JP2012502142A - 基板のための洗浄溶液配合 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一実施形態によると、腐食防止剤と、可溶化剤と、脱酸素剤と、pH調整剤としても機能する錯化剤とを含む洗浄溶液が提供されている。本発明の別の実施形態では、pH調整剤と、随意的な錯化剤と、腐食防止剤とを含む洗浄溶液が提供されている。洗浄溶液は、可溶化剤を随意的に有してもよく、界面活性剤を随意的に有してもよく、誘電体エッチャントを随意的に有してもよい。
Description
本発明の一実施形態に従った洗浄溶液は、腐食防止剤と、可溶化剤と、脱酸素剤と、pH調整剤としても機能する錯化剤と、を含む。随意的に、本発明のいくつかの実施形態では、洗浄溶液は、水溶液である。しかし、本発明の他の実施形態は、水の代わりに非水液体が用いられた非水洗浄溶液であってもよい。
上述したように、本発明の実施形態に従った洗浄溶液は、腐食防止剤を含む。随意的に、洗浄溶液は、2以上の腐食防止剤を含んでもよい。腐食防止剤の機能の一つは、洗浄溶液内でキャップを実質的に保護すること、すなわち、キャップの溶解を抑えることであってよい。いくつかの用途について、本発明の実施形態に従った洗浄溶液は、キャップの厚さをほとんどまたは実質的に全く減少させることなく基板を洗浄するよう構成される。その目的のために、1または複数の腐食防止剤が、本発明の実施形態に含まれてよい。
一つの選択肢として、本発明のいくつかの実施形態は、1または複数の可溶化剤をさらに含む洗浄溶液を含みうる。本発明の実施形態における可溶化剤は、液体中に部分的にしか溶解しえない別の材料の液体内(水など)での溶解度を高める物質である。本発明のいくつかの実施形態のための可溶化剤は、腐食防止剤のうちの1または複数の溶解度を高めることによって単相の洗浄溶液を作り出すために提供されてよい。いくつかの状況に対して、可溶化剤は、水溶液である本発明の実地形態については腐食防止剤を水に可溶化するために提供されてよく、腐食防止剤は、水への溶解度が低いまたは不十分である。随意的に、可溶化剤は、基板表面からの有機汚染物質の除去に役立つような目的で含有されてもよい。
本発明のいくつかの実施形態に従った洗浄溶液は、1または複数の脱酸素剤を含む。脱酸素剤は、溶存酸素またはその他の酸化種を洗浄溶液から除去するために用いることができる化合物である。より具体的には、脱酸素剤は、洗浄溶液中の溶存酸素またはその他の酸化種を還元する。いくつかの用途について、溶存酸素量は、溶存酸素またはその他の酸化種によるキャップの酸化を実質的に防ぐために最小に維持される。
本発明のいくつかの実施形態に従った洗浄溶液中の錯化剤は、金属イオンと錯体を形成することができるような官能基を有し、洗浄溶液のpHを調整することができるような1または複数の官能基をさらに有する。より具体的には、錯化剤は、洗浄溶液のpHを約3以下に維持するようなpH調整剤としても機能することができる。本発明の実施形態に従った洗浄溶液のための錯化剤は、Lars Gunnar SillenおよびArthur E.Martellによる「Stability Constants of Metal−Ion Complexes: Inorganic Ligands, Organic Ligands; and Supplement」、2巻セット(特別版第17号および補遺版第1号)、1972年、に記載されており、これは、参照によって本明細書にその全体が組み込まれる。pH調整剤の機能を有しうる錯化剤のリストは、以下を含むがこれらに限定されない:シュウ酸(CAS#[6153−56−6])、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸(CAS#[2809−21−4]、エチドロン酸、エタン−1−ヒドロキシ−1,1−ジホスホン酸、または、HEDPAとも呼ばれる)、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、およびそれらの混合物。
ここで、本発明の他の実施形態に従った洗浄溶液の配合のリストを示す表1について説明する。洗浄溶液は、表1に示すものを含むがこれらに限定されない。洗浄溶液は、pH調整剤、随意的な錯化剤、および、腐食防止剤を含んでよい。表1は、さらに、洗浄溶液が、可溶化剤を随意的に有してよく、界面活性剤を随意的に有してよく、誘電体エッチャントを随意的に有してよいことを示している。
本発明のいくつかの実施形態に従った洗浄溶液中のpH調整剤は、洗浄溶液のpHを約3未満の所望のレベルに維持することができるような官能基を有する。本発明の具体的な実施形態について、これは、pH調整剤が、酸性洗浄溶液を生成するために官能基を有することを意味しうる。随意的に、pH調整剤は、錯化剤として機能してもよい。
本発明のいくつかの実施形態に従った洗浄溶液中の錯化剤は、金属イオンと錯体を形成することができるような官能基を有する。本発明の実施形態に従った洗浄溶液のための錯化剤は、Lars Gunnar SillenおよびArthur E.Martellによる「Stability Constants of Metal−Ion Complexes: Inorganic Ligands, Organic Ligands; and Supplement」、2巻セット(特別版第17号および補遺版第1号)、1972年、に記載されており、これは、参照によって本明細書にその全体が組み込まれる。数多くの化合物が、本発明の実施形態の錯化剤としての利用に適している。本発明の実施形態のための錯化剤のリストは、以下を含むがこれらに限定されない:カルボン酸;ヒドロキシカルボン酸;クエン酸;シュウ酸;ヒドロキシエチリデンジホスホン酸などを含むがこれに限定されないホスホン酸;フィチン酸;および、それらの組み合わせ。一般に、本発明の実施形態に従った洗浄溶液は、基板の表面から除去された金属イオンと錯体を形成することができる有効量の錯化剤を含む。本発明のいくつかの実施形態は、各錯化剤について約0.1mMから200mMの濃度範囲で洗浄溶液中に存在する1または複数の錯化剤を含む。
表1に示したような本発明の実施形態のための洗浄溶液中の腐食防止剤は、セクション1で上述した腐食防止剤と基本的に同じものである。
表1に示したような本発明の実施形態のための洗浄溶液中の可溶化剤は、セクション1で上述した可溶化剤と基本的に同じものである。
一つの選択肢として、本発明のいくつかの実施形態に従った洗浄溶液は、1または複数の界面活性剤すなわち表面活性剤を含んでもよい。界面活性剤は、洗浄中に基板の十分な湿潤状態を維持するために含有される。基板の誘電体領域が湿潤されると共に、基板のキャップ領域が湿潤されるように、基板の表面全体が洗浄溶液によって十分に湿潤されることが好ましい。
一つの選択肢として、本発明のいくつかの実施形態に従った洗浄溶液は、1または複数の誘電体エッチャントを含んでもよい。誘電体エッチャントは、洗浄溶液によって洗浄される基板の誘電体層をエッチングすることができる洗浄溶液の成分である。誘電体エッチャントは、基板からの汚染物質の除去を円滑にするために提供される。上述のように、誘電体層は、通例、電子デバイス製造で利用される誘電体である。典型的な誘電体層は、ケイ素および酸素を含む。本発明の1または複数の実施形態は、炭素ドープ酸化ケイ素などの低誘電体のための誘電体エッチャントを含む。本発明の実施形態のための誘電体エッチャントのリストは、以下を含むがこれらに限定されない:フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、非アルカリ金属テトラフルオロホウ酸塩、および、非アルカリ金属ヘキサフルオロケイ酸塩などの化合物。
Claims (66)
- 洗浄溶液であって、
腐食防止剤と、
可溶化剤と、
脱酸素剤と、
pH調整剤としても機能する錯化剤と、を含む、洗浄溶液。 - 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物である、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、0.1から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、100から2000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、0.1から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、100から2000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、L−アスコルビン酸、D−アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体、クロロゲン酸、コーヒー酸、ルテオリン、亜硫酸塩、亜硫酸アンモニウム、および、亜硫酸テトラメチルアンモニウムのうちの1または複数を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はL−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み、前記脱酸素剤はL−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、0.1から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はL−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、100から2000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はL−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、0から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のL−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、1000から5000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のL−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、シュウ酸、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤は、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、2−n−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、または、それらの組み合わせを含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤はジメチルスルホキシドを含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤はイソプロピルアルコールを含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤はトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、プロピレングリコール、2−n−ブトキシエタノール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を含み、
前記脱酸素剤はL−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。 - 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み;溶媒は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を含み;前記脱酸素剤はL−アスコルビン酸を含み;前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、0.1から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み;前記脱酸素剤はL−アスコルビン酸を含み;前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、100から2000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はL−アスコルビン酸を含み、前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、0から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のL−アスコルビン酸を含み;前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、1000から5000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のL−アスコルビン酸を含み;前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、シュウ酸、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、または、それらの混合物を、2から50g/Lの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、0.1から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を、200mL/Lまでの濃度で含み、
前記脱酸素剤は、0から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のL−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、0.5から20g/Lまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のシュウ酸を含む、洗浄溶液。 - 請求項1に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、100から2000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を、1から200mL/Lまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含み、
前記脱酸素剤は、1000から5000ppmの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のL−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、0.5から20g/Lまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のシュウ酸を含む、洗浄溶液。 - 請求項1に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、1g/Lの濃度の5−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、50mL/Lの濃度のエチレングリコールを含み、
前記脱酸素剤は、1g/Lの濃度のL(+)−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、10g/Lの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。 - 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物であり、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、0.1から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在し、前記可溶化剤は、200mL/Lまでの濃度で存在する、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、100から2000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在し、前記可溶化剤は、1から200mL/Lの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、0.1から10000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を、50mL/Lまでの濃度で含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、100から2000ppmまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を、1から200mL/Lまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含む、洗浄溶液。
- 請求項1に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、1g/Lの濃度の5−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、50mL/Lの濃度のイソプロピルアルコールを含み、
前記脱酸素剤は、1g/Lの濃度のL(+)−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、10g/Lの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。 - 請求項1に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、1g/Lの濃度の5−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、1000mL/Lまでの濃度のジメチルスルホキシドを含み、
前記脱酸素剤は、1g/Lの濃度のL(+)−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、10g/Lの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。 - 請求項1に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、D−アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体、および/または、亜硫酸塩を含む、洗浄溶液。
- 洗浄溶液であって、
pH調整剤と、
錯化剤と、
腐食防止剤と、を含み、
前記洗浄溶液は、3以下のpHを有する、洗浄溶液。 - 請求項38に記載の洗浄溶液であって、前記pHは2以下である、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、可溶化剤を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、前記腐食防止剤を可溶化することができる可溶化剤を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、界面活性剤を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、可溶化剤および界面活性剤を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、
可溶化剤、誘電体エッチャント、および、界面活性剤のうちの1または複数を含む、洗浄溶液。 - 請求項38に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、pH調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、前記pH調整剤は、2以下のpKaを有する1または複数の酸を含み、前記1または複数の酸は、前記洗浄溶液を3以下のpHに調整することができる、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、前記pH調整剤は、1.5以下のpKaを有する1または複数の酸を含み、前記1または複数の酸は、前記洗浄溶液を3以下のpHに調整することができる、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、5−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせのうちの1または複数を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせからなる群より選択された可溶化剤を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、エチレングリコールを含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、イソプロピルアルコールを含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、ジメチルスルホキシドを含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、および、それらの組み合わせからなる群より選択された界面活性剤を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、硫酸塩および/またはスルホン酸塩を含む界面活性剤を含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、ケイ素酸素化合物をエッチングすることができる誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
- 請求項38に記載の洗浄溶液であって、さらに、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、非アルカリ金属テトラフルオロホウ酸塩、非アルカリ金属ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物からなる群より選択された誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
- 洗浄水溶液であって、
pH調整剤と、
錯化剤と、
腐食防止剤と、
可溶化剤、誘電体エッチャント、および、界面活性剤のうちの1または複数と、を含む、洗浄水溶液。 - 請求項59に記載の洗浄水溶液であって、前記pH調整剤は実質的に非錯化性である、洗浄水溶液。
- 請求項59に記載の洗浄水溶液であって、前記pH調整剤は第1の酸を含み、前記錯化剤は第2の酸を含む、洗浄水溶液。
- 請求項59に記載の洗浄水溶液であって、
前記pH調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄水溶液。 - 請求項59に記載の洗浄水溶液であって、前記pH調整剤は強酸を含む、洗浄水溶液。
- 請求項59に記載の洗浄水溶液であって、
前記pH調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含み、
前記腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、5−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせを含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、プロピレングリコール、2−n−ブトキシエタノール、および、イソプロピルアルコールのうちの1または複数を含むものであり、
前記誘電体エッチャントは、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、非アルカリ金属テトラフルオロホウ酸塩、非アルカリ金属ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの1または複数を含むものであり、
前記界面活性剤は、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含むものであり、
前記洗浄水溶液は、3以下のpHを有する、洗浄水溶液。 - 請求項59に記載の洗浄水溶液であって、
前記pH調整剤は、0から0.1Mの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記錯化剤は、0.1から200mMの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記腐食防止剤は、0.1から50mMの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記可溶化剤は、0から200mL/Lの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記誘電体エッチャントは、1から100mMの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記界面活性剤は、0から2000ppmの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記洗浄水溶液は、3以下のpHを有する、洗浄水溶液。 - 請求項59に記載の洗浄水溶液であって、
前記pH調整剤は、0.1M未満の濃度を有し、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、0.1から200mMの濃度を有し、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの組み合わせを含み、
前記腐食防止剤は、0.1から50mMの濃度を有し、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、5−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、または、それらの組み合わせを含み、
前記可溶化剤は、200mL/L未満の濃度で存在し、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、2−n−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせのうちの1または複数を含むものであり、
前記誘電体エッチャントは、1から100mMの濃度で存在し、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、非アルカリ金属テトラフルオロホウ酸塩、非アルカリ金属ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの1または複数を含むものであり、
前記界面活性剤は、2000ppm未満の濃度で存在し、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含むものであり、
前記洗浄水溶液は、3以下のpHを有する、洗浄水溶液。
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