JP2016000823A - 着色組成物の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、着色組成物を用いて形成される。具体的には、基板上に、塗布装置を用いて、赤
、緑、青の3色のうちいずれかの1色を含む着色組成物を塗布し、揮発成分を加熱等によ
り除去する。その後、マスクを介して露光し、次いでネガ型の場合は未露光部分を、ポジ
型の場合は露光部分をアルカリ水溶液等の現像液により現像して除去し、着色パターンを
形成する。得られた着色パターンは、加熱処理(以下、ポストベークと呼ぶことがある。
)することにより、画素を形成する。そして、残る2色の画素についてもそれぞれ同様の
操作を行い、最終的に、赤、緑及び青の3色の画素を有するカラーフィルタを形成する。
着色組成物には、通常、ラジカル重合性モノマー、染料、光重合開始剤等が含まれてい
るものが使用されている。
いる。
そのために、着色組成物の調製後、この着色組成物を複数回フィルタリングすることに
より、微細な異物の発生及び混入を抑制する方法が提案されている(特許文献1参照)。
することを目的とする。
染料溶液(A)を第1のフィルタに通す第1工程と、
第1のフィルタを通過した染料溶液(A)、顔料又は顔料分散液(B)及び溶剤(C)
を含む混合液を、第2のフィルタに通す第2工程とを含むことを特徴とする。
第1のフィルタの孔径と第2のフィルタの孔径との比が、1:1.1〜1:500であ
ることが好ましい。
また、第1のフィルタの孔径が、0.01〜0.5μmであるか、第2のフィルタの孔
径が、0.5〜5.0μmであることが好ましい。
混合液が、さらに、樹脂(D)、光重合性化合物(E)及び光重合開始剤(F)からな
る群から選ばれる少なくとも1つを含む混合液であることが好ましい。
きる。これにより、均一な膜厚で、高精細なカラーフィルタを得るために、有利に利用す
ることができる。
、第1のフィルタを通過した染料溶液(A)、顔料又は顔料分散液(B)及び溶剤(C)
を含む混合液を、第2のフィルタに通す第2工程とを含む。
まず、第1工程において、染料溶液(A)を調製した段階で、第1のフィルタに通す。
ここで、染料溶液(A)とは、溶剤可溶性の染料が単独又は2種以上組み合わせられて
、溶剤に溶解された溶液を意味する。
できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開
平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特
許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第
5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号
公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の染料/色
素のうち、溶剤可溶性のもの、特に、酸性染料、塩基性染料、直接染料、硫化染料、建染
染料、ナフトール染料、反応染料、分散染料等が挙げられる。
ゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、
アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、ポリメチン系、フ
ェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、キ
ノフタロン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ジオキサジン系、クマリン系、スクアリリ
ウム系等いずれであってもよい。なかでも、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾ
ロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、フタ
ロシアニン系、ジオキサジン系、キノフタロン系、キサンテン系が挙げられる。特に、ピ
ラゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、フタロシアニン系、キノフタロン系、キサンテン系等
が好ましく用いられる。
Acid alizarin violet N;
C.I.Acid black 1、2、24、48等;
C.I.Acid blue 1、7、9、120、138、335、340等;
C.I.Acid chrome violet K等;
Acid Fuchsin;
C.I.Acid green 1、3、5、58、80、106、109等;
C.I.Acid orange 6〜8、62〜64、169、173等;
C.I.Acid red 1、4、8、50〜52、111、257、426等;
C.I.Acid violet 6B、7、9、17、19等;
C.I.Acid yellow 1、3、7、123、202〜205、251等;
C.I.Direct Yellow 2、33〜35、93〜95、141等;
C.I.Direct Orange 34、39、41、97、106、107等;
C.I.Direct Red 79、82〜84、96〜99、220〜234等;
C.I.Direct Violet 47、52、84、103、104等;
C.I.Direct Blue 57、97〜101、158〜164、275、29
3等;
C.I.Direct Green 25、63、77、79、82等;
C.I.Mordant Yellow 5、8、33、50、62、65等;
C.I.Mordant Orange 3、36、47、48等;
C.I.Mordant Red 1〜4、22〜26、63、71、88、95等;
C.I.Mordant Violet 2、4、30〜32、53、58等;
C.I.Mordant Blue 2、30、53、61、74、84等;
C.I.Mordant Green 1、26、53等;
C.I.Food Yellow 3等及びこれらの染料の誘導体;
C.I.Solvent Blue 44,38;
C.I.Solvent Orange45;
Rhodamine B,
Rhodamine 110、
3−[(5−クロロ−2−フェノキシフェニル)ヒドラゾノ]−3,4−ジヒドロ−4
−オキソ−5−[(フェニルスルフォニル)アミノ]−2,7−ナフタレンジスルフォニ
ックアシッド等が例示される。
)を用いることができる。この染料(1)は、特に、着色組成物中に含まれる溶剤に充分
な溶解度を有するとともに、パターン形成時の現像工程でパターン形成ができる程度に現
像液に対して充分な溶解度を有する。
芳香族炭化水素基を表す。該炭素数6〜10の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、
ハロゲン原子、−R、−OH、−OR、−SO3 −、−SO3Na、−CO2H、−CO
2R、−SO3H、−SO3R又は−SO2NHR8で置換されていてもよい。
R5は、−SO3 −、−SO3Na、−CO2H、−CO2R、−SO3H又は−SO
2NHR8を表す。mは、0〜5の整数を表す。mが2以上の整数であるとき、複数のR
5は同一であっても異なっていてもよい。
Rは、それぞれ独立に、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜10の飽和炭
化水素基又はハロゲン原子で置換されていてもよい総炭素数1〜10のアルコキシ置換飽
和炭化水素基を表す。
R8は、水素原子、−R、−CO2R又は炭素数6〜10の芳香族炭化水素基を表し、
該炭素数6〜10の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−R又は−ORで置換され
ていてもよい。
Xは、ハロゲン原子を表す。aは、0又は1の整数を表す。)
ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等が挙げられる。
ルボニル基、イソプロピロキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、イソブトキシカル
ボニル基、ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ネオペンチ
ルオキシカルボニル基、シクロペンチルオキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル
基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、ヘプチルオキシカルボニル基、シクロヘプチル
オキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、2−エチルヘキシルオキシカルボニ
ル基、シクロオクチルオキシカルボニル基、ノニルオキシカルボニル基、デカニルオキシ
カルボニル基、トリシクロデカニルオキシカルボニル基、メトキシプロピルオキシカルボ
ニル基、エトキシプロピルオキシカルボニル基、ヘキシロキシプロピルオキシカルボニル
基、2−エチルヘキシロキシプロピルオキシカルボニル基、メトキシヘキシルオキシカル
ボニル基等が挙げられる。
ルホニル基、デカニロキシスルホニル基等が挙げられる。
−SO2NHR8としては、スルファモイル、N−メチルスルファモイル基、N−エチ
ルスルファモイル基、N−プロピルスルファモイル基、N−イソプロピルスルファモイル
基、N−ブチルスルファモイル基、N−イソブチルスルファモイル基、N−ペンチルスル
ファモイル基、N−イソペンチルスルファモイル基、N−ネオペンチルスルファモイル基
、N−シクロペンチルスルファモイル基、N−ヘキシルンスルファモイル基、N−シクロ
ヘキシルスルファモイル基、N−ヘプチルスルファモイル基、N−シクロヘプチルスルフ
ァモイル基、N−オクチルスルファモイル基、N−(2−エチルヘキシル)スルファモイ
ル基、N−(1,5−ジメチルヘキシル)スルファモイル基、N−シクロオクチルスルフ
ァモイル基、N−ノニルスルファモイル基、N−デカニルスルファモイル基、N−トリシ
クロデカニルスルファモイル基、N−メトキシプロピルスルファモイル基、N−エトキシ
プロピルスルファモイル基、N−プロポキシプロピルスルファモイル基、N−イソプロポ
キシプロピルスルファモイル基、N−ヘキシロキシプロピルスルファモイル基、N−(2
−エチルヘキシロキシプロピル)スルファモイル基、N−(メトキシヘキシル)スルファ
モイル基、N−(3−フェニル−1−メチルプロピル)スルファモイル基等が挙げられる
。
ル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチ
ル基、ネオペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基
、シクロヘプチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基、シクロオクチル基、ノニル基
、デカニル基、トリシクロデカニル基等が例示される。
アルコキシ置換飽和炭化水素基としては、メトキシプロピル基、エトキシプロピル基、
ヘキシロキシプロピル基、2−エチルヘキシロキシプロピル基、メトキシヘキシル基、エ
トキシプロピル基等が挙げられる。
ロピル基、フェニル基、−SO3R又は−SO2NHR8が好ましい。
基、ジメチルフェニル基、トリメチルフェニル基、エチルフェニル基、ヘキシルフェニル
基、デカニルフェニル基、フルオロフェニル基、クロロフェニル基、ブロモフェニル基、
ヒドロキシフェニル基、メトキシフェニル基、ジメトキシフェニル基、エトキシフェニル
基、ヘキシロキシフェニル基、デカニロキシフェニル基、トリフルオロメチルフェニル基
等が挙げられる。
1〜4のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基である
ことが好ましい。
R1及びR2の中の少なくとも1つ、かつ、R3及びR4の中の少なくとも1つが、炭
素数1〜4のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基で
あることがより好ましい。
R1及びR2の中の少なくとも1つ、かつ、R3及びR4の中の少なくとも1つが、置
換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることがさらに好ましい。
特に、R5は、カルボキシ基、エトキシカルボニル、スルホ基、N−(2−エチルヘキ
シロキシプロピル)スルファモイル、N−(1,5−ジメチルヘキシル)スルファモイル
、N−(3−フェニル−1−メチルプロピル)スルファモイル、N−(イソプロポキシプ
ロピル)スルファモイル等であることが好ましい。
しい。
(式(1−1)中、R10及びR11は、それぞれ独立に、フェニル基を表す。該フェ
ニル基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R、−OR、−CO2R、−SO3R又
は−SO2NHR8に置換されていてもよい。
R12は、−SO3 −又は−SO2NHR8を表す。
R13は、水素原子、−SO3 −又は−SO2NHR8を表す。
R及びR8は、上記と同じ意味を表す。)
が挙げられる。
(式(1a)中、Rdは、それぞれ独立に、水素原子、−SO3 −、−CO2H又は−
SO2NHRaを表す。Raは、2−エチルヘキシル基を表す。X及びaは、上記と同じ
意味を表す。)
間体を常法によりクロル化して、得られた−SO2Clを有する染料または染料中間体を
R8−NH2で表されるアミンと反応させることにより製造することができる。
また、特開平3−78702号公報3頁の右上欄〜左下欄に記載の方法により製造され
た染料を、上記と同様、クロル化後、アミンと反応させることにより製造することができ
る。
が好ましい。
有機溶剤としては、特に限定されないが、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n
−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イ
ソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、
オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキ
シ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等;
オン酸アルキルエステル類、例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル
、等;2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロ
ピオン酸プロピル等の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、2−メトキ
シプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プ
ロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキ
シ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−
メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチ
ル、等;ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル
、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等;
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチ
ルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレ
ングリコールモノプロピルエーテルアセテート等;
プタノン等;
芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン等が例示される。
これらは単独又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
%程度で溶解している。
あれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、PTFE(ポリテトラフル
オロエチレン)等のフッ素樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフ
ィン樹脂(高密度、超高分子量を含む)等によるフィルタが挙げられる。
1〜0.2μm程度、さらに好ましくは0.01〜0.1μm程度である。この範囲とす
ることにより、溶解した染料に混入しており、後工程でおいて均一及び平滑な着色組成物
の調製を阻害する、微細な異物を確実に除去することが可能となる。
よい。また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここ
での孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとして
は、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式
会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する
各種フィルタの中から選択することができる。
度の範囲に調整することが適している。
び溶剤(C)と混合し、得られた混合液を、第2のフィルタに通す。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用す
ることができる。第2のフィルタの孔径は、0.5〜5.0μm程度が適しており、好ま
しくは0.5〜2.5μm程度、さらに好ましくは0.5〜1.5μm程度である。この
範囲とすることにより、混合液に含有されている成分粒子を残存させたまま、混合液に混
入しており、後工程でおいて均一及び平滑な着色組成物の調製を阻害する異物を除去する
ことができる。
のであれば特に限定されるものではなく、いずれの顔料をも用いることができる。
顔料は、有機顔料及び無機顔料のいずれでもよく、カラーインデックス(The Society
of Dyers and Colourists出版)でピグメント(Pigment)に分類されている化合物が挙げ
られる。
3、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、13
8、139、147、148、150、153、154、166、173、194、21
4などの黄色顔料;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55
、59、61、64、65、71、73などのオレンジ色の顔料;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、16
6、168、176、177、180、192、209、215、216、224、24
2、254、255、264、265などの赤色顔料;
;
C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38などのバイ
オレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン7、36、58などの緑色顔料;
C.I.ピグメントブラウン23、25などのブラウン色顔料;
C.I.ピグメントブラック1、7などの黒色顔料などが挙げられる。
これらの顔料は、単独でも、2種以上を混合して用いてもよい。
入された顔料誘導体又は顔料分散剤等を用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表
面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理又は不純物を除去するための有
機溶剤又は水等による洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法等による除去処理などが
施されていてもよい。
分散されていることが好ましい。
顔料を分散させるための分散剤としては、界面活性剤を用いることが適している。例えば
、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性な
どの界面活性剤などが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を組合せて用いることが
できる。
ルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エ
ステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイ
ミン類等、具体的には、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化
学(株)製)、エフトップ(三菱マテリアル電子化成(株))、メガファック(DIC(
株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード(旭硝子(株)製)、
サーフロン(AGCセイミケミカル(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EF
KA(CIBA社製)、アジスパー(味の素ファインテクノ(株)製)、Disperb
yk(ビックケミー社製)等が挙げられる。
量部程度が好ましい。分散剤の使用量をこの範囲にすることにより、均一な分散状態の顔
料分散液を得ることができる。
ものが挙げられる。
染料溶液(A)と、顔料又は顔料分散液(B)と、溶剤(C)との混合液においては、
染料溶液(A)、顔料又は顔料分散液(B)、溶剤(C)の総重量に対して、染料及び顔
料の総重量を、1〜30重量%の範囲に調整することが好ましい。この場合、染料と顔料
とは、1:99から99:1程度の割合で含有されていることが好ましい。
このような範囲に調整することにより、着色組成物をカラーフィルタの製造に用いた場
合に、得られるカラーフィルタの高明度化及び高コントラスト化等を実現することができ
る。
0.01〜1.0MPa程度の範囲に調整することが適している。
なる群から選択される少なくとも1種を含有していることが好ましい。これら成分の混合
液への添加は、第2のフィルタに通す前後のいずれ又は双方でもよいが、有効かつ簡便に
異物を除去するために、これら成分を混合液に添加して着色組成物とした後に、得られた
混合液を第2のフィルタに通すことが好ましい。
リゴマー等及び/又は重合性もしくは架橋性等のモノマー(ただし、以下の光重合性化合
物(E)を除く)が含まれていてもよく、樹脂を構成し得る単位であればよい。
樹脂(D)としては、例えば、アルカリ可溶性であるものが好ましい。また、耐熱性を
有するものが好ましい。具体的には、(メタ)アクリル系樹脂、ポリヒドロキシスチレン
系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリルアミド系樹脂、これらの共重合体樹脂等が例示
される。なかでも、アルカリ可溶性樹脂として、酸性官能基を有するものが好ましく、酸
性官能基を有する樹脂は、例えば、酸性官能基を有する不飽和化合物に由来する構造単位
を含む樹脂等が挙げられる。なお、本明細書では、(メタ)アクリルは、アクリル及び/
又はメタクリルを表す。
化合物としては、不飽和モノカルボン酸又は不飽和ジカルボン酸等のように、分子中に単
数又は複数のカルボキシ基を有する不飽和カルボン酸等が例示される。具体的には、クロ
トン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、桂皮酸、コハ
ク酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕又はω−カルボキシポリカプロラク
トンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
ニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類
、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテ
ル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類、
重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基またはモノメタクリロイル基を有するマクロモ
ノマー類のモノマーが共重合されていてもよい。
m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロロスチレン、o−メトキシスチレン
、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、
m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベ
ンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジ
ルグリシジルエーテル、インデンなどが挙げられる。好ましくはスチレン、p−ビニルト
ルエンである。
アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート
、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル
(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシ
プロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒド
ロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリ
ル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アク
リレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、
2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールメチルエーテルモノ
(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールメチルエーテルモノ(メタ)アクリレー
ト、プロピレングリコールメチルエーテルモノ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリ
コールメチルエーテルモノ(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、
ジシクロペンタジエニル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピ
ル(メタ)アクリレート、O−(メタ)アクリロイルグリセリンなどが挙げられる。好ま
しくはメチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベン
ジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ
)アクリレート、ジシクロペンタジエニル(メタ)アクリレートである。
リレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−アミノプロピル(メタ
)アクリレート、2−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピ
ル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレートなどが挙げ
られる。好ましくは2−アミノエチル(メタ)アクリレートである。
どが挙げられる。好ましくはグリシジルメタクリレートである。
、安息香酸ビニルなどが挙げられる。好ましくはプロピオン酸ビニルである。
リシジルエーテルなどが挙げられる。好ましくはアリルグリシジルエーテルである。
アクリロニトリルなどが挙げられる。好ましくはアクリロニトリルである。
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミドなどが挙げられる。好ましくはN−2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリルアミドである。
マレイミドなどが挙げられる。好ましくはN−フェニルマレイミドである。
挙げられる。好ましくはイソプレンである。
類としては、ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ
)アクリレート、ポリシロキサンなどの末端にアクリロイル基またはメタクリロイル基を
有するマクロモノマー類が挙げられる。好ましくはポリスチレンの末端にアクリロイル基
またはメタクリロイル基を有するマクロモノマーである。
よい。
[式(V)および式(VI)中、R21およびR22は、それぞれ独立に、水素原子または
炭素数1〜6のアルキル基を表す。]
ピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、1−
メチルブチル基、2−メチルブチル基、3−メチルブチル基、1−エチルプロピル基、2
−エチルプロピル基、n−ヘキシル基、1−メチルペンチル基、2−メチルペンチル基、
3−メチルペンチル基、4−メチルペンチル基、1−エチルブチル基、2−エチルブチル
基、3−エチルブチル基などが挙げられる。好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、
n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル
基であり、より好ましくは水素原子、メチル基、エチル基である。
メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/スチレン共重合体、メタクリル酸/ベンジルメ
タクリレート/イソボルニルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジ
ルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸/式(V)で表され
る構成成分(ただし、ここでは、式(V)中、R21はメチル基を表し、R22は水素原子を
表す。)/ベンジルメタクリレート共重合体、式(V)で表される構成成分(ただし、こ
こでは、式(V)中、R21はメチル基を表し、R22は水素原子を表す。)/ベンジルメタ
クリレート共重合体、メタクリル酸/式(VI)で表される構成成分(ただし、ここでは
、式(VI)中、R21はメチル基を表し、R22は水素原子を表す。)/スチレン共重合体
/トリシクロデカニルメタクリレート共重合体などが好ましい。
0重量%であり、より好ましくは16〜24重量%であり、とりわけ好ましくは18〜2
2重量%である。樹脂(D)の含有量が、この範囲にあると、パターンが形成でき、また
解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
不飽和ジカルボン酸に由来する構成単位を含む樹脂に、式(V−1)で表される化合物を
反応させて得ることができる。例えば、メタクリル酸/式(V)で表される構成成分(た
だし、ここでは、式(V)中、R21はメチル基を表し、R22は上記と同じ意味を表す。)
/ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとを重合
させて2成分共重合体を得て、得られた2成分共重合体と式(V−1)で表される化合物
(ただし、ここでは、式(V−1)中、R22は上記と同じ意味を表す。)とを反応させて
得ることができる。
21はメチル基を表し、R22はメチル基を表す。)/スチレン共重合体/トリシクロデカニ
ルメタクリレート共重合体は、ベンジルメタクリレート、メタクリル酸、トリシクロデカ
ン骨格のモノメタクリレート共重合体に、グリシジルメタクリレートを反応させて得るこ
とができる。
00であり、より好ましくは6,000〜90,000であり、とりわけ好ましくは7,
000〜80,000である。分子量がこの範囲にあると、塗膜硬度が向上し、残膜率も
高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好まし
い。
F)から発生した活性ラジカル、酸等によって重合しうる化合物であって、例えば、重合
性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
。3官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは、単独でも2種
以上を組み合わせて用いてもよい。
5重量%であることが好ましく、より好ましくは13〜60重量%であり、さらに好まし
くは17〜55重量%である。光重合性化合物(E)の含有量が、この範囲にあると、カ
ラーフィルタを製造する際に、硬化が十分におこり、現像前後での膜厚比率が向上し、パ
ターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があることから好ま
しい。
カルを発生させる機能を有するものであり、特に限定されるものではないが、例えば、ア
セトフェノン系化合物、活性ラジカル発生剤、酸発生剤などが挙げられる。
2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ
−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒド
ロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−
オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1
−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げら
れ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン
−1−オンなどが挙げられる。
活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物
、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物などが挙げられる。
ゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテ
ルなどが挙げられる。
メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルフ
ァイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾ
フェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
ソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキ
サントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−
6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメ
チル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリ
クロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−
トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテ
ニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4
−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4
−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−
1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。
的には、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1,2−ジオン 2−
オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン
−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−[9−エチル−6−(2−メチ
ルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン 1−O−アセテート、1−
[9−エチル−6−(2−メチル−4−(3,3−ジメチル−2,4−ジオキサシクロペ
ンタニルメチルオキシ)ベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン 1−
O−アセテート等が挙げられる。
ェニルホスフィンオキサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリド
ン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファ
ーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いてもよい。
ンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモ
ネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−
アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ト
リフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフ
ルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニル
ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類、ニトロベンジルトシレ
ート類、ベンゾイントシレート類などが挙げられる。
る化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
て重量分率で、好ましくは0.1〜30重量%であり、より好ましくは1〜20重量%で
ある。光重合開始剤の含有量が、この範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生
産性が向上することから好ましい。
光重合開始助剤は、通常、光重合開始剤(F)と組み合わせて用いられ、光重合開始剤
によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進させる。
光重合開始助剤としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキ
サントン系化合物などが挙げられる。
、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミ
ノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミ
ノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトル
イジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミ
ノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。なかでも、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベ
ンゾフェノンが好ましい。
ン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセ
ン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセ
ン、2−エチル−9,10−ジブトキシアントラセンなどが挙げられる。
ソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキ
サントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
光重合開始助剤は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。
光重合開始助剤として、例えば、商品名「EAB−F」(保土谷化学工業(株)製)な
どの市販のものを用いることもできる。
特に0.01〜5モルで用いることが好ましい。
%」及び「部」は、特記ない限り、質量%及び質量部である。
冷却管及び攪拌装置を備えたフラスコに、スルホローダミンB(関東化学製)15部、
クロロホルム150部及びN,N−ジメチルホルムアミド9.8部を投入し、攪拌下20
℃以下を維持しながら、塩化チオニル12.0部を滴下して加えた。滴下終了後、50℃
に昇温し、同温度で5時間維持して反応させ、その後20℃に冷却した。冷却後の反応溶
液を、攪拌下20℃以下に維持しながら、2−エチルヘキシルアミン13.9部及びトリ
エチルアミン24.5部の混合液を滴下して加えた。その後、同温度で5時間攪拌して反
応させた。次いで、得られた反応混合物をロータリーエバポレーターで溶剤留去した後、
メタノールを少量加えて激しく攪拌した。この混合物を、イオン交換水375部の混合液
中に攪拌しながら加えて、結晶を析出させた。析出した結晶を濾別し、イオン交換水でよ
く洗浄し、60℃で減圧乾燥して、染料A1 14.7部を得た。
冷却管及び攪拌装置を備えたフラスコに、式A0−2で示される色素(中外化成製)1
5部、クロロホルム150部及びN,N−ジメチルホルムアミド7.1部を投入し、攪拌
下20℃以下を維持しながら、塩化チオニル8.7部を滴下して加えた。滴下終了後、5
0℃に昇温し、同温度で5時間維持して反応させ、その後20℃に冷却した。冷却後の反
応溶液を、攪拌下20℃以下に維持しながら、2−エチルヘキシルアミン10部及びトリ
エチルアミン17.7部の混合液を滴下して加えた。その後、同温度で5時間攪拌して反
応させた。次いで、得られた反応混合物をロータリーエバポレーターで溶剤留去した後、
メタノールを少量加えて激しく攪拌した。この混合物を、イオン交換水375部の混合液
中に攪拌しながら加えて、結晶を析出させた。析出した結晶を濾別し、イオン交換水でよ
く洗浄し、60℃で減圧乾燥して、染料A2(染料A2−1〜染料A2−7の混合染料)
12.7部を得た。
冷却管及び攪拌装置を備えたフラスコに、式A0−3で示される色素(中外化成製)1
5部、クロロホルム150部及びN,N−ジメチルホルムアミド8.9部を投入し、攪拌
下20℃以下を維持しながら、塩化チオニル10.9部を滴下して加えた。滴下終了後、
50℃に昇温し、同温度で5時間維持して反応させ、その後20℃に冷却した。冷却後の
反応溶液を、攪拌下20℃以下に維持しながら、2−エチルヘキシルアミン12.5部及
びトリエチルアミン22.1部の混合液を滴下して加えた。その後、同温度で5時間攪拌
して反応させた。次いで、得られた反応混合物をロータリーエバポレーターで溶剤留去し
た後、メタノールを少量加えて激しく攪拌した。この混合物を、イオン交換水375部の
混合液中に攪拌しながら加えて、結晶を析出させた。析出した結晶を濾別し、イオン交換
水でよく洗浄し、60℃で減圧乾燥して、染料A3(染料A3−1〜染料A3−8の混合
染料) 11.3部を得た。
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた1Lのフラスコ内に窒素を0.02L/分
で流して窒素雰囲気とし、乳酸エチル100質量部を入れ、撹拌しながら70℃まで加熱
した。次いで、メタクリル酸60質量部及び3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.
02.6]デシルアクリレート(式(B1−1−1)で表される化合物及び式(B1−2
−1)で表される化合物を、モル比で、50:50で混合)200質量部を乳酸エチル1
00質量部に溶解して溶液を調製した。この溶液を、滴下ロートを用いて4時間かけて、
70℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4
−ジメチルバレロニトリル)30質量部を乳酸エチル190質量部に溶解した溶液を、別
の滴下ロートを用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終
了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Mwは、
7,700、分散度は2.5、固形分40質量%、酸価42mg−KOH/gの樹脂溶液
D1を得た。
件で行った。
装置 ;HLC−8120GPC(東ソー(株)製)
カラム ;TSK−GELG2000HXL
カラム温度 ;40℃
溶媒 ;THF
流速 ;1.0mL/min
被検液固型分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量 ;50μL
検出器 ;RI
校正用標準物質 ;TSK STANDARD POLYSTYRENE
F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500
(東ソー(株)製)
2,2’−ベンジジンジスルホン酸(水30%含有)100部に水1000部を加えた
。その後、氷冷下、30%水酸化ナトリウム水溶液でpH7〜8に調節し、亜硝酸ナトリ
ウムを56.1部加えて30分攪拌した。35%塩酸148部を少量ずつ加えて褐色溶液
とし、2時間攪拌した。アミド硫酸38.3部を水383部に溶解した水溶液を反応溶液
に加えて攪拌し、ジアゾニウム塩を含む懸濁液A0−4を得た。
1−エチル−3−シアノ−4−メチル−6−ヒドロキシピリド−2−オン76.1部に
水761部を加えた。その後、氷冷下、30%水酸化ナトリウム水溶液でpH8〜9に調
節し、攪拌して無色溶液とした。さらに、得られた溶液を、30%水酸化ナトリウム水溶
液でpH8〜9に調節しながら、ジアゾニウム塩を含む懸濁液A0−4をポンプで滴下し
た。滴下終了後、さらに3時間攪拌することで黄色懸濁液を得た。濾過して得た黄色固体
を減圧下60℃で乾燥し、式(A0−5)で表される化合物を157部得た。
ロホルム50部及びN,N−ジメチルホルムアミド2.1部を投入し、攪拌下、20℃以
下を維持しながら、塩化チオニル3部を滴下して加えた。滴下終了後50℃に昇温して、
同温度で5時間維持して反応させ、20℃に冷却した。冷却した反応溶液を攪拌下20℃
以下に維持しながら、2−エチルヘキシルアミン4部及びトリエチルアミン14部の混合
液を滴下して加えた。その後、同温度で終夜攪拌して反応させた。次いで得られた反応混
合物をロータリーエバポレーターで溶媒留去し、メタノールを少量加えて激しく攪拌した
。この混合物を、酢酸29部及びイオン交換水300部の混合液中に攪拌しながら加えて
、結晶を析出させた。析出した結晶を濾別し、イオン交換水でよく洗浄し、60℃で減圧
乾燥して、染料A5 5.6部を得た。
染料溶液(A)の調製1
染料A1 3.5 部
乳酸エチル 35 部
を混合し、窒素圧(0.3MPa)にて、第1のフィルタ(φ0.1μm、マイクロリス
社製、型番;PTVW04700、材質;ポリエチレン)に通し、染料溶液1を得た。
C.I.ピグメントブルー15:6 20 部
アクリル系顔料分散剤 5 部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 137 部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、顔料分散液1を得た。
染料溶液(A) :染料溶液1 35 部
顔料分散液(B) :顔料分散液1 162 部
溶剤(C) :乳酸エチル 300 部
樹脂(D) :樹脂溶液D1 105 部
光重合性化合物(E):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(KAYARAD DPHA;日本化薬(株)製)
50 部
光重合開始剤(F) :イルガキュアOXE 01
(チバ・ジャパン社製) 15 部
を混合して、混合液1を得た。得られた混合液1を、窒素圧(0.3MPa)にて第2の
フィルタ(φ4.5μm、ポール社製、型番;HDCII J045047100、材質;ポリプロピレ
ン)に通すことにより、着色組成物1を得た。
染料A1を染料A2に変更したこと以外は、実施例1と同様にして着色組成物2を得た
。
染料A1を染料A3に変更したこと以外は、実施例1と同様にして着色組成物3を得た
。
染料A1をローダミンB(田岡化学製)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして
着色組成物4を得た。
染料A1をローダミンBベース(アルドリッチ製)に変更したこと以外は、実施例1と
同様にして着色組成物5を得た。
染料溶液(A)の調製6
染料A5 5 部
乳酸エチル 95 部
を混合し、第1のフィルタ(φ0.45μm、関東化学社製、型番;HLC−DISK9
6911−00、材質;ポリビニルジフルオライド)に通し、染料溶液6を得た。
C.I.ピグメントレッド177 31 部
C.I.ピグメントレッド254 58 部
アクリル系顔料分散剤 5 部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 137 部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、顔料分散液2を得た。
染料溶液(A) :染料溶液6 190 部
顔料分散液(B):顔料分散液2 384 部
溶剤(C) :プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 198 部
樹脂(D) :樹脂溶液D1 50 部
光重合性化合物(E):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(KAYARAD DPHA;日本化薬(株)製) 25 部
光重合開始剤(F) :イルガキュアOXE 01(チバ・ジャパン社製) 10 部
を混合して、混合液6を得た。得られた混合液6を、第2のフィルタ(φ0.5μm、A
DVANTEC社製、型番;LABODISC−50JP 50JP050AN、材質;ポリ
テトラフルオロエチレン)に通すことにより、着色組成物6を得た。
染料溶液(A)の調製7
Neozapon yellow073(BASF社製) 5 部
乳酸エチル 95 部
を混合し、第1のフィルタ(φ0.45μm、関東化学社製、型番;HLC−DISK9
6911−00、材質;ポリビニルジフルオライド)に通し、染料溶液7を得た。
C.I.ピグメントグリーン58 12 部
アクリル系顔料分散剤 5 部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 128 部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、顔料分散液3を得た。
染料溶液(A) :染料溶液7 255 部
顔料分散液(B) :顔料分散液3 271 部
溶剤(C) :プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 26部
溶剤(C) :プロピレングリコールモノメチルエーテル 66 部
樹脂(D) :樹脂溶液D1 50 部
光重合性化合物(E):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(KAYARAD DPHA;日本化薬(株)製) 25 部
光重合開始剤(F) :イルガキュアOXE 01(チバ・ジャパン社製) 10 部
を混合して、混合液7を得た。得られた混合液7を、第2のフィルタ(φ0.5μm、A
DVANTEC社製、型番;DISMIC−50JP、材質;ポリテトラフルオロエチレ
ン)に通すことにより、着色組成物7を得た。
染料溶液(A)を第1のフィルタに通さなかったこと、及び、混合液1を第2のフィル
タに2回通したこと以外は、実施例1と同様にして着色組成物H1を得た。
2インチ角のガラス基板(イーグル2000;コーニング社製)上に、着色組成物をス
ピンコート法で塗布したのち、100℃で3分間プリベークした。冷却後、この着色組成
物を塗布した基板を、露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製)を用いて、大
気雰囲気下、150mJ/cm2の露光量(365nm基準)で光照射し、オーブン中、
220℃で20分間ポストベークを行った。
得られたガラス基板上の塗膜について、光学顕微鏡(250倍(透過測定))にて観察
し、一定面積当たりの微小異物数を目視でカウントした。10個以下である場合、合格と
判断し、表に○で示す。
結果を表1に示す。
好な塗膜状態が確認された。
溶解性の成分を含有する組成物溶液を用いる各種フィルム又は膜等の製造方法において、
広範に利用することができる。
Claims (5)
- 染料溶液(A)を第1のフィルタに通す第1工程と、
第1のフィルタを通過した染料溶液(A)、顔料又は顔料分散液(B)及び溶剤(C)
を含む混合液を、第2のフィルタに通す第2工程と、
を含む着色組成物の製造方法。 - 第1のフィルタの孔径と第2のフィルタの孔径との比が、1:1.1〜1:500であ
る請求項1記載の着色組成物の製造方法。 - 第1のフィルタの孔径が、0.01〜0.5μmである請求項1又は2記載の着色組成
物の製造方法。 - 第2のフィルタの孔径が、0.5〜5.0μmである請求項1〜3のいずれかに記載の
着色組成物の製造方法。 - 混合液が、さらに、樹脂(D)、光重合性化合物(E)及び光重合開始剤(F)からな
る群から選ばれる少なくとも1つを含む混合液である請求項1〜4のいずれかに記載の着
色組成物の製造方法。
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