JP2018073857A - インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、インプリント装置の代表的な装置構成を例示する図である。インプリント装置1は、基板上に供給されたインプリント材を型と接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、型の凹凸パターンが転写された硬化物のパターンを形成する装置である。本実施形態では、インプリント装置1は光硬化法を採用したインプリント装置とする。なお、図1においては、基板上のインプリント材14に対して、光を照射する。照明系の光軸と平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内において、互いに直交するX軸およびY軸を取る。以下の図において、X軸、Y軸、Z軸は同様に定義する。
0を、吸着力により保持する基板保持部16と、基板保持部16を機械的手段により保持し、各軸方向に移動可能とするステージ駆動機構17とを有する。ステージ駆動機構17に採用可能なアクチュエータとしては、例えばリニアモータや平面モータがある。ステージ駆動機構17も、X軸およびY軸の各方向に対して、粗動駆動系や微動駆動系などの複数の駆動系から構成されていても良い。さらに、Z軸方向の位置調整のための駆動系や、基板10のθ方向の位置調整機能、または基板10の傾きを補正するためのチルト機能などを有する構成としても良い。また、ステージ4は、その側面に、X、Y、Z、θx、θy、θzの各方向に対応した複数の参照ミラー18を備える。複数の参照ミラー18に対応して、インプリント装置1は、前記複数の参照ミラー18のそれぞれにビームを照射する複数のレーザー干渉計19を備える。前記複数のレーザー干渉計19により、ステージ4の位置を計測する。レーザー干渉計19は、ステージ4の位置を実時間で計測し、後述する制御部7は、このときの計測値に基づいて、ステージ4上の基板10の位置決め制御
を実行する。
第1実施形態は、パターン領域20の調整光24の反射率や透過率が高く加熱に十分な調整光24の吸収率を得られ難い場合に対応する実施形態である。本実施形態では、パターン領域20の調整光24に対する透過率が反射率および吸収率よりも高い場合に対応する。このような場合は、例えば、パターン領域20に金属膜(金属配線)が設けられていない、または当該金属膜の調整光24の透過率が高い場合である。本実施形態では、パターン領域20が設けられた基板10の上面または、当該上面とは異なる面に調整光24の波長の光を選択的に吸収するNDフィルタ膜として、光吸収膜を形成する。上面とは異なる面とは、例えば、基板10の下面(=裏面)や側面である。
パターン領域20の調整光24に対する透過率が反射率および吸収率よりも高い場合、第2実施形態では、基板それぞれに光吸収膜を形成する必要がある。本実施形態では、ステージ4の基板10を保持する面に第2実施形態と同様の光吸収膜103を形成する。これにより、基板に光吸収膜を形成するプロセスを省略でき、複数枚の基板に対しインプリント処理を行う場合は、スループットの向上が期待できる。さらに、第1実施形態と同様の効果も得られる。
物品としてのデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)の製造方法は、上述した型を用いたインプリント装置を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板)上にインプリント材のパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含みうる。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりにパターンを形成された基板を加工する他の処理を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
2 光照射部
3 型保持機構
4 ステージ(基板ステージ)
5 塗布部
6 加熱機構(加熱部)
7 制御部
8 型
8a パターン部(型側パターン)
10 基板
14 インプリント材
20 パターン領域
26 アライメント計測部
Claims (7)
- 型に形成された型側パターンと、基板上のパターン領域に供給されたインプリント材と、を接触させて前記パターン領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記パターン領域に対して、前記型を介して第1の光を照射し、
前記第1の光の照射により、前記インプリント材、前記パターン領域が形成された前記基板の第1の面、および当該第1の面とは異なる前記基板の第2の面のうち少なくとも1つに熱を蓄積させ、
前記型側パターンと前記インプリント材とを接触させた状態で前記第1の光の照射により蓄積された熱で前記パターン領域を変形させて前記型側パターンの形状に近づけ、
前記熱が蓄積される、前記インプリント材、前記第1の面、または前記第2の面の前記第1の光の吸収率が前記パターン領域の前記第1の光の吸収率よりも高いことを特徴とするインプリント方法。 - 前記パターン領域および前記型側パターンの形状を計測し、
計測結果に基づいて決定された照射量分布で前記基板を照射することを特徴とする請求項1に記載のインプリント方法。 - 前記熱が蓄積される前記インプリント材は、前記第1の光を吸収して蓄熱する材料を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のインプリント方法。
- 前記熱が蓄積される前記第1の面または前記第2の面は、前記第1の光を吸収して蓄熱する層を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント方法。
- 前記第1の光は、前記インプリント材を硬化する第2の光および前記形状の計測に用いる第3の光とは異なる波長の光であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインプリント方法。
- 型に形成された型側パターンと、基板に形成されたパターン領域に供給されたインプリント材と、を接触させて前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板を保持して移動可能な基板ステージと、
前記パターン領域および前記型側パターンの形状を計測する計測部と、
所定の照射量分布で前記基板ステージの面のうち、前記基板を保持する面に向かって第1の光を照射する照射部と、を有し、
前記第1の光の波長は、前記インプリント材を硬化する第2の光の波長および前記計測部が用いる第3の光の波長とは異なり、
前記基板ステージは、前記基板を保持する面に前記第1の光を吸収して蓄熱する層を有し、
前記層の前記第1の光の吸収率は、前記パターン領域の前記第1の光の吸収率よりも高いことを特徴とするインプリント装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインプリント方法または請求項6に記載のインプリント装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
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