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CN201210065906.2A CN102684638B (zh) 2011-03-18 2012-03-13 压电振动元件、压电振子、压电振荡器以及电子设备
CN201710646628.2A CN107681991B (zh) 2011-03-18 2012-03-13 压电振动元件、压电振子、压电振荡器以及电子设备
CN2012200940009U CN202713247U (zh) 2011-03-18 2012-03-13 压电振动元件、压电振子、压电振荡器以及电子设备
US13/420,061 US8614607B2 (en) 2011-03-18 2012-03-14 Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device
US14/012,338 US9093634B2 (en) 2011-03-18 2013-08-28 Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device
US14/683,891 US9948275B2 (en) 2011-03-18 2015-04-10 Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and electronic device

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Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202535316U (zh) 2011-03-09 2012-11-14 精工爱普生株式会社 振动元件、振子、振荡器以及电子设备
JP5708089B2 (ja) 2011-03-18 2015-04-30 セイコーエプソン株式会社 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス
JP2013098814A (ja) * 2011-11-02 2013-05-20 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動片及び圧電デバイス
JP5943186B2 (ja) 2012-03-19 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP5943187B2 (ja) 2012-03-21 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP6182968B2 (ja) 2012-08-14 2017-08-23 株式会社リコー 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び電気機械変換素子の製造方法
JP6332738B2 (ja) 2013-06-19 2018-05-30 株式会社リコー アクチュエータ及びその製造方法、並びに、そのアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置
JP6155897B2 (ja) * 2013-06-24 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体
TWI657659B (zh) * 2014-04-11 2019-04-21 日商精工愛普生股份有限公司 電子裝置、電子機器及移動體
FR3022690B1 (fr) * 2014-06-24 2016-07-22 Commissariat Energie Atomique Dispositif de connexion electrique comportant des elements de connexion a position commandable
JP6618675B2 (ja) * 2014-07-30 2019-12-11 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器及び移動体
JP6390836B2 (ja) 2014-07-31 2018-09-19 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
KR101616632B1 (ko) * 2014-09-23 2016-04-28 삼성전기주식회사 수정 진동자와 이를 포함하는 패키지
US9503045B2 (en) * 2015-01-19 2016-11-22 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object
JP6592906B2 (ja) * 2015-01-29 2019-10-23 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
JP2016140024A (ja) * 2015-01-29 2016-08-04 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
JP2016152477A (ja) 2015-02-17 2016-08-22 セイコーエプソン株式会社 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
JP6561568B2 (ja) * 2015-05-08 2019-08-21 セイコーエプソン株式会社 無線送信装置
WO2016199918A1 (ja) * 2015-06-12 2016-12-15 株式会社村田製作所 水晶片及び水晶振動子
CN107636962B (zh) * 2015-06-12 2020-07-31 株式会社村田制作所 石英片以及石英振子
JP6150092B1 (ja) * 2015-09-01 2017-06-21 株式会社村田製作所 水晶片及び水晶振動子
KR102163053B1 (ko) * 2015-09-07 2020-10-08 삼성전기주식회사 압전 진동편 및 압전 진동자
JP6233621B2 (ja) * 2015-09-25 2017-11-22 株式会社村田製作所 水晶片及び水晶振動子
WO2017057137A1 (ja) * 2015-10-02 2017-04-06 株式会社村田製作所 水晶片及び水晶振動子
JP6641859B2 (ja) * 2015-10-06 2020-02-05 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
JP6268629B2 (ja) * 2015-10-08 2018-01-31 株式会社村田製作所 水晶振動素子、及びこの水晶振動素子を備える水晶振動子
JP2017079388A (ja) 2015-10-20 2017-04-27 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子、電子機器及び移動体
JP2017139682A (ja) * 2016-02-05 2017-08-10 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動片の製造方法、発振器、電子機器、移動体、および基地局
JP6612150B2 (ja) * 2016-02-25 2019-11-27 京セラ株式会社 水晶振動素子及び水晶振動デバイス
JP6755108B2 (ja) * 2016-03-23 2020-09-16 日本電波工業株式会社 水晶振動子
JP2017183808A (ja) * 2016-03-28 2017-10-05 京セラ株式会社 水晶素子および水晶デバイス
JP2017192032A (ja) * 2016-04-13 2017-10-19 日本電波工業株式会社 水晶振動子
CN109314501B (zh) * 2016-07-28 2022-07-26 京瓷株式会社 晶体振动元件、晶体振动器件以及晶体振动元件的制造方法
WO2018092572A1 (ja) * 2016-11-16 2018-05-24 株式会社大真空 水晶振動デバイス
JP2018164126A (ja) 2017-03-24 2018-10-18 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、発振器、ジャイロセンサー、電子機器および移動体
JP6868201B2 (ja) * 2017-09-01 2021-05-12 株式会社村田製作所 圧電振動子
JP6970391B2 (ja) * 2017-09-22 2021-11-24 株式会社村田製作所 圧電振動素子の製造方法及び圧電振動子の製造方法
JP6822380B2 (ja) * 2017-11-02 2021-01-27 Tdk株式会社 振動デバイス
JP7021919B2 (ja) * 2017-11-27 2022-02-17 京セラ株式会社 圧電振動デバイス及び圧電振動デバイスの製造方法
JP6998795B2 (ja) * 2018-02-28 2022-01-18 京セラ株式会社 水晶振動素子及び水晶デバイス
JP7227571B2 (ja) * 2019-03-27 2023-02-22 株式会社村田製作所 振動素子、振動子及び振動素子の製造方法
JP7099596B1 (ja) * 2021-07-14 2022-07-12 Tdk株式会社 圧電素子
JPWO2023048014A1 (enrdf_load_stackoverflow) * 2021-09-24 2023-03-30

Family Cites Families (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5845205B2 (ja) 1974-08-23 1983-10-07 セイコーエプソン株式会社 メサ型水晶振動子の製造方法
JPS5847316A (ja) 1981-09-16 1983-03-19 Seikosha Co Ltd 厚みすべり圧電振動子およびその製法
JPH0257009A (ja) 1988-08-23 1990-02-26 Yokogawa Electric Corp 圧電共振器
US5198716A (en) * 1991-12-09 1993-03-30 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Micro-machined resonator
JPH0652230U (ja) 1992-12-11 1994-07-15 シチズン時計株式会社 圧電振動子
WO1998023028A1 (fr) * 1996-11-19 1998-05-28 Miyota Co., Ltd. Vibreur piezoelectrique
JPH10308645A (ja) 1997-05-08 1998-11-17 Toyo Commun Equip Co Ltd Ａｔカット水晶振動子及びその製造方法
JP3731348B2 (ja) * 1998-06-09 2006-01-05 松下電器産業株式会社 圧電振動子
JP2000252786A (ja) * 1999-03-01 2000-09-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電振動素子
JP3702723B2 (ja) 1999-09-01 2005-10-05 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片の製造方法
JP2001230654A (ja) 2000-02-16 2001-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電振動素子およびその製造方法
JP4665282B2 (ja) 2000-02-18 2011-04-06 エプソントヨコム株式会社 Ａｔカット水晶振動子
JP3438709B2 (ja) * 2000-08-31 2003-08-18 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス及びその製造方法と圧電発振器の製造方法
TW567664B (en) * 2001-10-09 2003-12-21 Ebauchesfabrik Eta Ag Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case
JP2003163567A (ja) 2001-11-22 2003-06-06 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動子
JP2003273682A (ja) * 2002-03-15 2003-09-26 Seiko Epson Corp 圧電振動片の周波数調整方法、圧電振動片および圧電デバイス
JP2004180274A (ja) 2002-11-15 2004-06-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動子
JP2004200777A (ja) 2002-12-16 2004-07-15 Toyo Commun Equip Co Ltd メサ構造の圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器
JP4506135B2 (ja) 2003-09-18 2010-07-21 エプソントヨコム株式会社 圧電振動子
JP2005159717A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電振動子とその製造方法
JP2005318477A (ja) 2004-04-30 2005-11-10 Seiko Epson Corp 圧電振動片、その電極形成方法、及び圧電デバイス
JP4075893B2 (ja) 2004-05-21 2008-04-16 セイコーエプソン株式会社 水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子
JP4558433B2 (ja) * 2004-10-01 2010-10-06 日本電波工業株式会社 水晶振動子
US7388454B2 (en) 2004-10-01 2008-06-17 Avago Technologies Wireless Ip Pte Ltd Acoustic resonator performance enhancement using alternating frame structure
JPWO2006114936A1 (ja) * 2005-04-18 2008-12-18 株式会社大真空 圧電振動片及び圧電振動デバイス
JP4341583B2 (ja) 2005-06-02 2009-10-07 エプソントヨコム株式会社 メサ型水晶振動子
JP4857886B2 (ja) 2005-06-24 2012-01-18 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータの耐衝撃装置、これを備えた電子機器
WO2007004348A1 (ja) * 2005-06-30 2007-01-11 Daishinku Corporation 圧電振動片及び圧電振動デバイス
JP4541983B2 (ja) * 2005-06-30 2010-09-08 京セラキンセキ株式会社 圧電振動子
JP4572807B2 (ja) 2005-10-31 2010-11-04 エプソントヨコム株式会社 メサ型圧電振動片
CN101292422B (zh) 2005-11-04 2013-01-16 株式会社村田制作所 压电谐振器、滤波器、以及双模滤波器
JP2007181185A (ja) * 2005-12-01 2007-07-12 Sony Corp 音響共振器およびその製造方法
JP2007189492A (ja) 2006-01-13 2007-07-26 Epson Toyocom Corp 圧電基板の製造方法、圧電基板、圧電振動子、及び圧電発振器
US7608986B2 (en) 2006-10-02 2009-10-27 Seiko Epson Corporation Quartz crystal resonator
JP4341671B2 (ja) 2006-11-30 2009-10-07 エプソントヨコム株式会社 メサ型水晶振動子
JP4954748B2 (ja) * 2007-02-23 2012-06-20 株式会社藤商事 弾球遊技機
JP2008236439A (ja) 2007-03-21 2008-10-02 Epson Toyocom Corp 水晶振動片
JP2008263387A (ja) 2007-04-11 2008-10-30 Epson Toyocom Corp メサ型圧電振動片
JP4936221B2 (ja) 2007-06-08 2012-05-23 セイコーエプソン株式会社 メサ型圧電振動片、メサ型圧電振動デバイス、発振器、及び電子機器
JP5046012B2 (ja) 2007-09-04 2012-10-10 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動デバイス、発振器及び電子機器
JP5088686B2 (ja) * 2007-11-21 2012-12-05 セイコーエプソン株式会社 振動片および振動デバイス
JP5035750B2 (ja) 2007-11-22 2012-09-26 セイコーエプソン株式会社 水晶振動片、水晶振動子、及び水晶発振器
JP5103297B2 (ja) * 2008-06-24 2012-12-19 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子の製造方法
JP5151823B2 (ja) 2008-09-02 2013-02-27 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動子及び発振器
JP2010098340A (ja) * 2008-10-14 2010-04-30 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動子、圧電発振器及び圧電発振器の製造方法
JP5239748B2 (ja) * 2008-10-29 2013-07-17 セイコーエプソン株式会社 水晶振動片
JP5245731B2 (ja) 2008-11-06 2013-07-24 セイコーエプソン株式会社 圧電素子製造方法
JP4737726B2 (ja) * 2009-05-01 2011-08-03 セイコーエプソン株式会社 振動子、振動子アレイ、及び電子機器
JP5319491B2 (ja) * 2009-10-22 2013-10-16 太陽誘電株式会社 圧電薄膜共振子
JP5471303B2 (ja) 2009-10-27 2014-04-16 セイコーエプソン株式会社 振動片及び振動子
ES2672122T3 (es) 2009-10-29 2018-06-12 Ngk Insulators, Ltd. Método para la detección de un ácido nucleico diana
JP5059897B2 (ja) 2010-02-24 2012-10-31 日本電波工業株式会社 圧電振動片の製造方法
JP5624410B2 (ja) 2010-09-02 2014-11-12 日本電波工業株式会社 メサ型のａｔカット水晶振動片及び水晶デバイス
CN102386871A (zh) * 2010-09-02 2012-03-21 日本电波工业株式会社 台面型at切割水晶振动片及水晶装置
JP5589167B2 (ja) 2010-11-19 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電振動子
JP5505647B2 (ja) 2010-11-19 2014-05-28 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電振動子
CN202535316U (zh) * 2011-03-09 2012-11-14 精工爱普生株式会社 振动元件、振子、振荡器以及电子设备
JP5708089B2 (ja) 2011-03-18 2015-04-30 セイコーエプソン株式会社 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス
KR101219106B1 (ko) 2011-08-01 2013-01-11 삼성전자주식회사 발광소자 패키지 및 그 제조방법
JP2013062578A (ja) * 2011-09-12 2013-04-04 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動片及び水晶デバイス
US9035538B2 (en) 2011-11-02 2015-05-19 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric device
JP2013098814A (ja) 2011-11-02 2013-05-20 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動片及び圧電デバイス
JP2013098813A (ja) 2011-11-02 2013-05-20 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動片及び圧電デバイス
JP5883665B2 (ja) 2012-01-31 2016-03-15 日本電波工業株式会社 水晶振動片及び水晶デバイス
JP5982898B2 (ja) 2012-03-14 2016-08-31 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器
JP5943186B2 (ja) 2012-03-19 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP5943187B2 (ja) * 2012-03-21 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器
JP5957997B2 (ja) 2012-03-21 2016-07-27 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、発振器、及び電子機器
JP6175743B2 (ja) 2012-06-06 2017-08-09 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法
JP2014080050A (ja) 2012-10-12 2014-05-08 Bridgestone Corp タイヤ
JP5569616B2 (ja) 2013-03-29 2014-08-13 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法
JP5741876B2 (ja) 2014-03-19 2015-07-01 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電振動子
JP6390836B2 (ja) * 2014-07-31 2018-09-19 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体
US9503045B2 (en) * 2015-01-19 2016-11-22 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object

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