JP2013102132A - インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インプリント装置1は、型8に形成されているパターンを基板10上の樹脂14に転写する。このインプリント装置1は、型8に力を加え、型8に形成されているパターン領域を変形させるモールド形状補正機構201と、基板10上に形成されている基板側パターン領域20を加熱し、基板側パターン領域20を変形させるウエハ加熱機構6と、型8に形成されているパターン領域8aと、基板側パターン領域20との形状の差に関する情報を得、得られた情報に基づいて、型8に形成されているパターン領域8aと基板側パターン領域20との形状の差を低減するように、モールド形状補正機構201およびウエハ加熱機構6を制御する制御部7とを備える。
【選択図】図2
Description
まず、本発明の第1実施形態に係るインプリント装置について説明する。図1は、本実施形態に係るインプリント装置1の構成を示す図である。このインプリント装置1は、物品としての半導体デバイスなどのデバイスの製造に使用され、被処理基板であるウエハ上(基板上)の未硬化樹脂をモールド(型)で成形し、ウエハ上に樹脂のパターンを形成する装置である。なお、ここでは光硬化法を採用したインプリント装置とする。また、以下の図においては、ウエハ上の樹脂に対して紫外線(紫外光)を照射する照明系の光軸に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。インプリント装置1は、まず、光照射部2と、モールド保持機構3と、ウエハステージ4と、塗布部5と、ウエハ加熱機構6と、制御部7とを備える。
次に、本発明の第2実施形態に係るインプリント装置について説明する。本実施形態のインプリント装置の特徴は、スループットを向上させるために、第1実施形態のパターン領域20の形状補正における調整光24の照射量の照射方法を変更する点にある。第1実施形態のインプリント装置1では、調整光24の照射量を時間的に一定とした。したがって、図6に示すように、変位量60が安定するまでには一定の時間を要する。そこで、本実施形態では、パターン領域20の変位量を第1実施形態での変位量60よりも早く一定値に近づけるために、パターン領域20の形状補正の際には、調整光24をステップ状に照射させる。図8は、本実施形態のパターン領域20の形状補正時における加熱時間に対する調整光24の照射量と、その場合の変位量とを示すグラフである。特に、図8(a)は、ステップ状に照射された照射量に関するグラフである。この場合、制御部7は、調整光24の照射の開始時から時間Aの経過時まで、照射量を第1実施形態の場合よりも増加させ、一方、時間Aの経過後は、照射量を第1実施形態の場合よりも減少させるように制御する。ここで、時間Aは、第1実施形態の場合に変位量60が安定するまでの時間B(後述の図8(b)参照)よりも短く、望ましくは時間Bの半分以下である。図8(b)は、図8(a)に対応した変位量に関するグラフである。この場合のパターン領域20の変位量61は、第1実施形態の場合の変位量60と比較し、短時間で立ち上がり、また、時間Aにて照射量を最適に減少させることで、短時間で安定させることができる。なお、本実施形態における照射量のプロファイルは、図8(a)に示すような連続性のあるものに限られず、例えば、図8(c)に示すように、時間Aで照射量を一旦ゼロとし、一定時間経過した後、再度一定の照射量を加えるような断続性のものとしてもよい。
次に、本発明の他の実施形態として、上記実施形態のインプリント装置の種々の変形例について説明する。まず、上記実施形態では、ウエハ10上に存在するパターン領域20の形状補正に際し、ウエハ加熱機構6に光調整器23を採用しているが、本発明は、これに限定するものではない。例えば、この光調整器23に換えて、図9に示すようにモールド8とウエハ10との間隙からパターン領域20の平面領域に向けて加熱用の光を照射する複数の加熱用光源70を採用してもよい。この場合、制御部7は、複数の加熱用光源70によりパターン領域20の表面またはその外周領域の加熱領域に照射される光の位置などを適宜調整することで照射量分布を形成し、パターン領域20に温度分布を形成する。これによれば、例えば、開口領域13内に反射板25を設置して調整光24の光路を確保する必要がないので、一般のインプリント装置に追加で新設するのが容易であるなどの利点がある。なお、複数の加熱用光源70を採用する以外にも、ウエハ加熱機構として、例えば、ウエハチャック16にヒータを設置し、このヒータによりパターン領域20を加熱して熱変形させる構成もあり得る。この場合、ヒータは、ウエハ10内で温度分布が形成されるように複数の領域用に分割され、制御部7により個別に制御されることが望ましい。
物品としてのデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)の製造方法は、上述したインプリント装置を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板)にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含み得る。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりにパターンを形成された基板を加工する他の処理を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
6 ウエハ加熱機構
7 制御部
8 モールド
8a パターン領域
10 ウエハ
14 樹脂
20 基板側パターン領域
201 モールド形状補正機構
Claims (14)
- 型に形成されているパターンを基板上の樹脂に転写するインプリント装置であって、
前記型に力を加え、前記型に形成されているパターン領域を変形させる形状補正機構と、
前記基板上に形成されている基板側パターン領域を加熱し、前記基板側パターン領域を変形させる加熱機構と、
前記型に形成されているパターン領域と、前記基板側パターン領域との形状の差に関する情報を得、前記得られた情報に基づいて、前記型に形成されているパターン領域と前記基板側パターン領域との形状の差を低減するように、前記形状補正機構および前記加熱機構を制御する制御部と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。
- 前記型に形成されている複数のマークと、前記基板に形成されている複数のマークを検出する検出部を備え、
前記制御部は、前記検出部によって検出された結果に基づいて前記情報を得ることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記検出部は、前記型に形成されている少なくとも4つのマークと、前記基板に形成されている少なくとも4つのマークを計測することを特徴とする請求項1または2に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記基板側パターン領域に温度分布が形成されるように、前記加熱機構を制御することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加熱機構は、前記基板上の一部の領域のみを加熱可能であり、
前記制御部は、前記得られた情報に基づいて、前記加熱機構が加熱する領域を決定することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加熱機構は、光源を含み、
前記光源からの光を前記基板に照射することによって、前記基板側パターン領域を加熱することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記樹脂は、紫外光により硬化する樹脂であり、
前記加熱機構を用いて前記基板に照射される光の波長は、波長が400〜2000nmであることを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記基板上の樹脂と前記型とを接触させている状態で、前記加熱機構を制御することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記形状補正機構により前記型に形成されているパターン領域を変形させた後、もしくは、前記形状補正機構により前記型に形成されているパターン領域を変形させている間に、前記加熱機構により前記基板側パターンを変形させることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- デバイスを製造するデバイス製造方法であって、
インプリント装置を用いて型に形成されたパターンを基板上の樹脂に転写する工程と、
転写されたパターンが形成された前記基板をエッチングする工程と、を備え、
前記インプリント装置は、
前記型に力を加え、該型に形成されているパターン領域を変形させる形状補正機構と、
前記基板上に形成されている基板側パターン領域を加熱し、前記基板側パターン領域を変形させる加熱機構と、
前記型に形成されているパターン領域およびと、前記基板側パターン領域との形状の差に関する情報を得、前記得られた情報に基づいて、前記型に形成されているパターン領域と前記基板側パターン領域との形状の差を低減するように、前記形状補正機構および前記加熱機構を制御する制御部と、
を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
- 型に形成されているパターンを基板上の樹脂に転写するインプリント方法であって、
前記型に力を加え、前記型に形成されているパターン領域を変形させる加力工程と、
前記基板上に形成されている基板側パターン領域を加熱し、前記基板側パターン領域を変形させる加熱工程と、
前記型に形成されているパターン領域および前記基板側パターン領域を変形させた状態で、前記基板上の樹脂を硬化させる工程と、
を備えることを特徴とするインプリント方法。
- 前記加熱工程は、前記加力工程よりも前、もしくは前記加力工程と同時に行われることを特徴とする請求項11に記載のインプリント方法。
- 前記型と前記基板上の樹脂とを接触させる接触工程を備え、
前記加熱工程は、前記型と前記基板上の樹脂とを接触させている状態で行われることを特徴とする請求項11または12に記載のインプリント方法。
- 前記型に形成されている複数のマークと、前記基板側パターン領域に形成されている複数のマークを検出する検出工程を備えることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載のインプリント方法。
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Related Child Applications (1)
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Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014229881A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
JP2015008279A (ja) * | 2013-05-30 | 2015-01-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
JP2015072952A (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-16 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
JP2015126126A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
KR20160033038A (ko) | 2014-09-17 | 2016-03-25 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
JP2016143838A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
JP2016154241A (ja) * | 2013-07-02 | 2016-08-25 | キヤノン株式会社 | パターン形成方法、リソグラフィ装置、リソグラフィシステムおよび物品製造方法 |
JP2017152673A (ja) * | 2015-11-05 | 2017-08-31 | ボード・オブ・リージェンツ, ジ・ユニバーシティー・オブ・テキサス・システム | ジェット・アンド・フラッシュ・インプリントリソグラフィにおけるマルチフィールドオーバーレイ制御 |
JP2017183667A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | キヤノン株式会社 | 照明装置、光学装置、インプリント装置、投影装置、及び物品の製造方法 |
KR20180044819A (ko) * | 2016-10-24 | 2018-05-03 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
JP2018074041A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP2018073862A (ja) * | 2016-10-24 | 2018-05-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
KR20180096770A (ko) | 2015-12-25 | 2018-08-29 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품 제조 방법 |
JP2019102735A (ja) * | 2017-12-06 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
US10359696B2 (en) | 2013-10-17 | 2019-07-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, and method of manufacturing article |
US10372034B2 (en) | 2015-11-24 | 2019-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method for manufacturing article |
US10386737B2 (en) | 2015-06-10 | 2019-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method for producing article |
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JP2020077797A (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
JP2021072352A (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
US11204548B2 (en) | 2016-11-30 | 2021-12-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprinting method, and method for manufacturing article |
US11392027B2 (en) | 2019-05-28 | 2022-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method for manufacturing article |
US11460768B2 (en) | 2013-07-02 | 2022-10-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Pattern formation method, lithography apparatus, lithography system, and article manufacturing method |
JP2023085393A (ja) * | 2019-05-14 | 2023-06-20 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
US11835855B2 (en) | 2020-08-07 | 2023-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article |
US11833720B2 (en) | 2020-05-01 | 2023-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint method, imprint apparatus, and article manufacturing method |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6140966B2 (ja) | 2011-10-14 | 2017-06-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
JP5686779B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2015-03-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
US9067356B2 (en) * | 2012-08-09 | 2015-06-30 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method for producing fine convex pattern structure and fine convex pattern production system |
JP6418773B2 (ja) * | 2013-05-14 | 2018-11-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
CN103522535B (zh) * | 2013-10-10 | 2015-09-09 | 无锡鑫宏业特塑线缆有限公司 | 手动热压痕标识设备 |
JP6294680B2 (ja) * | 2014-01-24 | 2018-03-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
JP6415120B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2018-10-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
JP6429573B2 (ja) * | 2014-10-03 | 2018-11-28 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
JP6457773B2 (ja) | 2014-10-07 | 2019-01-23 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及び物品製造方法 |
JP6700794B2 (ja) * | 2015-04-03 | 2020-05-27 | キヤノン株式会社 | インプリント材吐出装置 |
US10642171B2 (en) * | 2015-06-10 | 2020-05-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method for producing article |
JP6702672B2 (ja) * | 2015-09-03 | 2020-06-03 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品の製造方法及び供給装置 |
JP2017188556A (ja) * | 2016-04-05 | 2017-10-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、および型 |
JP6685821B2 (ja) * | 2016-04-25 | 2020-04-22 | キヤノン株式会社 | 計測装置、インプリント装置、物品の製造方法、光量決定方法、及び、光量調整方法 |
WO2018041491A1 (en) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
JP6921600B2 (ja) * | 2017-04-20 | 2021-08-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、制御データの生成方法、及び物品の製造方法 |
CN111247623B (zh) * | 2017-10-17 | 2024-03-08 | 佳能株式会社 | 压印装置和物品制造方法 |
JP7060961B2 (ja) * | 2018-01-05 | 2022-04-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
KR102511272B1 (ko) * | 2018-02-23 | 2023-03-16 | 삼성전자주식회사 | 노광 장치 및 이를 이용하는 반도체 장치의 제조 방법 |
JP7210162B2 (ja) * | 2018-05-24 | 2023-01-23 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
DK180081B1 (en) * | 2018-06-01 | 2020-04-01 | Apple Inc. | Access to system user interfaces on an electronic device |
JP7267801B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-05-02 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP7379091B2 (ja) * | 2019-10-30 | 2023-11-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 |
US11815811B2 (en) | 2021-03-23 | 2023-11-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnification ramp scheme to mitigate template slippage |
US20230061381A1 (en) * | 2021-08-24 | 2023-03-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and article manufacturing method |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003086537A (ja) * | 2001-09-13 | 2003-03-20 | Tdk Corp | 構造体を用いた薄膜パターン製造方法および構造体 |
JP2004259985A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Sony Corp | レジストパターン形成装置およびその形成方法、および、当該方法を用いた半導体装置の製造方法 |
JP2006005023A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Dainippon Printing Co Ltd | インプリント方法、インプリント装置とその型部材、および該インプリント方法を用いた半導体素子形成のためのパターニング方法。 |
JP2008504141A (ja) * | 2004-06-03 | 2008-02-14 | モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド | ナノスケール加工中に基板の寸法を変更する装置、システムおよび方法 |
JP2008260198A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Canon Inc | パターン形成方法および電子デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06204116A (ja) * | 1993-08-01 | 1994-07-22 | Topcon Corp | 露光装置 |
WO2001011431A2 (en) * | 1999-08-06 | 2001-02-15 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus of holding semiconductor wafers for lithography and other wafer processes |
US7136150B2 (en) * | 2003-09-25 | 2006-11-14 | Molecular Imprints, Inc. | Imprint lithography template having opaque alignment marks |
US7250237B2 (en) * | 2003-12-23 | 2007-07-31 | Asml Netherlands B.V. | Optimized correction of wafer thermal deformations in a lithographic process |
US7304715B2 (en) * | 2004-08-13 | 2007-12-04 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
CN100541326C (zh) * | 2004-12-30 | 2009-09-16 | 中国科学院电工研究所 | 纳米级别图形的压印制造方法及其装置 |
US20070035717A1 (en) | 2005-08-12 | 2007-02-15 | Wei Wu | Contact lithography apparatus, system and method |
US7766640B2 (en) | 2005-08-12 | 2010-08-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Contact lithography apparatus, system and method |
CN101063810B (zh) * | 2007-05-29 | 2011-06-15 | 中国科学院光电技术研究所 | 紫外光照微纳图形气压压印和光刻两用复制装置 |
JPWO2009153925A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2011-11-24 | 株式会社ニコン | ナノインプリント方法及び装置 |
JP4892025B2 (ja) | 2008-09-26 | 2012-03-07 | 株式会社東芝 | インプリント方法 |
CN101393392B (zh) * | 2008-11-06 | 2011-06-08 | 上海交通大学 | 用于纳米压印的真空模压装置 |
JP2010260272A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Toyo Gosei Kogyo Kk | パターン形成方法 |
JP5447925B2 (ja) * | 2009-06-01 | 2014-03-19 | 東洋合成工業株式会社 | 光硬化物複合体及び該光硬化物複合体を形成するための光硬化性組成物並びに光硬化物複合体の製造方法 |
KR101083813B1 (ko) | 2009-09-11 | 2011-11-18 | 주식회사 디엠에스 | 임프린트 장치 |
JP5809409B2 (ja) | 2009-12-17 | 2015-11-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びパターン転写方法 |
JP5451450B2 (ja) | 2010-02-24 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びそのテンプレート並びに物品の製造方法 |
JP6140966B2 (ja) | 2011-10-14 | 2017-06-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
JP5686779B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2015-03-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
-
2012
- 2012-09-14 JP JP2012202990A patent/JP5686779B2/ja active Active
- 2012-10-11 US US13/649,448 patent/US9594301B2/en active Active
- 2012-10-12 KR KR1020120113324A patent/KR101630000B1/ko active IP Right Grant
- 2012-10-15 CN CN201210387601.3A patent/CN103048879B/zh active Active
- 2012-10-15 CN CN201510606372.3A patent/CN105137713B/zh active Active
-
2015
- 2015-06-26 KR KR1020150091619A patent/KR101702759B1/ko not_active Application Discontinuation
-
2017
- 2017-02-03 US US15/423,613 patent/US10663858B2/en active Active
-
2020
- 2020-04-20 US US16/852,718 patent/US11249394B2/en active Active
-
2022
- 2022-01-03 US US17/567,474 patent/US20220121112A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003086537A (ja) * | 2001-09-13 | 2003-03-20 | Tdk Corp | 構造体を用いた薄膜パターン製造方法および構造体 |
JP2004259985A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Sony Corp | レジストパターン形成装置およびその形成方法、および、当該方法を用いた半導体装置の製造方法 |
JP2008504141A (ja) * | 2004-06-03 | 2008-02-14 | モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド | ナノスケール加工中に基板の寸法を変更する装置、システムおよび方法 |
JP2006005023A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Dainippon Printing Co Ltd | インプリント方法、インプリント装置とその型部材、および該インプリント方法を用いた半導体素子形成のためのパターニング方法。 |
JP2008260198A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Canon Inc | パターン形成方法および電子デバイスの製造方法 |
Cited By (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014229881A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
JP2015008279A (ja) * | 2013-05-30 | 2015-01-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
JP2016154241A (ja) * | 2013-07-02 | 2016-08-25 | キヤノン株式会社 | パターン形成方法、リソグラフィ装置、リソグラフィシステムおよび物品製造方法 |
US11460768B2 (en) | 2013-07-02 | 2022-10-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Pattern formation method, lithography apparatus, lithography system, and article manufacturing method |
KR20170137018A (ko) * | 2013-10-01 | 2017-12-12 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
JP2015072952A (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-16 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
US9927700B2 (en) | 2013-10-01 | 2018-03-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, and method of manufacturing article |
KR102159153B1 (ko) | 2013-10-01 | 2020-09-23 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
US10359696B2 (en) | 2013-10-17 | 2019-07-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, and method of manufacturing article |
JP2015126126A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
KR20160033038A (ko) | 2014-09-17 | 2016-03-25 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
US10216103B2 (en) | 2014-09-17 | 2019-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint method, imprint apparatus, and method of manufacturing article |
JP2016143838A (ja) * | 2015-02-04 | 2016-08-08 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
US10216104B2 (en) | 2015-02-04 | 2019-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint method, imprint apparatus, and method of manufacturing article |
US10386737B2 (en) | 2015-06-10 | 2019-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method for producing article |
JP2022104992A (ja) * | 2015-11-05 | 2022-07-12 | ボード オブ リージェンツ,ザ ユニバーシティ オブ テキサス システム | ジェット・アンド・フラッシュ・インプリントリソグラフィにおけるマルチフィールドオーバーレイ制御 |
JP7284850B2 (ja) | 2015-11-05 | 2023-05-31 | ボード オブ リージェンツ,ザ ユニバーシティ オブ テキサス システム | ジェット・アンド・フラッシュ・インプリントリソグラフィにおけるマルチフィールドオーバーレイ制御 |
JP2017152673A (ja) * | 2015-11-05 | 2017-08-31 | ボード・オブ・リージェンツ, ジ・ユニバーシティー・オブ・テキサス・システム | ジェット・アンド・フラッシュ・インプリントリソグラフィにおけるマルチフィールドオーバーレイ制御 |
US10372034B2 (en) | 2015-11-24 | 2019-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method for manufacturing article |
KR20180096770A (ko) | 2015-12-25 | 2018-08-29 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품 제조 방법 |
JP2017183667A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | キヤノン株式会社 | 照明装置、光学装置、インプリント装置、投影装置、及び物品の製造方法 |
KR102294079B1 (ko) | 2016-10-24 | 2021-08-26 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
JP2018073857A (ja) * | 2016-10-24 | 2018-05-10 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
JP2018073862A (ja) * | 2016-10-24 | 2018-05-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
KR20180044819A (ko) * | 2016-10-24 | 2018-05-03 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
KR20180048323A (ko) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 |
JP2018074041A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
KR102246569B1 (ko) | 2016-10-31 | 2021-04-30 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 |
US11204548B2 (en) | 2016-11-30 | 2021-12-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprinting method, and method for manufacturing article |
JP6995593B2 (ja) | 2017-12-06 | 2022-01-14 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
JP2019102735A (ja) * | 2017-12-06 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
KR20200053428A (ko) * | 2018-11-08 | 2020-05-18 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
JP2020077797A (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
KR102641226B1 (ko) | 2018-11-08 | 2024-02-29 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
US11226554B2 (en) | 2018-11-08 | 2022-01-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and product manufacturing method |
EP3650937A1 (en) | 2018-11-08 | 2020-05-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and product manufacturing method |
JP7202148B2 (ja) | 2018-11-08 | 2023-01-11 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
JP2023085393A (ja) * | 2019-05-14 | 2023-06-20 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
JP7466732B2 (ja) | 2019-05-14 | 2024-04-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
US11392027B2 (en) | 2019-05-28 | 2022-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method for manufacturing article |
US11835871B2 (en) | 2019-10-30 | 2023-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method |
JP2021072352A (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP7451141B2 (ja) | 2019-10-30 | 2024-03-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
US11833720B2 (en) | 2020-05-01 | 2023-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint method, imprint apparatus, and article manufacturing method |
US11835855B2 (en) | 2020-08-07 | 2023-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103048879A (zh) | 2013-04-17 |
US9594301B2 (en) | 2017-03-14 |
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