JP7051322B2 - 分極されるが不活性であるpzt抑制層を有する多層pztマイクロアクチュエータ - Google Patents
分極されるが不活性であるpzt抑制層を有する多層pztマイクロアクチュエータ Download PDFInfo
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
- G11B5/483—Piezo-electric devices between head and arm, e.g. for fine adjustment
Description
この出願は、2016年2月28日に出願された米国特許出願第15/055,618号の一部継続出願であり、米国特許出願第15/055,618号は、2015年3月28日に出願され、現在では米国特許第9,330,698号である米国特許出願第14/672,122号の継続出願であり、米国特許出願第14/672,122号は、2014年3月14に出願され、現在では米国特許第9,117,468号である米国特許出願第14/214,525号の一部継続出願であり、米国特許出願第14/214,525号は、2013年3月18日に出願された米国仮特許出願第61/802,972号、及び2013年9月14日に出願された米国仮特許出願第61/877,957号に基づく優先権を主張するものである。米国特許出願第14/672,122号はまた、2014年12月10に出願され、現在では米国特許第9,330,694号である米国特許出願第14/566,666号の一部継続出願でもあり、米国特許出願第14/566,666号は、2014年10月17日に出願された米国仮特許出願第62/061,074に基づく優先権を主張するものである。米国特許出願第14/672,122号はまた、2014年11月28日に出願された米国仮特許出願第62/085,471号に基づく優先権をも主張する。これらの出願すべては、言及によって、本明細書に全体が記載されているように組み込まれる。
本発明は、ハードディスクドライブのサスペンションの分野に関する。特に、本発明は、2段アクチュエータ方式サスペンションに用いるための、1つ以上の活性圧電抑制層を有する多層圧電マイクロアクチュエータの分野に関する。
130 PZT 3μm
126、128、131 NiCr/Au 0.5μm
であった。
a)1つの不活性抑制層(「受動的なCLC」、ひし形データポイント)
b)1つの活性抑制層(「単層」、四角形データポイント)、及び
c)2つの活性抑制層(「2層」三角形データポイント)
について示される。
Claims (11)
- 多層圧電マイクロアクチュエータ組立体であって、
それぞれが分極圧電材料を含む第1圧電層及び第2圧電層と、第1電極と、第2電極とを含み、
前記第1圧電層は前記第2圧電層よりも前記マイクロアクチュエータ組立体が接合された表面に近く、前記第1電極は前記第1圧電層の底部側に配置され、前記第2電極は、前記第1電極及び前記第2電極に与えられた第1電圧差が前記第1圧電層にわたる電界を誘起するように、前記第1圧電層の上部側で、且つ前記第2圧電層の下に配置され、
前記第1電極が第1電圧に作動的に接続され、前記第2電極が前記第1電圧とは異なる第2電圧に作動的に接続されることで、前記第1圧電層に与えられる第1電圧差を規定し、前記第1電圧差は前記第1圧電層を膨張又は収縮させる前記第1圧電層にわたる第1電界を誘起し、
電圧差は実質的に前記第2圧電層には与えられず、
前記第2圧電層は実質的に不活性の圧電層であり、前記第1圧電層の膨張又は収縮に抵抗するために抑制層として作用し、
前記マイクロアクチュエータ組立体の全体的な膨張又は収縮は、前記第2圧電層が存在しない場合よりも、前記第1圧電層に与えられる前記第1電圧差に応じて大きくなり、
前記第1圧電層と前記第2圧電層とは、前記第1圧電層と前記第2圧電層とにわたり印加された等しい強度の電界に対して、前記第2圧電層が、前記第1圧電層の同時の膨張又は収縮の10%内に膨張又は収縮するように分極されたものである、多層圧電マイクロアクチュエータ組立体。 - 多層圧電マイクロアクチュエータ組立体であって、
それぞれが分極圧電材料を含む第1圧電層及び第2圧電層と、第1電極と、第2電極とを含み、
前記第1圧電層は前記第2圧電層よりも前記マイクロアクチュエータ組立体が接合された表面に近く、前記第1電極は前記第1圧電層の底部側に配置され、前記第2電極は、前記第1電極及び前記第2電極に与えられた第1電圧差が前記第1圧電層にわたる電界を誘起するように、前記第1圧電層の上部側で、且つ前記第2圧電層の下に配置され、
前記第1電極が第1電圧に作動的に接続され、前記第2電極が前記第1電圧とは異なる第2電圧に作動的に接続されることで、前記第1圧電層に与えられる第1電圧差を規定し、前記第1電圧差は前記第1圧電層を膨張又は収縮させる前記第1圧電層にわたる第1電界を誘起し、
電圧差は実質的に前記第2圧電層には与えられず、
前記第2圧電層は実質的に不活性の圧電層であり、前記第1圧電層の膨張又は収縮に抵抗するために抑制層として作用し、
前記マイクロアクチュエータ組立体の全体的な膨張又は収縮は、前記第2圧電層が存在しない場合よりも、前記第1圧電層に与えられる前記第1電圧差に応じて大きくなり、
前記第1圧電層と前記第2圧電層とは、前記第1圧電層と前記第2圧電層とにわたり印加された等しい強度の電界に対して、前記第2圧電層が、前記第1圧電層の同時の膨張又は収縮の25%内に膨張又は収縮するように分極されたものである、多層圧電マイクロアクチュエータ組立体。 - 前記第2圧電層が前記第2電極と第3電極との間に配置されるように前記第2圧電層上に延び、且つ浮遊電極である、第3電極をさらに含む、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
- 前記第1圧電層と前記第2圧電層とは等しい厚みを有し、等しい強度の電界を用いて分極されたものである、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
- 前記第1圧電層と前記第2圧電層とは、10%未満異なる厚みを有し、10%未満異なるそれぞれの電界強度を用いて分極されたものである、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
- 前記第1圧電層と前記第2圧電層とは、25%未満異なる厚みを有し、25%未満異なるそれぞれの電界強度を用いて分極されたものである、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
- 前記第1圧電層と前記第2圧電層とは、異なる厚みを有し、前記第1圧電層と前記第2圧電層とにそれぞれ与えられた異なる電圧差を用いて分極されたものである、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
- 前記第2圧電層は、前記第1圧電層にわたり与えられた前記第1電界の10%未満である、前記第2圧電層にわたり与えられた第2電界を有する、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
- 前記第2圧電層は、前記第1圧電層にわたり与えられた前記第1電界の25%未満である、前記第2圧電層にわたり与えられた第2電界を有する、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
- 前記第1圧電層と前記第2圧電層とは、前記第1圧電層と前記第2圧電層との両方にわたり印加された単一の電界を用いて同時に分極されたものである、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
- 前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置され、分極された活性の圧電層である第3圧電層をさらに含む、請求項1又は2に記載のマイクロアクチュエータ組立体。
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