JPS59122200A - 電歪効果素子の内部電極を電気的に接続する方法 - Google Patents
電歪効果素子の内部電極を電気的に接続する方法Info
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- JPS59122200A JPS59122200A JP57229040A JP22904082A JPS59122200A JP S59122200 A JPS59122200 A JP S59122200A JP 57229040 A JP57229040 A JP 57229040A JP 22904082 A JP22904082 A JP 22904082A JP S59122200 A JPS59122200 A JP S59122200A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 23
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 3
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- FKSZLDCMQZJMFN-UHFFFAOYSA-N [Mg].[Pb] Chemical compound [Mg].[Pb] FKSZLDCMQZJMFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
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- H04R17/04—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus
- H04R17/08—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus signals being recorded or played back by vibration of a stylus in two orthogonal directions simultaneously
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は縦効果を利用した電歪効果素子の内部電極全電
気的に接続する方法に関するものである。
気的に接続する方法に関するものである。
一般に電歪効果の大きな材料を用いて積層チップコンデ
ンサ構造の素子を構成すると低電圧で大きな歪の発生す
る電歪効果素子（以下素子と略記する）が得られる。図
１ （ａ） 、 （ｂ）にこの素子の構造を示す。
ンサ構造の素子を構成すると低電圧で大きな歪の発生す
る電歪効果素子（以下素子と略記する）が得られる。図
１ （ａ） 、 （ｂ）にこの素子の構造を示す。
図１（ａ）は正面から見たときの断面図であり、（ｂｌ
は上から見た平面図である。図中の番号１は電歪材料、
２および２′は電歪材料内部に埋め込まれた内部電極で
、片方の端部は電歪材料表面に露出している。３および
３′は内部電極の露出した端部を電気的だ接続する外部
電極金示している。内部電極はこの外部電極により一層
おきに電気的に接続されている。図中番号４は内部電極
の重なる部分、５は重ならない部分、６は内部電極の存
在しない部分を示している。このような構造の素子では
図１ （ｂｊから明らかなように内部電極の重なる部分
が素子の中央部分のみに存在する。このだめ外部電極３
および３′の間に電圧を印加すると基本的にはプラス側
内部電極およびマイナス側内部電極の重なった部分４だ
けが電界強度が高くなる。端面に近い周辺部すなわち内
部電極の重なりがない部分５および内部電極の存在しな
い部分６は電界強度が弱いため、その部分が変形しない
ばかりでなく、素子全体の変形を阻害する働きをする。
は上から見た平面図である。図中の番号１は電歪材料、
２および２′は電歪材料内部に埋め込まれた内部電極で
、片方の端部は電歪材料表面に露出している。３および
３′は内部電極の露出した端部を電気的だ接続する外部
電極金示している。内部電極はこの外部電極により一層
おきに電気的に接続されている。図中番号４は内部電極
の重なる部分、５は重ならない部分、６は内部電極の存
在しない部分を示している。このような構造の素子では
図１ （ｂｊから明らかなように内部電極の重なる部分
が素子の中央部分のみに存在する。このだめ外部電極３
および３′の間に電圧を印加すると基本的にはプラス側
内部電極およびマイナス側内部電極の重なった部分４だ
けが電界強度が高くなる。端面に近い周辺部すなわち内
部電極の重なりがない部分５および内部電極の存在しな
い部分６は電界強度が弱いため、その部分が変形しない
ばかりでなく、素子全体の変形を阻害する働きをする。
従ってこのような構造の素子では材料固有の歪量を得る
ことができず、また変形する部分としない部分の境界疋
応力集中が起こり、高電圧を印加したりあるいは長時間
電圧を印加すると素子が破壊する欠点がある。
ことができず、また変形する部分としない部分の境界疋
応力集中が起こり、高電圧を印加したりあるいは長時間
電圧を印加すると素子が破壊する欠点がある。
上記の欠点を改善した素子として本発明者等は図２ （
８１、（ｂｌに示すような、内部電極の全ての端部が電
歪材料表面に露出している構造の素子を先に提案した。
８１、（ｂｌに示すような、内部電極の全ての端部が電
歪材料表面に露出している構造の素子を先に提案した。
図２（ａ）はこの構造の素子を正面から見た図であυ（
ｂ）は（ａ）全電極部分（Ａ −Ａ’の部分）で切断し
上から見た時の断面図である。図中の番号２０および２
１は電歪材料、２２および２２′は内部電極、２３は内
部電極全一層おきに接続するワイヤー（プラス側）、２
４は同じくマイナス側である。
ｂ）は（ａ）全電極部分（Ａ −Ａ’の部分）で切断し
上から見た時の断面図である。図中の番号２０および２
１は電歪材料、２２および２２′は内部電極、２３は内
部電極全一層おきに接続するワイヤー（プラス側）、２
４は同じくマイナス側である。
２５および２６はプラス電極端子およびマイナス電極端
子である。
子である。
内部電極は図２（ｂ）から明らかなように素子の断面積
全部を占めておシ、図１に示すような、内部電極ではさ
まれない周辺部は存在しない。この構造の素子において
は内部電極は一層おきにワイヤーで電気的に接続され電
極端子２５および２６が取り出されている。両電極端子
間に゛屯圧全印加すると、図中矢印で示すように内部電
極２２から２２′に向かって内部電極に垂直に電界が発
生する。電歪材料は一般に電界の方向に電界の絶対値に
比例して伸長し、電界と垂直な方向には収縮する。この
構造の素子においては内部電極間の電界強度分布は、素
子の表面に形成され保護膜の働きをする電歪材料２００
部分をのぞいて均一となる。そのためこの構造の素子は
図１に示した構造の素子に較べてはるかに均一に変形し
応力集中が発生しない。
全部を占めておシ、図１に示すような、内部電極ではさ
まれない周辺部は存在しない。この構造の素子において
は内部電極は一層おきにワイヤーで電気的に接続され電
極端子２５および２６が取り出されている。両電極端子
間に゛屯圧全印加すると、図中矢印で示すように内部電
極２２から２２′に向かって内部電極に垂直に電界が発
生する。電歪材料は一般に電界の方向に電界の絶対値に
比例して伸長し、電界と垂直な方向には収縮する。この
構造の素子においては内部電極間の電界強度分布は、素
子の表面に形成され保護膜の働きをする電歪材料２００
部分をのぞいて均一となる。そのためこの構造の素子は
図１に示した構造の素子に較べてはるかに均一に変形し
応力集中が発生しない。
従って材料固有の大きな歪を示しまた変形に際して破壊
しない特長がある。
しない特長がある。
ところが電歪材料に高電界をかけるために内部電極の間
隔は２５０μｍ程度であシ、ワイヤを用いて一層おきに
接続する方法は工業的には極めて困難である。
隔は２５０μｍ程度であシ、ワイヤを用いて一層おきに
接続する方法は工業的には極めて困難である。
そこで本発明者等は先に内部電極の端部が露出している
素子表面に絶縁材料を塗布し焼成して内部電極の露出前
を一層おきに被い、その上から外部電極を素子側面全体
に一様に塗布することにより内部電極を電気的に接続す
る方法を提案した。
素子表面に絶縁材料を塗布し焼成して内部電極の露出前
を一層おきに被い、その上から外部電極を素子側面全体
に一様に塗布することにより内部電極を電気的に接続す
る方法を提案した。
しかし印刷法等によシ塗布する場合、流動性の絶縁材料
を使用しなければならず、微細な絶縁パターンを安定に
形成することは困難である。また同じ理由により塗布厚
みの制御も困難である。不必要に厚い絶縁材料は素子の
変形全阻害する。また厚みが不充分の場合は絶縁耐圧全
低下させる欠点がある。
を使用しなければならず、微細な絶縁パターンを安定に
形成することは困難である。また同じ理由により塗布厚
みの制御も困難である。不必要に厚い絶縁材料は素子の
変形全阻害する。また厚みが不充分の場合は絶縁耐圧全
低下させる欠点がある。
本発明の目的はこれら２つの問題点金力１決し、内部電
極端部が素子表面に露出している電歪効果素子の内部電
極を電気的に接続するための安定で効率のよい方法を提
供するものである。
極端部が素子表面に露出している電歪効果素子の内部電
極を電気的に接続するための安定で効率のよい方法を提
供するものである。
本発明の方法はまずその一部に内部電極として導電物質
全塗布した電歪材料を複数個用意する。
全塗布した電歪材料を複数個用意する。
これら全積層一体化して電歪材料積層体を形成する。次
いで積層体に形成されている内部電極間距離の２倍の間
隔であらかじめ穴をあけた絶縁材料膜を積層体端面に添
付し、焼成固着する。その後外部電極となる導電物質を
その絶縁材料膜の上に塗布する方法である。この方法に
よると穴全通じて多数の内部電極全一層おきに外部電極
に容易に接続できる。本発明に従えば公知の微−細加工
技術を用いることができ、微細−なパターン全絶縁材料
膜に安定かつ容易に形成できるため、内部電極間距離が
数百ミクロンの素子においても容易に電極端子を取シ出
すことができ低電正大歪量の電歪効果素子を容易に大量
生産することができる。また絶縁材料はあらかじめ薄板
状に形成しておくため、塗布によシ形成する方法と較べ
て厚さの制御が容易であシ、膜厚、膜質の均一な膜が形
成できる。
いで積層体に形成されている内部電極間距離の２倍の間
隔であらかじめ穴をあけた絶縁材料膜を積層体端面に添
付し、焼成固着する。その後外部電極となる導電物質を
その絶縁材料膜の上に塗布する方法である。この方法に
よると穴全通じて多数の内部電極全一層おきに外部電極
に容易に接続できる。本発明に従えば公知の微−細加工
技術を用いることができ、微細−なパターン全絶縁材料
膜に安定かつ容易に形成できるため、内部電極間距離が
数百ミクロンの素子においても容易に電極端子を取シ出
すことができ低電正大歪量の電歪効果素子を容易に大量
生産することができる。また絶縁材料はあらかじめ薄板
状に形成しておくため、塗布によシ形成する方法と較べ
て厚さの制御が容易であシ、膜厚、膜質の均一な膜が形
成できる。
このため、素子の変形が阻害されない、絶縁耐圧の劣化
のない素子を作ることができる。
のない素子を作ることができる。
以下、実施例に従って本発明の詳細な説明を行なう。
実施例
まず図３（ａ）に示すような内部電極３２を有する電歪
材料グリーン″シート３１を以下の方法により作製する
。
材料グリーン″シート３１を以下の方法により作製する
。
マグネシウムニオブ酸鉛（Ｐｂ（Ｍｇｔ／３Ｎｂ２／３
）Ｏｓ ）およびチタン酸鉛（ｐｂＴｔｏ、） ｋ主成
分とする電歪材料の予焼粉末に微量の有機バインダを添
加しこれを有機溶媒中に分散させた泥漿全準備した。通
常の積層セラミックコンデンサの製造に使用するキャス
ティング成膜装置にょシこの泥漿全マイラーフィルム上
に数百ミクロンの厚さに塗布し乾燥させた。これ全フィ
ルムから剥離し、電歪材料グリーンシート３１を得た。
）Ｏｓ ）およびチタン酸鉛（ｐｂＴｔｏ、） ｋ主成
分とする電歪材料の予焼粉末に微量の有機バインダを添
加しこれを有機溶媒中に分散させた泥漿全準備した。通
常の積層セラミックコンデンサの製造に使用するキャス
ティング成膜装置にょシこの泥漿全マイラーフィルム上
に数百ミクロンの厚さに塗布し乾燥させた。これ全フィ
ルムから剥離し、電歪材料グリーンシート３１を得た。
一部のシートには更に内部型！ ３２ 、３２’として
白金ペース１４スクリーン印刷した。これらのグリーン
シートラ数十枚重ね、熱プレスにより圧着し一体化した
後１２５０℃で焼成し、図３（ｂ）に示すような内部電
極を有する電歪材料積層体を得た。内部電極間距離は２
５０ミクロンであった。
白金ペース１４スクリーン印刷した。これらのグリーン
シートラ数十枚重ね、熱プレスにより圧着し一体化した
後１２５０℃で焼成し、図３（ｂ）に示すような内部電
極を有する電歪材料積層体を得た。内部電極間距離は２
５０ミクロンであった。
次に図３（ｃ）に示した絶縁材料膜３３の作製方法を記
す。
す。
粉末ガラス及びアルミナを生成分とする絶縁材料温合粉
末６ Ｋ、ｇと有機バインダ３００ ｆ”ｋ高速ミキサ
ーにより有機溶媒６１に分散させた泥漿全準備する。ド
クターブレード法を用いたキャスティング成膜装置によ
りとの泥漿をマイラーフィルム上に厚さ６０ミクロン塗
布し乾燥させた。マイラーフィルムから剥離し、絶縁材
料グリーンシートを得た。このグリーンシートに直径２
５０ミクロンの穴３４を一列に数１０個打ち抜きであけ
た（図中番号３４）。穴の配列のピッチは５００ミクロ
ンとした。
末６ Ｋ、ｇと有機バインダ３００ ｆ”ｋ高速ミキサ
ーにより有機溶媒６１に分散させた泥漿全準備する。ド
クターブレード法を用いたキャスティング成膜装置によ
りとの泥漿をマイラーフィルム上に厚さ６０ミクロン塗
布し乾燥させた。マイラーフィルムから剥離し、絶縁材
料グリーンシートを得た。このグリーンシートに直径２
５０ミクロンの穴３４を一列に数１０個打ち抜きであけ
た（図中番号３４）。穴の配列のピッチは５００ミクロ
ンとした。
このようにして準備した絶縁材料グリーンシート３３を
前記の電歪材料焼結体に１１０℃で熱圧着した（図３
（ｄ） ）。ただし図３（ｄ）に示すように上記の穴か
ら内部電極の一部が一層おきに露出するような位置に圧
着した。これＴｈ９００℃で焼成し一体化した。
前記の電歪材料焼結体に１１０℃で熱圧着した（図３
（ｄ） ）。ただし図３（ｄ）に示すように上記の穴か
ら内部電極の一部が一層おきに露出するような位置に圧
着した。これＴｈ９００℃で焼成し一体化した。
焼結体の裏面にも同様に絶縁パターンを形成した。（図
中番号３３′）ただし図中番号３２′で示した内部電極
上に絶縁パターンの穴がくるような位置に形成した。
中番号３３′）ただし図中番号３２′で示した内部電極
上に絶縁パターンの穴がくるような位置に形成した。
さらに図３（ｅ）に示すように穴３４を被って絶縁材料
膜３３の上に銀ペースト全塗布、焼成し外部電極３５．
３５’を形成した。内部電極と外部電極は絶縁パターン
の穴を通して電気的に接続している。
膜３３の上に銀ペースト全塗布、焼成し外部電極３５．
３５’を形成した。内部電極と外部電極は絶縁パターン
の穴を通して電気的に接続している。
２つの外部電極間に２５０ｖの直流電圧全印加すること
によｐ保護膜部３０で示す部分をのぞく電歪材料全体に
電界が発生し約６μｍの伸長が得られた。
によｐ保護膜部３０で示す部分をのぞく電歪材料全体に
電界が発生し約６μｍの伸長が得られた。
以上の実施例から明らかなように本発明の方法に従えば
ワイヤーを用いて一つずつ接続する場合に較ベニ程が簡
略化し歩留りも大幅に向上する。
ワイヤーを用いて一つずつ接続する場合に較ベニ程が簡
略化し歩留りも大幅に向上する。
またあらかじめパターンの精度と厚みの条件全満足した
絶縁材料膜全１史用するので絶縁材料膜全塗布によυ形
成する印刷法とくらべても絶縁耐圧の信頼性は大きく改
善される。その結果低電圧駆動大歪量の高信頼性積層型
電歪効果素子を工業的に容易に生産することができる。
絶縁材料膜全１史用するので絶縁材料膜全塗布によυ形
成する印刷法とくらべても絶縁耐圧の信頼性は大きく改
善される。その結果低電圧駆動大歪量の高信頼性積層型
電歪効果素子を工業的に容易に生産することができる。
図１は積層チップコンデンサ型の電歪効果素子を示す。
（、）は正面から見た断面図、（ｂ）は上からみたとき
の千面図である。図中番号１は電歪材料、−２と２′は
内部電極、３と３′は外部電極、４は内部電極の重な９
部分、５は内部電極の重ならない部分、６は内部電極の
ない部分をそれぞれ示す。 図２は内部電極の端部が素子表面に臓出している積層型
電歪効果素子を示す。（ａｌは正面図、（ｂ）は（−）
を上からながめ内部電極の位置で切断したときの断面図
である。図中番号２０と２１は電歪材料、２２と２２′
は内部電極、２３と２４は内部電極を接続するワイヤー
、２５と２６は電極端子をそれぞれ示す。 図３ （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄｌ（ｅ）は本発明の方法
を含んだ製造方法における各工程を示す図である。図中
番号３０と３１は電歪材料、３２と３２′は内部電極、
３３と３３′は絶縁材料膜、３４は絶縁材料膜の穴、３
５と３５′は外部電極を示す。
の千面図である。図中番号１は電歪材料、−２と２′は
内部電極、３と３′は外部電極、４は内部電極の重な９
部分、５は内部電極の重ならない部分、６は内部電極の
ない部分をそれぞれ示す。 図２は内部電極の端部が素子表面に臓出している積層型
電歪効果素子を示す。（ａｌは正面図、（ｂ）は（−）
を上からながめ内部電極の位置で切断したときの断面図
である。図中番号２０と２１は電歪材料、２２と２２′
は内部電極、２３と２４は内部電極を接続するワイヤー
、２５と２６は電極端子をそれぞれ示す。 図３ （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄｌ（ｅ）は本発明の方法
を含んだ製造方法における各工程を示す図である。図中
番号３０と３１は電歪材料、３２と３２′は内部電極、
３３と３３′は絶縁材料膜、３４は絶縁材料膜の穴、３
５と３５′は外部電極を示す。
Claims (1)
- 内部電極端部が側面に露出した積層体の側面に、あらか
じめ内部電極間距離の２倍の間隔で穴をあけた絶縁材料
膜を固着する工程と、絶縁材料膜に形成されている穴を
被うように絶縁材料膜上に導電体を形成する工程とを有
することを特徴とする電歪効果素子の内部電極を電気的
に接続する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57229040A JPS59122200A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 電歪効果素子の内部電極を電気的に接続する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57229040A JPS59122200A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 電歪効果素子の内部電極を電気的に接続する方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59122200A true JPS59122200A (ja) | 1984-07-14 |
Family
ID=16885797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57229040A Pending JPS59122200A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 電歪効果素子の内部電極を電気的に接続する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59122200A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6175699U (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-21 | ||
| JPS62133777A (ja) * | 1985-12-05 | 1987-06-16 | Hitachi Metals Ltd | 積層型圧電素子およびその製造方法 |
| JPS62199074A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 積層型圧電素子の製造方法 |
| JPS63123299A (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-27 | Nec Corp | 電気音響変換デバイスの製造方法 |
| JPH01176111A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-12 | Murata Mfg Co Ltd | 電歪共振素子 |
| JP2015506580A (ja) * | 2011-12-30 | 2015-03-02 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｏｎｔｉｎｅｎｔａｌ Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ ＧｍｂＨ | パッシベーション部を備えた圧電スタック、および、圧電スタックのパッシベーション方法 |
| DE102016204308A1 (de) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | Continental Automotive Gmbh | Piezoelektrisches Aktuatorbauelement und Herstellungsverfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuatorbauelementes |
| CN107809185A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | Tdk株式会社 | 压电驱动装置 |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP57229040A patent/JPS59122200A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6175699U (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-21 | ||
| JPS62133777A (ja) * | 1985-12-05 | 1987-06-16 | Hitachi Metals Ltd | 積層型圧電素子およびその製造方法 |
| JPS62199074A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 積層型圧電素子の製造方法 |
| JPH0366822B2 (ja) * | 1986-02-27 | 1991-10-18 | Fuji Electrochemical Co Ltd | |
| JPS63123299A (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-27 | Nec Corp | 電気音響変換デバイスの製造方法 |
| JPH01176111A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-12 | Murata Mfg Co Ltd | 電歪共振素子 |
| JP2015506580A (ja) * | 2011-12-30 | 2015-03-02 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｏｎｔｉｎｅｎｔａｌ Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ ＧｍｂＨ | パッシベーション部を備えた圧電スタック、および、圧電スタックのパッシベーション方法 |
| DE102016204308A1 (de) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | Continental Automotive Gmbh | Piezoelektrisches Aktuatorbauelement und Herstellungsverfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Aktuatorbauelementes |
| CN108886091A (zh) * | 2016-03-16 | 2018-11-23 | 大陆汽车有限公司 | 压电执行器元件和用于制造压电执行器元件的制造方法 |
| CN107809185A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | Tdk株式会社 | 压电驱动装置 |
| CN107809185B (zh) * | 2016-09-09 | 2019-12-10 | Tdk株式会社 | 压电驱动装置 |
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