JP2012156418A - 板状部材の支持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持装置10は、半導体ウエハWが載置される載置面19を有する載置手段11と、載置面19から離れる方向に突設されているとともに、載置面19に載置される半導体ウエハWの外方に位置するガイド手段12とを備えて構成されている。ガイド手段12は、案内部24を備え、この案内部24は、載置面19から離れるに従って平面視で半導体ウエハWの中心から離れる方向に延びるように傾斜している。
【選択図】図2
Description
本発明の目的は、板状部材を精度良く支持することができる板状部材の支持装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、板状部材に貼付された接着シートの接着剤がガイド手段に付着することを抑制することができる板状部材の支持装置を提供することにある。
前記接着シートは、前記板状部材の外縁に達する位置まで貼付され、
前記板状部材が載置される載置面を有する載置手段と、当該載置面に載置される板状部材の外方に位置するとともに、前記載置面から離れる方向に突設したガイド手段とを備え、
前記ガイド手段は、前記載置面から離れるに従って平面視で板状部材の中心から離れる方向に延びる案内部を備える、という構成を採っている。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」は、図2を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 載置手段
12 ガイド手段
19 載置面
24 案内部
25 凸状部
AD 接着剤層
BS 基材シート
S 接着シート
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (4)
- 基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートが貼付された板状部材の支持装置であって、
前記接着シートは、前記板状部材の外縁に達する位置まで貼付され、
前記板状部材が載置される載置面を有する載置手段と、当該載置面に載置される板状部材の外方に位置するとともに、前記載置面から離れる方向に突設したガイド手段とを備え、
前記ガイド手段は、前記載置面から離れるに従って平面視で板状部材の中心から離れる方向に延びる案内部を備えていることを特徴とする板状部材の支持装置。 - 前記ガイド手段は、平面視で載置面に載置される板状部材の中心方向に膨出する凸状部を備えた形状に設けられ、この凸状部は板状部材の外縁側に点接触可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の板状部材の支持装置。
- 前記ガイド手段の先端は、前記板状部材を搬送する搬送装置が板状部材を支持及びその支持を解除するときに、当該板状部材より高い位置に設定されていることを特徴とする請求項1又は2記載の板状部材の支持装置。
- 前記載置面は、前記板状部材の外縁に隣接する所定幅領域だけに当接可能に設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の板状部材の支持装置。
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