JP2009065760A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のアクチュエータ1は、圧電素子5と固定部材3と被駆動部材4とを備える。圧電素子5は、複数の圧電体層11〜15と複数の内部電極層21〜24とが交互に積層されている。固定部材3は、圧電素子5の積層方向に垂直な第一面5aにおける一方端側に固定されている。被駆動部材4は、第一面5aにおける他方端側に固定されて、固定部材に対して駆動される。圧電素子5は、第一面5aと対向する第二面5b側の最も外側に位置する最外圧電体層における電界強度が、第一面5a側の最も外側に位置する最外圧電体層における電界強度より小さいことにより、第一面6aを内側にして屈曲し、被駆動部材4を駆動する
【選択図】図2
Description
第1実施形態に係るアクチュエータを図1に示す。図1は、第1実施形態に係るアクチュエータの平面図である。第1実施形態のアクチュエータ1は、ハードディスクドライブにおいて、超小型電気機械システム(MEMS)の駆動機構として用いられる。具体的には、アクチュエータ1は、磁気ディスクを読み出すための磁気ヘッド2を駆動する磁気ヘッド駆動装置である。
第2実施形態に係るアクチュエータは、備える圧電素子の構成が第1実施形態のアクチュエータ1と異なる。図7は、第2実施形態に係るアクチュエータが備える圧電素子の平面図である。図7に示すように、圧電素子9は、圧電素子5と同様に直方体形状の積層型圧電素子であり、大きさも同程度である。そして、圧電素子9は、直方体形状の積層体60と、積層体60の外表面に形成された上述の外部電極31,32を備えている。
Claims (4)
- 複数の圧電体層と複数の電極層とが交互に積層されて、積層方向に対向する第一面及び第二面を有する圧電素子と、
前記圧電素子の前記第一面における一方端側に固定された固定部材と、
前記第一面における他方端側に固定されて、前記固定部材に対して駆動される被駆動部材と、を備え、
前記圧電素子は、前記第二面側の最も外側に位置する最外圧電体層における電界強度が前記第一面側の最も外側に位置する最外圧電体層における電界強度より小さいことにより、前記第一面を内側にして屈曲し、前記被駆動部材を駆動することを特徴とするアクチュエータ。 - 駆動の際、前記第二面側の最外圧電体層における電界強度が、前記第二面側の最外圧電体層以外の圧電体層における電界強度より小さいことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 駆動の際、前記第二面側の最外圧電体層における電界強度が0であることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。
- 前記第二面側の最外圧電体層の厚さは、前記複数の圧電体層の合計の厚さに対する33%〜66%程度であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のアクチュエータ。
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