JP2019102735A - インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 - Google Patents
インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019102735A JP2019102735A JP2017234605A JP2017234605A JP2019102735A JP 2019102735 A JP2019102735 A JP 2019102735A JP 2017234605 A JP2017234605 A JP 2017234605A JP 2017234605 A JP2017234605 A JP 2017234605A JP 2019102735 A JP2019102735 A JP 2019102735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- imprint
- imprint material
- mold
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/168—Finishing the coated layer, e.g. drying, baking, soaking
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
Abstract
Description
図1(a)は第1実施形態におけるインプリント装置100の構成を示した図である。図1(a)を用いてインプリント装置100の構成について説明する。ここでは、基板103が配置される面をXY面、それに直交する方向をZ方向として、図1(a)に示したように各軸を決める。インプリント装置は、基板上に供給されたインプリント材を型(モールド)と接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、型の凹凸パターンが転写された硬化物のパターンを形成する装置である。図1(a)のインプリント装置100は、物品としての半導体デバイスなどのデバイスの製造に使用される。
図4は、インプリント材401に型102を押印する工程とインプリント材401を硬化する工程における検出部116の計測値を示した図である。図4の縦軸は基板103に形成された基板マークと型102に形成された型マーク306を検出部116が検出した型102と基板103の相対位置の計測値を示す。ここで相対位置は、型102と基板103の目標位置に対する制御残差を示しており、図4型と基板との間に生じている相対的な振動の成分を抽出して表示している。以下の図においても、同様に相対的な振動の成分を抽出した結果を表示している。図4の横軸は押印工程の開始時の時間を0秒とし露光完了までの時間を示す。
硬化促進率=(未硬化時位置ずれ504−硬化時位置ずれ505)/硬化時間503・・・式(1)
このように、硬化部105の光源の照度が低下することにより生じる硬化促進率の変動に基づいて硬化部105の光源の露光量が任意の露光量(照射量)となるように補正する方法を説明する。
次に、事前に調整したプロセス条件である露光時間Te0で、基板上にパターンを形成するインプリント方法を説明する。図6は、インプリント装置100を用いて基板103上にインプリント材401のパターンを形成するインプリント方法を示した図である。
TeN+1=R0/RN×Tc0・・・式(2)
IN+1=R0/RN×I0・・・式(3)
IN+1=(R0/RN)^2×I0・・・式(4)
図7は、インプリント材401に型102を押印する工程とインプリント材401を硬化する工程における検出部116の計測値を示した図である。図7の縦軸は基板103に形成された基板マークと型102に形成された型マーク306を検出部116が検出した型102と基板103の相対位置の計測値を示す。図7の横軸は押印工程の開始時の時間を0秒とし露光完了までの時間を示す。
このような予備露光を含むインプリント方法において、硬化部105の光源の照度が低下することにより生じる硬化促進率の変動に基づいて硬化部105の光源の露光量が任意の露光量となるように補正する方法を説明する。
第1の補正方法は、第Nショット領域の予備露光の予備硬化促進率RpNに基づき、第Nショット領域の露光量を補正する。
TeN=Rp0/RpN×Tc0・・・式(5)
IN=Rp0/RpN×I0・・・式(6)
IN=(Rp0/RpN)^2×I0・・・式(7)
第2の補正方法は、第Nショット領域の予備露光の予備硬化促進率RpNに基づき、第N+1ショット領域の露光量を補正する。
TeN+1=Rp0/RpN×Tc0・・・式(8)
IN+1=Rp0/RpN×I0・・・式(9)
IN+1=(Rp0/RpN)^2×I0・・・式(10)
第3の補正方法は、第Nショット領域の露光の硬化促進率RNに基づき、第N+1ショット領域の露光量を補正する。
TeN+1=R0/RN×Tc0・・・式(11)
IN+1=R0/RN×I0・・・式(12)
IN+1=(R0/RN)^2×I0・・・式(13)
第4の補正方法は、第Nショット領域の予備露光の予備硬化促進率RpNに基づき、第N+1ショット領域の予備露光量を補正する。
TpeN+1=Rp0/RpN×Tpc0・・・式(14)
IpN+1=Rp0/RpN×Ip0・・・式(15)
IpN+1=(Rp0/RpN)^2×Ip0・・・式(16)
第5の補正方法は、第Nショット領域の露光の硬化促進率RNに基づき、第N+1ショット領域の予備露光量を補正する。
TpeN+1=R0/RN×Tpc0・・・式(17)
IpN+1=R0/RN×Ip0・・・式(18)
IpN+1=(R0/RN)^2×Ip0・・・式(19)
インプリント装置を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
101 型保持機構
104 基板ステージ
105 硬化部
106 供給機構
108 基板チャック
110 型チャック
116 検出部
Claims (9)
- 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記基板に形成されたマークと前記型に形成されたマークを検出することによって前記基板と前記型の相対的な振動を計測する計測工程と、
前記インプリント材に光を照射する照射工程と、を有し、
前記照射工程において、前記計測工程の計測結果に基づいて、前記インプリント材に照射する光の照射時間と照度の少なくとも一方を調整することを特徴とするインプリント方法。 - 基板上に形成された複数のショット領域に対してインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記複数のショット領域のそれぞれにおける前記計測工程の計測結果に基づいて、前記照射工程で前記インプリント材に照射される光の照射量の変化を求めることを特徴とする請求項1に記載のインプリント方法。 - 前記照射工程において、前記インプリント材に照射される光の照射量の変化に基づいて前記照射時間と前記照度の少なくとも一方を調整することを特徴とする請求項2に記載のインプリント方法。
- 前記基板上に配置された第1ショット領域と、前記第1ショット領域とは異なる第2ショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記第1ショット領域にパターンを形成する際に前記計測工程で計測された計測結果に基づいて、前記第1ショット領域にパターンが形成された後に前記第2ショット領域にパターンを形成する際の前記照射工程の前記光の照射時間と照度の少なくとも一方を調整することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のインプリント方法。 - 前記基板上に配置された第1ショット領域と、前記第1ショット領域とは異なる第2ショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記第1ショット領域にパターンを形成する際に前記計測工程において、前記照射工程によって前記インプリント材に光を照射する前に計測された前記振動と、前記照射工程によって前記インプリント材に光が照射された後に計測された前記振動の差を求め、該振動の差に基づいて前記第2ショット領域にパターンを形成する際に前記照射工程において、前記照射時間と前記照度の少なくとも一方を調整することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のインプリント方法。 - 前記計測工程は、前記照射工程において前記インプリント材に光が照射された後に前記振動がしきい値以下になるまでの時間を求めることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のインプリント方法。
- 前記照射工程は、前記インプリント材の粘弾性を高めるための予備露光工程と、前記予備露光工程の後、前記インプリント材を硬化させる硬化工程とを含み、
前記予備露光工程によって前記インプリント材が予備露光された状態で、前記計測工程で計測された振動に基づいて、前記硬化工程における前記光の照射時間と前記照度の少なくとも一方を調整することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載のインプリント方法。 - 請求項1乃至7の何れか1項に記載のインプリント方法を用いて、基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された基板を加工する加工工程と、を有し、
該加工工程により加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。 - 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板に形成されたマークと前記型に形成されたマークを検出することによって前記基板と前記型の相対的な振動を計測する計測部と、
前記インプリント材を硬化させる光を照射する照射部と、
前記計測部の計測結果に基づいて、前記照射部による前記インプリント材に光を照射する照射時間及び該光の照度の少なくとも一方を制御する制御部と、を有するインプリント装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017234605A JP6995593B2 (ja) | 2017-12-06 | 2017-12-06 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
KR1020180149207A KR102431220B1 (ko) | 2017-12-06 | 2018-11-28 | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017234605A JP6995593B2 (ja) | 2017-12-06 | 2017-12-06 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019102735A true JP2019102735A (ja) | 2019-06-24 |
JP6995593B2 JP6995593B2 (ja) | 2022-01-14 |
Family
ID=66846606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017234605A Active JP6995593B2 (ja) | 2017-12-06 | 2017-12-06 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6995593B2 (ja) |
KR (1) | KR102431220B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021086936A (ja) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022117092A (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-10 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013102132A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-23 | Canon Inc | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
JP2014241398A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、デバイス製造方法およびインプリント方法 |
JP2016058735A (ja) * | 2014-09-08 | 2016-04-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
JP2017022243A (ja) * | 2015-07-09 | 2017-01-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
JP2017143229A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
-
2017
- 2017-12-06 JP JP2017234605A patent/JP6995593B2/ja active Active
-
2018
- 2018-11-28 KR KR1020180149207A patent/KR102431220B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013102132A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-23 | Canon Inc | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
JP2014241398A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、デバイス製造方法およびインプリント方法 |
JP2016058735A (ja) * | 2014-09-08 | 2016-04-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
JP2017022243A (ja) * | 2015-07-09 | 2017-01-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
JP2017143229A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021086936A (ja) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 |
JP7379118B2 (ja) | 2019-11-28 | 2023-11-14 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102431220B1 (ko) | 2022-08-10 |
KR20190067091A (ko) | 2019-06-14 |
JP6995593B2 (ja) | 2022-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102611179B1 (ko) | 임프린트 방법, 임프린트 장치, 및 물품 제조 방법 | |
JP2019145786A (ja) | インプリント装置、平坦化層形成装置、形成装置、制御方法、および、物品製造方法 | |
JP2019186477A (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品製造方法 | |
JP7286400B2 (ja) | 成形装置、決定方法、および物品製造方法 | |
KR102431220B1 (ko) | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 | |
JP2017208424A (ja) | インプリント装置、及び物品の製造方法 | |
JP7337670B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および、物品の製造方法 | |
WO2015141604A1 (en) | Imprint apparatus and method of manufacturing article | |
JP7171394B2 (ja) | 成形装置、成形方法、および物品の製造方法 | |
JP2019046820A (ja) | インプリント装置、インプリント方法、及び、物品の製造方法 | |
KR20190037114A (ko) | 임프린트 장치, 임프린트 방법, 임프린트재의 배치 패턴의 결정 방법 및 물품의 제조 방법 | |
JP7383564B2 (ja) | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 | |
JP7194010B2 (ja) | インプリント装置および物品製造方法 | |
JP2019054211A (ja) | インプリント装置、および物品製造方法 | |
JP2019071386A (ja) | インプリント装置および物品製造方法 | |
JP6742189B2 (ja) | インプリント装置、及び物品製造方法 | |
JP2019117844A (ja) | モールド、レプリカモールド、インプリント装置、および物品製造方法 | |
JP7278163B2 (ja) | インプリント装置、および物品の製造方法 | |
JP7292479B2 (ja) | インプリント装置および物品製造方法 | |
JP6921501B2 (ja) | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 | |
JP2023037993A (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
JP2023034120A (ja) | 成形装置、成形方法および物品の製造方法 | |
JP2023058321A (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 | |
JP2021193714A (ja) | 成形装置、および物品製造方法 | |
JP2022087915A (ja) | インプリント方法、インプリント装置、及び物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211215 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6995593 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |