JP2010504636A - 背面ヘテロ接合太陽電池製造方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1R
Description
a)少なくとも1つの結晶半導体をベースとする基板の背面に、少なくとも1つの真性非晶質半導体をベースとする保護層を堆積させる工程と、
b)少なくとも1つの貫通開口部を有する第1の犠牲マスクを、保護層にスクリーン印刷する工程と、
c)少なくとも開口部に、第1の型の導電性を有するドープ非晶質半導体層を堆積させる工程と、
d)第1の犠牲マスクを除去して、第1の犠牲マスクの開口部に残っている、第1の型の導電性を有する少なくとも1つのドープ非晶質半導体のパッドを残す工程と、
を少なくとも含む。
a)少なくとも1つの結晶半導体をベースとする基板の背面に、少なくとも1つの真性非晶質半導体をベースとする保護層を堆積させる工程と、
b)第1の犠牲マスクを保護層にスクリーン印刷する工程と、
c)第1のエッチングマスクによって形成されている少なくとも1つのパターンの中に、第1の型の導電性を有するドープ非晶質半導体層を堆積させる工程と、
d)第1の犠牲マスクを除去する工程と、
を少なくとも含む。
e)少なくとも第1の型の導電性を有するドープ非晶質半導体と重なっている第2の犠牲マスクをスクリーン印刷する工程と、
f)第1の型の導電性とは反対である第2の型の導電性を有するドープ非晶質半導体を、第2の犠牲マスクによって形成されている少なくとも1つのパターンの中に堆積させる工程と、
g)第2の犠牲マスクパターンの高さに残存する第2の型の導電性を有する少なくとも1つのドープ非晶質半導体のパッドを残して、第2の犠牲マスクを除去する工程と、
を少なくともさらに含むことができる。
− シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物のうちの少なくとも1つをベースとする第1の犠牲層を、保護層に堆積させる工程と、
− 第1の犠牲マスクのパターンに類似するパターンの第1のエッチングマスクをスクリーン印刷によって堆積させる工程と、
− 第1の犠牲層のうち、第1のエッチングマスクによって覆われていない部分を、エッチングによって除去して、第1の犠牲層の残っている部分により第1の犠牲マスクを形成する工程と、
− 第1のエッチングマスクを除去する工程と、
を含むことができる。
− シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物のうちの少なくとも1つをベースとする第1の犠牲層を、保護層に堆積させる工程と、
− 第1の犠牲マスクのパターンとは逆のパターンのエッチングペーストをスクリーン印刷によって堆積させ、これによって、第1の犠牲層における第1の犠牲マスクを形成する工程と、
を含むことができる。
− シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物のうちの少なくとも1つをベースとする第2の犠牲層を、保護層に堆積させる工程と、
− 第2の犠牲マスクのパターンに類似するパターンの第2のエッチングマスクをスクリーン印刷によって堆積させる工程と、
− 第2の犠牲層のうち、第2のエッチングマスクによって覆われていない部分を、エッチングによって除去して、第2の犠牲層の残っている部分により第2の犠牲マスクを形成する工程と、
− 第2のエッチングマスクを除去する工程と、
を含むことができる。
− シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物のうちの少なくとも1つをベースとする第2の犠牲層を、保護層に堆積させる工程と、
− 第2の犠牲マスクのパターンとは逆のパターンのエッチングペーストをスクリーン印刷によって堆積させ、これによって、第2の犠牲層における第2の犠牲マスクを形成する工程と、
を含むことができる。
Claims (15)
- 太陽電池(100,200)を製造する方法であって、
a)少なくとも1つの結晶半導体をベースとする基板の(2)背面(6)に、少なくとも1つの真性非晶質半導体をベースとする保護層(12)を堆積させる工程と、
b)少なくとも1つの貫通開口部を有する第1の犠牲マスク(14)を、約250℃以下の温度において前記保護層(12)にスクリーン印刷する工程と、
c)少なくとも前記開口部に、第1の型の導電性を有するドープ非晶質半導体層(18,20)を堆積させる工程と、
d)前記第1の犠牲マスク(14)を除去して、前記第1の犠牲マスク(14)の前記開口部に残っている、前記第1の型の導電性を有する少なくとも1つのドープ非晶質半導体のパッド(20)を残す工程と、
を少なくとも含む方法。 - 前記第1のエッチングマスクを形成する前記工程b)は、約200℃以下の温度において実施される、請求項1に記載の方法。
- 保護層(12)を堆積させる前記工程a)の前に、前記基板(2)の前記背面(6)とは反対である前記基板(2)の前面(4)に、少なくとも1つの非晶質半導体をベースとする層(8)を堆積させる工程を含む、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 非晶質半導体をベースとする層(8)を前記基板(2)の前面(4)に堆積させる前記工程の後、非晶質半導体をベースとする前記層(8)に反射防止層(10)を堆積させる工程を含む、請求項3に記載の方法。
- 前記第1の犠牲マスクを形成する前記工程b)は、
− シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物のうちの少なくとも1つをベースとする第1の犠牲層(14)を、前記保護層に堆積させる工程と、
− 前記第1の犠牲マスクの前記パターンに類似するパターンの第1のエッチングマスク(16)をスクリーン印刷によって堆積させる工程と、
− 前記第1の犠牲層のうち、前記第1のエッチングマスク(16)によって覆われていない部分を、エッチングによって除去して、前記第1の犠牲層の残っている部分により前記第1の犠牲マスク(14)を形成する工程と、
− 前記第1のエッチングマスク(16)を除去する工程と、
を含む、請求項1から請求項4のいずれかに記載の方法。 - 前記第1の犠牲マスクを形成する前記工程b)は、
− シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物のうちの少なくとも1つをベースとする第1の犠牲層(14)を、前記保護層に堆積させる工程と、
− 前記第1の犠牲マスクの前記パターンとは逆のパターンのエッチングペーストをスクリーン印刷によって堆積させることによって、前記第1の犠牲層における前記第1の犠牲マスク(14)を形成する工程と、
を含む、請求項1から請求項4のいずれかに記載の方法。 - 前記第1の犠牲マスクを形成する前記工程b)が、ポリマーもしくは酸化物、またはその両方をベースとするペーストを、スクリーン印刷によって堆積させ、これによって前記第1の犠牲マスク(14)を形成する工程を含む、請求項1から請求項4のいずれかに記載の方法。
- 工程d)の後、
e)少なくとも前記第1の型の導電性を有する前記ドープ非晶質半導体(20)と重なっている第2の犠牲マスク(22)をスクリーン印刷する工程と、
f)前記第1の型の導電性とは反対である第2の型の導電性を有するドープ非晶質半導体層(26,28)を、前記第2の犠牲マスク(22)によって形成されている少なくとも1つのパターンの中に堆積させる工程と、
g)前記第2の犠牲マスクパターン(22)の高さに残存する前記第2の型の導電性を有する少なくとも1つのドープ非晶質半導体のパッド(28)を残して、前記第2の犠牲マスク(22)を除去する工程と、
を少なくともさらに含む、請求項1から請求項7のいずれかに記載の方法。 - 前記第2の犠牲マスクを形成する前記工程e)は、
− シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物のうちの少なくとも1つをベースとする第2の犠牲層(22)を、前記保護層に堆積させる工程と、
− 前記第2の犠牲マスクの前記パターンに類似するパターンの第2のエッチングマスク(24)をスクリーン印刷によって堆積させる工程と、
− 前記第2の犠牲層のうち、前記第2のエッチングマスク(24)によって覆われていない部分を、エッチングによって除去して、前記第2の犠牲層の残っている部分により前記第2の犠牲マスク(22)を形成する工程と、
− 前記第2のエッチングマスク(24)を除去する工程と、
を含む、請求項8に記載の方法。 - 前記第2の犠牲マスクを形成する前記工程e)は、
− シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物のうちの少なくとも1つをベースとする第2の犠牲層(22)を、前記保護層に堆積させる工程と、
− 前記第2の犠牲マスクの前記パターンとは逆のパターンのエッチングペーストをスクリーン印刷によって堆積させ、これによって、前記第2の犠牲層における前記第2の犠牲マスク(22)を形成する工程と、
を含む、請求項8に記載の方法。 - 前記第2の犠牲マスクを形成する前記工程e)は、ポリマーペーストもしくは酸化物ペースト、またはその両方をスクリーン印刷によって堆積させ、これによって前記第2の犠牲マスク(22)を形成する工程を含む、請求項8に記載の方法。
- 前記第2の犠牲マスク(22)を除去する前記工程g)の前に、メタライゼーションを堆積させる工程を含む、請求項8から請求項11のいずれかに記載の方法。
- 前記第2の犠牲マスク(22)を除去する前記工程g)の後に、前記第1の型の導電性を有するドープ非晶質半導体(20)と、前記第2の型の導電性を有するドープ非晶質半導体(28)とに、金属マスクを通じての蒸着もしくは噴霧、またはその両方によって、メタライゼーション(30)を堆積させる工程を含む、請求項8から請求項11のいずれかに記載の方法。
- 前記第1の犠牲マスク(14)を除去する前記工程d)の前に、メタライゼーション(30)を堆積させる工程を含む、請求項1から請求項13のいずれかに記載の方法。
- メタライゼーション(30)を堆積させる1つまたは複数の前記工程の前に、前記ドープ非晶質半導体(20,28)に、透明導電性酸化物(32)を噴霧堆積させ、次いで、前記透明導電性酸化物(32)にメタライゼーション(30)を堆積させる工程をさらに含む、請求項12から請求項14のいずれかに記載の方法。
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