JP7292479B2 - インプリント装置および物品製造方法 - Google Patents
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ここでは、一例として、照射面積を20とし、ショット領域を縦に5分割、横に4分割した例を説明する。図8(a)では、分割された各領域に与える照度を5とし、照射時間を1とした場合の説明図であり、この場合、式(1)に当てはめて計算すると、照射積算量は100となる。
照射積算量(最適値)は、基準積算量であり、上記の例では100である。照射積算量(現値)は、上記の例では96である。照射時間(現値)は、上記の例では1である。式(2)によれば、照射時間(調整後)は1.04となる。
Claims (12)
- 基板の上のインプリント材に型のパターン領域を接触させ前記基板と前記パターン領域とをアライメントした後に前記インプリント材を硬化させ、これにより前記基板の上に前記インプリント材の硬化物からなるパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材に光を照射する光照射部を備え、
前記光照射部は、前記インプリント材と前記パターン領域との接触が開始した後、前記基板と前記型とのアライメントが終了する前に、前記インプリント材の粘弾性を高めるように前記インプリント材に光を照射する予備露光を行い、
前記予備露光では、前記光照射部は、前記パターン領域のパターン群の特徴に応じて定められた照射積算量で前記インプリント材に光を照射する、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記パターン群は、第1のパターン群と第2のパターン群とを含み、前記第1のパターン群のパターンに対する前記インプリント材の充填性は、前記第2のパターン群のパターンに対する前記インプリント材の充填性よりも悪く、
前記予備露光では、前記光照射部は、前記第1のパターン群に照射される照射積算量が前記第2のパターン群に照射される照射積算量より少なくなるように定められた条件で前記インプリント材に光を照射する、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記第1のパターン群はアライメントに用いられるマークであることを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記予備露光では、前記光照射部からの光の照度を変更することで、前記照射積算量を制御することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記予備露光では、前記光照射部からの光の照射時間を変更することで、前記照射積算量を制御することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記基板の上の前記インプリント材と前記パターン領域とが部分的に接触した後に前記インプリント材と前記パターン領域との接触面積が拡大するように前記型の形状を調整する調整機構を更に備え、
前記照射積算量は、更に、前記パターン領域のパターン群の他、前記調整機構が前記接触面積を拡大させる処理に応じて定められる、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記照射積算量は、更に、前記パターン領域のパターン群および前記処理の他、前記基板の表面の凹凸に応じて定められる、
ことを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。 - 前記照射積算量は、更に、前記パターン領域のパターン群の他、前記基板の表面の凹凸に応じて定められる、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記光照射部は、前記基板と前記型とのアライメントが終了した後に、前記インプリント材に更に光を照射する本露光を行い、前記本露光では、前記インプリント材の前記硬化物と前記型との分離が可能になるように前記インプリント材に光が照射される、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記予備露光に用いられる前記光照射部は、空間光変調素子を含んでいることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板の上にパターンを形成する工程と、
前記工程において前記パターンが形成された基板の加工を行う工程と、
を含み、前記加工が行われた前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。 - 基板の上のインプリント材に型のパターン領域を接触させ前記基板と前記パターン領域とをアライメントした後に前記インプリント材を硬化させ、これにより前記基板の上に前記インプリント材の硬化物からなるパターンを形成するインプリント方法であって、
前記インプリント材と前記パターン領域との接触が開始した後、前記基板と前記型とのアライメントが終了する前に、前記インプリント材の粘弾性を高めるように前記インプリント材に光を照射する予備露光する工程を有し、
前記予備露光する工程では、前記パターン領域のパターン群の特徴に応じて定められた照射積算量で前記インプリント材に光を照射する、
ことを特徴とするインプリント方法。
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