JP2012114496A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012114496A5 JP2012114496A5 JP2010259178A JP2010259178A JP2012114496A5 JP 2012114496 A5 JP2012114496 A5 JP 2012114496A5 JP 2010259178 A JP2010259178 A JP 2010259178A JP 2010259178 A JP2010259178 A JP 2010259178A JP 2012114496 A5 JP2012114496 A5 JP 2012114496A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- piezoelectric
- excitation
- direction parallel
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010259178A JP5505647B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010259178A JP5505647B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014056354A Division JP5871144B2 (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 圧電振動子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012114496A JP2012114496A (ja) | 2012-06-14 |
JP2012114496A5 true JP2012114496A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2013-09-19 |
JP5505647B2 JP5505647B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=46498281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010259178A Active JP5505647B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5505647B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN202535316U (zh) | 2011-03-09 | 2012-11-14 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、振荡器以及电子设备 |
JP5708089B2 (ja) | 2011-03-18 | 2015-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器及び電子デバイス |
JP5943186B2 (ja) | 2012-03-19 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
JP5943187B2 (ja) | 2012-03-21 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
JP6119138B2 (ja) * | 2012-07-27 | 2017-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法 |
JP6083144B2 (ja) * | 2012-07-27 | 2017-02-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体及び振動片の製造方法 |
JP6390836B2 (ja) | 2014-07-31 | 2018-09-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
US9503045B2 (en) | 2015-01-19 | 2016-11-22 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
WO2016121466A1 (ja) * | 2015-01-28 | 2016-08-04 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及びその製造方法並びに水晶振動デバイス |
JP6592906B2 (ja) | 2015-01-29 | 2019-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
JP2016140024A (ja) | 2015-01-29 | 2016-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
JP2017079388A (ja) | 2015-10-20 | 2017-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子、電子機器及び移動体 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4506135B2 (ja) * | 2003-09-18 | 2010-07-21 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電振動子 |
JP4075893B2 (ja) * | 2004-05-21 | 2008-04-16 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子 |
JP4558433B2 (ja) * | 2004-10-01 | 2010-10-06 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
JP4572807B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2010-11-04 | エプソントヨコム株式会社 | メサ型圧電振動片 |
JP4936221B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2012-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | メサ型圧電振動片、メサ型圧電振動デバイス、発振器、及び電子機器 |
-
2010
- 2010-11-19 JP JP2010259178A patent/JP5505647B2/ja active Active