JP5296358B2 - 光電池をアニールするための方法 - Google Patents
光電池をアニールするための方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5296358B2 JP5296358B2 JP2007244236A JP2007244236A JP5296358B2 JP 5296358 B2 JP5296358 B2 JP 5296358B2 JP 2007244236 A JP2007244236 A JP 2007244236A JP 2007244236 A JP2007244236 A JP 2007244236A JP 5296358 B2 JP5296358 B2 JP 5296358B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- layer
- photovoltaic cell
- hydrogen
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000137 annealing Methods 0.000 title claims description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 46
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 80
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 32
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 29
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 15
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 7
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 7
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 2
- 238000009941 weaving Methods 0.000 claims 2
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 76
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000009749 continuous casting Methods 0.000 description 2
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/186—Particular post-treatment for the devices, e.g. annealing, impurity gettering, short-circuit elimination, recrystallisation
- H01L31/1868—Passivation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/186—Particular post-treatment for the devices, e.g. annealing, impurity gettering, short-circuit elimination, recrystallisation
- H01L31/1864—Annealing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
a)約700℃及び900℃の間の温度で光電池に第1のアニールをすること、
b)約200℃及び500℃の間の温度で光電池に第2のアニールをすること、
のステップを少なくとも含み、
この処理の間、基板中に水素が拡散される。
第一種の導電性を有する半導体(例えばシリコン)をベースとして基板の表面をテクスチャライジング(織地化)すること、
第二種の導電性でドープされる、基板の正面を形成する層を、基板中に形成すること、
基板の正面上に、光電池の正面を形成する反射防止層を堆積させること、
光電池の正面上に少なくとも一つの金属化層を製造すること、
基板の裏面上に少なくとも一つの金属化層を製造すること、
本発明の目的でもある上述のアニールする方法を実施すること、
光電池の正面の金属化層を裏面の金属化層に電気的に接続する、第二種の導電性によってドープされる層の少なくとも一部を取り除くこと、である。
図1A−図1Eは、上述の従来技術に従って光電池を製造するための方法のステップを示し、
図2A−図2Cは、本発明に従って光電池をアニールするための方法のステップを示す。
102 P型基板
104 N+層
106 反射防止層
110 金属化層
112 金属化層
114 接触部
Claims (14)
- 第一種の導電性を有するシリコンをベースとする基板(102)、第二種の導電性で不純物をドープされて前記基板中に製造されて前記基板の正面を形成している層(104)、前記基板の正面上に製造されて前記光電池の正面(108)を形成する反射防止層(106)、光電池の正面(108)上の少なくとも一つの金属化層(110)、及び、前記基板の裏面上の少なくとも一つの金属化層、を備える少なくとも一つの光電池(100)をアニールするための方法であって、
前記方法は、周囲空気中そして周囲圧力で、
a)約700℃及び900℃の間の温度で前記光電池に第1のアニールをすること、
b)約200℃及び500℃の間の温度で前記光電池に第2のアニールをすること、のステップをこの順番で少なくとも含み、この処理の間、
・前記反射防止膜から前記基板中に水素が拡散されるか、
・前記基板の水素生成ステップによって水素が得られるか、または、
・水素が、前記反射防止膜から前記基板中に拡散され、かつ前記基板の水素生成ステップによって得られる、方法。 - 前記反射防止層(106)は、水素リッチである、請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び/又は第2のアニール作業は、赤外線通過炉中で実行される、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記第二種の導電性でドープされる層(104)は、N+ドープ層である、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記反射防止層(106)は、窒化ケイ素をベースにしている、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板(102)は、多結晶シリコンをベースにした基板である、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記光電池(100)の正面(108)上に製造された金属化層(110)は、銀をベースにしている、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基板(102)の裏面に生じた金属化層(112)は、アルミニウムをベースにしている、請求項1から7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記正面上の金属化層(110)及び/又は前記裏面上の金属化層(112)は、シルクスクリーン印刷によって実行される、請求項1から8のいずれか1項に記載の方法。
- 少なくとも一つの光電池(100)を製造する方法であって、
第一種の導電性を有するシリコンをベースとする基板(102)の表面を織地化すること、
第二種の導電性でドープされる、前記基板(102)の正面を形成する層(104)を、前記基板(102)中に形成すること、
前記基板(102)の正面上に、前記光電池(100)の正面(108)を形成する反射防止層(106)を堆積させること、
前記光電池(100)の正面上に少なくとも一つの金属化層(110)を製造すること、
前記基板(102)の裏面上に少なくとも一つの金属化層(112)を製造すること、
請求項1から9のいずれか1項に記載のアニールする方法を実施すること、
前記光電池(100)の前記正面(108)の金属化層(110)を前記裏面の金属化層(112)に電気的に接続する、第二種の導電性でドープされる層(104)の少なくとも一部を取り除くこと、
というステップを少なくとも含む、方法。 - 前記基板(102)中に拡散する水素は、前記基板(102)の水素化ステップから得られ、
前記水素化ステップは、前記反射防止層(106)の堆積前及び/又は堆積後に、実行される、請求項10に記載の方法。 - 前記織地化ステップは、水酸化カリウムをベースとした溶液によって行われる、請求項10又は11に記載の方法。
- 第二種の導電性でドープされた層(104)は、前記基板(102)中にリンの拡散によって形成したN+層である、請求項10から12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記反射防止層(106)は、PECVDによって堆積する窒化ケイ素をベースにした層である、請求項10から13のいずれか1項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0653882 | 2006-09-21 | ||
FR0653882A FR2906403B1 (fr) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | Procede de recuit de cellules photovoltaiques |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008078662A JP2008078662A (ja) | 2008-04-03 |
JP5296358B2 true JP5296358B2 (ja) | 2013-09-25 |
Family
ID=37913998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007244236A Expired - Fee Related JP5296358B2 (ja) | 2006-09-21 | 2007-09-20 | 光電池をアニールするための方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7935562B2 (ja) |
EP (1) | EP1903616B1 (ja) |
JP (1) | JP5296358B2 (ja) |
FR (1) | FR2906403B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9335706B2 (en) | 2014-06-20 | 2016-05-10 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Contact member, image carrier, and image forming apparatus |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2929755B1 (fr) * | 2008-04-03 | 2011-04-22 | Commissariat Energie Atomique | Procede de traitement d'un substrat semi-conducteur par activation thermique d'elements legers |
FR2953999B1 (fr) * | 2009-12-14 | 2012-01-20 | Total Sa | Cellule photovoltaique heterojonction a contact arriere |
FR2966980B1 (fr) * | 2010-11-02 | 2013-07-12 | Commissariat Energie Atomique | Procédé de fabrication de cellules solaires, atténuant les phénomènes de lid |
EP2490268A1 (en) * | 2011-02-03 | 2012-08-22 | Imec | Method for fabricating photovoltaic cells |
EP2579317A1 (en) | 2011-10-07 | 2013-04-10 | Total SA | Method of manufacturing a solar cell with local back contacts |
KR101902887B1 (ko) * | 2011-12-23 | 2018-10-01 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지의 제조 방법 |
TWI470816B (zh) * | 2011-12-28 | 2015-01-21 | Au Optronics Corp | 太陽能電池 |
KR101569415B1 (ko) * | 2014-06-09 | 2015-11-16 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지의 제조 방법 |
FR3051074B1 (fr) * | 2016-05-03 | 2018-05-18 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de fabrication d'une cellule photovoltaique a heterojonction |
EP3465777A4 (en) * | 2016-06-06 | 2019-05-08 | NewSouth Innovations Pty Limited | PROCESS FOR TREATING SILICON MATERIAL |
US10923618B2 (en) | 2016-07-12 | 2021-02-16 | Newsouth Innovations Pty Limited | Method for manufacturing a photovoltaic device |
WO2018066016A1 (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 信越化学工業株式会社 | 高光電変換効率太陽電池の製造方法及び高光電変換効率太陽電池 |
US10593818B2 (en) * | 2016-12-09 | 2020-03-17 | The Boeing Company | Multijunction solar cell having patterned emitter and method of making the solar cell |
CN114050206B (zh) * | 2022-01-13 | 2022-07-12 | 正泰新能科技有限公司 | 一种太阳能电池及其氢钝化方法 |
CN115784773B (zh) * | 2022-12-15 | 2024-03-01 | 安徽光智科技有限公司 | 一种消减多光谱硫化锌内应力的方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2787564A (en) * | 1954-10-28 | 1957-04-02 | Bell Telephone Labor Inc | Forming semiconductive devices by ionic bombardment |
DE3340874A1 (de) | 1983-11-11 | 1985-05-23 | Telefunken electronic GmbH, 7100 Heilbronn | Verfahren zum herstellen einer solarzelle |
JPH0754854B2 (ja) * | 1987-02-20 | 1995-06-07 | 京セラ株式会社 | 太陽電池素子及びその製造方法 |
JP3722326B2 (ja) * | 1996-12-20 | 2005-11-30 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
JP2002164555A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Kyocera Corp | 太陽電池およびその形成方法 |
US20050189015A1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-09-01 | Ajeet Rohatgi | Silicon solar cells and methods of fabrication |
JP2005154795A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Sharp Corp | 薄膜の製造方法および太陽電池 |
US8963169B2 (en) * | 2004-07-28 | 2015-02-24 | Quantum Semiconductor Llc | CMOS pixels comprising epitaxial layers for light-sensing and light emission |
JP2006128391A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Sharp Corp | 結晶質シリコン基板のその処理方法および光電変換素子 |
JP2006210395A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Canon Inc | 太陽電池用多結晶シリコン基板の作製方法 |
US7436044B2 (en) * | 2006-01-04 | 2008-10-14 | International Business Machines Corporation | Electrical fuses comprising thin film transistors (TFTS), and methods for programming same |
-
2006
- 2006-09-21 FR FR0653882A patent/FR2906403B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-08-28 US US11/845,841 patent/US7935562B2/en active Active
- 2007-09-19 EP EP07116755.5A patent/EP1903616B1/fr active Active
- 2007-09-20 JP JP2007244236A patent/JP5296358B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9335706B2 (en) | 2014-06-20 | 2016-05-10 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Contact member, image carrier, and image forming apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080075840A1 (en) | 2008-03-27 |
FR2906403B1 (fr) | 2008-12-19 |
EP1903616A2 (fr) | 2008-03-26 |
FR2906403A1 (fr) | 2008-03-28 |
EP1903616A3 (fr) | 2017-01-11 |
EP1903616B1 (fr) | 2018-01-17 |
JP2008078662A (ja) | 2008-04-03 |
US7935562B2 (en) | 2011-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5296358B2 (ja) | 光電池をアニールするための方法 | |
JP5296357B2 (ja) | 複数のアニール作業とともに光電池を金属化するための方法 | |
US8349644B2 (en) | Mono-silicon solar cells | |
KR101389546B1 (ko) | 표면 패시베이션이 향상된 결정성 실리콘 태양 전지의 제조 방법 | |
JP5795125B2 (ja) | 太陽電池シート及びその熱処理プロセス | |
US20090283141A1 (en) | Solar Cells and Methods for Manufacturing Same | |
US8377734B2 (en) | Method for manufacturing solar battery cell | |
CN111755552A (zh) | 太阳能电池及其制作方法 | |
US9397239B2 (en) | Insitu epitaxial deposition of front and back junctions in single crystal silicon solar cells | |
JP2015118979A (ja) | 太陽電池および太陽電池の製造方法 | |
CN115411151A (zh) | 一种新型太阳能电池及其制作方法 | |
CN115274870A (zh) | 一种极性相异的钝化接触结构及电池、制备工艺、组件和系统 | |
JP5645734B2 (ja) | 太陽電池素子 | |
TWI790245B (zh) | 光電轉換裝置之製造方法 | |
JP5172993B2 (ja) | テクスチャ構造の形成方法および太陽電池の製造方法 | |
US10923618B2 (en) | Method for manufacturing a photovoltaic device | |
WO2018109878A1 (ja) | 太陽電池および太陽電池の製造方法 | |
Schultz et al. | Dielectric rear surface passivation for industrial multicrystalline silicon solar cells | |
TWI717930B (zh) | 矽基太陽能電池及其製造方法 | |
US9559236B2 (en) | Solar cell fabricated by simplified deposition process | |
KR101048165B1 (ko) | 태양전지 제조 방법 | |
TW202143497A (zh) | 背接觸式太陽電池 | |
KR20110018687A (ko) | 태양전지의 제조방법 | |
JP2012023227A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
TW201445762A (zh) | 太陽能電池之製作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100913 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120813 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120821 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |