JP2012502142A5

JP2012502142A5 - 洗浄溶液および洗浄水溶液

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Publication number: JP2012502142A5
Application number: JP2011526209A
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Filing date: 2009-09-03
Publication date: 2014-04-17

Description

誘電体エッチャント
一つの選択肢として、本発明のいくつかの実施形態に従った洗浄溶液は、１または複数の誘電体エッチャントを含んでもよい。誘電体エッチャントは、洗浄溶液によって洗浄される基板の誘電体層をエッチングすることができる洗浄溶液の成分である。誘電体エッチャントは、基板からの汚染物質の除去を円滑にするために提供される。上述のように、誘電体層は、通例、電子デバイス製造で利用される誘電体である。典型的な誘電体層は、ケイ素および酸素を含む。本発明の１または複数の実施形態は、炭素ドープ酸化ケイ素などの低誘電体のための誘電体エッチャントを含む。本発明の実施形態のための誘電体エッチャントのリストは、以下を含むがこれらに限定されない：フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、および、ヘキサフルオロケイ酸塩などの化合物。

洗浄溶液であって、誘電体エッチャントは、ケイ素酸素化合物をエッチングする、洗浄溶液。洗浄溶液であって、誘電体エッチャントは、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含む、洗浄溶液。

洗浄水溶液であって、ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み；錯化剤は、シュウ酸、クエン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含み；腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５ーメチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせを含み；可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含み；誘電体エッチャントは、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含み；界面活性剤は、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含み；洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。

洗浄水溶液であって、ｐＨ調整剤は、約０．１Ｍ未満の濃度を有し、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み；錯化剤は、約０．１ｍＭから約２００ｍＭの濃度を有し、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、および、それらの組み合わせを含み；腐食防止剤は、約０．１ｍＭから約５０ｍＭの濃度を有し、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせを含み；可溶化剤は、２００ｍＬ／Ｌ未満の濃度を有し、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせのうちの１または複数を含み；誘電体エッチャントは、約１ｍＭから約１００ｍＭの濃度を有し、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含み；界面活性剤は、約２０００ｐｐｍ未満の濃度を有し、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含み；洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。

本明細書では、具体的な実施形態を参照しつつ、本発明を説明している。しかしながら、当業者は、以下の特許請求の範囲に記載の本発明の範囲から逸脱することなく、様々な変形例および変更例が可能であることを理解すべきである。したがって、本明細書は、例示を目的としたものであり、限定を意図したものではないと見なされるべきであり、かかる変形例すべてが、本発明の範囲に含まれるよう意図されている。例えば、本発明は、以下の適用例としても実現可能である。
［適用例１］
洗浄溶液であって、
腐食防止剤と、
可溶化剤と、
脱酸素剤と、
ｐＨ調整剤としても機能する錯化剤と、を含む、洗浄溶液。
［適用例２］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物である、洗浄溶液。
［適用例３］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含む、洗浄溶液。
［適用例４］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
［適用例５］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
［適用例６］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
［適用例７］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
［適用例８］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、Ｌ−アスコルビン酸、Ｄ−アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体、クロロゲン酸、コーヒー酸、ルテオリン、亜硫酸塩、亜硫酸アンモニウム、および、亜硫酸テトラメチルアンモニウムのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
［適用例９］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
［適用例１０］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
［適用例１１］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
［適用例１２］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
［適用例１３］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、０から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
［適用例１４］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、１０００から５０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
［適用例１５］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、シュウ酸、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
［適用例１６］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤は、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、または、それらの組み合わせを含む、洗浄溶液。
［適用例１７］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤はジメチルスルホキシドを含む、洗浄溶液。
［適用例１８］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤はイソプロピルアルコールを含む、洗浄溶液。
［適用例１９］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤はトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含み、
前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
［適用例２０］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み；溶媒は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含み；前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
［適用例２１］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み；前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
［適用例２２］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み、前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
［適用例２３］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、０から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
［適用例２４］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、１０００から５０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
［適用例２５］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、シュウ酸、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、または、それらの混合物を、２から５０ｇ／Ｌの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含む、洗浄溶液。
［適用例２６］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、２００ｍＬ／Ｌまでの濃度で含み、
前記脱酸素剤は、０から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、０．５から２０ｇ／Ｌまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のシュウ酸を含む、洗浄溶液。
［適用例２７］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、１から２００ｍＬ／Ｌまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含み、
前記脱酸素剤は、１０００から５０００ｐｐｍの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、０．５から２０ｇ／Ｌまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のシュウ酸を含む、洗浄溶液。
［適用例２８］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、５０ｍＬ／Ｌの濃度のエチレングリコールを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
［適用例２９］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物であり、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
［適用例３０］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
［適用例３１］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在し、前記可溶化剤は、２００ｍＬ／Ｌまでの濃度で存在する、洗浄溶液。
［適用例３２］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在し、前記可溶化剤は、１から２００ｍＬ／Ｌの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
［適用例３３］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、５０ｍＬ／Ｌまでの濃度で含む、洗浄溶液。
［適用例３４］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、１から２００ｍＬ／Ｌまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含む、洗浄溶液。
［適用例３５］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、５０ｍＬ／Ｌの濃度のイソプロピルアルコールを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
［適用例３６］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、１０００ｍＬ／Ｌまでの濃度のジメチルスルホキシドを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
［適用例３７］
適用例１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、Ｄ−アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体、および／または、亜硫酸塩を含む、洗浄溶液。
［適用例３８］
洗浄溶液であって、
ｐＨ調整剤と、
錯化剤と、
腐食防止剤と、を含み、
前記洗浄溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄溶液。
［適用例３９］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨは２以下である、洗浄溶液。
［適用例４０］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、可溶化剤を含む、洗浄溶液。
［適用例４１］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、前記腐食防止剤を可溶化することができる可溶化剤を含む、洗浄溶液。
［適用例４２］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、界面活性剤を含む、洗浄溶液。
［適用例４３］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
［適用例４４］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、可溶化剤および界面活性剤を含む、洗浄溶液。
［適用例４５］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、
可溶化剤、誘電体エッチャント、および、界面活性剤のうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
［適用例４６］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
［適用例４７］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
［適用例４８］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨ調整剤は、２以下のｐＫaを有する１または複数の酸を含み、前記１または複数の酸は、前記洗浄溶液を３以下のｐＨに調整することができる、洗浄溶液。
［適用例４９］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨ調整剤は、１．５以下のｐＫaを有する１または複数の酸を含み、前記１または複数の酸は、前記洗浄溶液を３以下のｐＨに調整することができる、洗浄溶液。
［適用例５０］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
［適用例５１］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせからなる群より選択された可溶化剤を含む、洗浄溶液。
［適用例５２］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、エチレングリコールを含む、洗浄溶液。
［適用例５３］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、イソプロピルアルコールを含む、洗浄溶液。
［適用例５４］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、ジメチルスルホキシドを含む、洗浄溶液。
［適用例５５］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、および、それらの組み合わせからなる群より選択された界面活性剤を含む、洗浄溶液。
［適用例５６］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、硫酸塩および／またはスルホン酸塩を含む界面活性剤を含む、洗浄溶液。
［適用例５７］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、ケイ素酸素化合物をエッチングすることができる誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
［適用例５８］
適用例３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物からなる群より選択された誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
［適用例５９］
洗浄水溶液であって、
ｐＨ調整剤と、
錯化剤と、
腐食防止剤と、
可溶化剤、誘電体エッチャント、および、界面活性剤のうちの１または複数と、を含む、洗浄水溶液。
［適用例６０］
適用例５９に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は実質的に非錯化性である、洗浄水溶液。
［適用例６１］
適用例５９に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は第１の酸を含み、前記錯化剤は第２の酸を含む、洗浄水溶液。
［適用例６２］
適用例５９に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄水溶液。
［適用例６３］
適用例５９に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は強酸を含む、洗浄水溶液。
［適用例６４］
適用例５９に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含み、
前記腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせを含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含むものであり、
前記誘電体エッチャントは、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含むものであり、
前記界面活性剤は、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含むものであり、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。
［適用例６５］
適用例５９に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、０から０．１Ｍの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記錯化剤は、０．１から２００ｍＭの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記腐食防止剤は、０．１から５０ｍＭの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記可溶化剤は、０から２００ｍＬ／Ｌの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記誘電体エッチャントは、１から１００ｍＭの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記界面活性剤は、０から２０００ｐｐｍの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。
［適用例６６］
適用例５９に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、０．１Ｍ未満の濃度を有し、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、０．１から２００ｍＭの濃度を有し、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの組み合わせを含み、
前記腐食防止剤は、０．１から５０ｍＭの濃度を有し、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、または、それらの組み合わせを含み、
前記可溶化剤は、２００ｍＬ／Ｌ未満の濃度で存在し、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせのうちの１または複数を含むものであり、
前記誘電体エッチャントは、１から１００ｍＭの濃度で存在し、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含むものであり、
前記界面活性剤は、２０００ｐｐｍ未満の濃度で存在し、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含むものであり、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。

Claims

電子デバイス用の洗浄溶液であって、
金属及び誘電体構造上の無電界めっきキャップ層を保護可能な腐食防止剤と、
前記洗浄溶液中の前記腐食防止剤を可溶化する可溶化剤と、
脱酸素剤と、
ｐＨ調整剤としても機能する錯化剤と、を含み、
前記洗浄溶液は、前記誘電体から金属イオンを除去可能である
洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
請求項１または２に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含む、洗浄溶液。
請求項１から３のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍの濃度で存在する、洗浄溶液。
請求項１から４のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍの濃度で存在する、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍの濃度のトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
請求項１または６に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍの濃度のトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
請求項１から７のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、Ｌ−アスコルビン酸、Ｄ−アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体、クロロゲン酸、コーヒー酸、ルテオリン、亜硫酸塩、亜硫酸アンモニウム、および、亜硫酸テトラメチルアンモニウムのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
請求項１から３および６，７のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
請求項９に記載の洗浄溶液であって、前記Ｌ−アスコルビン酸は、０から１００００ｐｐｍの濃度である、洗浄溶液。
請求項９に記載の洗浄溶液であって、前記Ｌ−アスコルビン酸は、１０００から５０００ｐｐｍの濃度である、洗浄溶液。
請求項１から１１のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、シュウ酸、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
請求項１から１２のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤は、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、または、それらの組み合わせを含む、洗浄溶液。
請求項１から１３のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤はジメチルスルホキシドを含む、洗浄溶液。
請求項１から１４のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤はイソプロピルアルコールを含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤はトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含み、
前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み；前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含み；前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
請求項１、および、９から１１、のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、シュウ酸、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、または、それらの混合物を、２から５０ｇ／Ｌの濃度で含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍの濃度のトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、２００ｍＬ／Ｌまでの濃度で含み、
前記脱酸素剤は、０から１００００ｐｐｍの濃度のＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、０．５から２０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸を含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍの濃度のトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、１から２００ｍＬ／Ｌの濃度で含み、
前記脱酸素剤は、１０００から５０００ｐｐｍの濃度のＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、０．５から２０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸を含む、洗浄溶液。
請求項１、２０および２１のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、５０ｍＬ／Ｌの濃度のエチレングリコールを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
請求項１から３のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物であり、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍの濃度で存在し、前記可溶化剤は、２００ｍＬ／Ｌまでの濃度で存在する、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍの濃度で存在し、前記可溶化剤は、１から２００ｍＬ／Ｌの濃度で存在する、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍの濃度のトリアゾール化合物を含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、５０ｍＬ／Ｌまでの濃度で含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍの濃度のトリアゾール化合物を含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、１から２００ｍＬ／Ｌまでの濃度で含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、５０ｍＬ／Ｌの濃度のイソプロピルアルコールを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、１０００ｍＬ／Ｌまでの濃度のジメチルスルホキシドを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、Ｄ−アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体、および／または、亜硫酸塩を含む、洗浄溶液。
電子デバイス用の洗浄溶液であって、
前記洗浄溶液のｐＨを３以下の所望のレベルに維持する官能基を有するｐＨ調整剤と、
金属イオンと錯体を形成する官能基を有する錯化剤と、
金属及び誘電体構造上の無電界めっきキャップ層を保護可能な腐食防止剤と、を含み、
前記洗浄溶液は、前記誘電体から金属イオンを除去可能である、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨは２以下である、洗浄溶液。
請求項３１または３２に記載の洗浄溶液であって、さらに、前記腐食防止剤を可溶化することができる可溶化剤を含む、洗浄溶液。
請求項３１から３３のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、さらに、洗浄中の基板を十分に湿潤させる界面活性剤を含む、洗浄溶液。
請求項３１から３４のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、さらに、誘電体エッチャントを含み、前記誘電体エッチャントは、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
請求項３１または３２に記載の洗浄溶液であって、さらに、
前記洗浄溶液中の前記腐食防止剤を可溶化する可溶化剤と、
洗浄中の基板を十分に湿潤させる界面活性剤を含む、洗浄溶液。
請求項３１または３２に記載の洗浄溶液であって、さらに、
前記洗浄溶液中の前記腐食防止剤を可溶化する可溶化剤、誘電体エッチャント、および、洗浄中の基板を十分に湿潤させる界面活性剤のうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
請求項３１から３７のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
請求項３１から３８のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
請求項３１から３９のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨ調整剤は、２以下のｐＫaを有する１または複数の酸を含み、前記１または複数の酸は、前記洗浄溶液を３以下のｐＨに調整することができる、洗浄溶液。
請求項３１から３９のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨ調整剤は、１．５以下のｐＫaを有する１または複数の酸を含み、前記１または複数の酸は、前記洗浄溶液を３以下のｐＨに調整することができる、洗浄溶液。
請求項３１から４１のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、さらに、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせからなる群より選択された可溶化剤を含み、前記可溶化剤は、前記洗浄溶液中の前記腐食防止剤を可溶化する、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、さらに、エチレングリコールを含む、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、さらに、イソプロピルアルコールを含む、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、さらに、ジメチルスルホキシドを含む、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、さらに、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、および、それらの組み合わせからなる群より選択された界面活性剤を含み、前記界面活性剤は、洗浄中の基板を十分に湿潤させる、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、さらに、硫酸塩および／またはスルホン酸塩を含む界面活性剤を含み、前記界面活性剤は、洗浄中の基板を十分に湿潤させる、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、さらに、ケイ素酸素化合物をエッチングすることができる誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
請求項３１に記載の洗浄溶液であって、さらに、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物からなる群より選択された誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
電子デバイス用の洗浄水溶液であって、
前記洗浄水溶液のｐＨを所望のレベルに維持する官能基を有するｐＨ調整剤と、
金属イオンと錯体を形成する官能基を有する錯化剤と、
金属及び誘電体構造体上の無電界めっきキャップ層を保護可能な腐食防止剤と、
前記洗浄水溶液中の前記腐食防止剤を可溶化する可溶化剤、誘電体エッチャント、および、洗浄中の基板を十分に湿潤させる界面活性剤のうちの１または複数と、を含み、
前記洗浄水溶液は、前記誘電体から金属イオンを除去可能である、洗浄水溶液。
請求項５１に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は実質的に非錯化性である、洗浄水溶液。
請求項５１に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は第１の酸を含み、前記錯化剤は第２の酸を含む、洗浄水溶液。
請求項５１に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄水溶液。
請求項５１に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は強酸を含む、洗浄水溶液。
請求項５１に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含み、
前記腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせを含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含むものであり、
前記誘電体エッチャントは、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含むものであり、
前記界面活性剤は、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含むものであり、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。
請求項５１に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、０から０．１Ｍの濃度を有し、
前記錯化剤は、０．１から２００ｍＭの濃度を有し、
前記腐食防止剤は、０．１から５０ｍＭの濃度を有し、
前記可溶化剤は、０から２００ｍＬ／Ｌの濃度を有し、
前記誘電体エッチャントは、１から１００ｍＭの濃度を有し、
前記界面活性剤は、０から２０００ｐｐｍの濃度を有し、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。
請求項５１に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、０．１Ｍ未満の濃度を有し、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、０．１から２００ｍＭの濃度を有し、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの組み合わせを含み、
前記腐食防止剤は、０．１から５０ｍＭの濃度を有し、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、または、それらの組み合わせを含み、
前記可溶化剤は、２００ｍＬ／Ｌ未満の濃度で存在し、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせのうちの１または複数を含むものであり、
前記誘電体エッチャントは、１から１００ｍＭの濃度で存在し、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含むものであり、
前記界面活性剤は、２０００ｐｐｍ未満の濃度で存在し、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含むものであり、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。
請求項１から５０のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、フィチン酸を含む、洗浄溶液。
請求項５１から５８のいずれか一項に記載の洗浄水溶液であって、前記錯化剤は、フィチン酸を含む、洗浄水溶液。
請求項３１から３８、および、４２から５０、のいずれか一項に記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨ調整剤は、次亜リン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
請求項５１または５７に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は、次亜リン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、または、それらの混合物を含む、洗浄水溶液。
請求項５１から５５、および、５７のいずれか一項に記載の洗浄水溶液であって、前記誘電体エッチャントは、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、テトラフルオロホウ酸塩、ヘキサフルオロケイ酸塩、または、それらの混合物を含む、洗浄水溶液。