JP2015002328A - 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 439
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 140
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 21
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 124
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims abstract description 30
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 258
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 88
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 86
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 85
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 31
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 20
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 19
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 25
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 7
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
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- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
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- H01L21/02052—Wet cleaning only
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67023—Apparatus for fluid treatment for general liquid treatment, e.g. etching followed by cleaning
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67046—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly scrubbing means, e.g. brushes
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68792—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the construction of the shaft
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
非回転系から回転系への駆動力の伝達は、非回転系に設けられた第2磁石と回転系に設けられた第1磁石との間に働く反発磁力を利用することによって、非接触で達成される。したがって、構成が簡単であるうえに、回転台が回転していて、それに応じて保護ディスクに取り付けられた第1磁石が回転しているときでも、非接触の状態で伝達される駆動力によって、保護ディスクを接近位置に保持することができる。
このように、この発明の構成により、基板の回転速度に依らずに基板の下面を確実に保護でき、構成も簡単であり、かつ回転時に生じる摩擦接触に起因するパーティクルを抑制した基板保持回転装置を提供することができる。
保持部材が回転台の回転によって基板とともに回転する際に、保持部材によって気流の乱れが生じる。保持部材が保護ディスクの外周面よりも外方に配置されている場合、その気流の乱れが基板の周囲の雰囲気に影響を与え、パーティクルなどの異物付着の原因となるおそれがある。これに対して、保持部材が保護ディスクの外周面よりも内方に配置されている場合、保持部材による気流の乱れが保護ディスクにより抑止され、その結果、基板への汚染を抑制または防止できる。
前記第2磁石は、前記回転軸線と同軸の環状に形成された磁極を有することが好ましい。より具体的には、第2磁石は、前記第1磁石が描く回転軌跡に対応したリング状の磁極を有していることが好ましい。これにより、回転台とともに第1磁石が回転するときも、第1磁石と第2磁石との間の反発力が継続的にかつ安定的に作用するので、保護ディスクを確実に接近位置に保持できる。
また、第1相対移動機構は、必ずしも第1支持部材と回転台とを相対的に上下動させる機構である必要はなく、回転軸線と交差する方向から第2磁石を第1磁石に接近させることによって、それらの間に反発力を作用させるように構成されていてもよい。
前記第1磁性体および第2磁性体は、いずれか一方または両方が磁石であることが好ましい。
請求項4記載の発明は、前記保護ディスクの前記回転台に対する上方への相対移動を前記接近位置において規制する規制部材をさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板保持回転装置である。この構成によれば、磁力によって浮上させられる保護ディスクの上方への相対移動を規制部材によって規制することができるので、保護ディスクを確実に基板の下面に接近した接近位置に配置することができる。とくに、前記接近位置が、保護ディスクが基板の下面に接触しない位置であって、基板の下面から微小間隔を開けた位置である場合に、当該微小な間隔を保持することができる。
請求項6記載の発明は、前記保護ディスクは、前記保持部材によって保持された基板と前記回転台との間の空間を側方から覆う側方覆い部を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板保持回転装置である。この構成によれば、回転台と基板との間の空間が側方から覆われるから、この空間内に側方の雰囲気を巻き込むことを抑制できる。それによって、回転中の基板の周囲の気流を安定にすることができる。
この構成によれば、基板の下面を保護ディスクで覆った状態で、基板の上面に処理液を供給し、その処理液によって基板の上面を処理できる。したがって、処理液のミストが発生しても、そのミストが基板の下面に到達することを抑制できる。その結果、基板の下面に対して処理液を供給したりすることなく、かつ基板の下面を清浄な状態に保持して、基板の上面に対する処理を選択的に行うことができる。より具体的には、基板の下面を乾燥状態に保持し、かつその基板下面の汚染を招くことなく、基板の上面に対して処理液による処理を施すことができる。
請求項17記載の発明は、前記処理液供給工程と並行して、前記回転されている基板と前記接近位置に配置された前記保護ディスクとの間に不活性ガスを供給する不活性ガス供給工程をさらに含む、請求項12〜16のいずれか一項に記載の基板処理方法である。この方法により、保護ディスクと基板の下面との間の空間に不活性ガスを供給できるので、基板の下面に対する処理液ミストの付着を一層抑制できる。
図1は、この発明の第1の実施形態に係る基板処理装置の構成を説明するための図解的な断面図である。基板処理装置1は、半導体ウエハ等の基板Wを1枚ずつ処理する枚葉型の装置である。基板処理装置1は、スピンチャック2と、回転駆動機構3と、スプラッシュガード4と、ガード駆動機構5とを備えている。
基板処理装置1は、さらに、処理液供給ユニット30と、ブラシ洗浄機構35とを備えている。処理液供給ユニット30は、基板Wの表面に向けて処理液を吐出する処理液ノズル31を含み、処理液供給源32からの処理液を処理液供給管33を介して処理液ノズル31に供給するように構成されている。処理液供給管33の途中には、処理液バルブ34が介装されている。したがって、処理液バルブ34を開閉することにより、処理液ノズル31からの処理液の吐出/停止を切り換えることができる。
回転軸8は、中空軸であって、その内部に、不活性ガス供給管70が挿通されている。不活性ガス供給管70の下端には不活性ガス供給源71からの不活性ガスを導く不活性ガス供給路72が結合されている。不活性ガス供給路72の途中には不活性ガスバルブ73が介装されている。不活性ガスバルブ73は、不活性ガス供給路72を開閉する。不活性ガスバルブ73を開くことによって、不活性ガス供給管70へと不活性ガスが送り込まれる。この不活性ガスは、後述する構成によって、保護ディスク15と基板Wの下面との間の空間に供給される。このように、不活性ガス供給管70、不活性ガス供給源71、不活性ガス供給路72および不活性ガスバルブ73などによって、不活性ガス供給ユニット74が構成されている。
図2はスピンチャック2のより具体的な構成を説明するための平面図であり、図3はその底面図であり、図4は図2の切断面線IV−IVから見た断面図である。
以上のようにこの実施形態によれば、スプラッシュガード4に保持されたガード側永久磁石25は、回転軸線6と同軸の円環状に形成されているので、回転台7の回転中において、終始、ピン駆動用永久磁石56に対向し、かつ保護ディスク側永久磁石60に対して十分な磁気反発力を与え続ける。これにより、回転台7の回転中において、可動ピン12を保持位置へと付勢する外力と、保護ディスク15を基板Wの下面に接近した接近位置に保持するための外力とを、非回転系に配置されたガード側永久磁石25から非接触状態で与えることができる。しかも、回転台7の回転を利用して駆動力を得る構成ではないので、スクラブ洗浄処理工程のように基板Wが低速回転しているときであっても、また、たとえ基板Wの回転が停止しているときであっても、可動ピン12は十分な基板保持力を発揮でき、かつ保護ディスク15は確実に接近位置に保たれる。よって、基板Wの下面に処理液ミストが付着することを確実に回避または抑制しながら、基板Wの上面に対する処理を行うことができる。
保持ピン10が回転台7の回転によって基板Wとともに回転する際に、保持ピン10によって気流の乱れが生じる。保持ピン10が保護ディスク15の外周面よりも外方に配置されている場合、その気流の乱れが基板Wの周囲の雰囲気に影響を与え、パーティクルなどの異物付着の原因となるおそれがある。これに対して、保持ピン10が保護ディスク15の外周面よりも内方に配置されている場合、保持ピン10による気流の乱れが保護ディスク15により抑止され、その結果、基板Wへの汚染を抑制または防止できる。
すなわち、この第3の実施形態においては、磁気浮上機構41は、保護ディスク側永久磁石60と、ディスク昇降用永久磁石64と、昇降アクチュエータ111とを含む。ディスク昇降用永久磁石64は、回転軸線6を中心として水平面に沿って配置された円環状の永久磁石片であり、保護ディスク側永久磁石60に対して下方から対向する円環状の磁極を有している。その磁極の極性は、保護ディスク側永久磁石60の下側の磁極と同じ極性である。したがって、ディスク昇降用永久磁石64は、保護ディスク側永久磁石60に対して、上向きの反発磁力を作用させる。ディスク昇降用永久磁石64は、円環状の磁石保持部材66に内蔵されて保持されている。磁石保持部材66に、昇降アクチュエータ111の作動部材111aが結合されている。
この実施形態では、ディスク昇降用永久磁石64(以下「第1のディスク昇降用永久磁石64」などという。)に加えて、保護ディスク側永久磁石60に上方から対向する第2のディスク昇降用永久磁石67が設けられている。すなわち、保護ディスク側永久磁石60は、第1および第2のディスク昇降用永久磁石64,67によって、上下から挟まれている。第2のディスク昇降用永久磁石67は、回転軸線6を中心として水平面に沿って配置された円環状の永久磁石片であり、保護ディスク側永久磁石60に対して上方から対向する円環状の磁極を有している。その磁極の極性は、保護ディスク側永久磁石60の上側の磁極と同じ極性である。したがって、第2のディスク昇降用永久磁石67は、保護ディスク側永久磁石60に対して、下向きの反発磁力を作用させる。したがって、保護ディスク側永久磁石60は、下方からは第1のディスク昇降用永久磁石64からの上向き反発磁力を受け、上方からは第2のディスク昇降用永久磁石67からの下向き反発磁力を受ける。そして、保護ディスク側永久磁石60は、それらの反発磁力および保護ディスク15等に作用する重力等が均衡する位置において、第1および第2のディスク昇降用永久磁石64,67の間に非接触で保持される。
第1および第2のディスク昇降用永久磁石64,67は、いずれも円環状の磁極を有しているので、スピンチャック2がいずれの回転位置にあるときでも、保護ディスク側永久磁石60は、第1および第2のディスク昇降用永久磁石64,67からの磁力を受けて、それらの間に非接触状態で保持される。
図10は、この発明の第5の実施形態に係る基板処理装置105の構成を説明するための図解的な断面図である。図10において、図7の各部の対応部分には同一参照符号を付す。この第5の実施形態においても、第2の実施形態と同様に、磁気浮上機構41のための専用の駆動源が設けられている。
ディスク昇降用電磁石装置97は、回転軸線6を中心として水平面に沿って配置された円環状の磁極97aを有し、この円環状の磁極97aが、保護ディスク側永久磁石60に対して下方から対向している。ディスク昇降用電磁石装置97に第1方向の電流を通電して励磁すると、磁極97aには、保護ディスク側永久磁石60の下側の磁極と同じ極性の磁極が現れる。また、ディスク昇降用電磁石装置97に第1方向とは反対の第2方向の電流を通電して励磁すると、磁極97aには、保護ディスク側永久磁石60の下側の磁極とは異なる極性の磁極が現れる。したがって、ディスク昇降用電磁石装置97は、第1方向の電流を通電したときに、保護ディスク側永久磁石60に対して、上向きの反発磁力を作用させる。また、ディスク昇降用電磁石装置97は、第2方向の電流を通電したときに、保護ディスク側永久磁石60に対して、下向きの吸引磁力を作用させる。通電を停止すればそれらの磁力は消滅する。
たとえば、前述の実施形態では、保護ディスク15の上面の周縁部(ディスク本体15xの上面の周縁部)が平坦である場合について説明したが、図15〜図19に示すように、上向きに突出する絞り部90が、保護ディスク15の周縁部に設けられていてもよい。すなわち、保護ディスク15は、基板Wよりも大きいディスク本体15xと、ディスク本体15xの外周部の上方に配置された絞り部90とによって構成されていてもよい。
図15および図16に示す保護ディスク15の上面は、基板Wの下方に配置される対向部99と、対向部99の外周から上方に延びる内向き部91と、内向き部91の上端から外方に延びる外周部92とを含む。保護ディスク15の内向き部91と外周部92とによって、突状の絞り部90が形成されている。絞り部90によって、保持ピン10により保持された基板Wの縁部において不活性ガスの流路が絞られる。絞り部90は、保護ディスク15の周縁部に配置されており、平面視環状に形成されている。凹部90aは、保持ピン10が挿入された開口16に整合する位置に配置されている。凹部90aの内側の空間を区画する凹部90aの内面は、開口16の内側の空間を区画する開口16の内周面の上方に配置されており、平面視において開口16の内周面に重なっている。凹部90aの内面は、保持ピン10の径方向に間隔をあけて保持ピン10を取り囲んでいる。
保護ディスク15の内向き部91は、基板Wよりも下方に配置されており、対向部99の外周99aを取り囲むように平面視環状に形成されている。内向き部91は、保護ディスク15の対向部99の外周99aから斜め上に外方に延びている。内向き部91は、保護ディスク15と基板Wの下面との間の高さに配置された上端91aを有している。内向き部91の上端91aは、図16に示すように、基板Wの周端面よりも外方に配置されており、基板Wの周端面に近接している。内向き部91の上端91aは、基板Wの周端面よりも内方に配置されていてもよいし、基板Wの径方向に関して基板Wの周端面と等しい位置(等しい半径)に配置されていてもよい。
図17に示す構成が、図16に示す構成と異なる点は、保護ディスク15が接近位置に位置しているときに、保護ディスク15の外周部92の上面が基板Wの下面とほぼ等しい高さに配置されている点、および、内向き部91の上端91aが基板Wの外方に位置している点である。その他の構成は、前述の図15および図16の構成と同様である。
図18に示す構成が、図16に示す構成と異なる点は、保護ディスク15が接近位置に位置しているときに、保護ディスク15の外周部92の上面が基板Wの上面と等しい高さに配置されている点、および、内向き部91の上端91aが基板Wの外方に位置している点である。その他の構成は、前述の図15および図16の構成と同様である。このような構成であっても、前述の図15および図16、ならびに図17において説明した効果と同様の効果を発揮することができる。
図19に示す保護ディスク15は、基板Wよりも大きいディスク本体15xと、ディスク本体15xと共に上下動するスカート部93とを含む。スカート部93は、ディスク本体15xの周縁部に固定されている。スカート部93は、基板Wの下面と回転台7との間の空間を側方から覆う側方覆い部である。スカート部93は、その周方向に直交する切断面がほぼ横向きL字状に形成されている。より具体的には、スカート部93は、絞り部90と、絞り部90から回転台7の外方において垂直に垂れ下がった垂れ下がり部95とを有している。
また、前述の実施形態では、可動ピン12を磁力によって駆動する磁気駆動機構42が設けられているが、回転台7に可動ピン12を駆動するための駆動機構を組み込むこととしてもよい。また、前述の実施形態では、保護ディスク15と基板Wの下面との間の空間に不活性ガスを供給しているが、このような不活性ガスの供給を省いてもよい。
また、前述の実施形態では、洗浄ブラシによって基板Wの上面をスクラブ洗浄する例を説明したけれども、洗浄ブラシを用いる代わりに、二流体ノズルによって基板Wの表面に液滴の噴流を供給して基板Wの上面を洗浄する構成に対しても、この発明を適用できる。その他にも、超音波を付与した処理液を基板の表面に供給する超音波洗浄や、加圧された処理液の高速流を基板の表面に供給して基板の洗浄を行う高圧ジェット洗浄などの基板処理に対しても、この発明の適用が可能である。洗浄処理の他にも、基板の表面にレジストを塗布する塗布処理や、露光後のレジスト膜に現像液を供給する現像処理に対しても、この発明を適用することができる。
また、前述の実施形態では、スピンチャック2の回転台7が一定の高さに配置されている一方で、スプラッシュガード4が回転軸線6に沿って上下動する構成を説明している。しかし、スプラッシュガード4を固定しておき、スピンチャック2を上下動させることによっても、同様の動作が可能である。さらにまた、スピンチャック2およびスプラッシュガード4の両方を上下動させることによっても同様の動作が可能である。
図20は、保持ピン10および保護ディスク15の他の構成例を示す拡大平面図である。図21は、図20に示す矢印XXI−XXIの方向に見た切断線に沿う断面図である。
図20および図21に示すように、保持ピン10(固定ピン11および可動ピン12のそれぞれ)は、回転台7の上方に配置された円柱状の下軸部51と、下軸部51の上端に一体的に形成された円柱状の上軸部52とを含み、上軸部52が、下軸部51の中心軸線から偏心して設けられている。下軸部51の上端と上軸部52の下端との間をつなぐ表面は、上軸部52から下軸部51の外周面に向かって下降するテーパ面53を形成している。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
1 基板処理装置(第1の実施形態)
2 スピンチャック
3 回転駆動機構
4 スプラッシュガード(受け部材)
5 ガード駆動機構
6 回転軸線
7 回転台
8 回転軸
10 保持ピン(保持部材)
10a 凹部
11 固定ピン
12 可動ピン
15 保護ディスク
15b 下方部
15x ディスク本体
16 保護ディスクの開口
17 ガイド軸
18 リニア軸受け
19 案内機構
20 フランジ(規制部材)
21 円筒部
22 上ガイド部
23 下ガイド部
24 処理液ポート
25 ガード側永久磁石
26 磁石保持部
27 解除用永久磁石
28 磁石保持部
30 処理液供給ユニット
35 ブラシ洗浄機構
40 制御装置
41 磁気浮上機構
42 磁気駆動機構
45 基板保持ハンド
51a 大径部
51b 小径部
56 ピン駆動用永久磁石
57 磁石保持部材
60 保護ディスク側永久磁石
61 磁石保持部材
64 ディスク昇降用永久磁石
65 昇降アクチュエータ
66 磁石保持部材
67 ディスク昇降用永久磁石
68 磁石保持部材
74 不活性ガス供給ユニット
86 整流部材
90 絞り部
91 内向き部
92 外周部
93 スカート部
97 ディスク昇降用電磁石装置
97a 磁極
98 高さ制御用電磁石装置
99 対向部
U1,U2,U3,……電磁石ユニット
m1,m2,m3,……磁極
102 基板処理装置(第2の実施形態)
103 基板処理装置(第3の実施形態)
104 基板処理装置(第4の実施形態)
105 基板処理装置(第5の実施形態)
111 昇降アクチュエータ
112 ボールねじ機構
113 電動モータ
118 回転位置検出ユニット
121 フォトセンサ
122 ラインセンサ
123 カメラ
124 距離センサ
Claims (20)
- 鉛直方向に沿う回転軸線まわりに回転可能な回転台と、
前記回転台を回転させる回転駆動手段と、
前記回転台とともに前記回転軸線まわりに回転するように前記回転台に設けられ、前記回転台から上方に延びており、前記回転台と基板とが鉛直方向に離れた状態で当該基板を水平に保持する保持部材と、
前記保持部材の全周を取り囲む開口を有しており、前記回転台と前記保持部材による基板保持位置との間に配置され、下位置と、下位置よりも上方において前記保持部材に保持された基板の下面に接近した接近位置との間で前記回転台に対して相対的に上下動可能であり前記回転台とともに前記回転軸線まわりに回転するように前記回転台に取り付けられ、前記保持部材によって保持される基板より大きい保護ディスクと、
前記保護ディスクに取り付けられた第1磁石と、前記回転軸線と同軸の環状に形成され前記第1磁石に対して反発力を与える第2磁石と、前記第2磁石を非回転状態で支持する第1支持部材と、前記第1磁石と前記第2磁石との間の距離が変化するように前記第1支持部材と前記回転台とを相対移動させる第1相対移動機構とを含み、前記第1磁石と前記第2磁石との間の反発力によって前記保護ディスクを前記回転台から浮上させる磁気浮上機構とを含む、基板保持回転装置。 - 前記保持部材は、基板を保持する保持位置と、前記保持位置から退避した退避位置との間で変位する可動保持部材を含み、
前記可動保持部材に取り付けられた第1磁性体と、前記回転軸線と同軸の環状に形成され前記第1磁性体との間に磁力を生じる第2磁性体と、前記第2磁性体を非回転状態で支持する第2支持部材と、前記第1磁性体と前記第2磁性体との間の距離が変化するように前記第2支持部材と前記回転台とを相対移動させる第2相対移動機構とを含み、前記第1磁性体と前記第2磁性体との間の磁力によって前記可動保持部材を前記保持位置に保持する磁気駆動機構をさらに含む、請求項1に記載の基板保持回転装置。 - 前記第2磁性体が前記第2磁石であり、前記第2支持部材が前記第1支持部材であり、前記第2相対移動機構が前記第1相対移動機構であって、
前記磁気駆動機構および前記磁気浮上機構が、前記第2磁石、前記第1支持部材および前記第1相対移動機構を共有しており、
前記第2磁石が所定位置にあるときに、当該第2磁石と前記第1磁石との間の反発力によって前記保護ディスクが前記接近位置に保持され、かつ当該第2磁石と前記第1磁性体との間に働く磁力によって前記可動保持部材が前記保持位置に保持される、請求項2に記載の基板保持回転装置。 - 前記保護ディスクの前記回転台に対する上方への相対移動を前記接近位置において規制する規制部材をさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板保持回転装置。
- 前記回転台に設けられ、前記保護ディスクの相対上下動を案内する案内機構をさらに含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板保持回転装置。
- 前記保護ディスクは、前記保持部材によって保持された基板と前記回転台との間の空間を側方から覆う側方覆い部を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板保持回転装置。
- 前記保持部材によって保持されて回転される基板と前記接近位置に配置された前記保護ディスクとの間に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段をさらに含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板保持回転装置。
- 前記保護ディスクの上面は、前記保持部材によって保持された基板の下方に配置される対向部と、前記対向部の外周から上方に延びる内向き部と、前記内向き部の上端から外方に延びる外周部とを含み、前記保持部材によって保持された基板の縁部において前記不活性ガスの流路を絞る絞り部を前記内向き部と前記外周部とによって形成している、請求項7に記載の基板保持回転装置。
- 前記不活性ガス供給手段が、前記回転台の回転中心から前記保持部材によって保持された基板の周縁部に向けて放射状に不活性ガスを吹き出す不活性ガスノズルを含む、請求項7または8に記載の基板保持回転装置。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板保持回転装置と、
前記基板保持回転装置に保持された基板の上面に処理液を供給する処理液供給手段とを含む、基板処理装置。 - 前記基板保持回転装置によって保持された基板に前記処理液供給手段から供給され、前記基板の表面から当該基板の外方へと排出される処理液を受ける受け部材をさらに含み、
前記受け部材に前記第1支持部材が固定されており、
前記第1相対移動機構が、前記受け部材と前記回転台とを相対移動させるように構成されている、請求項10に記載の基板処理装置。 - 鉛直方向に沿う回転軸線まわりに回転可能な回転台に設けられた保持部材によって基板を水平に保持する保持工程と、
前記回転台を回転させることによって、前記保持部材によって保持された前記基板を回転させる回転工程と、
前記回転台に対して相対的に上下動可能に取り付けられ、前記保持部材の全周を取り囲む開口を有する、前記基板よりも大きい保護ディスクを、当該保護ディスクに取り付けられた第1磁石と前記回転軸線と同軸に非回転状態で設けられた環状の第2磁石とを接近させることによって、前記第1磁石および第2磁石間の反発力により、前記基板の下面に接近した接近位置まで前記回転台に対して相対的に浮上させて前記基板の下面を覆う下面被覆工程と、
前記保持工程および前記回転工程と並行して、前記保護ディスクによって下面が覆われた前記基板の上面に処理液を供給する処理液供給工程と
を含む、基板処理方法。 - 前記保持部材は、基板を保持する保持位置と、前記保持位置から退避した退避位置との間で変位する可動保持部材を含み、
前記保持工程は、前記可動保持部材に取り付けられた磁性体に磁力を及ぼして前記可動保持部材を前記保持位置に保持する工程を含む、請求項12に記載の基板処理方法。 - 前記下面被覆工程が、前記第2磁石を所定位置に配置することにより、当該第2磁石と前記第1磁石との間の反発力によって前記保護ディスクを前記接近位置に浮上させて保持する工程であり、
前記保持工程が、前記第2磁石を前記所定位置に配置することにより、前記第2磁石と前記磁性体との間に働く磁力によって前記可動保持部材を前記保持位置に保持する工程である、請求項13に記載の基板処理方法。 - 前記保護ディスクの前記回転台に対する上方への相対移動を、規制部材によって前記接近位置に規制する工程をさらに含む、請求項12〜14のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記回転されている前記基板の外方へと排出される処理液を受け部材で受ける工程をさらに含み、
前記受け部材に前記第2磁石が支持されており、
前記下面被覆工程が、前記受け部材と前記回転台とを接近させる工程を含む、請求項12〜15のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記処理液供給工程と並行して、前記回転されている基板と前記接近位置に配置された前記保護ディスクとの間に不活性ガスを供給する不活性ガス供給工程をさらに含む、請求項12〜16のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記保護ディスクが、前記保持部材によって保持された基板の縁部に対向する位置の上面に絞り部を有しており、前記不活性ガス供給工程と並行して、前記絞り部によって前記不活性ガスの流路を絞る工程をさらに含む、請求項17に記載の基板処理方法。
- 前記不活性ガス供給工程が、前記回転台の回転中心から前記保持部材によって保持された基板の周縁部に向けて放射状に不活性ガスを吹き出す工程を含む、請求項17または18に記載の基板処理方法。
- 前記下面被覆工程と並行して実行され、側方覆い部によって、前記保持部材によって保持された基板と前記回転台との間の空間を側方から覆う工程をさらに含む、請求項12〜19のいずれか一項に記載の基板処理方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013127661A JP6143572B2 (ja) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 |
CN201480034840.8A CN105378909B (zh) | 2013-06-18 | 2014-03-31 | 基板保持旋转装置、具有基板保持旋转装置的基板处理装置以及基板处理方法 |
PCT/JP2014/059396 WO2014203587A1 (ja) | 2013-06-18 | 2014-03-31 | 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 |
US14/891,522 US9962744B2 (en) | 2013-06-18 | 2014-03-31 | Substrate holding and rotating device, substrate processing device equipped with same, and substrate processing method |
TW103111929A TWI529849B (zh) | 2013-06-18 | 2014-03-31 | A substrate holding rotary apparatus, a substrate processing apparatus provided therewith, and a substrate processing method |
KR1020167001097A KR101778474B1 (ko) | 2013-06-18 | 2014-03-31 | 기판 유지 회전 장치 및 그것을 구비한 기판 처리 장치, 그리고 기판 처리 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013127661A JP6143572B2 (ja) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015002328A true JP2015002328A (ja) | 2015-01-05 |
JP6143572B2 JP6143572B2 (ja) | 2017-06-07 |
Family
ID=52104331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013127661A Active JP6143572B2 (ja) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9962744B2 (ja) |
JP (1) | JP6143572B2 (ja) |
KR (1) | KR101778474B1 (ja) |
CN (1) | CN105378909B (ja) |
TW (1) | TWI529849B (ja) |
WO (1) | WO2014203587A1 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016189452A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-11-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板保持方法および基板処理装置 |
US9892955B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-02-13 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate holding/rotating device, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method |
JP2018142593A (ja) * | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2018148132A (ja) * | 2017-03-08 | 2018-09-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
US10192771B2 (en) | 2015-09-29 | 2019-01-29 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate holding/rotating device, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method |
KR20190098037A (ko) | 2018-02-13 | 2019-08-21 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 |
JP2019140210A (ja) * | 2018-02-08 | 2019-08-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2020027817A (ja) * | 2018-08-09 | 2020-02-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
US10777404B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-09-15 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106024688B (zh) | 2015-03-27 | 2018-11-30 | 株式会社思可林集团 | 基板处理方法及基板处理装置 |
CN106945034B (zh) * | 2016-01-07 | 2021-09-03 | 鸿富锦精密电子(郑州)有限公司 | 机器人点位调节方法与系统 |
CN107437516B (zh) | 2016-05-25 | 2021-07-13 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置及基板处理方法 |
JP6817821B2 (ja) * | 2016-05-25 | 2021-01-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR102125512B1 (ko) | 2016-10-18 | 2020-06-23 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP6777055B2 (ja) * | 2017-01-11 | 2020-10-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP6836913B2 (ja) * | 2017-01-17 | 2021-03-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法、及び記憶媒体 |
JP6892774B2 (ja) * | 2017-03-24 | 2021-06-23 | 株式会社Screenホールディングス | 基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置、ならびに基板処理方法 |
US10658221B2 (en) | 2017-11-14 | 2020-05-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor wafer cleaning apparatus and method for cleaning semiconductor wafer |
US11410857B2 (en) * | 2017-11-30 | 2022-08-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer holding pins and methods of using the same |
JP6968201B2 (ja) * | 2017-12-22 | 2021-11-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 |
CN109062205A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-12-21 | 武汉水草能源科技研发中心(有限合伙) | 人工智能汽车无人驾驶系统 |
JP7055720B2 (ja) * | 2018-08-10 | 2022-04-18 | 株式会社荏原製作所 | 基板回転装置、基板洗浄装置および基板処理装置ならびに基板回転装置の制御方法 |
CN111063652B (zh) * | 2018-10-16 | 2022-08-30 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 一种基板夹持承载台 |
JP7154995B2 (ja) * | 2018-12-17 | 2022-10-18 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7187385B2 (ja) * | 2019-05-22 | 2022-12-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 磁気駆動装置、着磁方法及び磁気駆動装置の製造方法 |
US11335588B2 (en) * | 2019-06-18 | 2022-05-17 | Ebara Corporation | Substrate holding apparatus and substrate processing apparatus |
JP7353079B2 (ja) * | 2019-07-04 | 2023-09-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7209598B2 (ja) * | 2019-07-26 | 2023-01-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP7057336B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2022-04-19 | キヤノントッキ株式会社 | 基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 |
CN112729250B (zh) * | 2020-12-23 | 2021-12-31 | 北京航空航天大学 | 一种具有10自由度的稳瞄主动磁悬浮转台 |
JP2022143176A (ja) * | 2021-03-17 | 2022-10-03 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 測定ツール、基板処理装置及び基板製造方法 |
CN115253945B (zh) * | 2022-07-21 | 2023-11-03 | 哈尔滨工业大学(深圳) | 一种基于旋转定位结构的液体弹珠自动制备装置及方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09232269A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転式基板処理装置 |
JPH1140655A (ja) * | 1997-07-18 | 1999-02-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 |
JP2002093724A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
JP2003142554A (ja) * | 2002-10-16 | 2003-05-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置および基板搬送装置 |
JP2003518334A (ja) * | 1999-12-23 | 2003-06-03 | ラム リサーチ コーポレーション | 中空コアスピンドルと、該中空コアスピンドルを含む回転・すすぎ・乾燥モジュール |
JP2005142585A (ja) * | 2005-01-13 | 2005-06-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2009272493A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置及び塗布方法並びに記憶媒体 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2845738B2 (ja) | 1993-10-28 | 1999-01-13 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 回転式基板処理装置の基板回転保持具 |
JP3647576B2 (ja) | 1996-11-01 | 2005-05-11 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板保持装置 |
JP4070686B2 (ja) | 2003-08-07 | 2008-04-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 |
JP2004048035A (ja) | 2003-08-07 | 2004-02-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 |
JP2008108790A (ja) | 2006-10-23 | 2008-05-08 | Realize Advanced Technology Ltd | 洗浄装置、これを用いた洗浄システム、及び被洗浄基板の洗浄方法 |
KR20080062221A (ko) | 2006-12-29 | 2008-07-03 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
JP2008172161A (ja) | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板回転保持装置およびこれを備えた基板処理装置 |
US9385020B2 (en) | 2011-12-19 | 2016-07-05 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate holding and rotating device, substrate treatment apparatus including the device, and substrate treatment method |
-
2013
- 2013-06-18 JP JP2013127661A patent/JP6143572B2/ja active Active
-
2014
- 2014-03-31 TW TW103111929A patent/TWI529849B/zh active
- 2014-03-31 KR KR1020167001097A patent/KR101778474B1/ko active IP Right Grant
- 2014-03-31 WO PCT/JP2014/059396 patent/WO2014203587A1/ja active Application Filing
- 2014-03-31 CN CN201480034840.8A patent/CN105378909B/zh active Active
- 2014-03-31 US US14/891,522 patent/US9962744B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09232269A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転式基板処理装置 |
JPH1140655A (ja) * | 1997-07-18 | 1999-02-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 |
JP2003518334A (ja) * | 1999-12-23 | 2003-06-03 | ラム リサーチ コーポレーション | 中空コアスピンドルと、該中空コアスピンドルを含む回転・すすぎ・乾燥モジュール |
JP2002093724A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
JP2003142554A (ja) * | 2002-10-16 | 2003-05-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置および基板搬送装置 |
JP2005142585A (ja) * | 2005-01-13 | 2005-06-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置 |
JP2009272493A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置及び塗布方法並びに記憶媒体 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016189452A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-11-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板保持方法および基板処理装置 |
US9892955B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-02-13 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate holding/rotating device, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method |
US10192771B2 (en) | 2015-09-29 | 2019-01-29 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate holding/rotating device, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method |
US11031235B2 (en) | 2016-02-19 | 2021-06-08 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
US10777404B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-09-15 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
JP2018142593A (ja) * | 2017-02-27 | 2018-09-13 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2018148132A (ja) * | 2017-03-08 | 2018-09-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP7116550B2 (ja) | 2018-02-08 | 2022-08-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
US11361979B2 (en) | 2018-02-08 | 2022-06-14 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
JP2019140210A (ja) * | 2018-02-08 | 2019-08-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
US11101146B2 (en) | 2018-02-13 | 2021-08-24 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
KR20210042891A (ko) | 2018-02-13 | 2021-04-20 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 |
JP2019140269A (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
KR20190098037A (ko) | 2018-02-13 | 2019-08-21 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 |
JP7179466B2 (ja) | 2018-02-13 | 2022-11-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP2020027817A (ja) * | 2018-08-09 | 2020-02-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20160021236A (ko) | 2016-02-24 |
JP6143572B2 (ja) | 2017-06-07 |
KR101778474B1 (ko) | 2017-09-13 |
TWI529849B (zh) | 2016-04-11 |
CN105378909A (zh) | 2016-03-02 |
US9962744B2 (en) | 2018-05-08 |
US20160096205A1 (en) | 2016-04-07 |
CN105378909B (zh) | 2018-10-12 |
WO2014203587A1 (ja) | 2014-12-24 |
TW201508859A (zh) | 2015-03-01 |
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