JP5322965B2 - ガスセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記外側ポンプ電極を被覆し、厚みが10〜200μm、厚みバラツキが20%以下の多孔質体からなる特性安定化層を備えたものである。
(a)前記センサ素子及び前記ヒーターを作製するための複数の未焼成グリーンシートを用意する工程と、
(b)前記複数の未焼成グリーンシートを重ね合わせて積層体とし、前記特性安定化層を作製するための原料であるスラリーを用いて前記積層体のうち前記外側ポンプ電極となる部分を被覆するようにスクリーン印刷する工程(「積層−印刷工程」という)と、
(c)前記工程(b)で得られた積層体を焼成する工程と、
を含むもの、あるいは、
(a)前記センサ素子及び前記ヒーターを作製するための複数の未焼成グリーンシートを用意する工程と、
(b)前記複数の未焼成グリーンシートのうち前記外側ポンプ電極となる部分が設けられているものにつき、前記特性安定化層を作製するための原料であるスラリーを用いて前記外側ポンプ電極となる部分を被覆するようにスクリーン印刷し、その後、前記複数の未焼成グリーンシートを積層して積層体とする工程(「印刷−積層工程」という)と、
(c)前記工程(b)で得られた積層体を焼成する工程と、
を含むものである。
試験例1〜9のNOxセンサ100は、以下の基本手順にしたがって作製した。まず、安定化剤のイットリアを4mol%添加したジルコニア粉末をテープ状に成形してグリーンシートを6枚作製した。そして、上述したNOxセンサ100の第1基板層1と、第2基板層2と、第3基板層3と、第1固体電解質層4と、スペーサ層5と、第2固体電解質層6のそれぞれに対応して、電極や絶縁層、抵抗発熱体等のパターンをスクリーン印刷により形成した。その後、それらを積層し一体化して積層体とした。その積層体を切断してNOxセンサ100の大きさに切り分けた。切り分けた積層体の上面には、外側ポンプ電極23となる部分が露出しているため、その部分を被覆するように所定のスラリーでスクリーン印刷した。ここで使用したスラリーは、アルミナ粉末とバインダーと有機溶剤とを、ポットミルを用いて分散させることにより調製した。このようにして調製したスラリーの粘度は30[Pa・s]であった。そして、スクリーン印刷後の積層体を大気雰囲気下、1400℃で焼成し、NOxセンサ100を得た。また、試験例10〜12では、切り分けた積層体の外側ポンプ電極23となる部分をスクリーン印刷する際、外側ポンプ電極23となる部分とは反対側の面やその他の側面のほか、先端面(但しガス導入口を除く)もスクリーン印刷した。
試験例1〜12のNOxセンサ100を用いてNOx感度比を求めた。具体的には、予めNOx濃度を所定濃度に調整した被測定ガスを無風時(0.1m/sec以下)で測定したときの測定値をX0とし、その後同じ被測定ガスを流速15m/secで流し始めてから3分後に測定したときの測定値をX1とし、NOx感度比をX1/X0として求めた。その結果を図6に示す。図6のグラフから明らかなように、特性安定化層24の厚みが10μm以上では、高流速時においても無風時と同等の感度が得られた。その理由は、特性安定化層24の厚みが10μm以上だと、熱容量が十分大きいため周囲の温度が高流速の風により急に下がったとしても外側ポンプ電極23の温度はそれほど下がらないためと考えられる。なお、試験例10〜12では、それぞれ試験例3,6,8に比べてNOx感度比が上昇したが、これは焼成歪み防止層や保温層を設けたことによって一層保温効果が高まったためと考えられる。
試験例1〜12のNOxセンサ100を用いて素子温度安定指標を求めた。具体的には、一定のヒーター昇温パターン(ここでは、約40秒で設定温度に到達させるというパターン)で各NOxセンサ100を昇温したときの外側ポンプ電極23と内側ポンプ電極22との間のインピーダンスが安定するまでの信号安定時間を測定し、試験例1の測定時間に対する試験例2〜12のそれぞれの測定時間の比を素子温度安定指標とした。その結果を図7に示す。図7のグラフから明らかなように、特性安定化層24の厚みが200μm以下では素子温度安定指標は1.25以下(特に100μm以下では1.2以下)であったが、厚みが200μmを超えると急激に素子温度安定指標の値が上昇した。その理由は、特性安定化層24の厚みが200μm以下だと外側ポンプ電極23に汲み出された酸素の抜けが均一になり、インピーダンスが安定化するのに長時間を要しないのに対し、厚みが200μmを超えると外側ポンプ電極23に汲み出された酸素の抜けが不均一になり、インピーダンスが安定化するのに長時間を要したためと考えられる。なお、インピーダンスが安定化するまでの時間はライトオフ時間と同一視することができる。
試験例13〜17では、上述した基本手順に準じて、特性安定化層24の厚みの平均値が50μmになるように、積層体の焼成前、スクリーン印刷法により形成した。このときも印刷回数及びスラリー粘度等適宜調整し、厚みばらつきが5%,10%,20%のものを作成した。また、積層体の焼成後のものに、同様に厚みばらつきが5%,10%,20%,の特性安定化層の作成を試みたが、30%未満のものは得られず、印刷回数及びスラリー粘度等を調整しても厚みばらつきが30%以上のものしか得られなかった。これは、積層体焼成後では、反りや凹み等により被印刷表面が均一と成らず、一方で印刷法のスラリーは、流動性があるため均一な上面が得られるため、厚みばらつきが大きくなったと思われる。この厚みばらつきが30%のものを試験例16とした。更に、焼成後の積層体をスラリーにディッピングし(特性安定化層形成部位以外の表面には、テーピングでスラリー付着を防いだ)、厚みばらつきを5%〜50%の特性安定化層の形成を試みたが、スラリー粘度調整や、ディッピング後の乾燥方法を種々変更しても、50%未満の特性安定化層は得られなかった。これは、スラリーの流動性のため、ディッピング後の静置の方向やハンドリング方法により容易に特性安定化層上面が変動したためと思われる。この厚みばらつきが50%のものを試験例17とした。なお、厚みばらつきは、外側ポンプ電極の両端部および中央部での素子長手方向の断面をSEMにて観察したときの、各々の断面での外側ポンプ電極の両端部および中央部における特性安定化層の表面と、外側ポンプ電極と特性安定化層の界面との間の厚みを5点測定し、最大厚みと最小厚みとの差Rと、平均値Avを求め、差Rを平均値Avで除した値の百分率とした(下式参照)。
厚みばらつき(%)=R/Av ×100
1つの試験例につき5本のNOxセンサ100を作製し、大気中にて一定のヒーター昇温パターン(ここでは、約40秒で設定温度に到達させるというパターン)で昇温した後、各ポンプ電極が駆動して出力信号が安定するまでの時間を計測した。そして、下記式により各試験例の信号安定時間のばらつきを求めた。式中、Tmax,Tmin,Tavrは、同一試験例の5本のNOxセンサ100の信号安定時間の最大値、最小値及び平均値である。試験例13〜17の結果を図8に示す。なお、試験例13〜15が本発明の実施例に相当し、試験例16,17が比較例に相当する。
信号安定時間のばらつき(%)=(Tmax−Tmin)/Tavr ×100
Claims (9)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質層からなる基体の内外に内側ポンプ電極及び外側ポンプ電極が配設され、内側ポンプ電極が露出しているガス室に被測定ガスを導入して該ガス室中の酸素を内側ポンプ電極から外側ポンプ電極を介して外部へ汲み出す動作を伴って前記被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するセンサ素子と、該センサ素子に隣接し該センサ素子を加熱可能なヒーターとを備えたガスセンサであって、
前記外側ポンプ電極を被覆し、厚みが10〜200μm、厚みバラツキが20%以下、気孔率が10〜65%の多孔質体からなる特性安定化層
を備え、
前記センサ素子のうち前記ガス室に被測定ガスを導入するガス導入口が設けられた面に多孔質体からなる保温層を備えない
ガスセンサ。 - 前記特定ガスがNOxである、
請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記特性安定化層は、厚みが10〜100μmである、
請求項1又は2に記載のガスセンサ。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のガスセンサであって、
前記センサ素子のうち前記特性安定化層が設けられた面とは反対側の面に焼成歪み防止層を備えたガスセンサ。 - 請求項4記載に記載のガスセンサであって、
前記焼成歪み防止層は、前記センサ素子のうち前記特性安定化層が設けられた面とその反対側の面とに挟まれた両側面にも形成されている、
ガスセンサ。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のガスセンサを製造する方法であって、
(a)前記センサ素子及び前記ヒーターを作製するための複数の未焼成グリーンシートを用意する工程と、
(b)前記複数の未焼成グリーンシートを重ね合わせて積層体とし、前記特性安定化層を作製するための原料であるスラリーを用いて前記積層体のうち前記外側ポンプ電極となる部分を被覆するようにスクリーン印刷する工程と、
(c)前記工程(b)で得られた積層体を焼成する工程と、
を含むガスセンサ製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のガスセンサを製造する方法であって、
(a)前記センサ素子及び前記ヒーターを作製するための複数の未焼成グリーンシートを用意する工程と、
(b)前記複数の未焼成グリーンシートのうち前記外側ポンプ電極となる部分が設けられているものにつき、前記特性安定化層を作製するための原料であるスラリーを用いて前記外側ポンプ電極となる部分を被覆するようにスクリーン印刷し、その後、前記複数の未焼成グリーンシートを積層して積層体とする工程と、
(c)前記工程(b)で得られた積層体を焼成する工程と、
を含むガスセンサ製造方法。 - 請求項4又は5に記載のガスセンサを製造する、請求項7に記載のガスセンサ製造方法であって、
前記工程(b)では、前記複数の未焼成グリーンシートを重ね合わせて積層体とし、前記特性安定化層を作製するための原料であるスラリーを用いて前記積層体のうち前記外側ポンプ電極となる部分を被覆するようにスクリーン印刷すると共に、前記焼成歪み防止層を作製するための原料であるスラリーを用いて前記積層体のうち前記焼成歪み防止層となる部分を被覆するようにスクリーン印刷する、
ガスセンサ製造方法。 - 請求項4又は5に記載のガスセンサを製造する、請求項8に記載のガスセンサ製造方法であって、
前記工程(b)では、前記複数の未焼成グリーンシートのうち前記外側ポンプ電極となる部分が設けられているものにつき、前記特性安定化層を作製するための原料であるスラリーを用いて前記外側ポンプ電極となる部分を被覆するようにスクリーン印刷すると共に、前記焼成歪み防止層を作製するための原料であるスラリーを用いて前記焼成歪み防止層を作製すべき面にスクリーン印刷し、その後、前記複数の未焼成グリーンシートを積層して積層体とする、
ガスセンサ製造方法。
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