JP2011003842A - 薄膜トランジスタおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11上にゲート電極12、ゲート絶縁膜13および撥液層17を形成する。撥液層17に開口17A(第1開口)を形成すると共にゲート絶縁膜13に同じ大きさの窪み18を形成したのち、開口17Aを拡幅して開口17B(第2開口)を形成する。これら窪み18および開口17B内に液体状の有機半導体からなる半導体層14を形成し、この半導体層14を乾燥させる。半導体層14の端部近傍が相対的に薄くなることにより、乾燥工程での突起の発生を抑制することができ、ソース・ ドレイン電極の断線を防止できる。
【選択図】図6
Description
(A1)基板上にゲート電極およびゲート絶縁膜をこの順に形成する工程
(B1)ゲート絶縁膜上に撥液層を形成した後、撥液層に第1開口を形成すると共に、ゲート絶縁膜に第1開口と同じ大きさの窪みを形成する工程
(C1)撥液層の第1開口を拡幅して第2開口を形成する工程
(D1)ゲート絶縁膜の窪みおよび撥液層の第2開口内に有機半導体からなる半導体層を形成する工程
(E1)半導体層を乾燥させた後、撥液層を除去する工程
(F1)撥液層を除去した後、半導体層に接するように一対のソース・ ドレイン電極を形成する工程
(A2)基板上に絶縁材料からなるバッファ層を形成する工程
(B2)バッファ層上に撥液層を形成した後、撥液層に第1開口を形成すると共に、バッファ層に第1開口と同じ大きさの窪みを形成する工程
(C2)撥液層の第1開口を拡幅して第2開口を形成する工程
(D2)バッファ層の窪みおよび撥液層の第2開口内に有機半導体からなる半導体層を形成する工程
(E2)半導体層を乾燥させた後、撥液層を除去する工程
(F2)撥液層を除去した後、バッファ層および半導体層上にゲート絶縁膜を形成する工程
(G2)ゲート絶縁膜に半導体層に達する一対の貫通孔を形成した後、貫通孔を介して半導体層に接するように一対のソース・ ドレイン電極を形成する工程
1.第1の実施の形態
(1−1)ボトムゲート型薄膜トランジスタ
(1−2)ボトムゲート型薄膜トランジスタの製造方法
2.第2の実施の形態
(2−1)トップゲート型薄膜トランジスタ
(2−2)トップゲート型薄膜トランジスタの製造方法
(1−1)ボトムゲート型薄膜トランジスタ
図1は本発明の第1の実施の形態に係るボトムゲート型薄膜トランジスタ(TFT)1の断面構成を表したものである。このTFT1は、基板11上にゲート電極12、ゲート絶縁膜13、チャネル層14Aを含む半導体層14、ソース・ ドレイン電極15(15A,15B)および保護膜16を備えたものである。
以下、図5〜図7を参照してTFT1の製造方法を具体的に説明する。
(2−1)トップゲート型薄膜トランジスタ
本実施の形態のトップゲート型のTFT2は、図8に示したように基板11上にバッファ層(絶縁膜)20、半導体層14、ゲート絶縁膜13、一対のソース・ドレイン電極15(15A,15B)およびゲート電極12をこの順に備えたものである。ここで、ソース・ドレイン電極15A,15Bはゲート絶縁膜13を貫通し半導体層14のコンタクト層14Bに接している。バッファ層20は例えば第1の実施の形態におけるゲート絶縁膜13と同じ材料により形成されている。
まず、図9(A)に示したように、ガラスよりなる基板11上に例えばスパッタ法により、例えば上記ゲート絶縁膜13と同様の材料からなる膜厚500nmのバッファ層20を形成する。次に、バッファ層20上に、例えばCYTOPなどのフッ素樹脂からなる厚さ300nmの撥液層17を形成した後、酸素プラズマによる反応性イオンエッチングによって撥液層17の表面を粗化する。
続いて表示装置の適用例について説明する。上記表示装置は、テレビジョン装置,デジタルカメラ,ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置あるいはビデオカメラなど、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。
例えば、図16に示したようなモジュールとして、後述する適用例1〜5などの種々の電子機器に組み込まれる。このモジュールは、例えば、基板11の一辺に、封止用基板71および接着層60から露出した領域210を設け、この露出した領域210に、信号線駆動回路120および走査線駆動回路130の配線を延長して外部接続端子(図示せず)を形成したものである。外部接続端子には、信号の入出力のためのフレキシブルプリント配線基板(FPC;Flexible Printed Circuit)220が設けられていてもよい。
図17は上記表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観を表したものである。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル310およびフィルターガラス320を含む映像表示画面部300を有しており、この映像表示画面部300は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
図18は上記表示装置が適用されるデジタルカメラの外観を表したものである。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部410、表示部420、メニュースイッチ430およびシャッターボタン440を有しており、その表示部420は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
図19は上記表示装置が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観を表したものである。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体510,文字等の入力操作のためのキーボード520および画像を表示する表示部530を有しており、その表示部530は、上記各実施の形態に係る表示装置により構成されている。
図20は上記表示装置が適用されるビデオカメラの外観を表したものである。このビデオカメラは、例えば、本体部610,この本体部610の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ620,撮影時のスタート/ストップスイッチ630および表示部640を有しており、その表示部640は上記表示装置により構成されている。
図21は上記表示装置が適用される携帯電話機の外観を表したものである。この携帯電話機は、例えば上側筐体710と下側筐体720とを連結部(ヒンジ部)730で連結したものであり、ディスプレイ740,サブディスプレイ750,ピクチャーライト760およびカメラ770を有している。そのディスプレイ740またはサブディスプレイ750は、上記表示装置により構成されている。
Claims (8)
- 基板上に設けたゲート電極と、
有機半導体により形成されると共に、チャネル領域を構成する半導体層と、
前記ゲート電極と前記半導体層との間のゲート絶縁膜と、
前記半導体層に電気的に接続された一対のソース・ ドレイン電極とを備え、
前記半導体層の前記基板側の面の端部近傍を除く内側領域に、前記基板側に向けて突出する突部を有する
薄膜トランジスタ。 - 前記基板の側から順に前記ゲート電極、前記ゲート絶縁膜および前記半導体層が設けられると共に、前記ゲート絶縁膜の前記半導体層との対向部分に窪みが設けられ、前記窪み内に前記半導体層の突部を有する
請求項1記載の薄膜トランジスタ。 - 前記基板の側から順にバッファ層、前記半導体層、前記ゲート絶縁膜および前記ゲート電極が設けられると共に、前記バッファ層の前記半導体層との対向部分に窪みが設けられ、前記窪み内に前記半導体層の突部を有する
請求項1記載の薄膜トランジスタ。 - 前記半導体層は有機半導体からなるチャネル層の上にコンタクト層を有し、前記コンタクト領域に前記一対のソース・ ドレイン電極が接触している
請求項2または3に記載の薄膜トランジスタ。 - 基板上にゲート電極およびゲート絶縁膜をこの順に形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に撥液層を形成した後、前記撥液層に第1開口を形成すると共に、前記ゲート絶縁膜に第1開口と同じ大きさの窪みを形成する工程と、
前記撥液層の第1開口を拡幅して第2開口を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜の窪みおよび前記撥液層の第2開口内に液体状の有機半導体からなる半導体層を形成する工程と、
前記半導体層を乾燥させた後、前記撥液層を除去する工程と、
前記撥液層を除去した後、前記半導体層に接するように一対のソース・ ドレイン電極を形成する工程と
を含む薄膜トランジスタの製造方法。 - 基板上に絶縁材料からなるバッファ層を形成する工程と、
前記バッファ層上に撥液層を形成した後、前記撥液層に第1開口を形成すると共に、前記バッファ層に第1開口と同じ大きさの窪みを形成する工程と、
前記撥液層の第1開口を拡幅して第2開口を形成する工程と、
前記バッファ層の窪みおよび前記撥液層の第2開口内に液体状の有機半導体からなる半導体層を形成する工程と、
前記半導体層を乾燥させた後、前記撥液層を除去する工程と、
前記撥液層を除去した後、前記バッファ層および半導体層上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜に前記半導体層に達する一対の貫通孔を形成した後、前記貫通孔を介して前記半導体層に接するように一対のソース・ ドレイン電極を形成する工程と
を含む薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記撥液層に形成する第2開口の第1開口からの拡幅量を1μm以上とする、請求項5または請求項6に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記撥液層を塗布可能なフッ素樹脂により形成する、請求項5または請求項6に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012204812A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Toppan Printing Co Ltd | 薄膜トランジスタ及びその製造方法並びに画像表示装置 |
JP2013084887A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-05-09 | Toppan Printing Co Ltd | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法及び画像表示装置 |
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101616972B1 (ko) * | 2009-09-15 | 2016-04-29 | 삼성전자주식회사 | 저항 소자를 갖는 반도체 장치 및 그 형성 방법 |
KR101093148B1 (ko) * | 2009-12-29 | 2011-12-12 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 장치 및 그 제조방법 |
KR101881462B1 (ko) | 2011-02-10 | 2018-07-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
JP2013016611A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Sony Corp | 半導体装置及びその製造方法、並びに、画像表示装置の製造方法 |
CN103295905B (zh) * | 2012-06-29 | 2017-07-28 | 上海天马微电子有限公司 | 一种半导体器件及其形成方法 |
CN103165471A (zh) * | 2013-02-19 | 2013-06-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管及其制作方法和显示装置 |
JPWO2016067591A1 (ja) * | 2014-10-28 | 2017-08-03 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜トランジスタアレイおよびその製造方法 |
TW201624678A (zh) * | 2014-12-27 | 2016-07-01 | 中華映管股份有限公司 | 主動元件及其製作方法 |
CN104576761B (zh) * | 2015-02-06 | 2018-05-08 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 薄膜晶体管及其制造方法、显示基板和显示装置 |
CN105651737A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-06-08 | 江苏双仪光学器材有限公司 | 一种基于金属层叠介质亚波长光栅的生物传感芯片 |
KR20180063938A (ko) * | 2016-12-02 | 2018-06-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 및 그 제조방법 |
KR20180066304A (ko) * | 2016-12-07 | 2018-06-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 및 그 제조방법 |
KR20180083469A (ko) | 2017-01-12 | 2018-07-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 |
KR102553881B1 (ko) * | 2018-06-01 | 2023-07-07 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 이를 포함하는 박막 트랜지스터 표시판 및 전자 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005108949A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JP2005317923A (ja) * | 2004-04-29 | 2005-11-10 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機アクセプタ膜を備えた有機薄膜トランジスタ |
JP2007258492A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Seiko Epson Corp | 回路基板、回路基板の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7511421B2 (en) * | 2003-08-25 | 2009-03-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Mixed metal and organic electrode for organic device |
US7223641B2 (en) * | 2004-03-26 | 2007-05-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, method for manufacturing the same, liquid crystal television and EL television |
KR100544144B1 (ko) * | 2004-05-22 | 2006-01-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 구비한 평판표시장치 |
KR100649189B1 (ko) * | 2005-03-04 | 2006-11-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 박막 트랜지스터의 제조방법, 이 방법에 의해 제조된유기 박막 트랜지스터 및 이 유기 박막 트랜지스터를 구비한 평판 표시 장치 |
KR100670379B1 (ko) * | 2005-12-15 | 2007-01-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 박막 트랜지스터, 그 제조방법 및 이를 구비한 유기발광 디스플레이 장치 |
KR20070113893A (ko) * | 2006-05-26 | 2007-11-29 | 삼성전자주식회사 | 유기 절연막 조성물 및 이를 이용하는 이중 두께를 갖는유기 절연막의 제조방법 |
KR101328628B1 (ko) * | 2006-07-28 | 2013-11-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
KR101390022B1 (ko) * | 2007-02-16 | 2014-04-29 | 삼성전자주식회사 | 질소를 포함하는 헤테로아로마틱계 리간드/전이금속착화합물, 이를 포함하는 버퍼층 및 상기 버퍼층을포함하는 유기박막 트랜지스터 |
US7834347B2 (en) * | 2008-07-01 | 2010-11-16 | Organicid, Inc. | Organic transistor having a non-planar semiconductor-insulating layer interface |
-
2009
- 2009-06-22 JP JP2009147783A patent/JP5477547B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-06-09 US US12/797,053 patent/US20100320453A1/en not_active Abandoned
- 2010-06-17 CN CN2010102053490A patent/CN101931051B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005108949A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JP2005317923A (ja) * | 2004-04-29 | 2005-11-10 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機アクセプタ膜を備えた有機薄膜トランジスタ |
JP2007258492A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Seiko Epson Corp | 回路基板、回路基板の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012204812A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Toppan Printing Co Ltd | 薄膜トランジスタ及びその製造方法並びに画像表示装置 |
JP2013084887A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-05-09 | Toppan Printing Co Ltd | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法及び画像表示装置 |
JP2013206994A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | 薄膜トランジスタおよび画像表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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