JP2010154632A - 圧電素子の配線接続部構造、圧電アクチュエータ、及びヘッドサスペンション - Google Patents

Abstract

【課題】 圧電素子への配線作業を、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行可能とする。
【解決手段】 端子部材５７に貫通孔６７を設け、電気絶縁層６１側を圧電素子１３側に望ませて端子部材５７を共通電極１９に対面させ、端子部材５７と共有電極板１９との間隙であって貫通孔６７の周辺に第１の液止め部材６９を介在させた状態で、貫通孔６７内に導電性接着剤液７１が充填されている。また、第１の液止め部材６９を囲むように設けた第２の液止め部材１０１を介在させた状態で、第１の液止め部材６９と第２の液止め部材１０１との間隙を埋めるように封止用接着剤液１０３が充填されている。
【選択図】 図１１

Description

本発明は、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を有し、圧電素子の変形に従って被駆動部材を駆動する圧電アクチュエータに係り、特に、圧電素子への配線作業を、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行可能な圧電素子の配線接続部構造、圧電アクチュエータ、及びヘッドサスペンションに関する。

近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展してきている。かかる情勢を背景として、微小距離で位置決め制御が可能なマイクロアクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等の分野では、マイクロアクチュエータの要請が高い。

一方で、磁気ディスク装置は市場の拡大と装置の高性能化に伴い、記録装置の大容量化は益々重要になってきている。一般に、磁気ディスク装置の大容量化はディスク１枚あたりの記憶容量を大きくすることで達成される。しかし、ディスク径を変えずに高記録密度化を実現するには、単位長あたりのトラック数 (TPI : Track Per inch) を大きくする、つまり、トラック幅を狭くすることが必要となる。従って、トラックにおける幅方向のヘッドの位置決め精度を向上することが必要となり、こうした観点からも、微細領域で高精度の位置決めを実現可能なアクチュエータが望まれる。

こうした要請に応えるために、本願出願人は、ベースプレートと、ベースプレートよりも薄いヒンジ部を備えた連結プレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、一対の圧電素子と、などを備えたディスク装置用サスペンション（例えば、特許文献１参照）を提案している。

上述の特許文献１に係る技術は、デュアル・アクチュエータ方式と呼ばれ、精密位置決め用のアクチュエータとして、通常のボイルコイルモータに加え、ＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）等の圧電素子を採用している。デュアル・アクチュエータ方式の圧電素子は、サスペンションの先端側あるいはスライダのみを、サスペンションにおける幅方向（いわゆるスウェイ方向）に微少駆動する。デュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションによれば、シングル・アクチュエータ方式のものと比較して、ヘッド位置決めを高精度に行うことができる。

ところで、デュアル・アクチュエータ方式を用いたヘッドサスペンションでは、圧電素子への給電をいかにして行うか、が問題となる。

こうした問題を解決するためのアプローチのひとつとして、圧電素子へ給電するために、ヘッドサスペンションに一対の配線を形成し、一方の配線は、ベース側電極とワイヤーボンディングにより接続し、他方の配線は、一対の各圧電素子の上面露出部とをワイヤーボンディングで結線するように構成したヘッドサスペンション装置が開示されている（例えば、特許文献２の図９及び図１０参照）。

しかしながら、特許文献２に係るワイヤーボンディング技術では、接合強度を確保しつつワイヤーボンディング処理を施そうとすると、必然的に圧電素子に対して局所的な応力が加わることから、脆く壊れやすい圧電素子が破損してしまうおそれがある。また、圧電素子破損回避のために加減してワイヤーボンディング処理を施した場合には接合強度を稼げないことから、電気的接続に係る信頼性を損なうおそれがある。このように、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で、圧電素子への配線作業を遂行することは困難を極め、かかる課題の解決が関係者の間で待望されていた。
特開２００２−５０１４０号公報 特開２００３−６１３７１号公報

解決しようとする問題点は、従来技術では、圧電素子への配線作業を、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行することは困難であった点である。

本発明は、圧電素子への配線作業を、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行可能な圧電素子の配線接続部構造、圧電アクチュエータ、ヘッドサスペンションを得ること目的として、基部と磁気ヘッドの間に介在させて電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を設け、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータにおいて、前記圧電素子に電極を設け、電気絶縁層に、前記電極に給電するための配線部が積層されてなる端子部材のうち少なくとも前記電気絶縁層に貫通孔を設け、前記電気絶縁層側を前記圧電素子側に望ませて前記端子部材を前記電極に対面させ、前記端子部材と前記電極との間隙であって前記貫通孔の周辺に第１の液止め部材を介在させた状態で前記貫通孔内に液状の導電性接着剤が充填されていることによって、前記貫通孔内の導電性接着剤を通して前記端子部材の前記配線部と前記圧電素子の前記電極との間が電気的に接続され、前記端子部材と前記電極との間隙に前記第１の液止め部材を囲むように設けた第２の液止め部材を介在させた状態で前記第１の液止め部材と前記第２の液止め部材との間隙を埋めるように液状の封止用接着剤が充填されていることによって、前記導電性接着剤の大気暴露が物理的に阻止されている、ことを最も主要な特徴とする。

本発明に係る圧電素子の配線接続部構造では、前記電気絶縁層側を前記圧電素子側に望ませて前記端子部材を前記電極に対面させ、前記端子部材と前記電極との間隙であって前記貫通孔の周辺に第１の液止め部材を介在させた状態で前記貫通孔内に液状の導電性接着剤が充填されていることによって、前記貫通孔内の導電性接着剤を通して前記端子部材の前記配線部と前記圧電素子の前記電極との間が電気的に接続されている。

すなわち、貫通孔内に液状の導電性接着剤が充填されたとき、前記電極と前記端子部材との隙間に第１の液止め部材が介在していると、そこに狭小部分が生じる。この狭小部分では毛細管現象が発生し、同狭小部分において導電性接着剤液が這うように浸透・拡散する。これに対し、第１の液止め部材が介在していない前記隙間が広い部分では毛細管現象が発生しないため、同隙間が広い部分において導電性接着剤液が浸透・拡散することはない。

また、本発明に係る圧電素子の配線接続部構造では、前記端子部材と前記電極との間隙に前記第１の液止め部材を囲むように設けた第２の液止め部材を介在させた状態で前記第１の液止め部材と前記第２の液止め部材との間隙を埋めるように液状の封止用接着剤が充填されていることによって、前記導電性接着剤の大気暴露が物理的に阻止されている。

このように、第１の液止め部材の介在部分における外延を越えてまで導電性接着剤液が浸透・拡散することはなく、第１の液止め部材の介在部分における外延があたかも堤防のように機能することで、前記外延の内側に導電性接着剤液が留まる結果として、確実な接合強度をもって、圧電素子への機械的ストレスを一切与えることなく、圧電素子の電極と前記端子部材との間における電気的接続関係を担保することができる。また、封止用接着剤液と第２の液止め部材との協働作用によって、前記導電性接着剤の大気暴露が物理的に阻止されているので、導電性接着剤のコロージョンを未然に抑止できるとともに、仮にコロージョンが生じたとしても、導電性接着剤が外方に漏れ出てしまうことはない。従って、圧電素子への配線作業を、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行することができる。

圧電素子への配線作業を、圧電素子の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行可能にするといった目的を、前記電極と前記端子部材との隙間であって前記貫通孔の周辺に第１の液止め部材を介在させた状態で前記貫通孔内に導電性接着剤液を充填する一方、前記電極と前記端子部材との隙間に前記第１の液止め部材を囲むように設けた第２の液止め部材を介在させた状態で、少なくとも前記第１の液止め部材と前記第２の液止め部材との間を埋めるように封止用接着剤液を充填する、圧電素子の配線接続部構造によって実現した。

以下、本発明実施例に係る圧電素子の配線接続部構造、圧電アクチュエータ、及びヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

初めに、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの概略構成について説明する。

［本発明実施例に係るヘッドサスペンション］
図１は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの外観斜視図である。

図１に示すように、本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１は、後述する圧電素子１３の取付部としての機能を兼ねたベースプレート３３と、ロードビーム３５と、ヒンジ部材としての機能を兼ねた連結プレート３７と、電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子１３と、などを備えている。このヘッドサスペンション３１は、ベースプレート３３に形成した後述する開口部４３を有し、同開口部４３に圧電素子１３を埋め込み式に装着することで、圧電素子１３の変形に従ってロードビーム３５の先端側をスウェイ方向に変位させるように構成されている。

ベースプレート３３は、板厚が例えば１５０〜２００μｍ程度の金属板（例えばステンレス鋼）から構成されている。ベースプレート３３は、Ｕ字状に湾曲した左右一対の可撓部４１ａ，４１ｂと、圧電素子１３を収容可能な開口部４３と、略円形のボス孔４５を有している。一対の可撓部４１ａ，４１ｂは、圧電素子１３の側面に対応したそれぞれの位置において、外側に凸となるように湾曲している。ベースプレート３３は、ボイスコイルモータ（不図示）によって駆動されるアクチュエータアーム（不図示）の先端部に固定され、ボイスコイルモータによって旋回駆動されるようになっている。なお、ベースプレート３３の素材としては、例えば、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼とからなるクラッド材等を用いることもできる。かかる軽量素材を採用すれば、ベースプレート３３の慣性質量（イナーシャ）を小さくすることを通じて、スウェイ方向の共振周波数を高くし、ひいてはヘッドサスペンション３１のトレース能力向上に寄与する。なお、ベースプレート３３に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成に代えて、ベースプレート３３に対してその後端側が重ね合わされた状態でレーザ溶接等の適宜の固着手段によって固着されるアクチュエータプレート３４に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成を採用してもよい。すなわち、本発明は、ベースプレート３３とアクチュエータプレート３４を共に備えているヘッドサスペンションと、ベースプレート３３を備えているがアクチュエータプレート３４は備えていないヘッドサスペンションと、の両者を、その技術的範囲の射程に捉えている。ただし、以下では、説明の簡略化を企図して、「アクチュエータプレート３４」は、「ベースプレート３３」と一体であるものとして説明を進めることにする。

ロードビーム３５にはフレキシャ３９が設けられている。フレキシャ３９は、ロードビーム３５よりもさらに薄く精密な金属製の薄板ばねからなる。フレキシャ３９における先端側には、磁気ヘッドを構成するスライダ（不図示）が設けられている。ロードビーム３５は、フレキシャ３９におけるスライダに負荷荷重を与えるもので、例えば３０〜１５０μｍ程度の板厚のステンレス鋼で形成されている。ロードビーム３５には、その両側部に一対の曲げ縁３６ａ，３６ｂが形成されており、これにより、ロードビーム３５の剛性を高めるようにしている。ロードビーム３５における後端側には、連結プレート３７が一体に設けられている。なお、ロードビーム３５の素材としては、例えば、アルミニウム合金などの軽合金、又は軽合金とステンレス鋼とからなるクラッド材等を用いることもできる。かかる軽量素材を採用すれば、ロードビーム３５の慣性質量（イナーシャ）を小さくすることを通じて、スウェイ方向の共振周波数を高くし、ひいてはヘッドサスペンション３１のトレース能力向上に寄与する。

連結プレート３７は、板厚が例えば３０μｍ程度のばね性を有する金属板から構成されている。連結プレート３７の一部には、厚み方向の曲げ剛性を下げるための孔４７が形成され、この孔４７の両側部に、厚み方向に撓むことのできる左右一対のヒンジ部４９ａ，４９ｂが形成されている。連結プレート３７における後端側は、ベースプレート３３における先端側に、その裏面側から重ね合わされて、レーザ溶接等の適宜の固着手段によって相互に固着されている。

本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１の説明の途中であるが、ここで説明の便宜上、本発明実施例に係るヘッドサスペンションに組み込まれる圧電アクチュエータの構成及びその作用効果について説明する。

［圧電アクチュエータ］
図２は、本発明実施例に係る圧電アクチュエータの外観斜視図、図３は、本圧電アクチュエータのＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。

図２及び図３に示すように、本発明実施例に係る圧電アクチュエータ１１は、電圧の印加状態に応じて変形する、略矩形形状の圧電素子１３を有し、圧電素子１３の変形に従って被駆動部材（本発明実施例ではロードビーム３５）を駆動するように構成されている。ここで、「電圧の印加状態に応じて変形する」とは、電圧の印加又は開放に応じて変形する概念と、電圧の印加レベルに応じて変形する概念と、の両者を包含する概念である。

圧電素子１３は、共通の平面内において相互に所定距離離隔して配置される一対の第１及び第２電極板１５，１７と、一対の第１及び第２電極板１５，１７に対向して設けられる一つの共有電極板（本発明の「圧電素子の電極」に相当する。）１９と、一対の第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９との間に設けられる圧電材料部２１と、を備えて構成されている。なお、第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９は、例えば金（Ａｕ）等の接触抵抗が低い金属材料を好適に用いることができる。また、一対の第１及び第２電極板１５，１７は、相互に略同一形状かつ略同一サイズに形成されている。さらに、共有電極板１９は、一対の第１及び第２電極板１５，１７を統合したものと略同一形状かつ略同一サイズに形成されている。

圧電材料部２１は、第１電極板１５への電圧の印加状態に応じて変形する第１圧電材料部２１ａと、第２電極板１７への電圧の印加状態に応じて変形する第２圧電材料部２１ｂとを、相互に異なる分極方向となるように配置して構成されている。具体的には、これら第１及び第２圧電材料部２１ａ，２１ｂは、例えば圧電セラミックスを素材として用いて、相互に１８０°異なる分極方向となるように配置されている。

次に、本発明実施例に係る圧電アクチュエータ１１の動作について、圧電素子１３におけるＸ（図２参照）を固定側ベース部とする一方、Ｙ（図２参照）を駆動側ベース部とし、さらに、一対の第１及び第２電極板１５，１７を電気的に接地する一方、共有電極板１９に所要の電圧を印加した場合を想定して説明する。

この場合、圧電素子１３は、図２に示すように、第１電極板１５における一方の端面２３が収縮する一方、第２電極板１７における他方の端面２５が伸長することで、全体として略台形形状に歪む。すると、圧電素子１３は、Ｚ方向（図２参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側ベース部Ｙにおける被駆動部材の位置を変位させることができる。なお、上述とは逆に、共有電極板１９を電気的に接地する一方、一対の第１及び第２電極板１５，１７に所要の電圧を印加した場合には、マイナスＺ方向（図２のＺ方向とは逆方向）に微少距離だけ変位することで、駆動側ベース部Ｙにおける被駆動部材の位置を変位させることができる。

従って、本発明実施例に係る圧電アクチュエータによれば、第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９の３枚の各電極のそれぞれに対して都合３系統の電気的接続を確保すればよい。この結果、圧電素子への配線作業を、簡易かつ高信頼性を維持した状態で遂行するのを、各電極の構成面から補助することができる。

また、一つの圧電素子１３を用いて圧電アクチュエータを構成する本発明実施例では、部品点数削減を通じて、部品管理の煩わしさを低減するとともに、コスト的にも有利となる。

次いで、引き続き本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１の説明に戻る。

図４は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションを裏面から視た平面図である。

図１及び図４に示すように、ベースプレート３３における開口部４３には、第１及び第２電極板１５，１７が上方に位置する一方で、共有電極板１９が下方に位置するように、圧電素子１３が埋め込み式に設けられている。また、ベースプレート３３の開口部４３の周縁における先端側及び後端側には、圧電素子１３の接着性能向上を企図して、部分的なエッチング処理が施してある。さらに、圧電素子１３と、ベースプレート３３との間には、その周縁における先端側及び後端側に、適宜の厚みを有する非導電性接着剤層５１が設けられている。この非導電性接着剤層５１により、圧電素子１３の歪み（変位）を効果的にロードビーム３５に伝達するとともに、圧電素子１３における共有電極板１９とベースプレート３３間における電気的な絶縁を確保するようにしている。なお、本実施例では、ベースプレート３３と、連結プレート３７とが相互に重なり合う部分によって、圧電アクチュエータ１１における駆動側ベース部Ｙが構成されている。

次に、本発明実施例に係る圧電素子の配線接続部構造及びその作用効果について説明する。

［圧電素子の配線接続部構造］
図５（ａ）は、配線部材をヘッドサスペンションの裏面側から視た外観図、図５（ｂ）は、配線部材を圧電素子側から視た外観図、図６（ａ）は、第１端子部材を圧電素子側から視た正面図、図６（ｂ）は、第１端子部材の右側面図、図６（ｃ）は、第１端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図、図７（ａ）は、第２端子部材を圧電素子側から視た正面図、図７（ｂ）は、第２端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図、図８（ａ）は、第３端子部材を圧電素子側から視た正面図、図８（ｂ）は、第３端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図、図９（ａ）は、第４端子部材を圧電素子側から視た正面図、図９（ｂ）は、第４端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図、図１０（ａ），図１０（ｂ）は、第１端子部材に係る課題説明図、図１１（ａ）は、第５端子部材を圧電素子側から視た正面図、図１１（ｂ）は、第５端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図、図１２（ａ）は、第５端子部材の第１の取付工程を示す説明図、図１２（ｂ）は、第５端子部材の第２の取付工程を示す説明図、図１３（ａ）は、第６端子部材を圧電素子側から視た正面図、図１３（ｂ）は、第６端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図、図１４（ａ）は、第７端子部材を圧電素子側から視た正面図、図１４（ｂ）は、第７端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図、図１５は、第５端子部材に係る変形例を示す説明図、図１６は、本発明実施例に係る圧電アクチュエータの変形例を示す説明図である。

本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１の組立時において、圧電素子１３は、開口部４３の内周面によって所定の位置に位置決めされる。その結果、図４及び図５等に示すように、圧電素子１３に対する給電、並びに磁気ヘッドにおける読み取り乃至書き込み信号を伝送するための、フレキシャ３９における配線部材５５のうち端子部材５７と、圧電素子１３における共有電極板１９とが、相互に対面するように位置する。これら両者間の高低差は数１０μｍ程度とごく僅かである。なお、図５（ａ）に示すように、端子部材５７（配線部材５５も同様）は、導電性基材（フレキシャ３９のＳＵＳ製基材）５９上に、電気絶縁層６１を介して例えば銅線等からなる配線部６３を、都合三層に積層させて構成されている。また、図５（ｂ）に示すように、端子部材５７のうち、圧電素子１３の共有電極板（本発明の「圧電素子の電極」に相当する。）１９と対面する範囲６５について、共有電極板１９と導電性基材５９間における短絡事故を未然に回避する目的で、導電性基材５９はエッチング処理によって除去されている。

さて、端子部材５７と、圧電素子１３の共有電極板１９との間における僅かな高低差を埋めて両者間の電気的な接続関係を確保するために、本発明実施例に係る基本となる圧電素子の配線接続部構造では、圧電素子１３の共有電極板１９に給電するための端子部材５７に貫通孔６７を設け、電気絶縁層６１側を圧電素子１３側に望ませて端子部材５７を共有電極板（本発明の「圧電素子の電極」に相当する。）１９に対面させ、端子部材５７と共有電極板１９との間隙であって貫通孔６７の周辺に第１の液止め部材６９を介在させた状態で、貫通孔６７内に液状の導電性接着剤７１が充填されていることによって、貫通孔６７内の導電性接着剤７１を通して端子部材５７の配線部６３と圧電素子１３の共有電極板１９との間が電気的に接続されている。

ここで、第１の液止め部材６９は、貫通孔６７内に導電性接着剤液７１が充填されたとき、端子部材５７と共有電極板１９との間に生じる隙間を狭くさせ、かかる狭い隙間で毛細管現象を発生させる目的で、端子部材５７と共有電極板１９との間に介在して設けられている。第１の液止め部材６９の材質は、導電性接着剤７１の立体障害としての役割を果たす目的を考慮すると、導電性接着剤７１に係る素材との相性が良好（浸食や溶解等の作用がない）である限りにおいて、例えば金属や樹脂などの適宜の材質を採用することができる。また、導電性接着剤７１としては、例えば銀ペーストなど、適宜の素材を採用することができる。

なお、圧電素子１３における第１及び第２電極板１５，１７の各々と、ベースプレート３３との各間には、図１に示すように、各間における電気的な接続を確保するための一対の導電性接着剤５３ａ，５３ｂが塗布されている。これにより、第１及び第２電極板１５，１７の各々と、ベースプレート３３との各間における電気的な接続関係が担保されている。

次いで、第１端子部材５７−１に係る圧電素子の配線接続部構造について、前述した基本となる配線接続部構造との差異に注目して説明すると、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、第１端子部材５７−１では、第１端子部材５７−１と共有電極板１９との間隙であって貫通孔６７の周囲にわたり環状の第１の液止め部材６９−１を介在させた状態で、貫通孔６７内に液状の導電性接着剤７１が充填されていることによって、貫通孔６７内の導電性接着剤７１を通して第１端子部材５７−１の配線部６３と圧電素子１３の共有電極板１９との間を電気的に接続するように構成されている。

なお、環状の第１の液止め部材６９−１は、前述のエッチング処理時に、貫通孔６７の周囲にわたり導電性基材５９を残すことで形成されている。ただし、かかる処理を遂行する際に、エッチング処理によって貫通孔６７の周囲にわたり導電性基材５９を部分的に残した時に、エッチング処理によって除去されていない本体となる導電性基材５９との間において、電気的な接続関係が完全に絶たれていることを要する。これは、共有電極板１９と導電性基材５９間における短絡事故を未然に回避することに基づく。また、かかる構成に代えて、導電性基材５９に係る所定範囲のエッチング処理を完遂すると同時に、導電性基材５９とは別体の環状の第１の液止め部材６９−１を適用してもよい。

また、第２端子部材５７−２に係る圧電素子の配線接続部構造について、前述した第１端子部材５７−１に係る配線接続部構造との差異に注目して説明すると、図７（ａ），（ｂ）に示すように、第２端子部材５７−２では、共有電極板１９と第２端子部材５７−２との間隙であって貫通孔６７の周方向にわたり環状部材６９−１を放射状にぶつ切りした断面略台形状の孤立片７３が複数（実施例では４つ）均等に設けられる孤立片群からなる第１の液止め部材６９−２を介在させた状態で、貫通孔６７内に液状の導電性接着剤７１が充填されていることによって、貫通孔６７内の導電性接着剤７１を通して第２端子部材５７−２の配線部６３と圧電素子１３の共有電極板１９との間を電気的に接続するように構成されている。

なお、孤立片群からなる第１の液止め部材６９−２は、前述のエッチング処理時に、貫通孔６７の周辺に所要形状の孤立片に係る導電性基材５９を残すことで形成することができる。

さらに、第３端子部材５７−３に係る圧電素子の配線接続部構造について、前述した第２端子部材５７−２に係る配線接続部構造との差異に注目して説明すると、図８（ａ），（ｂ）に示すように、第３端子部材５７−３では、第３端子部材５７−３と共有電極板１９との間隙であって貫通孔６７の周方向にわたり円柱形状の孤立片７３が複数（実施例では４つ）均等に設けられる孤立片群からなる第１の液止め部材６９−３を介在させた状態で、貫通孔６７内に液状の導電性接着剤７１が充填されていることによって、貫通孔６７内の導電性接着剤７１を通して第３端子部材５７−３の配線部６３と圧電素子１３の共有電極板１９との間を電気的に接続するように構成されている。

なお、孤立片群からなる第１の液止め部材６９−３は、前述のエッチング処理時に、貫通孔６７の周辺に所要形状の孤立片に係る導電性基材５９を残すことで形成することができる。

そして、第４端子部材５７−４に係る圧電素子の配線接続部構造について、前述した第１端子部材５７−１に係る配線接続部構造との差異に注目して説明すると、図９（ａ），（ｂ）に示すように、第１端子部材５７−１に係る配線接続部構造では、環状の第１の液止め部材６９−１が電気絶縁層６１側に密着（貼着を含む。以下、同じ。）して設けられていたのに対し、第４端子部材５７−４に係る配線接続部構造では、環状の第１の液止め部材６９−４が、圧電素子１３の共有電極板１９側に密着して設けられている。

本発明実施例に係る基本となる圧電素子の配線接続部構造によれば、貫通孔６７内に導電性接着剤液７１が充填されたとき、端子部材５７と共有電極板１９との隙間に第１の液止め部材６９が介在していると、その隙間に狭小部分が生じる。この狭小部分では毛細管現象が発生し、同狭小部分において導電性接着剤液７１が這うように浸透・拡散する。これに対し、第１の液止め部材６９が介在していない前記隙間が広い部分では毛細管現象が発生しないため、同隙間が広い部分において導電性接着剤液７１が浸透・拡散することはない。

このように、第１の液止め部材６９の介在部分における外延を越えてまで導電性接着剤液７１が浸透・拡散することはなく、第１の液止め部材６９の介在部分における外延があたかも堤防のように機能することで、第１の液止め部材６９の介在部分における外延の内側に導電性接着剤液７１が留まる結果として、確実な接合強度をもって、圧電素子１３への機械的ストレスを一切与えることなく、端子部材５７の配線部６３と圧電素子１３の共有電極板１９との間における電気的接続関係を担保することができる。

従って、圧電素子１３への配線作業を、圧電素子１３の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行することができる。

仮に、端子部材５７と共有電極板１９との隙間に第１の液止め部材６９が介在していない場合には、上述した第１の液止め部材６９の介在部分における外延は存在せず、すなわち、導電性接着剤液７１の浸透・拡散を抑止するためのいわゆる堤防は一切存在しない。

このため、貫通孔６７内に導電性接着剤液７１が充填されたとき、端子部材５７と共有電極板１９との隙間において、導電性接着剤液７１が無節操に浸透・拡散してしまう事態を招来しかねない。その結果、１）導電性接着剤液の貫通孔内への充填量のコントロールを行うことが難しく、導電性接着剤液の貫通孔内への充填作業を自動化することに困難を伴う、２）ヘッドサスペンションの剛性バランスが崩れ、振動特性が劣化する、３）導電性接着剤液がひどく浸透・拡散した場合、圧電素子の電極と何らかの導電性部材との間で電気的短絡が生じる、などといった諸問題を生じるおそれがあった。

これに対し、本発明実施例に係る圧電素子の配線接続部構造では、端子部材５７と共有電極板１９との隙間に第１の液止め部材６９が介在しているので、貫通孔６７内に導電性接着剤液７１が充填されたとき、端子部材５７と共有電極板１９との隙間において、導電性接着剤液７１が無節操に浸透・拡散することはない。

従って、上述した諸問題を未然に回避して、１）導電性接着剤液の貫通孔内への充填量を容易にコントロールすることができ、導電性接着剤液７１の貫通孔６７内への充填作業を円滑に自動化することができる、２）ヘッドサスペンションの剛性バランスが適正に保たれ、振動特性を良好に維持できる、３）導電性接着剤液７１が無節操に浸透・拡散することは抑止されているため、圧電素子１３の共有電極板１９と何らかの導電性部材との間で電気的短絡を生じることはない、といった本発明特有の効果を奏する。

また、第１端子部材５７−１に係る圧電素子の配線接続部構造によれば、貫通孔６７に導電性接着剤液７１が充填されたとき、端子部材５７と共有電極板１９との隙間に環状の第１の液止め部材６９−１が介在していると、その隙間に貫通孔６７の周囲にわたって狭小部分（図６（ｃ）参照）が生じる。この狭小部分では毛細管現象が発生し、同狭小部分において導電性接着剤液７１が這うように浸透・拡散する。

これに対し、第１の液止め部材６９が介在していない前記隙間が広い部分では毛細管現象が発生しないため、同隙間が広い部分において導電性接着剤液７１が浸透・拡散することはない。

このように、環状に構成された第１の液止め部材６９−１の介在部分における外延を越えてまで導電性接着剤液７１が浸透・拡散することはなく、第１の液止め部材６９−１の介在部分における環状の外延があたかも堤防のように機能することで、前記環状の外延の内側に導電性接着剤液７１が留まる結果として、より一層確実な接合強度をもって、圧電素子１３への機械的ストレスを一切与えることなく、端子部材５７の配線部６３と圧電素子１３の共有電極板１９との間における電気的接続関係を担保することができる。

従って、圧電素子１３への配線作業を、圧電素子１３の歩留まり低下を抑制しつつ、より一層高信頼性を維持した状態で遂行することができる。

さらに、第２端子部材５７−２又は第３端子部材５７−３に係る圧電素子の配線接続部構造によれば、貫通孔６７に導電性接着剤液７１が充填されたとき、共有電極板１９と第２端子部材５７−２若しくは第３端子部材５７−３との隙間に、孤立片群からなる第１の液止め部材６９−２若しくは６９−３が介在していると、その隙間に狭小部分（図７（ｂ），図８（ｂ）参照）が生じる。すなわち、共有電極板１９と第２端子部材５７−２若しくは第３端子部材５７−３との間に生じる隙間と、各孤立片７３，７５間に生じる空間と、が相俟って、異形の狭小部分が生じる。この狭小部分では毛細管現象が発生し、同狭小部分において導電性接着剤液７１が這うように浸透・拡散する。

これに対し、第１の液止め部材６９が介在していない前記隙間が広い部分では毛細管現象が発生しないため、同隙間が広い部分において導電性接着剤液７１が浸透・拡散することはない。

このように、孤立片群からなる第１の液止め部材６９−２若しくは６９−３の介在部分における外延（図７（ａ）中の符合７７で示す点線部分、若しくは図８（ａ）中の符合７９で示す点線部分参照）を越えてまで導電性接着剤液７１が浸透・拡散することはなく、第１の液止め部材６９−２若しくは６９−３の介在部分における外延があたかも堤防のように機能することで、前記外延の内側に導電性接着剤液７１が留まる結果として、確実な接合強度をもって、圧電素子１３への機械的ストレスを一切与えることなく、端子部材５７の配線部６３と圧電素子１３の共有電極板１９との間における電気的接続関係を担保することができる。

従って、圧電素子１３への配線作業を、圧電素子１３の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行することができる。

そして、第４端子部材５７−４に係る圧電素子の配線接続部構造によれば、貫通孔６７に導電性接着剤液７１が充填されたとき、端子部材５７と共有電極板１９との間に生じる隙間に、共有電極板１９側に密着（貼着を含む。）して設けられている環状の第１の液止め部材６９−４が介在していると、その隙間に狭小部分（図９（ｃ）参照）が生じる。この狭小部分では毛細管現象が発生し、同狭小部分において導電性接着剤液７１が這うように浸透・拡散する。

これに対し、第１の液止め部材６９が介在していない前記隙間が広い部分では毛細管現象が発生しないため、同隙間が広い部分において導電性接着剤液７１が浸透・拡散することはない。

このように、第１の液止め部材６９−４の介在部分における外延を越えてまで導電性接着剤液７１が浸透・拡散することはなく、第１の液止め部材６９−４の介在部分における環状の外延があたかも堤防のように機能することで、前記環状の外延の内側に導電性接着剤液７１が留まる結果として、より一層確実な接合強度をもって、圧電素子１３への機械的ストレスを一切与えることなく、端子部材５７の配線部６３と圧電素子１３の共有電極板１９との間における電気的接続関係を担保することができる。

従って、第１端子部材５７−１に係る圧電素子の配線接続部構造と同様に、圧電素子１３への配線作業を、圧電素子１３の歩留まり低下を抑制しつつ高信頼性を維持した状態で遂行することができる。

ところで、図１０（ａ）に示すように、例えば、第１端子部材５７−１に係る圧電素子の配線接続部構造では、図１０（ａ）の符合「８０」で示す膨出部と、端子部材５７と共有電極板１９との間隙部と、の各部位において、端子部材５７が圧電素子１３に取り付けられている状態で、導電性接着剤７１が大気暴露されている。一般に、導電性接着剤７１が大気、特に酸素に暴露され続けると、導電性接着剤７１における大気暴露部位に、コロージョンと呼ばれる酸化損傷を生じるおそれがある。

かかる導電性接着剤７１の酸化損傷を抑止するために、図１０（ｂ）に示すように、端子部材５７−１に、配線部６３側を覆う被覆層８２を設けることが考えられる。ところが、被覆層８２によって救済されるのは導電性接着剤７１における膨出部８０のみで、端子部材５７と共有電極板１９の間隙部では、依然として酸化損傷の脅威から逃れられない。

そこで、端子部材５７と共有電極板１９の間隙部での導電性接着剤７１の酸化損傷（コロージョン発生）を防止するために、本発明実施例に係る基本となる圧電素子の配線接続部構造では、端子部材５７と共有電極板１９の間隙に第１の液止め部材６９を囲むように設けた第２の液止め部材１０１を介在させた状態で、第１の液止め部材６９と第２の液止め部材１０１との間隙を埋めるように液状の封止用接着剤１０３が充填されていることによって、導電性接着剤７１の大気暴露が物理的に阻止されている。

ここで、第２の液止め部材１０１は、第１の液止め部材６９における外周部に封止用接着剤液１０３が充填されたとき、端子部材５７と共有電極板１９との間に生じる隙間を狭くさせ、かかる狭い隙間で毛細管現象を発生させる目的で、端子部材５７と共有電極板１９との間に介在させて設けられている。第２の液止め部材１０１の材質は、封止用接着剤液１０３の立体障害としての役割を果たす目的を考慮すると、封止用接着剤液１０３に係る素材との相性が良好（浸食や溶解等の作用がない）である限りにおいて、例えば金属や樹脂などの適宜の材質を採用することができる。

次いで、第５端子部材５７−５に係る圧電素子の配線接続部構造について、第１端子部材５７−１に係る配線接続部構造との差異に注目して説明する。

第１端子部材５７−１では、第１端子部材５７−１と共有電極板１９との間隙であって貫通孔６７の周囲にわたり環状の第１の液止め部材６９−１を設けていたのに対し、第５端子部材５７−５では、図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、第１の液止め部材６９−１の構成に加えて、第１端子部材５７−１と共有電極板１９との間隙に第１の液止め部材６９−１を囲むように第２の液止め部材１０１−１を設け、この第２の液止め部材１０１−１を介在させた状態で、第１の液止め部材６９−１と第２の液止め部材１０１−１との間隙（環状の溝部）を埋めるように液状の封止用接着剤１０３が充填されていることによって、導電性接着剤７１の大気暴露が物理的に阻止されている。このように、封止用接着剤液１０３と第２の液止め部材１０１−１との協働作用によって、導電性接着剤７１の大気暴露が物理的に阻止されているので、導電性接着剤７１のコロージョンを未然に抑止できるとともに、仮にコロージョンが生じたとしても、導電性接着剤７１が外方に漏れ出てしまうことはない。

ここで、第５端子部材５７−５を圧電素子１３に取り付ける際の工程について説明すると、まず、図１２（ａ）に示す第５端子部材５７−５を上下逆向きにし、第５端子部材５７−５の貫通孔６７を上方に開口位置させた状態で、貫通孔６７内に導電性接着剤液７１を充填するとともに、第１の液止め部材６９−１と第２の液止め部材１０１−１との間隙（環状の溝部）を埋めるように封止用接着剤液１０３を充填する。各液７１，１０３の充填後に、図１２（ａ）に示すように、第５端子部材５７−５の向きを元に戻し、電気絶縁層６１側を圧電素子１３側に望ませて第５端子部材５７−５を共有電極板１９に正対面させた状態で、図１２（ｂ）に示すように、第５端子部材５７−５を共有電極板１９側に当接させる。この当接動作によって、第１の液止め部材６９−１の作用により外方への浸透・拡散が抑止された導電性接着剤７１は、さらに、第２の液止め部材１０１−１と封止用接着剤１０３との協働作用により大気との接触が遮断される結果として、導電性接着剤７１の大気暴露が物理的に阻止されることになる。

なお、図１２（ｂ）に示す取付状態において、封止用接着剤１０３にＵＶ照射（紫外線照射）処理を施して封止用接着剤１０３を仮硬化させた後に、導電性接着剤７１及び封止用接着剤１０３に加熱処理を施してこれらを本硬化させる工程を採用してもよい。このように構成すれば、導電性接着剤７１及び封止用接着剤１０３の漏れ出しを効果的に抑制することができる。

また、第６端子部材５７−６に係る圧電素子の配線接続部構造について、前述した第５端子部材５７−５に係る配線接続部構造との差異に注目して説明する。

第５端子部材５７−５では、相互に径の異なる同心環状の第１及び第２の液止め部材６９−１，１０１−１を二重に設けているのに対し、第６端子部材５７−６では、図１３（ａ），（ｂ）に示すように、環状の第１の液止め部材６９−１に代えて、環状部材６９−１を周方向にわたり放射状にぶつ切りした断面略台形状の孤立片７３を複数（実施例では１２）均等に設けた孤立片群からなる第１の液止め部材６９−２を、また、環状の第２の液止め部材１０１−１に代えて、環状部材１０１−１を周方向にわたり放射状にぶつ切りした断面略台形状の孤立片１０５を複数（実施例では１２）均等に設けた孤立片群からなる第２の液止め部材１０１−２を、第６端子部材５７−６と共有電極板１９との間隙にそれぞれ設ける、構成を採用している。このように、封止用接着剤液１０３と第２の液止め部材１０１−２との協働作用によって、導電性接着剤７１の大気暴露が物理的に阻止されているので、導電性接着剤７１のコロージョンを未然に抑止できるとともに、仮にコロージョンが生じたとしても、導電性接着剤７１が外方に漏れ出てしまうことはない。

そして、第７端子部材５７−７に係る圧電素子の配線接続部構造について、前述した第６端子部材５７−６に係る配線接続部構造との差異に注目して説明する。

第６端子部材５７−６では、第１及び第２の液止め部材６９−２，１０１−２を、断面略台形状の孤立片７３，１０５を複数均等に設けた孤立片群より構成しているのに対し、第７端子部材５７−７では、図１４（ａ），（ｂ）に示すように、第１及び第２の液止め部材６９−３，１０１−３を、略円柱形状の孤立片７５，１０７を複数均等に設けた孤立片群より構成している。このように、封止用接着剤液１０３と第２の液止め部材１０１−３との協働作用によって、導電性接着剤７１の大気暴露が物理的に阻止されているので、導電性接着剤７１のコロージョンを未然に抑止できるとともに、仮にコロージョンが生じたとしても、導電性接着剤７１が外方に漏れ出てしまうことはない。

なお、第２の液止め部材１０１−１，１０１−２，１０１−３の各々は、前述のエッチング処理時に、貫通孔６７の周囲にわたり導電性基材５９を残すことで形成すればよい。ただし、かかる処理を遂行する際に、エッチング処理によって貫通孔６７の周囲にわたり導電性基材５９を部分的に残した時に、エッチング処理によって除去されていない本体となる導電性基材５９との間において、電気的な接続関係が完全に絶たれていることを要する。これは、共有電極板１９と導電性基材５９間における短絡事故を未然に回避することに基づく。また、かかる構成に代えて、導電性基材５９に係る所定範囲のエッチング処理を完遂すると同時に、導電性基材５９とは別体の第２の液止め部材１０１−１，１０１−２，１０１−３を適用してもよい。

また、上述した実施例に係る第１乃至第７端子部材の構成として、端子部材５７における配線部６３に貫通孔６７を設ける構成を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、図１５に第６端子部材の変形例を示すように、端子部材５７−６ａにおける配線部６３には貫通孔６７を設けることなく、配線部６３における共有電極板１９との対向面６３ａを、電気絶縁層６１における貫通孔６７を通して導電性接着剤７１と接触させることにより、配線部６３と共有電極板１９との間における電気的接続関係を確保するように構成してもよい。

［ヘッドサスペンションの動作］
次に、本発明実施例に係るヘッドサスペンション３１の動作について、一対の第１及び第２電極板１５，１７を電気的に接地する一方、共有電極板１９に所要の電圧を印加した場合を想定して説明する。この場合、圧電素子１３は、図２に示す通り、第１電極板１５における一方の端面２３が収縮する一方、第２電極板１７における他方の端面２５が伸長することで、全体として略台形形状に歪む。すると、圧電素子１３は、Ｚ方向（図１参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側ベース部Ｙにおける被駆動部材としてのロードビーム３５の位置を、スウェイ方向に変位させることができる。なお、上述とは逆に、共有電極板１９を電気的に接地する一方、一対の第１及び第２電極板１５，１７に所要の電圧を印加した場合には、マイナスＺ方向（図１参照）に微少距離だけ変位することで、駆動側ベース部Ｙにおける被駆動部材としてのロードビーム３５の位置を、スウェイ方向に変位させることができる。

従って、本発明実施例に係る圧電アクチュエータ１１を組み込んだヘッドサスペンション３１によれば、圧電素子１３における第１及び第２電極板１５，１７と共有電極板１９の３枚の各電極のそれぞれに対して都合３系統の電気的接続を確保すればよい。この結果、圧電素子への配線作業を、簡易かつ高信頼性を維持した状態で遂行するのを、各電極の構成面から補助することができる。

また、ベースプレート３３によって埋込み式に圧電素子１３をその下面側から支持させるとともに、圧電素子１３のほぼ全周にわたってベースプレート３３で包囲させる構成を採用したので、圧電素子１３を接着する際の位置決めが容易で、かつ、圧電素子１３の損傷を回避できるとともに、脆く欠けやすい圧電素子１３を効果的に保護することができる。

さらに、共有電極板１９と、同共有電極板１９に対面する端子部材５７との間の電気的接続について、接続箇所は一箇所のみであるから、フレキシャ３９における配線本数削減、並びにフレキシャ３９における配線箇所の少数化に由来する取り数向上に寄与することができる。

［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う圧電素子の配線接続部構造、圧電アクチュエータ、及びヘッドサスペンションもまた、本発明における技術的範囲の射程に包含される。

すなわち、例えば、ベースプレート３３に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成に代えて、アクチュエータプレート３４に可撓部４１ａ，４１ｂ及び開口部４３を設ける構成を採用したヘッドサスペンションも、本発明の技術的範囲の射程に含まれる。従って、本件出願に係る発明の構成要件「ベースプレート」は、本発明実施例に係る「ベースプレート３３」及び「アクチュエータプレート３４」の両者を含む概念である。そのため、本発明の請求項に記載の構成要件「ベースプレート」は、必要に応じて「アクチュエータプレート」と読み替えることが可能である。具体的には、例えば、「ベースプレートに形成した開口部」は、必要に応じて「アクチュエータプレートに形成した開口部」と読み替えて、その技術的範囲を解釈することができる。

また、本発明実施例中、本発明実施例に係る圧電アクチュエータが、ベースプレート３３と、フレキシャ３９が設けられるロードビーム３５と、の間に取り付けられる態様を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、例えば、ヘッドサスペンションをキャリッジアームに固定して、キャリッジアームの回動により磁気ヘッドを移動させるヘッド移動機構において、ヘッドサスペンション、磁気ヘッドスライダ、又は磁気ヘッド素子それ自体を微少移動させるために、基部と磁気ヘッドとの間に本発明実施例に係る圧電アクチュエータを介在させて設ける構成を採用してもよい。

さらに、本発明実施例中、第１の液止め部材６９と第２の液止め部材１０１の組み合わせに係る構成として、同心環状の液止め部材を二重に設ける態様、略台形状の孤立片７３を複数均等に設けた孤立片群からなる液止め部材を二重に設ける態様、又は円柱形状の孤立片７５を複数均等に設けた孤立片群からなる液止め部材を二重に設ける態様、をそれぞれ例示して説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、例えば、第１の液止め部材６９として同心環状の液止め部材を採用する一方、第２の液止め部材１０１として略台形状又は円柱形状の孤立片を複数均等に設けた孤立片群からなる液止め部材を採用したり、或いは、これとは逆に、第１の液止め部材６９として略台形状又は円柱形状の孤立片を複数均等に設けた孤立片群からなる液止め部材を採用する一方、第２の液止め部材１０１として同心環状の液止め部材を採用するなど、適宜の態様の組み合わせに係る構成を採用してもよい。

そして、本発明実施例中、一つの圧電素子１３を用いて圧電アクチュエータ１１を構成して、こうして構成した一つの圧電素子１３に対し、本発明に係る圧電素子の配線接続部構造を適用する例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、例えば図１６に示すように、一対の圧電素子１１１ａ，１１１ｂを用いて圧電アクチュエータ１１３を構成して、こうして構成した一対の圧電素子１１１ａ，１１１ｂのそれぞれに対し、本発明に係る圧電素子の配線接続部構造を適用してもよいことはいうまでもない。

本発明実施例に係るヘッドサスペンションの外観斜視図である。 本発明実施例に係る圧電アクチュエータの外観斜視図である。 本圧電アクチュエータのＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。 本発明実施例に係るヘッドサスペンションを裏面から視た平面図である。 図５（ａ）は、配線部材をヘッドサスペンションの裏面側から視た外観図、図５（ｂ）は、配線部材を圧電素子側から視た外観図である。 図６（ａ）は、第１端子部材を圧電素子側から視た正面図、図６（ｂ）は、第１端子部材の右側面図、図６（ｃ）は、第１端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。 図７（ａ）は、第２端子部材を圧電素子側から視た正面図、図７（ｂ）は、第２端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。 図８（ａ）は、第３端子部材を圧電素子側から視た正面図、図８（ｂ）は、第３端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。 図９（ａ）は、第４端子部材を圧電素子側から視た正面図、図９（ｂ）は、第４端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。 図１０（ａ），図１０（ｂ）は、第１端子部材に係る課題説明図である。 図１１（ａ）は、第５端子部材を圧電素子側から視た正面図、図１１（ｂ）は、第５端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。 図１２（ａ）は、第５端子部材の第１の取付工程を示す説明図、図１２（ｂ）は、第５端子部材の第２の取付工程を示す説明図である。 図１３（ａ）は、第６端子部材を圧電素子側から視た正面図、図１３（ｂ）は、第６端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。 図１４（ａ）は、第７端子部材を圧電素子側から視た正面図、図１４（ｂ）は、第７端子部材の取付状態を示す図４のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。 本発明実施例の第５端子部材に係る変形例を示す説明図である。 本発明の変形実施例に係るヘッドサスペンションの外観図である。

符号の説明

１１ 圧電アクチュエータ
１３ 圧電素子（圧電アクチュエータの一部を構成する。）
１５ 第１電極板
１７ 第２電極板
１９ 共有電極板（圧電素子の電極）
２１ 圧電材料部
２１ａ，２１ｂ 第１，第２圧電材料部
３１ ヘッドサスペンション
３３ ベースプレート
３４ アクチュエータプレート
３５ ロードビーム
３７ 連結プレート（ヒンジ部材）
３９ フレキシャ
４１ａ，４１ｂ 一対の可撓部
４３ 開口部
４９ａ，４９ｂ ヒンジ部
５３ａ，５３ｂ 一対の導電性接着剤
５５ 配線部材
５７ 端子部材
５９ 導電性基材
６１ 電気絶縁層
６３ 配線部
６５ エッチング抜き部分
６７ 貫通孔
６９ 第１の液止め部材
７１ 導電性接着剤
７３，７５ 孤立片
１０１ 第２の液止め部材
１０３ 封止用接着剤
１１１ａ，１１１ｂ 一対の圧電素子（圧電アクチュエータの一部を構成する。）
１１３ 圧電アクチュエータ

Claims (10)

1. 基部と磁気ヘッドの間に介在させて電圧の印加状態に応じて変形する圧電素子を設け、前記圧電素子の変形に従って前記磁気ヘッド側をスウェイ方向に微少移動させる圧電アクチュエータにおいて、
   前記圧電素子に電極を設け、
   電気絶縁層に、前記電極に給電するための配線部が積層されてなる端子部材のうち少なくとも前記電気絶縁層に貫通孔を設け、
   前記電気絶縁層側を前記圧電素子側に望ませて前記端子部材を前記電極に対面させ、前記端子部材と前記電極との間隙であって前記貫通孔の周辺に第１の液止め部材を介在させた状態で前記貫通孔内に液状の導電性接着剤が充填されていることによって、前記貫通孔内の導電性接着剤を通して前記端子部材の前記配線部と前記圧電素子の前記電極との間が電気的に接続され、
   前記端子部材と前記電極との間隙に前記第１の液止め部材を囲むように設けた第２の液止め部材を介在させた状態で前記第１の液止め部材と前記第２の液止め部材との間隙を埋めるように液状の封止用接着剤が充填されていることによって、前記導電性接着剤の大気暴露が物理的に阻止されている、
   ことを特徴とする圧電素子の配線接続部構造。
2. 請求項１記載の圧電素子の配線接続部構造であって、
   前記第１又は第２の液止め部材のうち少なくとも一方は、前記貫通孔の周囲にわたる環状部材からなる、
   ことを特徴とする圧電素子の配線接続部構造。
3. 請求項１又は２に記載の圧電素子の配線接続部構造であって、
   前記第１又は第２の液止め部材のうち少なくとも一方は、前記貫通孔の周方向にわたり複数の孤立片を配した孤立片群からなる、
   ことを特徴とする圧電素子の配線接続部構造。
4. 請求項３記載の圧電素子の配線接続部構造であって、
   前記孤立片群からなる前記第１又は第２の液止め部材のうち少なくとも一方は、環状部材を放射状にぶつ切りした形状の孤立片、円柱形状の孤立片、又はこれらの組合せからなる、
   ことを特徴とする圧電素子の配線接続部構造。
5. 請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の圧電素子の配線接続部構造であって、
   前記端子部材は、導電性基材上に、前記電気絶縁層を介して前記配線部を積層させて構成され、
   前記第１又は第２の液止め部材のうち少なくとも一方は、前記導電性基材とは別体の部材であって、前記端子部材側又は前記圧電素子の電極側に貼着されている、
   ことを特徴とする圧電素子の配線接続部構造。
6. 請求項５記載の圧電素子の配線接続部構造であって、
   前記端子部材のうち、前記圧電素子の電極と対面する範囲について、前記導電性基材はエッチング処理によって除去されている、
   ことを特徴とする圧電素子の配線接続部構造。
7. 請求項１〜４、６のうちいずれか一項に記載の圧電素子の配線接続部構造であって、
   前記端子部材は、導電性基材上に、前記電気絶縁層を介して前記配線部を積層させて構成され、
   前記端子部材のうち、前記圧電素子の電極と対面する範囲について、前記導電性基材はエッチング処理によって除去され、
   前記第１又は第２の液止め部材のうち少なくとも一方は、前記エッチング処理時に、前記貫通孔の周辺における前記導電性基材を残すことで形成されている、
   ことを特徴とする圧電素子の配線接続部構造。
8. 請求項１〜７のうちいずれか一項に記載の圧電素子の配線接続部構造であって、
   前記封止用接着剤を仮硬化させた後に、前記導電性接着剤及び前記封止用接着剤を本硬化させる、
   ことを特徴とする圧電素子の配線接続部構造。
9. 請求項１〜８のうちいずれか一項に記載の圧電素子の配線接続部構造が採用されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
10. 請求項９記載の圧電アクチュエータが、ベースプレートと、フレキシャが設けられるロードビームと、の間に取り付けられており、前記圧電素子の変形に従って前記ロードビームの先端側をスウェイ方向に微少移動させる、
    ことを特徴とするヘッドサスペンション。