JP2007143259A - アクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置、並びにこれらに用いられる圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 アクチュエータ30は、それぞれ頂部36a,38aを有するように屈曲し、各頂部36a,38a同士が連結部材40によって機械的に連結された一対の屈曲部材36,38と、圧電素子50とを備える。各屈曲部材36,38は、その一端がそれぞれ固定端とされている。圧電素子50は、各屈曲部材36,38の他端に変位を伝達し、各屈曲部材36,38の両端間の距離を変えるように配置されている。各屈曲部材36,38の各頂部36a,38aは、圧電素子50が各屈曲部材36,38に変位を伝達することにより、基準直線L1,L2と交差する方向に移動する。
【選択図】 図4
Description
図1を参照して、第1実施形態に係るハードディスク装置1Aの構成について説明する。図1は、第1〜第4実施形態に係るハードディスク装置を示す概略構成図である。
次に、第2実施形態に係るハードディスク装置1Bについて説明する。第2実施形態に係るハードディスク装置1Bでは、アクチュエータ130の構成が、上述の第1実施形態に係るアクチュエータ30と相違する。以下では、これらの相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
次に、第3実施形態に係るハードディスク装置1Cについて説明する。第3実施形態に係るハードディスク装置1Cでは、アクチュエータ230の構成が、上述の第1及び第2実施形態に係るアクチュエータ30,130と相違する。以下では、これらの相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
次に、第4実施形態に係るハードディスク装置1Dについて説明する。第4実施形態に係るハードディスク装置1Dでは、圧電素子350を含めたアクチュエータ330の構成及び動作が、上述の第1〜第3実施形態に係るアクチュエータ30,130,230と相違する。以下では、これらの相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
Claims (18)
- 圧電素子と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、
前記一対の屈曲部材は、その一端が固定端とされ、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材のうち少なくとも一方の屈曲部材の他端に変位を伝達し、該屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記少なくとも一方の屈曲部材に変位が伝達されることにより、該屈曲部材の両端を結ぶ基準直線と交差する方向に前記頂部が移動することを特徴とするアクチュエータ。 - 前記圧電素子が固定される支持体を更に備え、
前記一対の屈曲部材の前記各一端は、該一端が前記支持体に固定されることにより、固定端とされることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記各頂部は、前記基準直線に対して互いに異なる側に位置するように前記各屈曲部材がそれぞれ配置され、前記基準直線と交差し且つ共に同じ方向に移動することを特徴とする請求項1又は2に記載されたアクチュエータ。
- 前記各頂部は、前記基準直線に対して共に同じ側に位置するように前記各屈曲部材がそれぞれ配置され、前記基準直線と交差し且つ共に同じ方向に移動することを特徴とする請求項1又は2に記載されたアクチュエータ。
- 圧電体層と第1及び第2内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第1及び第2非活性部を含む積層体を有し、前記第1及び第2非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第1及び第2内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第1非活性部が内部に前記第1内部電極を含んでおらず、前記第2非活性部が内部に前記第2内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするアクチュエータ。 - 圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、該積層体の積層方向と交差する各側面に前記積層体の変位を拘束する固定基板がそれぞれ設けられ、該各固定基板が、前記積層体の積層方向から見たときに互いに重ならないように配置された圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするアクチュエータ。 - 圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、該積層体の積層方向と交差する側面の一方に前記積層体の変位を拘束する拘束手段が配置された圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して共に同じ側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするアクチュエータ。 - 前記圧電素子の中央部分が前記支持体に固定されていることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載されたアクチュエータ。
- 前記圧電素子の中央部分と前記支持体とが固定された固定点と、前記各屈曲部材の前記各固定端との距離が共に略等しいことを特徴とする請求項8に記載されたアクチュエータ。
- 前記頂部同士が連結部材によって機械的に連結されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載されたアクチュエータ。
- 薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、を備え、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第1及び第2内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第1及び第2非活性部を含む積層体を有し、前記第1及び第2非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第1及び第2内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第1非活性部が内部に前記第1内部電極を含んでおらず、前記第2非活性部が内部に前記第2内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダが搭載される連結部材によって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするスライダユニット。 - 薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、を備え、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第1及び第2内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第1及び第2非活性部を含む積層体を有し、前記第1及び第2非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第1及び第2内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第1非活性部が内部に前記第1内部電極を含んでおらず、前記第2非活性部が内部に前記第2内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダによって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするスライダユニット。 - 薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータが主面に搭載されたスプリングプレートと、
前記スプリングプレートから所定距離だけ離間した状態で前記スプリングプレートを片持支持するロードビームと、を備え、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第1及び第2内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第1及び第2非活性部を含む積層体を有し、前記第1及び第2非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第1及び第2内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第1非活性部が内部に前記第1内部電極を含んでおらず、前記第2非活性部が内部に前記第2内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダが搭載される連結部材によって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするサスペンション。 - 薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータが主面に搭載されたスプリングプレートと、
前記スプリングプレートから所定距離だけ離間した状態で前記スプリングプレートを片持支持するロードビームと、を備え、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第1及び第2内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第1及び第2非活性部を含む積層体を有し、前記第1及び第2非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第1及び第2内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第1非活性部が内部に前記第1内部電極を含んでおらず、前記第2非活性部が内部に前記第2内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダによって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするサスペンション。 - 記録媒体と、該記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、該ヘッドスライダを駆動させるアクチュエータとを備えるハードディスク装置であって、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第1及び第2内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第1及び第2非活性部を含む積層体を有し、前記第1及び第2非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第1及び第2内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第1非活性部が内部に前記第1内部電極を含んでおらず、前記第2非活性部が内部に前記第2内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダが搭載される連結部材によって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするハードディスク装置。 - 記録媒体と、該記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、該ヘッドスライダを駆動させるアクチュエータとを備えるハードディスク装置であって、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第1及び第2内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第1及び第2非活性部を含む積層体を有し、前記第1及び第2非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第1及び第2内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第1非活性部が内部に前記第1内部電極を含んでおらず、前記第2非活性部が内部に前記第2内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダによって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするハードディスク装置。 - 圧電体層と第1及び第2内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第1及び第2非活性部を含む積層体を有し、
前記第1及び第2非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第1及び第2内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、
前記第1非活性部が内部に前記第1内部電極を含んでおらず、前記第2非活性部が内部委前記第2内部電極を含んでいないことを特徴とする圧電素子。 - 圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、
該積層体の積層方向と交差する各側面に前記積層体の変位を拘束する固定基板がそれぞれ設けられ、
該各固定基板が、前記積層体の積層方向から見たときに互いに重ならないように配置されていることを特徴とする圧電素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005332123A JP4747795B2 (ja) | 2005-11-16 | 2005-11-16 | アクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置、並びにこれらに用いられる圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005332123A JP4747795B2 (ja) | 2005-11-16 | 2005-11-16 | アクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置、並びにこれらに用いられる圧電素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007143259A true JP2007143259A (ja) | 2007-06-07 |
JP4747795B2 JP4747795B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=38205453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005332123A Active JP4747795B2 (ja) | 2005-11-16 | 2005-11-16 | アクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置、並びにこれらに用いられる圧電素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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