JP2009222561A - ガスセンサ素子 - Google Patents
ガスセンサ素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009222561A JP2009222561A JP2008067501A JP2008067501A JP2009222561A JP 2009222561 A JP2009222561 A JP 2009222561A JP 2008067501 A JP2008067501 A JP 2008067501A JP 2008067501 A JP2008067501 A JP 2008067501A JP 2009222561 A JP2009222561 A JP 2009222561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- gas
- measured
- oxygen
- cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
【解決手段】ガスセンサ素子1は、被測定ガスを導入する被測定ガス室11と、被測定ガス室11に所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入するための拡散抵抗部12と、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するセンサセル3と、被測定ガス室11における酸素濃度を調整する酸素ポンプセル2とを有する。センサセル3は、第1固体電解質体51と被測定ガス室11に面する測定電極31とこれと対をなす基準電極32とを有する。酸素ポンプセル2は、第2固体電解質体52と被測定ガス室11に面する内部ポンプ電極21とこれと対をなす外部ポンプ電極22とを有する。拡散抵抗部12は被測定ガス室11から積層方向Zに直交する方向に形成されている。被測定ガス室11における内部ポンプ電極21の外側端部211よりも内側に測定電極31が配設されている。
【選択図】図2
Description
かかるガスセンサに用いるガスセンサ素子として、例えば図26に示すごとく、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するセンサセル93と、被測定ガス室91における酸素濃度を調整する酸素ポンプセル92とを有するガスセンサ素子9が開示されている(特許文献1)。
そして、第2の内部空所912にセンサセル93の測定電極931が配設され、第1の内部空所911に酸素ポンプセル92の内部ポンプ電極921が配設されている。また、上記測定電極931と対をなす電極である基準電極932が、大気を導入する基準ガス室913に配設されている。また、上記内部ポンプ電極921と対をなす外部ポンプ電極922が、ガスセンサ素子9の外部に設けてある。
また、第1の内部空所911には、第1の内部空所911における酸素濃度を検出するための酸素モニタセル94の内部モニタ電極941が配設されている。そして、酸素モニタセル94は、この内部モニタ電極941と上記基準電極932とによって構成され、両者間に生じる起電力によって、第1の内部空所911における酸素濃度を検出している。
すなわち、上記ガスセンサ素子9における被測定ガス室91は、第1の内部空所911と第2の内部空所912とに分かれ、ガスセンサ素子9の長手方向Yに並べて配置してある。そして、被測定ガスを導入する第1の拡散律速通路961は、第1の内部空所911における第2の内部空所912と反対側の端部に、積層方向Zに形成されている。そのため、第1の拡散律速通路961から導入された被測定ガスが、第2の内部空所962におけるセンサセル93の測定電極931に達するまでの距離が長い。それ故、ガスセンサ素子9の応答性が低下するという問題がある。
該被測定ガス室に所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入するための拡散抵抗部と、
上記被測定ガス室に導入された被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するセンサセルと、
上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルとを有し、
上記センサセルは、上記第1固体電解質体と、上記被測定ガス室に面して上記第1固体電解質体の表面に設けられた測定電極と、該測定電極と対をなすように上記第1固体電解質体の表面に設けられた基準電極とを有し、
上記酸素ポンプセルは、上記第2固体電解質体と、上記被測定ガス室に面して上記第2固体電解質体の表面に設けた内部ポンプ電極と、該内部ポンプ電極と対をなすように上記第2固体電解質体の表面に設けられた外部ポンプ電極とを有し、
上記拡散抵抗部は、上記被測定ガス室から、上記第1固体電解質体と上記第2固体電解質体との積層方向に直交する方向に形成されており、
上記被測定ガス室における、上記内部ポンプ電極の外側端部よりも内側に、上記測定電極が配設されていることを特徴とするガスセンサ素子にある(請求項1)。
上記拡散抵抗部は、上記被測定ガス室から、上記第1固体電解質体と上記第2固体電解質体との積層方向に直交する方向に形成されている。これにより、拡散抵抗部の外側端部すなわち被測定ガスの導入口から上記測定電極までの距離を短くすることができ、ガスセンサ素子の応答性を向上させることができる。
また、上記ガスセンサ素子は、例えば自動車エンジン等の内燃機関における排気系に配置して用いることができる。
この場合には、被測定ガスは、拡散抵抗部を通過して被測定ガス室に導入されるまでの間に、充分に内部ポンプ電極に接触することとなる。それ故、この間に、酸素ポンプセルによって酸素を充分にポンピングして、被測定ガス中の酸素濃度を充分に調整することができる。
この場合には、特に、拡散抵抗部の外側端部すなわち被測定ガスの導入口から上記測定電極までの距離を短くしやすく、ガスセンサ素子の応答性を一層向上させることができる。
この場合には、上記酸素ポンプセルによって酸素濃度を充分に調整した後の被測定ガスを上記測定電極に供給できるため、特定ガス濃度の測定精度を向上させることができる。
特に、拡散抵抗部の外側端部と測定電極との間の距離を小さくして応答性を向上させようとすると、内部ポンプ電極の幅が小さくなり、酸素ポンピング能力を充分に確保することが困難となるおそれがある。それ故、酸素モニタセルを設けることにより、被測定ガス室における酸素濃度の変動を抑制したり、測定値を補正したりして、特定ガス濃度の検出制度を担保することができる。
この場合には、上記酸素ポンプセルによって酸素濃度を充分に調整した後の被測定ガスを上記内部モニタ電極に供給できるため、酸素濃度の測定精度を向上させることができる。
この場合には、被測定ガス室における酸素濃度を一定に保つことが容易となる。特に、拡散抵抗部の外側端部と測定電極との間の距離を小さくして応答性を向上させようとすると、内部ポンプ電極の幅が小さくなり、酸素ポンピング能力を充分に確保することが困難となるおそれがある。そこで、酸素モニタセルによって被測定ガス室における酸素濃度をモニタリングするとともにその検出信号を酸素ポンプセルへフィードバックすることにより、酸素濃度の調整を容易にすることができる。
この場合には、上記センサセルにおける特定ガス濃度の測定値を補正して、正確な測定値を得ることができる。
この場合には、上記拡散抵抗部における拡散抵抗を調整することが容易となる。
この場合には、酸素ポンプセルによって充分に酸素濃度を調整した後の被測定ガスを上記測定電極に供給することができ、特定ガス濃度の測定精度を向上させることができる。
この場合には、応答性を充分に向上させることができると共に測定精度を充分確保することができるガスセンサ素子を提供することができる。
上記最短距離が1mm未満の場合には、酸素ポンプセルによる酸素濃度調整が不充分となり、測定精度を向上させることが困難となるおそれがある。一方、上記最短距離が3mmを超える場合には、応答性を充分に向上させることが困難となるおそれがある。
本発明の実施例にかかるガスセンサ素子につき、図1〜図4を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子1は、図1、図2に示すごとく、酸素イオン伝導性を有する第1固体電解質体51及び第2固体電解質体52の間に形成され、被測定ガスを導入する被測定ガス室11と、該被測定ガス室11に所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入するための拡散抵抗部12とを有する。
酸素モニタセル4は、第1固体電解質体51と、被測定ガス室11に面して第1固体電解質体51の表面に設けられた内部モニタ電極41と、該内部モニタ電極41と対をなすように第1固体電解質体51の表面に設けられた外部モニタ電極42とからなる。
拡散抵抗部12は、被測定ガス室11から、第1固体電解質体51と第2固体電解質体52との積層方向Zに直交する方向に形成されている。
更に、本例においては、測定電極31及び内部モニタ電極41は、内部ポンプ電極21の内側端部212よりも内側に配設されている。
また、第1固体電解質体51における被測定ガス室11と反対側の面には、第1基準ガス空間101を形成するためのスペーサ131を介して被覆板14が積層されている。
また、第2固体電解質体52における被測定ガス室11と反対側の面には、第2基準ガス空間102を形成するためのスペーサ132を介して、酸素ポンプセル2、センサセル3、及び酸素モニタセル4を加熱するためのセラミックヒータ15が積層されている。
また、酸素ポンプセル2の外部ポンプ電極22は、第2固体電解質体52における、内部ポンプ電極21と反対側の面に形成され、第2基準ガス空間102に面して配設されている。
第1固体電解質体51及び第2固体電解質体52は、それぞれジルコニアやセリア等を主成分としている。また、スペーサ130、131、132は、アルミナを主成分としてなる。
また、測定電極31及び基準電極32は、電極内部へのガス拡散、及び測定電極31と第1固体電解質体51との間での反応を促進することができる多孔質の電極とするために、Ptを主成分とした金属成分とジルコニアを主成分とするセラミック成分とを含有するサーメット材料からなる。そして、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量は、例えば、10〜20重量%とすることができる。
また、内部ポンプ電極21及び外部ポンプ電極22も、センサセル3の測定電極31及び基準電極32と同様、Ptを主成分とした金属成分とジルコニアを主成分とするセラミック成分とを含有するサーメット材料からなる。そして、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量は、例えば、10〜20重量%とすることができる。
内部モニタ電極41及び外部モニタ電極42も、センサセル3の測定電極31及び基準電極32と同様、Ptを主成分とした金属成分とジルコニアを主成分とするセラミック成分とを含有するサーメット材料からなる。そして、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量は、例えば、10〜20重量%とすることができる。
また、セラミックヒータ15は、アルミナよりなるシートに、通電発熱する発熱体150及びこれに通電するためのリード部153をパターニング形成すると共に、発熱体150に絶縁層152を隣接配置してなる。この発熱体150には、例えば、Ptとアルミナ等のセラミックとからなるサーメット材料が用いられる。
発熱体150に対する給電は、発熱体150に一体的に形成されたリード部153と、スルーホール(図示略)と、端子部(図示略)とを介して行われる。
また、測定電極31、基準電極32、内部モニタ電極41、外部モニタ電極42、内部ポンプ電極21、外部ポンプ電極22は、それぞれ、スクリーン印刷等によって形成することができる。
また、拡散抵抗部12を構成する多孔質体も、スクリーン印刷等によって形成することができる。
また、ガスセンサ素子1は、上記各電極等を適宜形成した後のセラミックシートを積層し焼成して一体化することにより形成することができる。
まず、被測定ガスは、所定の拡散抵抗の下に拡散抵抗部12を通過して、被測定ガス室11に導入される。導入される被測定ガス量は、拡散抵抗部12の拡散抵抗により決定される。被測定ガスが酸素ポンプセル2の内部ポンプ電極21の表面を通過する際に、被測定ガス中における酸素濃度を酸素ポンプセル2によって調整される。
特に、拡散抵抗部12を通過する際に、被測定ガスは内部ポンプ電極21と接触しやすく、酸素濃度の調整が行われやすい。
酸素モニタセル4の一対の電極に、第1基準ガス空間101側の外部モニタ電極42が正極となるように所定の電圧(例えば、0.40V)を印加すると、被測定ガス室11側の内部モニタ電極41上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなり、ポンピング作用により第1基準ガス空間101側の外部モニタ電極42側に排出され、酸素イオン電流が流れる。
上記拡散抵抗部12は、被測定ガス室11から、第1固体電解質体51と第2固体電解質体52との積層方向Zに直交する方向に形成されている。これにより、拡散抵抗部12の外側端部121すなわち被測定ガスの導入口から測定電極31までの距離Sを短くすることができ、ガスセンサ素子1の応答性を向上させることができる。
特に本例においては、測定電極31が、内部ポンプ電極21の内側端部212よりも内側に配設されているため、酸素ポンプセル2によって酸素濃度を充分に調整した後の被測定ガスを測定電極31に供給でき、特定ガス濃度の測定精度を向上させることができる。
また、拡散抵抗部12の外側端部121と測定電極31との間の最短の距離Sは、1〜3mmであるため、応答性を充分に向上させることができると共に測定精度を充分確保することができるガスセンサ素子1を提供することができる。
本例は、図5〜図7に示すごとく、拡散抵抗部12をスリットによって構成した例である。すなわち、実施例1のように、拡散抵抗部12を多孔質体によって構成するのではなく、隙間を小さくしたスリットによって構成した。このスリットは、所望の拡散抵抗が得られるように、積層方向Zの厚みを適宜調整したものであり、この厚みは例えば5〜50μmとすることができる。
その他は、実施例1と同様である。
本例の場合には、多孔質体を形成する工程が不要となるため、製造コストの低減を図ることができる。
その他、実施例1と同様の作用効果を有する。
本例は、図8〜図10に示すごとく、測定電極31と内部ポンプ電極21との間に、被測定ガスの拡散抵抗となる内部拡散抵抗部120を配設した例である。
内部拡散抵抗部120は、アルミナ等のセラミックからなる多孔質体によって構成され、測定電極31及び酸素モニタ電極を覆うように形成されている。また、内部拡散抵抗部120は、内部ポンプ電極21の内側端部212よりも内側に配設されている。
その他は、実施例1と同様である。
その他、実施例1と同様の作用効果を有する。
本例は、図11〜図13に示すごとく、拡散抵抗部12を、被測定ガス室11の全体に配設した例である。
本例のガスセンサ素子1においては、第2固体電解質体52における被測定ガス室11に面する表面全体に内部ポンプ電極21を形成している。そして、この内部ポンプ電極21と、測定電極31及び内部モニタ電極41とを覆うように、被測定ガス室11の全体に、拡散抵抗部12が形成されている。
その他は、実施例1と同様である。
その他、実施例1と同様の作用効果を有する。
本例は、図14〜図16に示すごとく、被測定ガス室11を、積層方向Zに二つに分割した例である。
すなわち、被測定ガス室11は、互いに絞り部113を介して連通した第1被測定ガス室111と第2被測定ガス室112とからなる。第1被測定ガス室111には内部ポンプ電極21が面しており、第2被測定ガス室112には測定電極31及び内部モニタ電極41が面している。また、内部ポンプ電極21は、第1被測定ガス室111に面する第2固体電解質体52の表面の全面に形成されている。
その他は、実施例1と同様である。
それゆえ、より測定精度に優れたガスセンサ素子1を得ることができる。
その他、実施例1と同様の作用効果を有する。
本例は、図17〜図19に示すごとく、実施例1〜5において示した酸素モニタセル4(図1〜図4等参照)を設けていないガスセンサ素子1の例である。
この場合には、酸素ポンプセル2によって、被測定ガス室11における酸素を充分に排出し、センサセル3による特定ガス濃度(NOx濃度)の検出に影響を与えない程度に、酸素濃度を充分に低減させる。
その他は、実施例1と同様である。
その他、実施例1と同様の作用効果を有する。
本例は、図20〜図22に示すごとく、ガスセンサ素子1の先端部に拡散抵抗部12を設けた例である。
すなわち、被測定ガス室11から、ガスセンサ素子1の長手方向Yの先端側に向かって拡散抵抗部12が形成されている。
また、図21、図22に示すごとく、センサセル3の測定電極31と、酸素モニタセル4の内部モニタ電極41とは、幅方向Xに並列して配置されている。
その他は、実施例1と同様である。
その他、実施例1と同様の作用効果を有する。
本例は、図23〜図25に示すごとく、内部ポンプ電極21を、拡散抵抗部12よりも内側に形成した例である。
すなわち、拡散抵抗部12と内部ポンプ電極21とを積層方向Zに重ねることなく、拡散抵抗部12の内側端部122と内部ポンプ電極21の外側端部211とが、互いに幅方向Xにおいて当接する状態となっている。
その他は、実施例1と同様である。
その他、実施例1と同様の作用効果を有する。
11 被測定ガス室
12 拡散抵抗部
2 酸素ポンプセル
21 内部ポンプ電極
211 外側端部
22 外部ポンプ電極
3 センサセル
31 測定電極
32 基準電極
4 酸素モニタセル
41 内部モニタ電極
42 外部モニタ電極
51 第1固体電解質体
52 第2固体電解質体
Claims (12)
- 酸素イオン伝導性を有する第1固体電解質体及び第2固体電解質体の間に形成され、被測定ガスを導入する被測定ガス室と、
該被測定ガス室に所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを導入するための拡散抵抗部と、
上記被測定ガス室に導入された被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するセンサセルと、
上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルとを有し、
上記センサセルは、上記第1固体電解質体と、上記被測定ガス室に面して上記第1固体電解質体の表面に設けられた測定電極と、該測定電極と対をなすように上記第1固体電解質体の表面に設けられた基準電極とを有し、
上記酸素ポンプセルは、上記第2固体電解質体と、上記被測定ガス室に面して上記第2固体電解質体の表面に設けた内部ポンプ電極と、該内部ポンプ電極と対をなすように上記第2固体電解質体の表面に設けられた外部ポンプ電極とを有し、
上記拡散抵抗部は、上記被測定ガス室から、上記第1固体電解質体と上記第2固体電解質体との積層方向に直交する方向に形成されており、
上記被測定ガス室における、上記内部ポンプ電極の外側端部よりも内側に、上記測定電極が配設されていることを特徴とするガスセンサ素子。 - 請求項1において、上記拡散抵抗部と上記内部ポンプ電極とは、互いに積層方向に隣接して配設されていることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項2において、上記拡散抵抗部は、上記ガスセンサ素子の長手方向にも直交する方向に形成されていることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1〜3のいずれか一項において、上記測定電極は、上記内部ポンプ電極の内側端部よりも内側に配設されていることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1〜4のいずれか一項において、上記ガスセンサ素子は、上記被測定ガス室における酸素濃度を測定する酸素モニタセルを設けてなり、該酸素モニタセルは、上記第1固体電解質体と、上記被測定ガス室に面して上記第1固体電解質体の表面に設けられた内部モニタ電極と、該内部モニタ電極と対をなすように上記第1固体電解質体の表面に設けられた外部モニタ電極とからなり、上記内部モニタ電極は、上記内部ポンプ電極の外側端部よりも内側に配設されていることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項5において、上記内部モニタ電極は、上記内部ポンプ電極の内側端部よりも内側に配設されていることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項5又は6において、上記酸素モニタセルにおける酸素濃度の検出信号に基づき、上記酸素ポンプセルへの印加電圧を制御するよう構成してあることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項5〜7のいずれか一項において、上記センサセルは、上記測定電極と上記基準電極との間に所定の電圧を印加したときに上記被測定ガス中の特定ガス濃度及び酸素濃度に起因して電流が流れるよう構成され、上記酸素モニタセルは、上記内部モニタ電極と上記外部モニタ電極との間に所定の電圧を印加したときに上記被測定ガス中の酸素濃度に起因して電流が流れるよう構成され、上記センサセルに流れる電流値と上記酸素モニタセルに流れる電流値との差によって、上記特定ガス濃度を検出するよう構成されていることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1〜8のいずれか一項において、上記拡散抵抗部は、少なくとも一部を多孔質体によって構成していることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1〜9のいずれか一項において、上記測定電極と上記内部ポンプ電極との間に、上記被測定ガスの拡散抵抗となる内部拡散抵抗部が配設されていることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1〜10のいずれか一項において、上記拡散抵抗部の外側端部と上記測定電極との間の最短距離は、1〜3mmであることを特徴とするガスセンサ素子。
- 請求項1〜11のいずれか一項において、検出する上記特定ガスは窒素酸化物であることを特徴とするガスセンサ素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008067501A JP4680276B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | ガスセンサ素子 |
US12/405,635 US8168054B2 (en) | 2008-03-17 | 2009-03-17 | Gas sensing element with increased response |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008067501A JP4680276B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | ガスセンサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009222561A true JP2009222561A (ja) | 2009-10-01 |
JP4680276B2 JP4680276B2 (ja) | 2011-05-11 |
Family
ID=41061821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008067501A Expired - Fee Related JP4680276B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | ガスセンサ素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8168054B2 (ja) |
JP (1) | JP4680276B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009222708A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-10-01 | Denso Corp | ガスセンサ制御装置 |
JP2015200642A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-12 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
JP2016050846A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサおよびガスセンサにおけるガス導入口の形成方法 |
JP2016183868A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008038224B3 (de) * | 2008-08-18 | 2010-05-12 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Überprüfen eines Abgassensors |
JP6324760B2 (ja) * | 2014-03-05 | 2018-05-16 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JP6352215B2 (ja) | 2014-07-10 | 2018-07-04 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子 |
JP6542687B2 (ja) * | 2016-01-28 | 2019-07-10 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサユニット |
JP6998802B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2022-02-04 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11201940A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-07-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | NOxガス濃度検出器 |
JP2000097905A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Ngk Spark Plug Co Ltd | NOxガス濃度測定装置及びNOxガス濃度測定方法 |
JP2003166970A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Denso Corp | 内燃機関のガス濃度検出装置 |
JP2003329644A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Riken Corp | 電気化学的酸素ポンプセルおよびそれを用いた窒素酸化物検知装置 |
JP2006105612A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0664009B2 (ja) * | 1986-03-28 | 1994-08-22 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ−素子 |
US5672811A (en) * | 1994-04-21 | 1997-09-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of measuring a gas component and sensing device for measuring the gas component |
JP2885336B2 (ja) | 1994-04-21 | 1999-04-19 | 日本碍子株式会社 | 被測定ガス中のNOx濃度の測定方法及び測定装置 |
JP4005273B2 (ja) * | 1998-09-16 | 2007-11-07 | 株式会社デンソー | ガス濃度検出装置 |
-
2008
- 2008-03-17 JP JP2008067501A patent/JP4680276B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-03-17 US US12/405,635 patent/US8168054B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11201940A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-07-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | NOxガス濃度検出器 |
JP2000097905A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Ngk Spark Plug Co Ltd | NOxガス濃度測定装置及びNOxガス濃度測定方法 |
JP2003166970A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Denso Corp | 内燃機関のガス濃度検出装置 |
JP2003329644A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Riken Corp | 電気化学的酸素ポンプセルおよびそれを用いた窒素酸化物検知装置 |
JP2006105612A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサの製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009222708A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-10-01 | Denso Corp | ガスセンサ制御装置 |
JP2015200642A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-12 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
US10215725B2 (en) | 2014-03-31 | 2019-02-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
JP2016050846A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサおよびガスセンサにおけるガス導入口の形成方法 |
JP2016183868A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090229978A1 (en) | 2009-09-17 |
US8168054B2 (en) | 2012-05-01 |
JP4680276B2 (ja) | 2011-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4680276B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
EP2107365B1 (en) | NOx sensor | |
US8398836B2 (en) | Gas sensor | |
JP3973900B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP2018040746A (ja) | ガスセンサ | |
US8506780B2 (en) | Gas sensor | |
US20120247957A1 (en) | Gas sensor | |
US20150268188A1 (en) | Sensor element and gas sensor | |
JP4855756B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
US20090242402A1 (en) | NOx SENSOR | |
JP5155712B2 (ja) | ガスセンサ、NOxセンサ、およびガスセンサの作製方法 | |
US20190285575A1 (en) | Gas sensor | |
JP4283686B2 (ja) | ガスセンサ素子とガスセンサ素子の制御方法および製造方法。 | |
JP2021162580A (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
US20220011258A1 (en) | Gas sensor and method for controlling gas sensor | |
JP2011043333A (ja) | NOxセンサ | |
JP4248265B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP2003083936A (ja) | ガスセンサ素子 | |
US20170219517A1 (en) | Gas sensor unit | |
JP2020126051A (ja) | ガスセンサ | |
JP2005121666A (ja) | NOxセンサ | |
JP4003879B2 (ja) | ガスセンサ素子の製造方法およびガスセンサ素子 | |
JP2004151017A (ja) | 積層型ガスセンサ素子 | |
JP6603072B2 (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
JP3756123B2 (ja) | NOxセンサ並びにNOx濃度の測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091001 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100113 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100803 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101025 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20101104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4680276 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |