JP2009530799A - モノリシック多層アクチュエータの製造方法及びモノリシック多層アクチュエータ - Google Patents
モノリシック多層アクチュエータの製造方法及びモノリシック多層アクチュエータ Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (10)
- 金属の内部電極が取り付けられた圧電セラミック製の活性薄膜(2)の積層からなり、前記内部電極は、交互に前記積層から引き出され、外部電極(3)を介して電気的に並列に接続されているモノリシック多層アクチュエータ(1)の製造方法において、
各活性薄膜(2)上に、両極性の各内部電極(9)が導体路として取り付けられており、前記活性薄膜(2)の全ての積層方向(8)は、多層アクチュエータ(1)の長手軸(5)に対して直角に設けられており、前記薄膜(2)は、前記各内部電極(9)と協働して、共焼結(cofiring)処理で焼結することを特徴とするモノリシック多層アクチュエータ(1)の製造方法。 - 金属の内部電極(9)が取り付けられた圧電セラミック製の各活性薄膜(2)の積層からなり、前記内部電極(9)は、交互に前記積層から引き出され、各外部電極(3)を介して電気的に並列に接続されている、例えば、請求項1記載の方法により製造されたモノリシック多層アクチュエータにおいて、各活性薄膜(2)上に、両極性の各内部電極(9)が導体路として取り付けられており、前記全ての活性薄膜(2)の積層方向(8)は、多層アクチュエータ(1)の長手軸(5)に対して直角に設けられており、前記各薄膜(2)は、前記各内部電極(9)と協働して、共焼結処理で焼結されていることを特徴とするモノリシック多層アクチュエータ。
- 両極性の各内部電極(9)は、各々1つのベース導体路(16)と、該ベース導体路(16)からほぼ直角に出ている各櫛形導体路(17)と共に櫛形に形成されており、両極性の前記各櫛形導体路(17)は、薄膜(2)の縁領域に至る迄、一方の極性の前記各櫛形導体路(17)が、他方の極性の2つの前記櫛形導体路間に設けられているように相互に嵌合している請求項2記載のモノリシック多層アクチュエータ。
- ベース導体路(16)は、薄膜の対向し合った各側面に当接して設けられている請求項3記載のモノリシック多層アクチュエータ。
- 薄膜(2)の厚みは、10μm〜300μm迄、有利には、30μm〜100μmである請求項2から4迄の何れか1記載のモノリシック多層アクチュエータ。
- 内部電極(9)の導体路の幅(15)は、0.05〜0.5mm、有利には、0.1〜0.2mmである請求項2から5迄の何れか1記載のモノリシック多層アクチュエータ。
- 各内部電極(9)の各導体路間の間隔(14)は、所望の作動電圧で、0.5〜5kV/mm、有利には、1.5〜2.5kV/mmが調整されるように選定されている請求項2から6迄の何れか1記載のモノリシック多層アクチュエータ。
- 多層アクチュエータは、活性薄膜に対して付加的に、内部電極なしの非活性薄膜も含み、それにより、1つ又は複数の活性ゾーン(10,11)及び1つ又は複数の非活性ゾーン(12)が形成され、且つ、該多層アクチュエータ(1)が作動中湾曲することができる請求項2から7迄の何れか1記載のモノリシック多層アクチュエータ。
- 活性ゾーン(10,11)と非活性ゾーン(12)との間に、外部電極(3)によって電気的に接触接続していない全面の内部電極を備えた薄膜(13)が設けられている請求項8記載のモノリシック多層アクチュエータ。
- セラミック用に、低く焼結された圧電セラミック材料が使用されている請求項2から9迄の何れか1記載のモノリシック多層アクチュエータ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006012588 | 2006-03-16 | ||
DE102006051080A DE102006051080A1 (de) | 2006-03-16 | 2006-10-25 | Vielschichtaktoren mit Interdigitalelektroden |
PCT/EP2007/052444 WO2007104784A1 (de) | 2006-03-16 | 2007-03-15 | Vielschichtaktoren mit interdigitalelektroden |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009530799A true JP2009530799A (ja) | 2009-08-27 |
Family
ID=38179582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008558821A Pending JP2009530799A (ja) | 2006-03-16 | 2007-03-15 | モノリシック多層アクチュエータの製造方法及びモノリシック多層アクチュエータ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090243437A1 (ja) |
EP (1) | EP1999802A1 (ja) |
JP (1) | JP2009530799A (ja) |
DE (1) | DE102006051080A1 (ja) |
WO (1) | WO2007104784A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102008031641B4 (de) * | 2008-07-04 | 2017-11-09 | Epcos Ag | Piezoaktor in Vielschichtbauweise |
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2006
- 2006-10-25 DE DE102006051080A patent/DE102006051080A1/de not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-03-15 JP JP2008558821A patent/JP2009530799A/ja active Pending
- 2007-03-15 WO PCT/EP2007/052444 patent/WO2007104784A1/de active Application Filing
- 2007-03-15 US US12/282,518 patent/US20090243437A1/en not_active Abandoned
- 2007-03-15 EP EP07726934A patent/EP1999802A1/de not_active Withdrawn
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1999802A1 (de) | 2008-12-10 |
DE102006051080A1 (de) | 2007-10-04 |
US20090243437A1 (en) | 2009-10-01 |
WO2007104784A1 (de) | 2007-09-20 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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