JP2014523969A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. ＰＶＤターゲットを鋳造するための方法であり、
   モールドを準備するステップであって、前記モールドは、閉鎖した底部分（１３０）と、外側モールドシェル（１１０）と、外側モールドシェル（１１０）内に配置されたマンドレル（１０５）とを有しており、外側モールドシェル（１１０）とマンドレル（１０５）は、それらの間に開口（１２０）を画定し、前記マンドレル（１０５）は、中空であり、内壁を有しているステップと、
   材料インゴットを前記モールドに近接するリザーバ（１４０）内に配置するステップと、
   前記リザーバ（１４０）内に真空または不活性雰囲気を生成させ、前記リザーバ内において前記材料を溶融させるステップと、
   前記モールドを鋳込温度よりも高い温度に加熱し、前記モールド内に真空または不活性雰囲気を生成させるステップと、
   溶融した材料を前記リザーバ（１４０）から前記開口（１２０）内に導入するステップと、
   前記モールドを冷却し、前記ＰＶＤターゲットを形成するステップと、
   を含んでいるＰＶＤターゲットを鋳造するための方法において、
   前記リザーバ（１４０）および前記モールドは、密封可能な空間を形成するように一緒に組み合わされており、前記マンドレル（１０５）または前記マンドレルに取り付けられた延長チューブ（１５０）が、前記リザーバ（１４０）を超えて上方に延在し、
   前記材料は反応性材料であることを特徴とする方法。
2. 溶融した反応材料を前記リザーバ（１４０）から前記開口（１２０）内に導入する前記ステップは、溶融した反応性材料が前記モールド内に流れることを可能にすることを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記方法は、管状反応性ＰＶＤターゲット鋳造するための方法であり、
   前記外側モールドシェル（１１０）および前記マンドレル（１０５）は、それらの間に円筒状環状開口（１２０）を画定しており、
   前記マンドレル（１０５）は、コア区域（１０７）を画定する内壁を有していることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の方法。
4. 前記モールドを加熱するステップは、前記内壁を加熱し、および／または前記外側モールドシェル（１１０）を加熱することを含んでいることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
5. 前記外側モールドシェル（１１０）を加熱する前記ステップは、前記内壁からの熱放射を介して前記外側モールドシェル（１１０）を加熱することを含んでいることを特徴とする請求項１〜４に記載の方法。
6. 前記モールドを冷却する前記ステップは、流体冷媒を前記コア区域（１０７）から前記内壁に向かって導き、流体冷媒を前記外側モールドシェル（１１０）に向かって導くことを含んでいることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の方法。
7. 前記流体冷媒を導く前記ステップは、前記流体冷媒をシャワーヘッド（２２０）を通して噴霧することを含んでいることを特徴とする請求項６に記載の方法。
8. 前記流体冷媒は、水、水溶液、および油基組成物からなる群から選択される流体を含んでいることを特徴とする請求項６または７のいずれかに記載の方法。
9. 前記流体冷媒を前記内壁に導く前記ステップは、前記流体冷媒をシャワーヘッド（２２０）を通して噴霧することを含んでおり、前記シャワーヘッドは、ヒーターの遠位端に取り付けられており、前記ヒーターは、前記コア区域内に挿入されるように構成されていることを特徴とする請求項６に記載の方法。
10. 前記ヒーターを前記コア区域（１０７）から引き出し、同時に前記流体冷媒を前記シャワーヘッド（２２０）から噴霧することをさらに含んでいることを特徴とする請求項９に記載の方法。
11. 前記モールドは、垂直方向に配向されており、前記内壁および前記外側モールドシェル（１１０）の少なくとも１つは、底から上に向かって冷却されるようになっていることを特徴とする請求項４〜１０のいずれかに記載の方法。
12. 前記モールドの前記冷却においては、
    前記外側モールドシェル（１１０）および前記マンドレルの前記内壁を同時に冷却することを含んでおり、および／または、
    前記溶融した反応性材料が前記モールド内に導かれた後、前記モールドが冷却される前に、前記モールドを撹拌することをさらに含んでいることを特徴とする請求項４〜１１のいずれかに記載の方法。
13. 前記反応性材料は、リチウム、マグネシウム、セリウム、ナトリウム、カリウムおよび、反応しない形態にあるこのような要素を含む合金または化合物からなる群から選択されるようになっている、ことを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の方法。
14. ＰＶＤターゲットは、内壁を有しているマンドレル（１０５）と、該マンドレル（１０５）の外壁上に配置された鋳造材料層とを含んでおり、
    前記材料は反応性材料であり、
    前記鋳造反応性材料は、１体積％未満の空隙を含んでいることを特徴とする反応性材料ＰＶＤターゲット。
15. 前記反応性材料は、リチウム、マグネシウム、セリウム、ナトリウム、カリウム、反応しない形態にあるこのような要素を含む合金または化合物からなる群から選択されるようになっており、および／または、
    前記鋳造反応性材料層は、少なくとも約３ｍｍの直径の平均粒径を有する結晶粒を含んでいることを特徴とする請求項１４に記載のＰＶＤターゲット。