JP4820996B2 - 希ガスの固定化装置及び固定化方法 - Google Patents
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Description
Fusion Sci.& Technol.45巻、60〜65頁(2004)
請求項4に記載の発明の希ガスの固定化装置は、請求項1から請求項3のいずれかに係る発明において、前記リチウムの皮膜中に固定化された希ガスを、前記皮膜を昇温させることにより皮膜から脱離、気化させて回収する再気化機構を備えていることを特徴とするものである。
請求項1に記載の発明の希ガスの固定化装置では、表面にリチウムの皮膜が形成されたターゲットと、希ガスを含むガスを導入するガス導入部と、該ガス導入部から導入されたガスのプラズマ柱を生成するためのプラズマ発生装置とを備えている。そして、ガス導入部から導入されたガスを用いてプラズマ発生装置により希ガスのプラズマ柱を生成し、そのプラズマ柱をターゲット表面の皮膜に照射することにより、希ガスが皮膜中に固定化される。すなわち、リチウムの皮膜中にはリチウム原子が層をなして存在し、それらリチウム原子間に希ガスの原子が捕捉(埋積又は物理的共堆積)され、その状態が主として立体的(3次元的)原子間ポテンシャルにより保持されるものと考えられる。例えば、ヘリウムがリチウムの体心立法格子位置に捕獲された場合、ヘリウムが立体的原子間ポテンシャルによりリチウム原子間に保持される(図4及び図5を参照)。従って、希ガスをリチウム皮膜中に効果的に固定化することができる。
本実施形態の希ガスの固定化装置は、希ガスを含むか或いは化学反応等により希ガスを連続的に発生するような真空系に適用され、その真空系のガスから希ガス、特にヘリウム(He)を効果的に固定化するための装置である。そのような真空系の例として、希ガススパッタリング装置、プラズマCVD装置、反応エッチング装置等の小型装置や、重水素−三重水素反応を利用しヘリウム灰が発生する定常運転核融合炉等の大型装置が挙げられる。
まず、回転ターゲット14の外周速度が所定値になるように、回転ターゲット14を図1中の矢印で示す時計方向に回転させる。続いて、リチウムの蒸発源16を加熱するとともに、上下位置調節装置20によりリチウムの蒸発源16を上下動させ、蒸発源16の温度及び蒸発源16と回転ターゲット14との距離の調整を行う。その間、ターボ分子ポンプ12を動作させ、真空チャンバー11内及び連結パイプ22内を真空に維持する。そして、リチウムの蒸発源16からリチウム蒸気を蒸発させ、回転ターゲット14上に所定の速度でリチウムの蒸着膜18を蒸着させる。
・ 本実施形態における希ガスの固定化装置10では、表面にリチウムの蒸着膜18が形成された回転ターゲット14と、希ガスを含むガスを導入するガス導入パイプ23と、該ガス導入パイプ23から導入されたガスのプラズマ柱24を生成するためのプラズマ発生装置21とを備えている。そして、ガス導入パイプ23から導入されたガスを用いてプラズマ発生装置21により希ガスのプラズマ柱24を生成し、そのプラズマ柱24を回転ターゲット14表面の蒸着膜18に照射することにより、希ガスが蒸着膜18中に固定化される。すなわち、リチウムの蒸着膜18中にはリチウム原子が層をなして存在し、それらリチウム原子間に希ガスの原子が埋積され、その状態が図4及び図5に示した原子間力により保持される。従って、希ガスをリチウムの蒸着膜18中に効果的に固定化することができる。
・ さらに、前記リチウムの蒸着膜18中に固定化された希ガスを、前記蒸着膜18を昇温させることにより蒸着膜18から脱離、気化させて回収する再気化機構31を備えることにより、リチウムの蒸着膜18中に固定化された希ガスを容易に回収することができる。
(実施例1)
図1に示す希ガスの固定化装置10を使用し、前述した固定化方法に従って、ヘリウムの固定化を行った。プラズマ発生装置21の出力を300Wに設定し、ガス導入パイプ23からヘリウムを導入し、低温ヘリウムプラズマ柱を生成し、そのときのラングミュア型のプラズマ探針28で測定されたプラズマ密度は、4×1010l/cc、電子温度は、約4eVであった。また、回転ターゲット14の円周方向の速度を10cm/secに設定した。このとき、浮遊電位にある回転ターゲット14に約30Vの負電位を与えて入射するヘリウムイオンを加速させた。これから回転ターゲット14を照射するヘリウムのイオン粒子束は、約3×1015He-ions/cm2/secとなる。本実施例1ではヘリウムのプラズマ柱24の直径を3.5cmに設定し、リチウムの蒸着膜18の回転ターゲット14上における幅も3.5cmとした。
(実施例2)
前記実施例1では、リチウムの蒸着膜18にヘリウムプラズマが照射されたときのヘリウム励起光強度によるヘリウム検出量のデータから、リチウムの蒸着膜18中へのヘリウムの固定効果を評価した。本実施例2では、リチウムの蒸着膜18中にヘリウム以外の希ガスが固定されるか否かを確認するために、アルゴン(Ar)プラズマの照射を行った。用いたアルゴンプラズマの密度、イオン粒子束(照射粒子束)等の特性は、実施例1のヘリウムプラズマと同様に設定した。また、リチウムの蒸着膜18は、ヘリウムプラズマによる実施例1と同様の水冷銅製の回転ターゲット14を用いた。そして、実施例1と同様にして、固定化の経過時間(秒)とアルゴン検出量(%)との関係を測定し、その結果を図6に示した。
・ リチウムの皮膜として、スパッタリング法による皮膜、CVD(化学蒸着)法による皮膜等を用いることができる。
・ 前記冷却部に水以外のエチレングリコール等の冷却媒体を使用することもできる。
・ 水冷却管15を回転ターゲット14の周囲に沿うように複数本配置し、回転ターゲット14表面の冷却効率を高めるように構成することもできる。
・ 前記希ガスがヘリウムであり、ヘリウムのプラズマ柱の粒子束に対するリチウムの粒子束が10倍以上であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の希ガスの固定化装置。このように構成した場合、ヘリウムをリチウムの皮膜中に効率良く固定化することができる。
Claims (6)
- 表面にリチウムの皮膜が形成されるターゲットと、希ガスを含むガスを導入するガス導入部と、該ガス導入部から導入されたガスのプラズマ柱を生成するためのプラズマ発生装置とを備え、ガス導入部から導入されたガスを用いてプラズマ発生装置により希ガスのプラズマ柱を生成し、そのプラズマ柱をターゲット表面の皮膜に照射し、希ガスを皮膜中に固定化することを特徴とする希ガスの固定化装置。
- 前記ターゲット表面の皮膜を常温に維持するための冷却部を備えていることを特徴とする請求項1に記載の希ガスの固定化装置。
- 前記希ガスはヘリウムであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の希ガスの固定化装置。
- 前記リチウムの皮膜中に固定化された希ガスを、前記皮膜を昇温させることにより皮膜から脱離、気化させて回収する再気化機構を備えていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の希ガスの固定化装置。
- 請求項1に記載の希ガスの固定化装置を用い、ガス導入部から導入されたガスを用いてプラズマ発生装置により希ガスのプラズマ柱を生成し、そのプラズマ柱をターゲット表面のリチウムの皮膜に照射し、希ガスを皮膜中に固定化することを特徴とする希ガスの固定化方法。
- 前記ターゲットを回転させ、希ガスをリチウムの皮膜中に連続的に固定化することを特徴とする請求項5に記載の希ガスの固定化方法。
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