ガス室の体積を調整することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
- 請求項4又は5において、上記複数のセラミック層を互いに熱圧着することによって上記積層体を得ることを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
- 請求項4において、上記加圧力は、上記空洞部に向って作用しないようにすることを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のガスセンサ素子を用いてなることを特徴とするガスセンサ。
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