JP2018042441A - 圧電駆動装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】シャフトなどに横から荷重が作用しても積層型圧電素子が折れにくい圧電駆動装置を提供すること。
【解決手段】第１端面２１ａと、当該第１端面２１ａとは反対側に位置する第２端面２１ｂとを持つ積層型圧電素子２０と、積層型圧電素子２０の第１端面２１ａに取り付けられる錘部材３０と、第２端面２１ｂに取り付けられるシャフト１６と、を有し、積層型圧電素子２０を駆動することにより、 シャフト１６に対して軸方向に移動自在に係合された移動部材１４を軸方向に沿って移動させる圧電駆動装置１０である。積層型圧電素子２０の内部では、第１端面２１ａまたは第２端面２１ｂに略垂直な平面をそれぞれ持つ第１内部電極２４および第２内部電極２５が、圧電層２２を挟んで、第１内部電極２４および前記第２内部電極２５に略垂直なＹ軸方向に向けて積層してある。
【選択図】 図２

Description

本発明は、たとえばレンズ枠などの移動体をシャフトに沿って移動させるための圧電駆動装置に関する。
積層型圧電素子を用いてレンズ枠を軸方向に駆動するための圧電駆動装置としては、たとえば特許文献１に示すものが知られている。この特許文献１にも示すように、従来の圧電駆動装置では、積層型圧電素子の第１端面に錘部材が接続され、その第１端面と反対側の第２端面にシャフトが接合してある。そして、この圧電素子を駆動することでシャフトに振動を加え、移動体をシャフトの軸方向に移動させている。
従来の圧電駆動装置に用いられる積層型圧電素子では、第１端面または第２端面に平行となるように、内部電極および圧電層が交互に積層されることが一般的である。このような方向に内部電極が積層してある積層型圧電素子を用いることで、シャフトに伝える駆動力が大きくなり、移動体を効率的に移動させることができると考えられていた。
しかしながら、従来の圧電駆動装置では、第１端面または第２端面に平行となるように、内部電極および圧電層が交互に積層される積層型圧電素子を用いているために、シャフトに横から荷重が作用した場合などに折れやすいという課題を有している。特に、内部電極に平行な平面に沿ってクラックが生じて折れやすい。
特開２００８−１９９７７３号公報
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、シャフトなどに横から荷重が作用しても積層型圧電素子が折れにくい圧電駆動装置を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明に係る圧電駆動装置は、
第１端面と、当該第１端面とは反対側に位置する第２端面とを持つ積層型圧電素子と、
前記積層型圧電素子の第１端面に取り付けられる錘部材と、
前記積層型圧電素子の前記第２端面に取り付けられるシャフトと、を有し、
前記積層型圧電素子を駆動することにより、 前記シャフトに対して軸方向に移動自在に係合された移動部材を軸方向に沿って移動させる圧電駆動装置であって、
前記積層型圧電素子の内部では、前記第１端面または前記第２端面に略垂直な平面をそれぞれ持つ第１内部電極および第２内部電極が、圧電層を挟んで、前記第１内部電極および前記第２内部電極に略垂直な方向に向けて積層してあることを特徴とする。
本発明に係る圧電駆動装置では、第１端面または第２端面に略垂直な平面をそれぞれ持つ第１内部電極および第２内部電極が、圧電層を挟んで、第１内部電極および第２内部電極に略垂直な方向に向けて積層してある。このため、シャフトなどに横から荷重が作用しても、その力は、積層型圧電素子の内部では、積層してある複数の内部電極を折り曲げる方向に作用し、内部電極の界面を引き剥がす方向には作用しない。したがって、従来とは異なり、積層型圧電素子の内部での内部電極の積層配列が、素子の折れ曲がりに抵抗する構造となり、素子の折れ曲がりやクラックなどを有効に阻止することができる。
また、本発明に係る圧電駆動装置は、従来の圧電駆動装置とは内部電極の積層方向が異なるために、第１端面から第２端面に向かう方向の共振に強い構造となり、従来よりも高い周波数での使用が可能となる。そのため、シャフトへ変位を与える回数を増大させることが可能になり、応答性が向上する。
さらに、第１内部電極および第２内部電極が、圧電層を挟んで、同一方向に沿って繰り返して配置される単純な構造であるために、焼成時などにもクラックが入りにくい構造であると共に、圧電層の分極も容易である。
好ましくは、前記第１端面と前記第２端面との間の距離に対応する前記積層型圧電素子の長さは、前記第１内部電極および前記第２内部電極に略垂直な方向に沿った前記積層型圧電素子の積層方向厚みよりも長い。従来では、第１端面と前記第２端面との間の距離を長くすると、第１端面または第２端面に平行な内部電極の積層数が多くなったり、内部電極が積層されていない圧電層の厚みが厚くなり、圧電層の界面に沿って圧電素子が折れやすくなる。
これに対して、本発明では、内部電極の長手方向の長さを長くすることで、第１端面と第２端面との間の距離を長くすることが可能であり、従来に比較して折れにくい構造である。また、内部電極の長手方向の長さを長くすることで、内部電極の面積が大きくなり、内部電極に挟まれる圧電層の体積を大きくすることが可能になり、圧電素子の長手方向の変位を大きくすることができる。
前記第１内部電極に接続してある第１外部電極と、前記第２内部電極に接続してある第２外部電極とが、前記第１端面および前記第２端面のいずれか一方の近くに位置する前記積層型圧電素子の側面に形成してあることが好ましい。
このように構成することで、積層型圧電素子の第１内部電極および第２内部電極の各々に印加する電圧を加えるための配線を、錘部材またはシャフトのいずれか一方の近傍に具備させれば良く、配線が容易になる。特に、錘部材は固定側に配置されるため、配線が容易である。
好ましくは、前記第１端面には、第１接着剤を介して前記錘部材が接着してある。第１端面の近傍に第１外部電極および第２外部電極が配置される場合に、この第１接着剤は、第１外部電極または第２外部電極を外部回路に接続するための接続部材が第１端面に入り込むことを阻止することができる。
また好ましくは、 前記第２端面には、第２接着剤を介して前記シャフトが接着してある。第１端面の近傍に第１外部電極および第２外部電極が配置される場合に、この第２接着剤は、第２端面で露出する可能性がある第１内部電極の端部と第２内部電極の端部との絶縁を確保することができる。
第２端面の近傍に第１外部電極および第２外部電極が配置される場合には、第１接着剤は、第１端面で露出する可能性がある第１内部電極の端部と第２内部電極の端部との絶縁を確保することができる。また、第２接着剤は、第１外部電極または第２外部電極を外部回路に接続するための接続部材が第２端面に入り込むことを阻止することができる。
本発明では、第１端面または前記第２端面に略垂直な平面をそれぞれ持つ第１内部電極および第２内部電極が、第１内部電極および第２内部電極に略垂直な方向に向けて積層してある。そのため、第１内部電極および第２内部電極の各端部は、第１端面または第２端面で露出していてもよい。第１接着剤は第１端面を覆い、第２接着剤は第２端面を覆うことになるので、これらの内部電極が露出する端面を各接着剤が有効に保護することができる。なお、第１端面または第２端面には、予め保護絶縁層が形成してあってもよい。
前記第１接着剤は、前記錘部材をフレーム部材の凹部に固定するための部材を兼ねていてもよい。錘部材は、フレーム部材の凹部に固定されることがあるため、その場合に用いられる接着剤を用いて積層型圧電素子の第１端面を錘部材に接着してもよい。
前記第１内部電極に接続してある第１外部電極が、前記第１端面に形成してあり、前記第２内部電極に接続してある第２外部電極が、前記第２端面に形成してあってもよい。この場合には、第１外部電極が錘部材の近傍に具備してある第１配線に接続され、第２外部電極がシャフトを介して第２配線に接続されてもよい。
あるいは、前記第１外部電極は、前記第１端面に形成してある第１端面電極部と、前記第１端面電極部から前記積層型圧電素子の一側面に連続して形成してある第１側面電極部とを有し、
前記第２外部電極は、前記第２端面に形成してある第２端面電極部と、前記第２端面電極から前記積層型圧電素子の他の側面に連続して形成してある第２側面電極部とを有していてもよい。
この場合には、第１側面電極部および第２側面電極部に外部回路を接続すればよいので、錘部材およびシャフトのいずれか一方の側にのみ、外部回路のための配線を具備させれば良くなる。また、第１端面は第１端面電極で覆われ、第２端面は第２端面電極で覆われるために、これらの端面を有効に保護することができる。
好ましくは、前記第２側面電極部の先端部は、前記第１端面電極部の近くに位置する。この場合には、積層型圧電素子の第１端面を錘部材に接着するための第１接着剤により、第２側面電極部の先端部は、第１端面電極部との絶縁が確保されることが好ましい。
あるいは、前記第１側面電極部の先端部は、前記第２端面電極部の近くに位置してもよい。この場合には、積層型圧電素子の第２端面をシャフトに接着するための第２接着剤により、第１側面電極部の先端部は、第２端面電極部との絶縁が確保されることが好ましい。
錘部材の近くに外部回路への配線が配置される場合には、その配線と第１側面電極部または第２側面電極部との接続に用いる接続部材は、第１接着剤の上に接触するように形成され、第２側面電極部と第１端面電極部との間の隙間に入り込むことが防止される。
シャフトの近くに外部回路への配線が配置される場合には、その配線と第１側面電極部または第２側面電極部との接続に用いる接続部材は、第２接着剤の上に接触するように形成され、第１側面電極部と第２端面電極部との間の隙間に入り込むことが防止される。
図１は本発明の一実施形態に係る圧電駆動装置を持つレンズ駆動装置の概略断面図である。 図２は図１に示す圧電駆動装置の分解斜視図である。 図３（Ａ）は図２に示す積層型圧電素子の内部に配置される内部電極の積層構造を示す斜視図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）に示す内部電極の正面図である。 図４（Ａ）は本発明の他の実施形態に係る内部電極の積層構造を示す斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）に示す内部電極の正面図である。 図５（Ａ）は本発明のさらに他の実施形態に係る内部電極の積層構造を示す斜視図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）に示す内部電極の正面図である。 図６は本発明の他の実施形態に係る圧電駆動装置の分解斜視図である。 図７は本発明の他の実施形態に係る圧電駆動装置を持つレンズ駆動装置の概略断面図である。 図８は図７に示す圧電駆動装置の分解斜視図である。 図９は本発明のさらに他の実施形態に係る圧電駆動装置の要部概略断面図である。
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
第１実施形態
図１に示すように、本発明の一実施形態に係る圧電駆動装置１０は、たとえばカメラなどに取り付けられるレンズ１２を保持するレンズ枠（移動体）１４を、シャフト１６の軸方向（Ｚ軸方向）に沿って移動させるレンズ駆動装置である。レンズ枠１４は、シャフト１６の軸方向の所定位置に摩擦で係合させて軸方向移動自在に取り付けてある。
積層型圧電素子２０がＺ軸方向に伸縮振動することでシャフト１６が振動し、その振動により、シャフト１６に対してレンズ枠１４をＺ軸方向の一方または他方に移動させることになる。いずれの方向にどの程度に移動させるかは、積層型圧電素子２０に印加される電圧波形の形や印加時間などにより決定される。
圧電駆動装置１０は、シャフト１６と、積層型圧電素子２０と、錘部材３０とを有する。シャフト１６は、一般的には円柱形状を有し、たとえばカーボン強化プラスチック、ステンレス等の鋼材、アルミニウム、ポリアミドイミドなどの非鉄金属などで構成される。シャフト１６は、レンズ枠１４に形成してある貫通孔１４ａに挿通して係合してあり、レンズ枠１４をＺ軸方向に移動自在に保持している。なお、図面において、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、相互に垂直であり、Ｚ軸は、シャフト１６の軸方向にも一致する。
図２に示すように、積層型圧電素子２０は、略角柱状（本実施形態では四角柱）の外観形状を有する素子本体２１と第１外部電極２６と第２外部電極２７とを有する。素子本体２１は、Ｚ軸方向に相互に反対側に位置する第１端面２１ａと第２端面２１ｂとを有する。第１端面２１ａには、第１接着剤６０を介して錘部材３０が接着してある。また、第２端面２１ｂには、シャフト１６の下側端面１８が第２接着剤６２を介して接着してある。
素子本体２１の内部には、第１端面２１ａおよび第２端面２１ｂに略垂直な平面（本実施形態ではＺ軸に平行な軸を含む平面）を持つ第１および第２内部電極２４，２５が、圧電体層２２を挟んで、Ｙ軸方向に向けて交互に積層してある。第１内部電極２４と第２内部電極２５とが交互に積層してある圧電体層２２の部分が、Ｚ軸方向に伸縮変形する活性部となる。なお、素子本体２１の外観形状は、角柱状に限定されず、円柱状、楕円柱状その他の形状であってもよい。
図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、第１内部電極２４は、平板状の電極本体２４ａと、電極本体２４ａと一体に形成されて、電極本体２４ａのＺ軸方向の下端部からＸ軸方向に突出するリード部２４ｂと、を有する。電極本体２４ａのＸ軸端縁からのリード部２４ｂの突出長さｘ１およびｘ２は僅かであり、０．３ｍｍ以下である。
また、リード部２４ｂのＺ軸方向の幅ｚ１は、電極本体２４ａのＺ軸方向の高さをｚ０とした場合に、ｚ１／ｚ０が、好ましくは０．０５〜０．２となる関係を満たすように決定される。本実施形態では、リード部２４ｂは、図２に示す素子本体２１のＸ軸方向に向き合っている一側面の下部に形成してある第１外部電極２６に接続してある。第１外部電極２６のＺ軸方向の幅は、リード部２４ｂのＺ軸方向の幅と同じであるが、異なっていてもよい。
図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示すように、第２内部電極２５は、平板状の電極本体２５ａと、電極本体２５ａと一体に形成されて、電極本体２５ａのＺ軸方向の下端部からＸ軸方向に突出するリード部２５ｂと、を有する。電極本体２５ａのＸ軸端縁からリード部２５ｂの突出長さｘ２は、突出高さｘ１と同程度である。
また、リード部２５ｂのＺ軸方向の幅は、リード部２５ａのＺ軸方向の幅ｚ１と同程度である。本実施形態では、リード部２５ｂは、リード部２４ｂとはＸ軸方向に沿って反対側に突出しており、第１外部電極２６の反対側に位置する素子本体２１の側面の下部に形成してある第２外部電極２７に接続してある。第２外部電極２７のＺ軸方向の幅は、リード部２５ｂのＺ軸方向の幅と同じであるが、異なっていてもよい。
本実施形態では、電極本体２５ａ，２５ｂの間に挟まれる圧電層２２が活性層となり、圧電層２２に電圧が印加されて変位を生じる。電極本体２４ａ，２５ａのＺ軸方向の高さｚ０は、素子本体２１のＺ軸方向の高さと略同一であり、電極本体２４ａ，２５ａのＺ軸方向の端部は、それぞれ素子本体２１の第１端面２１ａまたは第２端面２１ｂに露出していてもよい。第１接着剤６０および第２接着剤６２により覆われるからである。
ただし、電極本体２４ａ，２５ａのＺ軸方向の端部は、それぞれ素子本体２１の第１端面２１ａまたは第２端面２１ｂから多少引っ込んでいてもよい。あるいは、第１端面２１ａまたは第２端面２１ｂには、樹脂などで構成してある絶縁保護層が形成してあっても良い。
図２に示すように、第１外部電極２６および第２外部電極２７は、素子本体２１のＸ軸方向に対向する一対の側面のそれぞれのＺ軸方向の下端部付近（錘部材３０の近く）で、Ｙ軸方向に沿って形成してある。本実施形態では、図１に示すように、錘部材３０は、Ｚ軸方向の下側のフレーム４０の表面４２に形成してある凹部４４の内部に第１接着剤６０を用いて固定してある。錘部材３０の表面は、フレーム４２の表面４２と略面一となっている。フレーム４０は、たとえば図１に示すレンズ保持枠１４を囲むケースが取り付けられる固定部材であっても良い。
本実施形態では、錘部材３０を凹部４４の内部に接着する第１接着剤６０と同じ接着剤を用いて、錘部材３０の表面を素子本体２１の第１端面２１ａに接着して固定してある。
図２に示すように、フレーム４０の表面には、フレキシブル配線基板（ＦＰＣ）４５が錘部材３０（凹部４４）を避けるように配置してあり、凹部４４のＸ軸方向に相互に向かい合う開口縁に沿って第１配線４５ａと第２配線４５ｂとが位置するようになっている。図１に示すように、第１配線４５ａは、接続部材４８ａに接続してあり、接続部材４８ａは、第１外部電極２６に接続してある。第２配線４５ｂは、接続部材４８ｂに接続してあり、接続部材４８ｂは、第２外部電極２７に接続してある。
接続部材４８ａ，４８ｂとしては、特に限定されないが、たとえば導電性ペーストあるいはハンダなどで構成され、第１配線４５ａと第１外部電極２６とを電気的に接続すると共に、第２配線４５ｂと第２外部電極２７とを電気的に接続する。
図２に示す第１配線４５ａと第２配線４５ｂとは、フレキシブル配線基板４５の内部で絶縁され、それぞれ図１に示す駆動回路５０に接続してある。なお、第１配線４５ａと第２配線４５ｂとは、絶縁性のフレーム４０の表面に、それぞれ直接に形成してある回路パターンであっても良い。これらの回路パターンは、絶縁材料で構成してあるフレーム４２の表面に、金属ペーストの焼付け法、メッキ法、またはスパッタ法などにより形成することができる。
第１内部電極２４および第２内部電極２５を構成する導電材としては、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｔ等の貴金属およびこれらの合金（Ａｇ−Ｐｄなど）、あるいはＣｕ、Ｎｉ等の卑金属およびこれらの合金などが挙げられるが、特に限定されない。
第１外部電極２６および第２外部電極２７を構成する導電材料も特に限定されず、内部電極を構成する導電材と同様の材料を用いることができる。なお、第１外部電極２６および第２外部電極２７は、たとえば導電ペーストの焼付けなどにより素子本体２１の外面に形成され、その表面には、上記各種金属のメッキ層やスパッタ層が形成してあってもよい。外部電極２６，２７の厚みは、特に限定されないが、好ましくは０．５〜５０μｍである。
また、圧電体層２２の材質は、圧電効果あるいは逆圧電効果を示す材料であれば、特に制限されず、たとえば、ＰｂＺｒｘ Ｔｉ１−ｘ Ｏ３ 、ＢａＴｉＯ３ などが挙げられる。また、特性向上等のための成分が含有されていてもよく、その含有量は、所望の特性に応じて適宜決定すればよい。
図２に示すように、圧電駆動装置１０では、素子本体２１のＺ軸方向の下端面である第１端面２１ａに対して対向するように、錘部材３０のＺ軸方向の上面が配置してある。錘部材３０は、全体として直方体形状であるが、その形状は、特に限定されない。
錘部材３０は、シャフト１６に変位を与えるための慣性体として好適に機能するように、タングステン等の比較的比重の大きい金属材料等を含むことが好ましいが特に限定されず、たとえば鉄、鋼材、貴金属、アルミニウムなどの導体で構成してもよい。なお、錘部材３０はプラスチック、セラミックなどの絶縁材料で構成してもよい。
図１に示す駆動回路５０は、積層型圧電素子２０に駆動電圧を印加するための回路である。駆動回路５０は、フレーム４０に取り付けられても良く、フレーム４０とは別に設けられても良い。
駆動回路５０が出力する電圧波形は特に限定されないが、駆動回路５０は、たとえばノコギリ波形の電圧波形を出力することにより、積層型圧電素子２０の変形量およびこれに伴うシャフト１６の変位量を越える移動量を、移動部材としてのレンズ枠１４に発生させることができる。
本実施形態に係る圧電駆動装置１０では、第１端面２１ａまたは第２端面２１ｂに略垂直な平面をそれぞれ持つ第１内部電極２４および第２内部電極２５が、圧電層２２を挟んで、単一のＹ軸方向に向けて積層してある。このため、シャフト１６などに横から荷重が作用しても、その力は、積層型圧電素子２０の素子本体２１の内部では、積層してある複数の内部電極２４，２５を折り曲げる方向に作用し、内部電極２４，２５の界面を引き剥がす方向には作用しない。したがって、従来とは異なり、積層型圧電素子２０の内部での内部電極２４，２５の積層配列が、素子２０の折れ曲がりに抵抗する構造となり、素子２０の折れ曲がりやクラックなどを有効に阻止することができる。
また、圧電駆動装置１０は、従来の圧電駆動装置とは内部電極の積層方向が異なるために、第１端面２１ａから第２端面２１ｂに向かう方向の共振に強い構造となり、従来よりも高い周波数での使用が可能となる。そのため、シャフト１６へ変位を与える回数を増大させることが可能になり、応答性が向上する。
さらに、第１内部電極２４および第２内部電極２５が、圧電層２２を挟んで、同一方向に沿って繰り返して配置される単純な構造であるために、焼成時などにもクラックが入りにくい構造であると共に、圧電層２２の分極も容易である。
また本実施形態では、図２に示すように、積層型圧電素子２０のＺ軸方向の高さｚ０１（図３（Ｂ）に示す高さｚ０と略同じ）は、第１内部電極２４および第２内部電極２５に略垂直な方向に沿った積層型圧電素子２０の積層方向厚みｙ０１よりも長いが、特に限定されない。また、本実施形態では、積層型圧電素子２０のＸ軸方向の幅ｘ０１は、積層方向厚みｙ０１と同程度であるが、異なっていても良く、特に限定されない。
従来では、第１端面２１ａと前記第２端面２１ｂとの間の距離を長くするためには、第１端面２１ａまたは第２端面２１ｂに平行な内部電極の積層数が多くなったり、内部電極が積層されていない圧電層の厚みが厚くなり、圧電層の界面に沿って圧電素子が折れやすくなる。
これに対して、本実施形態では、内部電極２４，２５のＺ軸方向の長さを長くすることで、第１端面２１ａと第２端面２１ｂとの間の距離を長くすることが可能であり、従来に比較して折れにくい構造である。また、内部電極２４，２５の長手方向の長さを長くすることで、内部電極２４，２５の面積が大きくなり、内部電極２４，２５に挟まれる圧電層２２の体積を大きくすることが可能になり、圧電素子２０のＺ軸方向の変位を大きくすることができる。
さらに本実施形態では、第１外部電極２６と第２外部電極２７とが、第１端面２１ａの近くに位置する素子本体２１の側面に形成してあるため、第１配線４５ａおよび第２配線４５ｂを、錘部材の近傍のフレーム４０の表面に具備させれば良く、配線が容易になる。特に、錘部材３０は固定側であるフレーム４０に配置されるため、配線が容易である。
また本実施形態では、素子本体２１の第１端面２１ａには、第１接着剤６０を介して錘部材３０が接着してある。本実施形態では、第１端面２１ａの近傍に第１外部電極２６および第２外部電極２７が配置される。そのため、第１接着剤６０は、第１外部電極２６または第２外部電極２７をそれぞれの配線４５ａ，４５ｂに接続するための接続部材４８ａ，４８ｂが第１端面２１ａに入り込むことを阻止することができる。
また本実施形態では、第２端面２１ｂには、第２接着剤６２を介してシャフト１６のＺ軸方向の下側端面１８が接着してある。この第２接着剤６２は、第２端面２１ｂで露出する可能性がある第１内部電極２４のＺ軸方向端部と第２内部電極２５のＺ軸方向端部との絶縁を確保することができる。
本実施形態の素子本体２１では、第１内部電極２４および第２内部電極２５のＺ軸方向の各端部は、第１端面２１ａまたは第２端面２１ｂで露出していてもよい。第１接着剤６０は第１端面２１ａを覆い、第２接着剤６２は第２端面２１ｂを覆うことになるので、これらの内部電極２４，２５が露出する端面を各接着剤６０，６２が有効に保護することができる。なお、第１端面２１ａまたは第２端面２１ｂには、予め保護絶縁層が形成してあってもよいことは前述した通りである。
さらに本実施形態では、第１接着剤６０は、錘部材３０をフレーム４０の凹部４４に固定するための部材を兼ねているので、接着剤の無駄がない。また本実施形態では、図１および図２に示すシャフト１６の外径は、素子本体２１の第２端面２１ｂのサイズ（対角線の長さ）よりも大きいが、同じまたは小さくてもよい。ただし、シャフト１６の外径を、素子本体２１の第２端面２１ｂのサイズ（外接円の長さ）以上の長さとすることで、下記に示すメリットがある。
すなわち、素子本体２１の第２端面２１ｂがシャフト１６の下側端面で完全に覆われることから、素子本体２１の第２端面２１ｂとシャフト１６の下側端面１８との接着が均等に成され易く、接着の強度ムラが生じにくいという利点がある。また、素子本体２１の変位を効率的にシャフト１６に伝達し易いというメリットもある。さらに、素子本体２１の第２端面２１ｂがシャフト１６の下側端面で完全に覆われることから、シャフト１６の外周エッジ部分が内部電極２４，２５と交差することがなくなる。そのため、圧電層２２と内部電極２４，２５との界面に、シャフト１６の外周エッジ部分からの応力が作用することもない。
第２実施形態
図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示すように、本実施形態に係る圧電駆動装置の積層型圧電素子１２０は、素子本体１２１における第１内部電極１２４と第２内部電極１２５のパターンが、第１実施形態におけるそれらと相違するのみであり、その他は、第１実施形態と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。以下、主として相違する部分のみについて詳細に説明し、共通する部分の説明は省略する。また共通する部材には、共通する部材の名称を用い、その詳細な説明は省略する。
第１内部電極１２４は、素子本体１２１のＸ軸方向幅と略同一のＸ軸方向幅を持つ電極本体１２４ａを有し、電極本体１２４ａには、第２外部電極２７に対して電気的に絶縁されるように、Ｚ軸方向の下端部でＸ軸方向の側面には、切欠部１２４ｂが形成してある。切欠部１２４ｂは、第２外部電極２７を完全に避けるように形成してある。切欠部１２４ｂとはＸ軸方向に沿って反対側の電極本体１２４ａの側縁部は、素子本体１２１の側面から露出して第１外部電極２６に接続してある。
これと同様に、第２内部電極１２５は、素子本体１２１のＸ軸方向幅と略同一のＸ軸方向幅を持つ電極本体１２５ａを有し、電極本体１２５ａには、第１外部電極２６に対して電気的に絶縁されるように、Ｚ軸方向の下端部でＸ軸方向の他の側面には、切欠部１２５ｂが形成してある。切欠部１２５ｂは、第１外部電極２６を完全に避けるように形成してある。切欠部１２５ｂとはＸ軸方向に沿って反対側の電極本体１２５ａの側縁部は、素子本体１２１の側面から露出して第２外部電極２７に接続してある。
このようなパターンを有する第１内部電極１２４と第２内部電極１２５とを圧電層２２を介して交互にＹ軸方向に積層すれば、第１実施形態の積層型圧電素子２０と同様な積層型圧電素子１２０が得られる。本実施形態では、限られた素子本体１２１のサイズにおいて、第１実施形態よりも大きな面積の内部電極１２４，１２５を交互に配置することが可能になり、活性層の体積が増大し、駆動量を向上させることができる。
なお、本実施形態では、素子本体１２１のＸ軸方向に対向する側面において、外部電極２６および２７が形成されていない表面で、内部電極１２４，１２５の側部が露出する可能性があるため、それらの表面に絶縁保護層が形成してあることが好ましい。
第３実施形態
図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すように、本実施形態に係る圧電駆動装置の積層型圧電素子２２０は、素子本体２２１における第１内部電極２２４と第２内部電極２２５のパターンが、第１実施形態におけるそれらと相違するのみであり、その他は、第１実施形態と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。以下、主として相違する部分のみについて詳細に説明し、共通する部分の説明は省略する。また共通する部材には、共通する部材の名称を用い、その詳細な説明は省略する。
第１内部電極２２４は、素子本体２２１のＸ軸方向幅よりも狭いＸ軸方向幅を持つ電極本体２２４ａを有し、電極本体２２４ａには、第２外部電極２７に対して電気的に絶縁されるように、Ｘ軸方向の一方の側面には、Ｚ軸方向に連続する切欠部２２４ｂが形成してある。切欠部２２４ｂは、第２外部電極２７を完全に避けるように形成してある。切欠部２２４ｂとはＸ軸方向に沿って反対側の電極本体２２４ａの側縁部は、素子本体２２１の側面から露出して第１外部電極２６に接続してある。
これと同様に、第２内部電極２２５は、素子本体２２１のＸ軸方向幅と略同一のＸ軸方向幅を持つ電極本体２２５ａを有し、電極本体２２５ａには、第１外部電極２６に対して電気的に絶縁されるように、Ｚ軸方向の下端部でＸ軸方向の他の側面には、切欠部２２５ｂが形成してある。切欠部２２５ｂは、第１外部電極２６を完全に避けるように形成してある。切欠部２２５ｂとはＸ軸方向に沿って反対側の電極本体２２５ａの側縁部は、素子本体２２１の側面から露出して第２外部電極２７に接続してある。
このようなパターンを有する第１内部電極２２４と第２内部電極２２５とを圧電層２２を介して交互にＹ軸方向に積層すれば、第１実施形態の積層型圧電素子２０と同様な積層型圧電素子２２０が得られる。本実施形態では、内部電極２２４，２２５のパターンがさらに単純なので、積層型圧電素子２２０の製造がさらに容易になる。
第４実施形態
図６に示すように、本実施形態の圧電駆動装置３１０は、錘部材３３０とフレキシブル配線基板４５との関係が、第１実施形態〜第３実施形態におけるそれらと相違するのみであり、その他は、第１実施形態〜第３実施形態と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。以下、主として相違する部分のみについて詳細に説明し、共通する部分の説明は省略する。また共通する部材には、共通する部材の名称を用い、その詳細な説明は省略する。
本実施形態では、錘部材３３０のＸ軸およびＹ軸を含む平面方向の面積を、第１実施形態の錘部材３０に比較して大きくしてあり、錘部材３３０の表面に、フレキシブル配線基板４５の第１配線４５ａと第２配線４５ｂとを装着してある。また、本実施形態では、図２に示すフレーム４０の上に凹部４４を設けることなく、錘部材３３０は、表面４２の上に直接に配置する構成でもよい。
第５実施形態
図７に示すように、本実施形態の圧電駆動装置４１０は、以下に示す以外が、第１実施形態〜第４実施形態におけるそれらと相違するのみであり、その他は、第１実施形態〜第４実施形態と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。以下、主として相違する部分のみについて詳細に説明し、共通する部分の説明は省略する。また共通する部材には、共通する部材の名称を用い、その詳細な説明は省略する。
本実施形態では、積層型圧電素子４２０の素子本体４２１の内部では、第１内部電極４２４が第１端面４２１ａに露出し、第２端面４２１ｂには露出しないように配列してある。また、素子本体４２１の内部では、第２内部電極４２５が第２端面４２１ｂに露出し、第１端面４２１ａには露出しないように配列してある。これらの第１内部電極４２４および第２内部電極４２５は、第１端面４２１ａおよび第２端面４２１ｂに略垂直な平面を持ち、圧電層２２を介してＸ軸方向に交互に積層してある。
素子本体４２１の第１端面４２１ａには、その全面を被覆するように、第１外部電極４２６が形成してあり、第２端面４２１ｂには、その全面を被覆するように、第２外部電極４２７が形成してある。第１外部電極４２６には、複数の第１内部電極４２４が接続してあり、第２外部電極４２７には、複数の第２内部電極４２５が接続してある。
積層型圧電素子４２０のＺ軸方向の下面に対応する錘部材４３０の対向面には、第１外部電極４２６が金属結合される錘側金属面４３６が形成される。また、錘部材４３０のＺ軸方向の下面も金属面となり、フレーム４０の表面４２に形成してあるフレーム側回路パターン４６（第１配線）に金属結合される。
なお、錘部材４３０はプラスチック、セラミックなどの絶縁材料で構成してもよい。その場合には、積層型圧電素子４２０のＺ軸方向の下面に対応する錘部材４３０の対向面には、第１外部電極４２６が金属結合される錘側金属面４３６を形成する必要があると共に、錘部材４３０のＺ軸方向の下面も金属面とし、それらの間を電気的に接続する必要がある。そこで、絶縁性の錘部材４３０の表面に、金属膜などで構成される回路パターンを形成すれば良い。
また、錘部材４３０が金属で構成される場合には、金属面となる錘側金属面４３６および錘取付面４３８以外の外表面は、絶縁膜で覆っていても良い。
本実施形態において、金属結合させるための方法としては、特に限定されないが、超音波接合、固相拡散接合、摩擦接合などの固相接合技術、レーザー、パルスヒートなどによる溶着接合などが用いられる。
フレーム４０の表面には、フレーム側回路パターン４６と、それに一体化して接続してあるリードパターン４６ａとが形成してある。図１に示すように、フレーム側回路パターン４６のリードパターン４６ａには、駆動回路５０が接続される。リードパターン４６ａは、図１に示す駆動回路５０に接続してある。これらのパターン４６，４６ａは、絶縁材料で構成してあるフレーム４２の表面に、金属ペーストの焼付け法、メッキ法、またはスパッタ法などにより形成することができる。
本実施形態では、図７に示すように、積層型圧電素子４２０とシャフト１６との接合は、シャフト１６のＺ軸方向の下側端面１８に形成してあるシャフト側金属面と、積層型圧電素子４２０のＺ軸方向の上面に形成してある第２外部電極４２７との金属結合により行われる。金属結合は、上述した方法により行われる。それぞれの部位の金属結合は、別々に行っても良いが、同時に行っても良い。なお、シャフト１６が金属で構成される場合には、シャフト側金属面は、シャフト１６のＺ軸方向の下側端面１８自体であり、金属以外で構成される場合には、シャフト１６のＺ軸方向の下側端面１８に金属面が形成されるように金属膜を形成する。
レンズ枠１４のＺ軸方向移動を邪魔しない位置で、シャフト１６のＺ軸方向の途中には、シャフト押さえ４７がシャフト１６に接触している。シャフト押さえ４７は、たとえばシャフト１６の支持やシャフト１６の位置決めなどの機能を有し、レンズ駆動装置には、一般的に取り付けられている。本実施形態では、シャフト押さえ４７自体を導電性部材で構成するか、シャフト４７自体は絶縁性部材で構成し、シャフト１６との接触部に、導電性経路が形成されるように回路パターン、あるいは導電性部材を具備させる。
シャフト押さえ４７を、導電性部材で構成してある場合には、シャフト押さえ４７に、たとえば配線（第２配線）４７ａを接続する。配線４７ａは、駆動回路５０に接続してある。配線４７ａの少なくとも一部は、リード線で構成しても良いが、たとえばフレーム４０の表面に形成してある回路パターンで構成してあることが好ましい。シャフト押さえ４７が絶縁部材で構成してある場合には、配線４７ａは、シャフト押さえ４７の表面に形成してある回路パターンに接続される。シャフト押さえ４７の表面に形成してある回路パターンは、シャフト１６の表面に電気的に接続される。
シャフト１６が導電性部材で構成してあれば、駆動回路５０からの一方の電圧は、配線４７ａを介して、シャフト押さえ４７自体またはその回路パターンに伝わり、そこから、シャフト１６および下側端面１８の金属面を通して、第２外部電極２７に伝わる。シャフト１６が絶縁部材で構成してある場合では、シャフト１６の表面に形成してある回路パターンと、下側端面１８の金属面を通して、第２外部電極２７に伝わる。駆動回路５０からの他方の電圧は、リードパターン４６ａ、フレーム側回路パターン４６および錘部材３０を通して、第１外部電極２６に伝わる。
本実施形態に係る圧電駆動装置４１０では、積層型圧電素子４２０には、リード線や金属端子などがハンダなどを介して接続されることは無い。積層型圧電素子４２０への電力供給は、錘側金属面４３６と第１外部接続部４２６との金属結合、およびシャフト１６の下側端面１８と第２外部接続部４２７との金属結合により行われる。これらの金属結合が行われる部分は、積層型圧電素子４２０を駆動させるための逆極性の電圧が印加される部分であると同時に、積層型圧電素子４２０と錘部材４３０との連結と、積層型圧電素子４２０とシャフト１６との連結とを兼ねている。
そのため、積層型圧電素子４２０と錘部材４３０との強固な連結と、積層型圧電素子４２０とシャフト１６との強固な連結と、積層型圧電素子４２０への電気的接続のための配線とを同時に確保することができる。したがって、積層型圧電素子４２０を小型化しても、積層型圧電素子４２０と錘部材４３０との連結が容易になると共に、積層型圧電素子４２０とシャフト１６との連結も容易になり、積層型圧電素子４２０への電力供給のための配線が容易になる。また、これらの自動作業も容易になる。
さらに、積層型圧電素子４２０には、リード線や金属端子などの配線部材が錘部材とは別に連結されないため、配線部材に突発的な力が作用することもなく、配線部材との接続部で断線することもない。また、シャフト１６の少なくとも一部（全部でも良い）と、錘部材３４０の少なくとも一部（全部でも良い）が配線を兼ねているので、部品点数の削減にも寄与する。
さらにまた、金属結合により積層型圧電素子４２０と錘部材４３０とが連結されると共に、金属結合により積層型圧電素子４２０とシャフト１６との連結が成されるため、これらの接合強度が向上する。また、これらを接着剤で連結する場合に比較して、接着剤部分での変位吸収が無く、積層型圧電素子４２０の変位力は、直接に錘部材４３０およびシャフト１６に伝わり、駆動力が向上する（変位のロスが少ない）。
また、本実施形態では、錘部材４３０を金属で構成することで、錘部材４３０の密度が高くなり、圧電駆動装置４１０の小型化に寄与する。また、錘部材４３０を金属で構成することにより、錘部材４３０の外表面が、錘側金属面自体を構成することになり、錘部材４３０とは別に金属面を形成する必要がない。なお、錘部材４３０を金属以外で構成する場合には、積層型圧電素子と金属結合するための錘側金属面を、たとえば金属膜などの回路パターンなどで形成すればよい。
また、シャフト１６には、シャフト押さえ４７が接触しており、シャフト１６およびシャフト押さえ４７を通して、シャフト側金属面に電力が供給可能になっている。たとえばレンズ駆動装置などにおいては、シャフト押さえは、必要な部品であり、部品点数を増大させることなく、シャフト１６と下側端面１８を介して積層型圧電素子４２０に電力を供給することができる。
さらに本実施形態では、シャフト１６が金属である場合には、下側端面１８の金属面は、シャフト１６自体の外表面を利用して容易に形成することができる。その場合には、シャフト１６自体が、電気導通路となる。シャフト１６が金属以外の導電性部材である場合にも同様である。ただし、下側端面１８に金属面を形成するためには、シャフト１６の所定位置に、金属膜などで回路パターンを形成すれば良い。その点は、シャフト１６が絶縁体である場合も同様である。
また本実施形態では、錘部材４３０をフレーム４０に連結すると同時に、フレーム４０に形成してある回路パターン４６と錘部材４３０との電気的接続を行うことができる。これらの接続も金属結合により行うことができる。
なお、上述した実施形態では、金属結合するための方法として、超音波接合を用いたが、その他の方法を用いても良い。金属結合させるためのその他の方法としては、たとえば拡散接合、摩擦接合、レーザー、パルスヒートなどが例示される。
さらに、本実施形態では、積層型圧電素子２０と錘部材３０とが金属結合されていると共に、積層型圧電素子２０とシャフト１６とが金属結合されていれば良く、その他の部分は、金属結合以外でも良い。たとえば、錘部材３０とフレーム４０とは、金属結合以外の方法、たとえばハンダ接合あるいは接着（導電性接着剤含む）により接合してあっても良い。
第６実施形態
図９に示すように、本実施形態の圧電駆動装置５１０は、以下に示す以外が、第１実施形態〜第５実施形態におけるそれらと相違するのみであり、その他は、第１実施形態〜第５実施形態と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。以下、主として相違する部分のみについて詳細に説明し、共通する部分の説明は省略する。また共通する部材には、共通する部材の名称を用い、その詳細な説明は省略する。
本実施形態では、積層型圧電素子５２０の素子本体５２１は、第５実施形態の素子本体４２１と同様に、素子本体５２１の内部では、第１内部電極４２４が第１端面５２１ａに露出し、第２端面５２１ｂには露出しないように配列してある。また、素子本体５２１の内部では、第２内部電極４２５が第２端面５２１ｂに露出し、第１端面５２１ａには露出しないように配列してある。これらの第１内部電極４２４および第２内部電極４２５は、第１端面５２１ａおよび第２端面５２１ｂに略垂直な平面を持ち、圧電層２２を介してＸ軸方向に交互に積層してある。
素子本体５２１の第１端面５２１ａには、その全面を被覆するように、第１外部電極５２６の第１端面電極部５２６ａが形成してあり、第２端面５２１ｂには、その全面を被覆するように、第２外部電極５２７の第２端面接続部５２７ａが形成してある。第１外部電極５２６の第１端面電極５２６ａには、複数の第１内部電極４２４が接続してあり、第２外部電極５２７の第２端面電極部５２７ａには、複数の第２内部電極４２５が接続してある。
第１外部電極５２６は、第１端面５２１ａに形成してある第１端面電極部５２６ａと、第１端面電極部５２６ａから積層型圧電素子５２１の一側面に連続して形成してある第１側面電極部５２６ｂとを有する。第２外部電極５２７は、第２端面５２１ｂに形成してある第２端面電極部５２７ａと、第２端面電極５２７ａから積層型圧電素子５２１の他の側面に連続して形成してある第２側面電極部５２７ｂとを有する。
本実施形態では、第１側面電極部５２６ｂの先端は、素子本体５２１の第２端面５２１ｂの近くに位置するが、第２端面電極部５２７ａには接続されずに絶縁されるように、隙間２８ａが設けてある。また第２側面電極部５２７ｂの先端は、素子本体５２１の第１端面５２１ａの近くに位置するが、第１端面電極部５２６ａには接続されずに絶縁されるように、隙間２８ｂが設けてある。
積層型圧電素子５２０の第１端面５２１ａを錘部材３３０に接着するための第１接着剤５６０は、素子５２０のＺ軸方向の下端部周囲で、素子５２０の側面にまで延びて盛上り部５６０ａが形成される。盛上り部５６０ａは、隙間２８ｂを十分に塞ぐように、第２側面電極部５２７ｂの先端部の外周まで覆い、第２側面電極部５２７ｂと第１端面電極部５２６ａとの間の絶縁を確保する。
積層型圧電素子５２０の第２端面５２１ｂをシャフト１６の下端に接着するための第２接着剤５６２は、素子５２０のＺ軸方向の上端部周囲で、素子５２０の側面にまで延びて盛上り部５６２ａが形成される。盛上り部５６２ａは、隙間２８ａを十分に塞ぐように、第１側面電極部５２６ｂの先端部の外周まで覆い、第１側面電極部５２６ｂと第２端面電極部５２７ａとの間の絶縁を確保する。
本実施形態では、第１側面電極部５２６ｂに第１配線４５ａを接続し、第２側面電極部５２７ｂに第２配線４５ｂを接続すればよいので、錘部材３３０の側にのみ、外部回路のための配線４５ａ，４５ｂを具備させれば良くなる。また、第１端面５２１ａは第１端面電極５２６ａで覆われ、第２端面５２１ｂは第２端面電極５２７ａで覆われるために、これらの端面５２１ａ，５２１ｂを有効に保護することができる。
また、本実施形態では、配線４５ａ，４５ｂと第１側面電極部５２６ｂまたは第２側面電極部５２７ｂとの接続に用いる接続部材５４８ａ，５４８ｂは、第１接着剤５６０の盛上り部５６０ａの上に接触するように形成される。そのため、第２側面電極部５２７ｂと第１端面電極部５２６ａとの間の隙間２８ｂに接続部材５４８ｂが入り込むことが防止される。
なお、本実施形態において、シャフト１６の下端近くに外部回路への配線４５ａ，４５ｂが配置される場合には、その配線４５ａ，４５ｂと第１側面電極部５２６ｂまたは第２側面電極部５２７ｂとの接続に用いる接続部材は、第２接着剤５６２の盛上り部５６２ａの上に接触するように形成され、第１側面電極部５２６ｂと第２端面電極部５２７ａとの間の隙間２８ａに入り込むことが防止される。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
たとえば、上述した実施形態では、圧電駆動装置１０，３１０，４１０，５１０として、レンズ１２を保持するレンズ枠１４をシャフトに沿って移動させる駆動装置を例示したが、移動体としては、レンズ枠以外の部材であっても良い。移動体としては、たとえばスライダーと呼ばれる板バネなどが例示される。
１０，３１０，４１０，５１０… 圧電駆動装置
１２… レンズ
１４… レンズ枠
１４ａ… 貫通孔
１６… シャフト
１８… 端面
２０，１２０，２２０，４２０，５２０… 積層型圧電素子
２１，１２１，２２１，４２１，５２１… 素子本体
２１ａ，４２１ａ，５２１ａ… 第１端面
２１ｂ，４２１ｂ，５２１ｂ… 第２端面
２２… 圧電層
２４，１２４，２２４，４２４… 第１内部電極
２４ａ，１２４ａ，２２４ａ… 電極本体
２４ｂ… リード部
１２４ｂ，２２４ｂ… 切欠部
２５，１２５，２２５，４２５… 第２内部電極
２５ａ，１２５ａ，２２５ａ… 電極本体
２５ｂ… リード部
１２５ｂ，２２５ｂ… 切欠部
２６，４２６，５２６… 第１外部電極
５２６ａ… 第１端面電極部
５２６ｂ… 第１側面電極部
２７，４２７，５２７… 第２外部電極
５２７ａ… 第２端面接続部
５２７ｂ… 第２側面電極部
２８ａ，２８ｂ… 隙間
３０，３３０，４３０… 錘部材
４３６… 錘側金属面
４３８… 錘取付面
４０… フレーム
４２… 表面
４４… 凹部
４５… 配線基板
４５ａ… 第１配線
４５ｂ… 第２配線
４６… フレーム側回路パターン
４６ａ… リードパターン
４７… シャフト押さえ
４８ａ，４８ｂ，５４８ａ，５４８ｂ… 接続部材
５０… 駆動回路
６０，５６０… 第１接着剤
５６０ａ… 盛上り部
６２，５６２… 第２接着剤
５６２ａ… 盛上り部

Claims (8)

  1. 第１端面と、当該第１端面とは反対側に位置する第２端面とを持つ積層型圧電素子と、
    前記積層型圧電素子の第１端面に取り付けられる錘部材と、
    前記積層型圧電素子の前記第２端面に取り付けられるシャフトと、を有し、
    前記積層型圧電素子を駆動することにより、 前記シャフトに対して軸方向に移動自在に係合された移動部材を軸方向に沿って移動させる圧電駆動装置であって、
    前記積層型圧電素子の内部では、前記第１端面または前記第２端面に略垂直な平面をそれぞれ持つ第１内部電極および第２内部電極が、圧電層を挟んで、前記第１内部電極および前記第２内部電極に略垂直な方向に向けて積層してあることを特徴とする圧電駆動装置。
  2. 前記第１端面と前記第２端面との間の距離に対応する前記積層型圧電素子の長さは、前記第１内部電極および前記第２内部電極に略垂直な方向に沿った前記積層型圧電素子の積層方向厚みよりも長い請求項１に記載の圧電駆動装置。
  3. 前記第１内部電極に接続してある第１外部電極と、前記第２内部電極に接続してある第２外部電極とが、前記第１端面および前記第２端面のいずれか一方の近くに位置する前記積層型圧電素子の側面に形成してある請求項１または２に記載の圧電駆動装置。
  4. 前記第１端面には、第１接着剤を介して前記錘部材が接着してあり、
    前記第２端面には、第２接着剤を介して前記シャフトが接着してある請求項１〜３のいずれかに記載の圧電駆動装置。
  5. 前記第１接着剤は、前記錘部材をフレーム部材の凹部に固定するための部材を兼ねている請求項４に記載の圧電駆動装置。
  6. 前記第１内部電極に接続してある第１外部電極が、前記第１端面に形成してあり、前記第２内部電極に接続してある第２外部電極が、前記第２端面に形成してある請求項１または２に記載の圧電駆動装置。
  7. 前記第１外部電極は、前記第１端面に形成してある第１端面電極部と、前記第１端面電極部から前記積層型圧電素子の一側面に連続して形成してある第１側面電極部とを有し、
    前記第２外部電極は、前記第２端面に形成してある第２端面電極部と、前記第２端面電極から前記積層型圧電素子の他の側面に連続して形成してある第２側面電極部とを有する請求項６に記載の圧電駆動装置。
  8. 前記第２側面電極部の先端部は、前記第１端面電極部の近くに位置し、前記積層型圧電素子の前記第１端面を前記錘部材に接着するための第１接着剤により、前記第１端面電極部との絶縁が確保されている請求項７に記載の圧電駆動装置。
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