JP2014089797A - サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法、およびサスペンションの製造方法 - Google Patents
サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法、およびサスペンションの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明によるサスペンション用基板1は、絶縁層10と、絶縁層10の一方の面に設けられた金属支持層11と、絶縁層10の他方の面に設けられ、複数の配線13と、アクチュエータ素子44に導電性接着剤を介して電気的に接続される配線接続部16とを有する配線層12とを備えている。金属支持層11は、接続構造領域3に設けられ、導電性接着剤が注入される金属支持層注入孔32を含む枠体部17を有している。金属支持層11の枠体部17の外縁17aは、絶縁層10の外縁10aより内方に位置している。絶縁層10を貫通し、金属支持層注入孔32に導電性接着剤を注入する際に導電性接着剤の状態を外方から観察可能な観察孔30が設けられている。
【選択図】図1
Description
図1乃至図10を用いて、本発明の第1の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、およびハードディスクドライブについて説明する。
このうち、配線層12は、接続構造領域3に配置され、ピエゾ素子44に導電性接着剤(例えば、銀ペースト)を介して電気的に接続される配線接続部16を有している。この配線接続部16は、各配線13と同一材料から形成されている。また、複数の配線13のうち1つの配線13は、外部機器接続端子6から接続構造領域3に延びて、配線接続部16を介してピエゾ素子44に電気的に接続されている。
ここでは、金属支持層11において、枠体部17を形成するように、パターン状のレジストが形成される。次に、塩化鉄系エッチング液等により、金属支持層11のうちレジストから露出された部分がエッチングされ、枠体部17が形成されると共に、金属支持層11が外形加工される。この場合、枠体部17は、基板本体領域2における金属支持層11の部分と分離される。その後、レジストは剥離される。
次に、図13および図14により、本発明の第2の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法、およびサスペンションの製造方法について説明する。
次に、図15および図16により、本発明の第3の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法、およびサスペンションの製造方法について説明する。
このように配線接続部16の露出された部分に金めっきが施されることにより、配線層12の配線接続部16の露出された部分が腐食することを防止している。
次に、図17により、本発明の第4の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法、およびサスペンションの製造方法について説明する。
次に、図19および図20により、本発明の第5の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法、およびサスペンションの製造方法について説明する。
次に、図22により、本発明の第6の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法およびサスペンションの製造方法について説明する。
次に、図23乃至図30を用いて、本発明の第7の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法およびサスペンションの製造方法について説明する。
次に、図35により、本発明の第8の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法およびサスペンションの製造方法について説明する。
次に、図36乃至図38により、本発明の第9の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法およびサスペンションの製造方法について説明する。
次に、図39および図40により、本発明の第10の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法およびサスペンションの製造方法について説明する。
次に、図42により、本発明の第11の実施の形態におけるサスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンション、ハードディスクドライブ、サスペンション用基板の製造方法およびサスペンションの製造方法について説明する。
2 基板本体領域
3 接続構造領域
5 ヘッド端子
6 外部機器接続端子
10 絶縁層
10a 外縁
11 金属支持層
12 配線層
13 配線
15 注入孔めっき層
16 配線接続部
17 枠体部
17a 外縁
18 枠体切欠部
20 保護層
25 治具孔
30 観察孔
30a 絶縁層観察孔
30b 保護層観察孔
32 金属支持層注入孔
33 絶縁層注入孔
35 積層体
41 サスペンション
42 ベースプレート
42a 開口部
42b 可撓部
43 ロードビーム
44 ピエゾ素子
44a 第1電極
44b 第2電極
44c 共有電極
44d 第1圧電材料部
44e 第2圧電材料部
45 第1の導電接着部
47 ビーム治具孔
48 第2の導電接着部
51 ヘッド付サスペンション
52 磁気ヘッドスライダ
61 ハードディスクドライブ
62 ケース
63 ディスク
64 スピンドルモータ
65 ボイスコイルモータ
66 アーム
70 導電接続部
71 配線層導電接続孔
72 保護層導電接続孔
73 絶縁層導電接続孔
74 検査用貫通孔
75 検査用めっき層
80 第2の枠体部
80a 外縁
81 第2の金属支持層注入孔
82 配線層観察孔
83 観察孔めっき層
90 被覆部材
91 第2の観察孔
91a 絶縁層観察孔
91b 保護層観察孔
95 金属支持層切欠部
96 保護層切欠部
97 絶縁層切欠部
115 めっき層
131 金属支持層貫通孔
131a 外縁
132 絶縁層貫通孔
132a 外縁
133 配線層貫通孔
133a 外縁
134 保護層貫通孔
134a 外縁
144 ピエゾ素子
144a 電極
144b 圧電材料部
148 導電性接着部
171 連通切欠部
172 第2の連通切欠部
180 粗面化形成部
181 絶縁層開口部
Claims (48)
- アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して接続可能な接続構造領域を有するサスペンション用基板において、
絶縁層と、
絶縁層のアクチュエータ素子側の面に設けられた金属支持層と、
絶縁層の他方の面に設けられ、複数の配線と、アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して電気的に接続される配線接続部とを有する配線層と、を備え、
金属支持層は、接続構造領域に設けられ、導電性接着剤が注入される金属支持層注入孔を含む枠体部を有し、
金属支持層の枠体部の外縁は、絶縁層の外縁より内方に位置し、
絶縁層を貫通し、金属支持層注入孔に導電性接着剤を注入する際に導電性接着剤の状態を外方から観察可能な観察孔が設けられていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 金属支持層の枠体部に、金属支持層注入孔を枠体部の外方に連通する枠体切欠部が設けられ、
観察孔は、枠体切欠部の外方に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。 - 金属支持層は、枠体部の金属支持層注入孔に枠体切欠部を介して連通した第2の金属支持層注入孔を含む第2の枠体部を更に有し、
観察孔は、第2の金属支持層注入孔に対応する位置に配置されていることを特徴とする請求項2に記載のサスペンション用基板。 - 絶縁層を貫通し、金属支持層の枠体部と配線層の配線接続部とを接続する導電接続部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のサスペンション用基板。
- 配線層を覆う保護層を更に備え、
観察孔は、保護層を貫通して延びていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - 保護層を貫通し、配線層の配線接続部を露出させる貫通孔が設けられ、
この貫通孔において、配線接続部の露出された部分に、金めっきが施されていることを特徴とする請求項5に記載のサスペンション用基板。 - 観察孔は、枠体部の金属支持層注入孔に対応する位置に配置されると共に、配線層の配線接続部を貫通して延びていることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 配線層を覆う保護層を更に備え、
観察孔は、保護層を貫通して延びていることを特徴とする請求項7に記載のサスペンション用基板。 - 配線層の配線接続部は、絶縁層および保護層より観察孔の内方に延びていることを特徴とする請求項8に記載のサスペンション用基板。
- 配線接続部の露出された部分に、金めっきが施されていることを特徴とする請求項8または9に記載のサスペンション用基板。
- 絶縁層および保護層を貫通し、金属支持層注入孔に導電性接着剤を注入する際に導電性接着剤の状態を外方から観察可能な第2の観察孔が設けられ、
金属支持層の枠体部に、金属支持層注入孔を枠体部の外方に連通する枠体切欠部が設けられ、
第2の観察孔は、枠体切欠部の外方に配置されていることを特徴とする請求項10に記載のサスペンション用基板。 - 観察孔は、配線層の配線接続部を貫通する配線層観察孔を有し、
配線層観察孔は、複数設けられていることを特徴とする請求項8乃至11のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して接続可能な接続構造領域を有するサスペンション用基板において、
絶縁層と、
絶縁層のアクチュエータ素子側の面に設けられた金属支持層と、
絶縁層の他方の面に設けられ、複数の配線と、アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して電気的に接続される配線接続部とを有する配線層と、を備え、
金属支持層に、金属支持層のうち接続構造領域の部分を切り欠く金属支持層切欠部が設けられ、
配線接続部に、配線接続部とアクチュエータ素子との間に導電性接着剤を注入する際に導電性接着剤の状態を外方から観察可能な観察孔が設けられていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 接続構造領域において、絶縁層に観察孔が延びていることを特徴とする請求項13に記載のサスペンション用基板。
- 配線層の配線接続部は、絶縁層より観察孔の内方に延びていることを特徴とする請求項14に記載のサスペンション用基板。
- 配線層を覆う保護層を更に備え、
保護層に、保護層のうち接続構造領域の部分を切り欠く保護層切欠部が設けられていることを特徴とする請求項14または15に記載のサスペンション用基板。 - 配線層を覆う保護層を更に備え、
保護層は、配線接続部の少なくとも一部を覆い、
観察孔は、保護層を貫通して延びていることを特徴とする請求項14または15のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - 絶縁層に、絶縁層のうち接続構造領域の部分を切り欠く絶縁層切欠部が設けられ、
保護層に、保護層のうち接続構造領域の部分を切り欠く保護層切欠部が設けられていることを特徴とする請求項13に記載のサスペンション用基板。 - 観察孔は、配線層の配線接続部を貫通する配線層観察孔を有し、
配線層観察孔は、複数設けられていることを特徴とする請求項13乃至18のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - ベースプレートと、
ベースプレートに、ロードビームを介して取り付けられた請求項1乃至19のいずれかに記載のサスペンション用基板と、
ベースプレートおよびロードビームの少なくとも一方に接合されると共に、サスペンション用基板の接続構造領域に導電性接着剤を介して接続されたアクチュエータ素子と、を有することを特徴とするサスペンション。 - ベースプレートと、
ベースプレートに、ロードビームを介して取り付けられた請求項8乃至12または17のいずれかに記載のサスペンション用基板と、
ベースプレートおよびロードビームの少なくとも一方に接合されると共に、サスペンション用基板の接続構造領域に導電性接着剤を介して接続されたアクチュエータ素子と、を有し、
導電性接着剤は、観察孔内の保護層の部分まで注入されていることを特徴とするサスペンション。 - 観察孔において、導電性接着剤が露出された部分は、被覆部材で覆われていることを特徴とする請求項21に記載のサスペンション。
- アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して接続可能な接続構造領域を有するサスペンション用基板において、
絶縁層と、
絶縁層のアクチュエータ素子側の面に設けられた金属支持層と、
絶縁層の他方の面に設けられ、複数の配線と、接続構造領域に設けられてアクチュエータ素子に導電性接着剤を介して電気的に接続される配線接続部と、を有する配線層と、を備え、
配線接続部に、導電性接着剤が注入される配線層貫通孔が設けられていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 絶縁層に、配線層貫通孔に連通し、導電性接着剤が注入される絶縁層貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項23に記載のサスペンション用基板。
- 金属支持層に、配線層貫通孔および絶縁層貫通孔に連通し、導電性接着剤が注入される金属支持層貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項24に記載のサスペンション用基板。
- 配線層貫通孔の外縁は、絶縁層貫通孔の外縁および金属支持層貫通孔の外縁より内方に位置していることを特徴とする請求項25に記載のサスペンション用基板。
- 金属支持層は、接続構造領域に設けられ、内部に前記金属支持層貫通孔を形成する枠体部を有し、
枠体部の外縁は、絶縁層の外縁より外方に位置していることを特徴とする請求項25または26に記載のサスペンション用基板。 - 枠体部に、金属支持層貫通孔を当該枠体部の外方に連通する連通切欠部が設けられていることを特徴とする請求項27に記載のサスペンション用基板。
- 絶縁層に、連通切欠部に対応し、絶縁層貫通孔を絶縁層の外方に連通する第2の連通切欠部が設けられていることを特徴とする請求項28に記載のサスペンション用基板。
- 接続構造領域において、絶縁層のアクチュエータ素子側の面は、露出していることを特徴とする請求項24に記載のサスペンション用基板。
- 配線層貫通孔の外縁は、絶縁層貫通孔の外縁より内方に位置していることを特徴とする請求項30に記載のサスペンション用基板。
- 接続構造領域において、絶縁層のアクチュエータ素子とは反対側の面は、露出していることを特徴とする請求項30または31に記載のサスペンション用基板。
- 絶縁層に設けられ、配線層の各配線を覆う保護層を更に備え、
接続構造領域において、保護層に、配線層貫通孔に連通する保護層貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項24乃至31のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - 配線接続部の全体は、露出していることを特徴とする請求項23に記載のサスペンション用基板。
- ベースプレートと、
ベースプレートに、ロードビームを介して取り付けられた請求項23乃至34のいずれかに記載のサスペンション用基板と、
ベースプレートおよびロードビームの少なくとも一方に接合されると共に、サスペンション用基板の接続構造領域に導電性接着剤を介して接続されたアクチュエータ素子と、を有することを特徴とするサスペンション。 - 導電性接着剤は、配線層貫通孔から突出していることを特徴とする請求項35に記載のサスペンション。
- 導電性接着剤のうち配線層貫通孔から突出した部分は、被覆部材で覆われていることを特徴とする請求項36に記載のサスペンション。
- 請求項20乃至22または請求項35乃至37のいずれかに記載のサスペンションと、
サスペンションに実装されたスライダと、を有することを特徴とするヘッド付サスペンション。 - 請求項38に記載のヘッド付サスペンションを有することを特徴とするハードディスクドライブ。
- アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して接続可能な接続構造領域を有するサスペンション用基板の製造方法において、
絶縁層と、絶縁層のアクチュエータ素子側の面に設けられた導電性を有する金属支持層と、絶縁層の他方の面に設けられた配線層とを有する積層体を準備する工程と、
配線層において、複数の配線と、アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して電気的に接続される配線接続部とを形成する工程と、
金属支持層において、導電性接着剤が注入される金属支持層注入孔を形成する工程と、
絶縁層において、絶縁層を貫通し、金属支持層注入孔に導電性接着剤を注入する際に導電性接着剤の状態を外方から観察可能な絶縁層観察孔を形成する工程と、
金属支持層において、外縁が絶縁層の外縁より内方に位置すると共に、形成された金属支持層注入孔を含む枠体部を形成する工程と、を備えたことを特徴とするサスペンション用基板の製造方法。 - 配線層において複数の配線と配線接続部とを形成する際、配線接続部のうち枠体部の金属支持層注入孔に対応する位置に、配線接続部を貫通する配線層観察孔が形成され、
絶縁層において絶縁層観察孔を形成する際、絶縁層観察孔は、金属支持層注入孔および配線層観察孔を連通する位置に配置されることを特徴とする請求項40に記載のサスペンション用基板の製造方法。 - 配線層を覆う保護層を形成する工程を更に備え、
保護層を形成する際、保護層を貫通する保護層観察孔が形成され、
保護層観察孔に絶縁層観察孔が連通することを特徴とする請求項41に記載のサスペンション用基板の製造方法。 - アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して接続可能な接続構造領域を有するサスペンション用基板の製造方法において、
絶縁層と、絶縁層のアクチュエータ素子側の面に設けられた導電性を有する金属支持層と、絶縁層の他方の面に設けられた配線層とを有する積層体を準備する工程と、
配線層において、複数の配線と、アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して電気的に接続される配線接続部とを形成する工程と、
金属支持層に、金属支持層のうち接続構造領域の部分を切り欠く金属支持層切欠部を形成する工程と、を備え、
配線接続部を形成する際、配線接続部とアクチュエータ素子との間に導電性接着剤を注入する場合に導電性接着剤の状態を外方から観察可能な配線層観察孔が形成されることを特徴とするサスペンション用基板の製造方法。 - 絶縁層において、絶縁層を貫通し、配線層観察孔に連通する絶縁層観察孔を形成する工程を更に備えたことを特徴とする請求項43に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 配線層を覆う保護層を形成する工程を更に備え、
保護層を形成する際、保護層に、保護層が配線接続部の少なくとも一部を覆うように、保護層を貫通し、絶縁層観察孔に連通する保護層観察孔が形成されることを特徴とする請求項44に記載のサスペンション用基板の製造方法。 - アクチュエータ素子と、アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して接続可能な接続構造領域を含むサスペンション用基板とを有するサスペンションの製造方法において、
請求項40乃至45のいずれかに記載のサスペンション用基板の製造方法によりサスペンション用基板を準備する工程と、
ベースプレートに、ロードビームを介して、サスペンション用基板を取り付ける工程と、
アクチュエータ素子を、接着剤を用いて、ベースプレートおよびロードビームの少なくとも一方に接合する工程と、
枠体部の金属支持層注入孔に導電性接着剤を注入して、アクチュエータ素子を接続構造領域に接続する工程と、を備え、
アクチュエータ素子を接続構造領域に接続する際、サスペンション用基板の観察孔を介して、導電性接着剤の状態を確認しながら、金属支持層注入孔に導電性接着剤が注入されることを特徴とするサスペンションの製造方法。 - アクチュエータ素子と、アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して接続可能な接続構造領域を含むサスペンション用基板とを有するサスペンションの製造方法において、
請求項42または45に記載のサスペンション用基板の製造方法によりサスペンション用基板を準備する工程と、
ベースプレートに、ロードビームを介して、サスペンション用基板を取り付ける工程と、
アクチュエータ素子を、接着剤を用いて、ベースプレートおよびロードビームの少なくとも一方に接合する工程と、
導電性接着剤を用いて、アクチュエータ素子を接続構造領域に接続する工程と、を備え、
アクチュエータ素子を接続構造領域に接続する際、サスペンション用基板の絶縁層観察孔、配線層観察孔および保護層観察孔を介して、導電性接着剤の状態を確認しながら、保護層観察孔まで導電性接着剤が注入されることを特徴とするサスペンションの製造方法。 - アクチュエータ素子と、アクチュエータ素子に導電性接着剤を介して接続可能な接続構造領域を含むサスペンション用基板と、を有するサスペンションの製造方法において、
絶縁層と、絶縁層のアクチュエータ素子側の面に設けられた金属支持層と、絶縁層の他方の面に設けられ、複数の配線と、接続構造領域に設けられてアクチュエータ素子に導電性接着剤を介して電気的に接続される配線接続部と、を有する配線層と、を備え、配線接続部に、導電性接着剤が注入される配線層貫通孔が設けられているサスペンション用基板を準備する工程と、
ベースプレートに、ロードビームを介して、サスペンション用基板を取り付ける工程と、
アクチュエータ素子を、接着剤を用いて、ベースプレートおよびロードビームの少なくとも一方に接合する工程と、
配線接続部に設けられた配線層貫通孔に導電性接着剤を注入して、アクチュエータ素子を接続構造領域に接続する工程と、を備え、
アクチュエータ素子を接続構造領域に接続する工程において、導電性接着剤は、配線層貫通孔から突出するまで注入されることを特徴とするサスペンションの製造方法。
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