JP4884103B2 - セラミックヒータおよびガスセンサ素子 - Google Patents
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表1に示す特性に関しては、下記の方法により測定した。
作製したセラミックヒータについて、発熱部2aおよびリード部2bの断面を図3に示すように鏡面出しして、500倍の走査型電子顕微鏡写真を撮影し、各写真から接合部の長さn、厚み等を測定した。また、セラミックヒータの幅と厚みは、マイクロメータで測定した。試料数量は、下記の(4)の試料20個について測定して、その平均値を求めた。
抵抗値は、25℃の恒温室中において、電極パッド4間で測定した。表1の値は、同様に(4)の20個の試料の平均値でその際抵抗値のバラツキは±5%であった。
急速昇温性は上記のセラミックヒータに12Vの電圧を印加した際に、図9に示すヒータ部21の最高表面温度が室温から400℃まで達するのに必要な時間(秒)を示す。これも、(4)の20個の平均値を示す。
上記のセラミックヒータに約25V前後の電圧を印加し、室温から1100℃まで約20秒で昇温し、さらに1100℃で1分保持した後、印加電圧を切ってセラミックヒータを室温まで空冷した。この温度サイクルを1サイクルとして、これを10万回繰り返した時のヒータの破損率を求めた。試料数はそれぞれ20個とした。
各測定結果を表1に示す。なお、表1中の「接合部の位置」とは、接合部における厚み方向一方側の頂点と他方側の頂点から中心線7に垂線をそれぞれ下ろし、これらの垂線の間隔(ずれの長さ)をΔTとするとき、このΔTと接合部の長さnとの比(ΔT/n)を評価したものである。この比(ΔT/n)が0.3以下のとき、接合部の一方側の頂点と他方側の頂点が対向しているとした。
2・・・発熱体
2a・・・発熱部
2b・・・リード部
4・・・電極パッド
5・・・ビア単体
6・・・変形部
7・・・中心線
8・・・白金
9・・・アルミナ
10・・・発熱部とリード部が接する界面
42a・・・測定電極パターン
42b・・・測定電極リードパターン
42c・・・基準電極パターン
42d・・・基準電極リードパターン
20・・・センサ部
21・・・ヒータ部
22・・・固体電解質基板
23、23a・・・基準電極
24、24a・・・測定電極
26・・・セラミック絶縁層基体
27a・・・発熱部
41・・・固体電解質グリーンシート
43a・・・パッド
43b・・・スルーホール
44・・・大気導入孔
45・・・グリーンシート
46・・・グリーンシート
47・・・グリーンシート
49・・・発熱パターン
50・・・リードパターン
51・・・電極パターン
52・・・ビア単体
Claims (9)
- セラミック絶縁層を積層圧着した後、焼成して成るセラミック体中に、発熱部と、該発熱部に電流を供給するためのリード部と、前記発熱部と前記リード部が接合された接合部とを有するセラミックヒータにおいて、前記接合部は、その両端部に隣接する前記発熱部および前記リード部の何れの上下面よりも前記積層方向の両側に突出した形状を有していることを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記接合部は、長さ方向の一端から他端にわたる全域において、前記積層方向の厚みが前記発熱部および前記リード部の厚みよりも厚いことを特徴とする請求項1記載のセラミックヒータ。
- 前記接合部における前記積層方向の一方側の頂点と他方側の頂点は、前記積層方向に対向する位置に形成されていることを特徴とする請求項1または2記載のセラミックヒータ。
- 前記リード部の厚みは、前記発熱部の厚みよりも厚く、前記接合部の厚みよりも薄いことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 前記接合部の長さが100〜1000μmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 前記発熱部は白金を主成分とし、30〜55体積%のアルミナを含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 前記リード部は白金を主成分とし、5〜29体積%のアルミナを含有することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 前記発熱部及び前記リード部は白金を主成分とし、前記リード部における白金の含有量が前記発熱部における白金の含有量よりも多いことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のセラミックヒータを備えたことを特徴とするガスセンサ素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006179387A JP4884103B2 (ja) | 2005-06-29 | 2006-06-29 | セラミックヒータおよびガスセンサ素子 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005189691 | 2005-06-29 | ||
JP2005189691 | 2005-06-29 | ||
JP2006179387A JP4884103B2 (ja) | 2005-06-29 | 2006-06-29 | セラミックヒータおよびガスセンサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007042615A JP2007042615A (ja) | 2007-02-15 |
JP4884103B2 true JP4884103B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=37800388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006179387A Expired - Fee Related JP4884103B2 (ja) | 2005-06-29 | 2006-06-29 | セラミックヒータおよびガスセンサ素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4884103B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7919734B2 (en) * | 2006-07-24 | 2011-04-05 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method for manufacturing ceramic heater and ceramic heater |
JP5241744B2 (ja) * | 2010-01-27 | 2013-07-17 | 京セラ株式会社 | 酸素センサ |
KR101058425B1 (ko) * | 2011-03-29 | 2011-08-24 | 정원철 | 카본섬유 발열램프 |
JP5403017B2 (ja) | 2011-08-30 | 2014-01-29 | 株式会社デンソー | セラミックヒータ及びそれを用いたガスセンサ素子 |
CN103931271B (zh) * | 2011-11-15 | 2016-08-31 | 株式会社美铃工业 | 加热器以及具备该加热器的定影装置和干燥装置 |
CN106233819B (zh) * | 2014-05-27 | 2019-07-05 | 京瓷株式会社 | 陶瓷加热器以及具备其的点火装置 |
JP7161437B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2022-10-26 | 京セラ株式会社 | ヒータ |
KR102549589B1 (ko) * | 2021-12-22 | 2023-06-29 | (주)나노아이오닉스코리아 | 수분 생성 반응을 방지하기 위한 tcd형 수소 센서와 필라멘트 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5854578A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-03-31 | 株式会社東芝 | シ−ズヒ−タ |
JP2000058237A (ja) * | 1998-06-05 | 2000-02-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒ―タ及びそれを用いた酸素センサ |
JP4294232B2 (ja) * | 2001-05-02 | 2009-07-08 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ及びそれを用いたグロープラグ |
JP4324439B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2009-09-02 | 京セラ株式会社 | セラミックヒータおよびセラミックヒータ構造体 |
-
2006
- 2006-06-29 JP JP2006179387A patent/JP4884103B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007042615A (ja) | 2007-02-15 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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