JP4502991B2 - 酸素センサ - Google Patents
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Description
図1に示すλセンサを図3に基づき、以下のようにして作製した。まず、市販のSi、Mg、Caを5重量%含むアルミナ粉末と、Siを0.1重量%含む5モル%Y2O3含有のジルコニア粉末と、8モル%のイットリアからなるジルコニア粉末を30体積%含有する白金粉末と、W粉末をそれぞれ準備した。
図2に示す空燃比センサ素子を図4に基づき以下のようにして酸素センサを作製した。実施例1と同様にして作製したジルコニアグリーンシート33の両面に、ジルコニア粉末を含有する白金をスクリーン印刷して、ポンピング電極14として外側電極と内側電極のパターン31、リードパターン32、さらに排気ガスを取り込むための拡散孔13を形成した。また、グリーンシート30に対して空間部12を形成した。そして、実施例1と同様にして、グリーンシート20、24、25とともにアクリル樹脂の密着剤により積層し、大気中1500℃で1時間焼成して、センサ基板を作製した。
実施例1のNo.4のλセンサにおいて、ヒータ基板2におけるグリーンシート26の厚さを変更することによって、発熱体8とヒータ基板2表面までの距離Lを種々変更した。また、センサ基板1およびヒータ基板2を焼成するにあたり、積層体に重さの異なる平滑なアルミナ基板を乗せて焼成し、反り量を種々変化させた。なお、センサ基板1およびヒータ基板2の反りは表面粗さ計を用いて測定した。なお、上記距離Lおよび反り量を変化させる以外は、全く同様な酸素センサである。
実施例3の試料No.21と同一作製ロットの試料10個を用いて、800℃まで30秒で昇温し、800℃で1分間保持した後、室温まで空冷する温度サイクルを1サイクルとして、これを10万回繰り返した時のヒータ基板2またはセンサ基板1の破損率を求めた。比較のため、市販のヒータ一体化酸素センサ10個についても同様な実験を行った。その結果、本発明の酸素センサの破損率は10%以下であった。それに対して、市販のヒータ一体化酸素センサの破損率は60%であった。これより、本発明は急激な熱衝撃に対して、優れた特性を有することが分かる。
実施例3のNo.21の酸素センサにおいて、この後、上記のセンサ基板1とヒータ基板2をガラスの厚さを調製して隙間を表3のように変化させた。センサ基板1とヒータ基板2の隙間Sは、側面から写真を撮影して写真から測定した。
2 ヒータ基板
3 固体電解質基板
4 基準電極
5 測定電極
7 アルミナ絶縁体
8 発熱体
A センサ形成部
B 発熱体形成部
Claims (8)
- ジルコニア固体電解質基板の少なくとも内外面の対向する位置に基準電極および測定電極を形成してなるセンサ基板と、該センサ基板を加熱する発熱体を内蔵するアルミナ絶縁体からなるヒータ基板とを、前記基準電極と前記測定電極のうち前記基準電極を前記ヒータ基板側に位置させて積層、固定してなり、前記測定電極の表面にセラミック多孔質層が形成されているとともに、前記発熱体は、長手方向の両端が前記測定電極の長手方向の両端を越えるように形成されており、かつ前記測定電極の長手方向の長さをa、前記発熱体の長手方向の長さをbとした時、b/aが1.05〜1.5を満足することを特徴とする酸素センサ。
- 前記セラミック多孔質層が、気孔率が10〜50%のジルコニア、アルミナ、γ−アルミナおよびスピネルの群から選ばれる少なくとも1種によって形成されていることを特徴とする請求項1記載の酸素センサ。
- 前記発熱体が、W、Mo、Reの少なくとも1種の導体から形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の酸素センサ。
- 前記発熱体から前記センサ基板が固定される側のヒータ基板表面までの距離が100〜600μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか記載の酸素センサ。
- 前記ヒータ基板の少なくともセンサ基板が固定される側の角部に、0.2mm以上のC面、または半径Rが0.1mm以上のR面を設けたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか記載の酸素センサ。
- 前記センサ基板および前記ヒータ基板の反りがそれぞれ0.2mm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか記載の酸素センサ。
- 前記センサ基板と前記ヒータ基板とが0.5mm以下の隙間をもって積層されてなることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか記載の酸素センサ。
- 前記センサ基板と前記ヒータ基板とが、無機接着剤によって接着されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか記載の酸素センサ。
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