JP4296738B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録媒体にインクを吐出して記録を行うインクジェットヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
インクジェットヘッドは、インクタンクからマニホールドに供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的に圧力を付与することによりノズル孔からインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、シート状の圧電セラミック層が積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。
【0003】
かかるインクジェットヘッドの一例として、特開平4−341852号公報には、複数の圧力室に跨った圧電セラミック層の連続平板状層を用いたアクチュエータユニットを有するものが記載されている。この公報のインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータユニットの圧電セラミック層は、概略的には、グランド電位に保持された共通電極と各圧力室に対応する位置に配置された駆動電極(個別電極)とで挟み込まれた圧力室側にある活性層と、電極が設けられておらず圧力室とは反対側にある非活性層とに分けられる。そして、インクを吐出すべき圧力室に対応する駆動電極を共通電極とは異なる電位とすることで、いわゆる圧電縦効果により活性層を積層方向に伸縮させて圧力室内の容積を変動させることによってインクを圧力室から吐出することが可能となっている。この際、非活性層は、活性層を上から支えることでこれが効率よく積層方向に伸縮するのを助ける役目を果たすだけで、それ自体はほとんど変形することがない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年、圧力室のさらなる高集積化を図ることが強く望まれている。しかしながら、上述した公報に記載のインクジェットヘッドでは、その要望に十分に応えることができないのが現状である。
【0005】
そこで、本発明の目的は、圧力室のさらなる高集積化を可能にするインクジェットヘッドを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1のインクジェットヘッドは、一端をインク吐出口に、他端をインク供給源にそれぞれ接続した複数の圧力室が相互に隣接配置されると共に、複数の前記圧力室の開口を塞ぐアクチュエータユニットが設けられたインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータユニットが、前記圧力室側に配置され、複数の前記圧力室に跨って連続した平板状をなし、さらにその厚み方向に積層された圧電材料からなる複数層の非活性層と、前記複数層の非活性層に対して前記圧力室とは反対側に積層され、前記圧力室ごとに分断されて設けられた圧電材料からなる少なくとも1層の活性層とを含んでおり、前記活性層が、グランド電位に保たれた共通電極と前記圧力室に対応して形成された駆動電極とによって挟まれているとともに、厚み方向に分極した前記分断された圧電材料からなり、前記圧力室に最も近い電極が、前記複数層の非活性層の前記圧力室と反対側の表面上に配置され、前記複数の圧力室に跨って形成された幅広の前記共通電極であって、前記共通電極及び前記駆動電極のうちで最も前記圧力室から離れた電極が最も薄い電極であり、前記幅広の前記共通電極上には、前記活性層が積層されており、前記駆動電極を前記共通電極と異なる電位としたときに、前記活性層が圧電横効果によって前記分極の方向と直交する方向に伸縮することで、前記活性層と前記非活性層との間で歪みの差によるユニモルフ効果が生じて前記圧力室の容積が変化するものである。
【0007】
【0008】
請求項1によると、ユニモルフ型のアクチュエータユニットにおいて厚み方向に積層された複数層の非活性層を有しているために、圧力室内で発生する内圧に抗しながらアクチュエータユニットが圧電横効果により活性層及び非活性層の積層方向について大きく変位する。そのため、圧力室の容積変化量が大きくなり、圧力室を小さくしても十分な量のインクを吐出することが可能となって、印刷ドットの高密度配置が実現される。また、1層で厚みの大きい非活性層を設ける場合と比較して製造が容易である。さらに、活性層及び非活性層が共に圧電素子層から構成されているので、焼結時の収縮率が活性層と非活性層とでほぼ同じになるため、寸法精度を向上させることができる。また、圧力室に最も近い電極が共通電極であるためにインクが電極電位からの悪影響を受けるのを抑制できるので、インクジェットヘッドの正常な動作を担保することが可能である。
また、最も圧力室から離れた電極の厚みを最も薄くしたことにより、十分なアクチュエータユニットの変位を確保することが可能となる。
【0009】
請求項2のインクジェットヘッドは、複数層の前記活性層を有していることを特徴としている。この構成によると、複数層の活性層を有していることにより、圧電横効果により活性層及び非活性層の積層方向についてさらに大きな変位を得ることが可能となる。
【0010】
【0011】
【0012】
請求項3のインクジェットヘッドは、前記活性層の一層の厚さが20μm以下であることを特徴としている。この構成によると、活性層の一層の厚さを20μm以下としたことにより、さらに大きな変位を得ることが可能となる。
【0013】
請求項4のインクジェットヘッドは、前記活性層と前記非活性層とが同じ材料で形成されていることを特徴としている。この構成によると、活性層と非活性層とを同じ材料で形成することができるために、製造工程が簡略化される。
【0014】
請求項5のインクジェットヘッドは、前記活性層の一層及び前記非活性層の一層がすべて実質的に同じ厚みを有していることを特徴としている。この構成によると、活性層の一層及び非活性層の一層をすべて実質的に同じ厚みにすることにより、製造工程が簡略化される。
請求項6のインクジェットヘッドは、前記圧力室の短手方向の幅をL、幅Lと同方向の前記駆動電極の幅をδとしたときに、0.1mm≦L≦1mm、且つ、0.3≦δ/L≦1の条件を満たすことを特徴としている。この構成によると、電気効率又は面積効率を向上させることができる。
請求項7のインクジェットヘッドは、第1の方向に延在した矩形平面形状を有しており、前記インク吐出口が設けられた底面には、台形形状のインク吐出領域が前記第1の方向に沿って千鳥状になって2列に配列されており、前記底面には、前記インク吐出領域内だけに、前記インク吐出口が形成されており、前記アクチュエータユニットが、前記インク吐出領域ごとに設けられており、前記圧力室が、ほぼ菱形の平面形状を有し、前記複数の圧力室は、前記第1の方向に等間隔に配列されているとともに、前記第1の方向に対して傾いた第2の方向に等間隔に配列されており、前記圧力室が前記アクチュエータユニット内において前記第2の方向に最大個数配列されたことによる前記第1の方向への変位が、前記圧力室の1つ分に相当していることを特徴としている。この構成によると、駆動電極と圧力室との位置合わせ精度を高いものとすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【0016】
図1は、本発明の一実施の形態によるインクジェットヘッドの底面図である。図2は、図1内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図3は、図2内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図4は、図1に示すインクジェットヘッドの要部断面図である。図5は、図1に示すインクジェットヘッドの要部分解斜視図である。図6は、図4内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域を横方向から見た拡大断面図である。
【0017】
図1に示すように、本実施の形態によるインクジェットヘッド1は一方向(主走査方向)に延在した矩形形状を有しており、その底面には、千鳥状になって2列に配列された多数の台形のインク吐出領域2が設けられている。インク吐出領域2の表面には、後述するように、インク吐出口8(図2及び図3参照)が多数配列されている。また、インクジェットヘッド1の内部には、その長手方向に沿ってインク溜まり3が形成されている。インク溜まり3は、その一端に設けられた開口3aを介してインクタンク(図示せず)に連通しており、常にインクで満たされている。インク溜まり3には、その延在方向に沿って開口3bが2つずつ対になって、インク吐出領域2が設けられていない領域に千鳥状に設けられている。
【0018】
図1及び図2に示すように、インク溜まり3は、開口3bを介してその下層にあるマニホールド5と連通している。開口3bには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ(図示せず)が設けられていてよい。マニホールド5は、その先端部が2つに分岐して副マニホールド5aとなっている。1つのインク吐出領域2の上部には、当該インク吐出領域2に対してインクジェットヘッド1の長手方向両隣にある2つの開口3bからそれぞれ2つの副マニホールド5aが進入してきている。つまり、1つのインク吐出領域2の上部には、合計で4つの副マニホールド5aがインクジェットヘッド1の長手方向に沿って延在している。各副マニホールド5aには、インク溜まり3から供給されたインクが満たされている。
【0019】
図2及び図3に示すように、インク吐出領域2の表面には、多数のインク吐出口8が配列されている。各インク吐出口8は、図4からも分かるように、先細形状のノズルとなっており、平面形状がほぼ菱形の圧力室(キャビティ)10(長さ900μm、幅350μm)及びアパーチャ12を介して副マニホールド5aと連通している。このようにして、インクジェットヘッド1には、インクタンクからインク溜まり3、マニホールド5、副マニホールド5a、アパーチャ12及び圧力室10を経てインク吐出口8に至るインク流路32が形成されている。なお、図2及び図3において、図面を分かりやすくするために、インク吐出領域2の内部にあって破線で描くべき圧力室10及びアパーチャ12を実線で描いている。
【0020】
また、図3からも明らかなように、インク吐出領域2内では、1つの圧力室10と連通したアパーチャ12が当該圧力室に隣接する圧力室10と重複するように、圧力室10同士が密着して配列されている。このようなことが可能なことの一因は、図4にも示すように、圧力室10とアパーチャ12とを異なる高さに設けるようにしたからである。このようにすることで、圧力室10を高密度に配列することが可能であり、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド1により高解像度の画像形成を実現している。
【0021】
圧力室10は、図2に描かれた平面内において、インクジェットヘッド1の長手方向(第1配列方向)と、インクジェットヘッド1の幅方向からやや傾いた方向(第2配列方向)との2方向にインク吐出領域2内で配列されている。インク吐出口8は、第1配列方向には50dpiで配列されている。一方で、圧力室10は、第2配列方向には1つのインク吐出領域2内に最大で12個が含まれるように配列されており、そして、第2配列方向に12個の圧力室10が配列されたことによる第1配列方向への変位は圧力室10の1つ分に相当している。これにより、インクジェットヘッド1の全幅内で、第1配列方向に隣接する2つのインク吐出口8間の距離だけ離隔した範囲には、12個のインク吐出口8が存在するようになっている(なお、各インク吐出領域2の第1配列方向についての両端部では、インクジェットヘッド1の幅方向に対向するインク吐出領域2と相補関係となることで上記条件を満たしている)。そのため、本実施の形態によるインクジェットヘッド1では、第1及び第2配列方向に配列された多数のインク吐出口8から、インクジェットヘッド1の幅方向への用紙に対する相対的な移動に伴って順次インク滴を吐出させることで、主走査方向に600dpiで印刷を行うことが可能になっている。
【0022】
次に、本実施の形態によるインクジェットヘッド1の断面構造について説明する。図4及び図5に示すように、インクジェットヘッド1の底部側の要部は、上から、アクチュエータユニット21、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャプレート24、サプライプレート25、マニホールドプレート26、27、28、カバープレート29、ノズルプレート30の合計10枚のシート材が積層された積層構造を有している。
【0023】
アクチュエータユニット21は、後で詳述するように、3枚の圧電シートが積層され且つ電極が配されることによってそのうちの1層が活性層とされ残り2層が非活性層とされたものである。キャビティプレート22は、圧力室10に対応するほぼ菱形の開口が多数設けられた金属プレートである。ベースプレート23は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10とアパーチャ12との連絡孔及び圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート24は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、アパーチャ12のほかに圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート25は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、アパーチャ12と副マニホールド5aとの連絡孔及び圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート26、27、28は、副マニホールド5aに加えて、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート29は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、圧力室10からインク吐出口8への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート30は、キャビティプレート22の1つの圧力室10について、ノズルとして機能する先細のインク吐出口8がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【0024】
これら10枚のシート21〜30は、図4に示すようなインク流路32が形成されるように、互いに位置合わせして積層される。このインク流路32は、副マニホールド5aからまず上方へ向かい、アパーチャ12において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室10において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ12から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にインク吐出口8へと向かう。
【0025】
図6に示すように、アクチュエータユニット21は、それぞれ厚みが15μm程度で同じになるように形成された3枚の圧電シート41、42、43を含んでいる。圧電シート41は1つの圧力室10上だけに配置されるように、圧力室ごとに分断されて設けられている。圧電シート41は、平面形状が圧力室10と相似形状(長さ850μm、幅250μm)を有し且つ積層方向への射影領域が圧力室領域に含まれるように、圧力室10よりもひとまわり小さく形成されている。圧電シート42、43は連続平板層であり、インクジェットヘッド1内の1つのインク吐出領域2内に形成された多数の圧力室10に跨って配置されている。圧電シート42、43が連続平板層して多数の圧力室10に跨って配置されることで、圧電素子の機械的剛性を高く保つことができるので、インクジェットヘッド1におけるインク吐出性能の応答性を高めることができるようになっている。
【0026】
最上層にある圧電シート41とその下方に隣接した圧電シート42との間には、シート全面に形成された厚み2μm程度の共通電極34が介在している。また、圧電シート41の上方には、厚み1μm程度の駆動電極(個別電極)35が圧電シート41の全面に形成されている(図3参照)。一方、圧電シート42とその下方に隣接した圧電シート43との間、及び、圧電シート43の下方には、電極が配置されていない。
【0027】
共通電極34は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極34は、すべての圧力室10に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。また、駆動電極35は、各圧力室10に対応するものごとに電位を制御することができるように、駆動電極35ごとに独立した別のリード線(図示せず)を介して図示しないドライバに接続されている。なお、共通電極34は、積層方向への射影領域が圧力室領域を含むように或いは射影領域が圧力室領域に含まれるように圧力室10ごとに多数形成されたものであってもよく、必ずしもシート全面に形成された1枚の導電シートである必要はない。ただし、このとき、圧力室10に対応する部分がすべて同一電位となるように共通電極どうしが電気的に接続されていることが必要である。
【0028】
本実施の形態によるインクジェットヘッド1において、圧電シート41〜43の分極方向はその厚み方向となっている。つまり、アクチュエータユニット21は、上側(つまり、圧力室10とは離れた)1枚の圧電シート41を活性層(活性部)とし且つ下側(つまり、圧力室10に近い)2枚の圧電シート42、43を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、駆動電極35を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば活性層である圧電シート41の電極に挟まれた部分が分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート42、43は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電シート41と下層の圧電シート42、43との間で、シート間で分極方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート41〜43全体が非活性側に凸となる変形を生じる(ユニモルフ変形)。このとき、図6で示したように、圧電シート41〜43の下面は圧力室を区画する隔壁22の上面に固着されているので、結果的に圧電シート41〜43は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室10の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、インク吐出口8からインクが吐出される。その後、駆動電極35への駆動電圧の印加が停止されれば、圧電シート41〜43は元の形状に戻って、圧力室10の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド5側から吸い込む。なお、他の駆動方法として、予め駆動電極35に電圧を印加しておき、吐出要求があるごとに一旦電圧の印加を停止し、その後所定のタイミングにて再び電圧を印加する方法を用いることもできる。この場合は、電圧の印加が停止されたタイミングで、圧電シート41〜43が元の形状に戻ることにより、圧力室10の容積は、初期状態(予め電圧が印加された状態)と比較して増加し、インクがマニホールド5側から吸い込まれ、その後再び電圧が印加されたタイミングで、圧電シート41〜43が圧力室側へ凸となるように変形し、圧力室の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【0029】
また、例えば電界と分極とが逆方向であれば電極に挟まれた活性層である圧電シート41の一部が分極方向と直角方向に伸びる。従って、圧電シート41の電極34、35に挟まれた部分は、圧電横効果により、圧力室側に凹となるように湾曲する。このため、圧力室10の容積が増加して、インクをマニホールド5側から吸い込む。その後、駆動電極35への駆動電圧の印加が停止されれば、圧電シート41〜43は元の形状に戻って、圧力室10の容積が元の容積に戻るので、インクをノズルから吐出する。
【0030】
本実施の形態のインクジェットヘッド1においては、非活性層である圧電シート42、43を複数有していることで、上述した公報のように圧力室側が活性層でその反対側が非活性層のインクジェットヘッドと比較して、電気効率(単位静電容量当たりの圧力室10の体積変化量)を向上させることができるようになるか、或いは、面積効率(単位投影面積当たりの圧力室10の体積変化量)を向上させることができるようになる。電気効率又は面積効率が向上することで、駆動電極35のドライバを小型化できてコストを抑えることができると共に、圧力室10を小さくできてその高集積化を図ったときであっても十分な量のインクを吐出することが可能となって、ヘッド1の小型化と印刷ドットの高密度配置が実現される。この効果は、本実施の形態のインクジェットヘッド1のように、本実施の形態のように活性層が1層だけ設けられている場合よりも、これを複数層設けた場合にさらに増強される。例えば、活性層及び非活性層の合計層数が4層以上の場合に特に優れた効果が得られる。
【0031】
図7に、図6のものとほぼ同様に構成されているものの、活性層(圧電シート41、42)を2層、非活性層(圧電シート43、44)を2層としたアクチュエータユニット21’の例を図示する。図7の例では、駆動電極35上にさらに分断された圧電シート41がそれぞれ設けられ、その上にさらに共通電極34aがそれぞれ設けられている。このようにすることで、上述したようにより優れた効果が期待される。
【0032】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド1は、非活性層である圧電シート42、43を複数有しており、1層で厚みの大きい非活性層を設ける場合と比較して製造が容易である。さらに、活性層及び非活性層が共に圧電素子層から構成されているので、焼結時の収縮率が活性層と非活性層とでほぼ同じになるため、寸法精度を向上させることができる。
【0033】
本実施の形態のインクジェットヘッド1では、活性層である圧電シート41の厚みが15μmと比較的薄いために、上述した効果がさらに優れたものとなっている。電気効率又は面積効率を向上させる観点からは、活性層である圧電シート41の厚みが20μm以下であることが好ましい。
【0034】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド1では、活性層と非活性層との合計厚さ(圧電シート41〜43の合計厚さ)が45μm、活性層の厚さ(圧電シート41の厚さ)が15μmであり、両者の比は15/45=0.33となっているために、上述した効果がさらに優れたものとなっている。電気効率又は面積効率を向上させる観点からは、活性層と非活性層との合計厚さ(圧電シート41〜43の合計厚さ)をT、活性層の厚さ(圧電シート41の厚さ)をtとしたとき、t/Tが0.8以下であることが好ましく、0.7以下であることがより好ましい。
【0035】
さらに、本実施の形態のインクジェットヘッド1では、圧力室10の短手方向の幅が350μm、同方向の駆動電極35の幅(活性幅)が250μmであり、両者の比は250/350=0.714…となっているために、上述した効果がさらに優れたものとなっている。電気効率又は面積効率を向上させる観点からは、圧力室10の短手方向の幅をL、幅Lと同方向の駆動電極35の幅をδとしたときに、0.1mm≦L≦1mm、且つ、0.3≦δ/L≦1の条件を満たすことが好ましい。
【0036】
また、本実施の形態では、インクジェットヘッド1に用いられている2つの電極34、35のうちで最も圧力室10側の電極を共通電極34としている。これにより、導電性を有するインクが電位変動を伴う駆動電極35から悪影響を受けて印刷が不安定になるのを抑制することができ、インクジェットヘッド1を正常に動作させることが可能となっている。
【0037】
本実施の形態において、圧電シート41〜43は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなるものである。電極34、35は、Ag−Pd系等の金属材料からなるものである。
【0038】
アクチュエータユニット21を作成するには、まず、圧電シート43となるセラミックス材料、圧電シート42となるセラミックス材料、共通電極34となる金属材料、圧電シート41となるセラミックス材料を積層して焼成する。その後、超音波によるホーニング、又は、ダイサーによる切断により、圧電シート41を上述したような形状に加工する。しかる後、圧電シート41上に駆動電極35となる金属材料を全面めっきし、レーザーパターニングにより不要部分を除去するか、或いは、駆動電極35に対応する部分に開口を有するマスクを用いて圧電シート41上に駆動電極35となる金属材料を蒸着させる。
【0039】
このように、駆動電極35のみ、他の電極とは異なり圧電シート41〜43となるセラミックス材料と一緒に焼成しないのは、駆動電極35が露出しているために、焼成時の高温加熱により蒸発しやすく、セラミックス材料に被覆された共通電極34に比べて厚みの制御が困難だからである。しかしながら、共通電極34も焼成時に多少なりとも厚みが減少するので、焼成後の連続性を維持することを考慮するとその厚みを薄くすることが難しい。一方、駆動電極35は、焼成後に上述したような手法で形成するために、共通電極34よりも薄く形成することが可能である。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド1では、最も上層にある駆動電極35を他の電極(共通電極34)よりも薄くすることで、活性層である圧電シート41の変位が駆動電極35によって規制されづらくなって、アクチュエータユニット21の効率(電気効率及び面積効率)を向上させている。
【0040】
本実施の形態のインクジェットヘッド1は、活性層である圧電シート41と非活性層である圧電シート42、43とが同じ材料で形成されているために、材料を交換する手間が不要となり、比較的簡略な製造工程により製造可能である。そのため、製造コストを低減できることが期待される。さらに、活性層である圧電シート41と非活性層である圧電シート42、43とがすべて実質的に同じ厚みを有していることからも、製造工程の簡略化によるコスト削減を図ることができる。なぜなら、圧電シートとなるセラミックス材料を塗布積層していくときの厚さ調整工程を簡単に行うことができるようになるからである。
【0041】
また、本実施の形態によるインクジェットヘッド1では、アクチュエータユニット21がインク吐出領域2ごとに分割されている。これは、アクチュエータユニット21を連続して形成すると、アクチュエータユニット21をキャビティプレート22などと重ねる際に生じるわずかな位置ずれが位置合わせ点から離れるに連れて大きくなり、アクチュエータユニット21に含まれる圧電シート41及び駆動電極35が対応する圧力室10から大きくずれてしまうことがあるからである。つまり、本実施の形態のインクジェットヘッド1は、このような位置ずれが起こりにくく、位置合わせ精度の高いものとなっている。
【0042】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、圧電シートや電極の材料は、上述したものに限らず、その他の公知の材料に変更してもよい。また、圧電室の平面形状や断面形状、配置形態などは、適宜変更してよい。また、活性層の数、非活性層の数は、非活性層が複数あるという条件の下で適宜変更することができる。また、活性層と非活性層とで層厚を異なる厚みにしてもよい。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1によると、ユニモルフ型のアクチュエータユニットにおいて厚み方向に積層された複数層の非活性層を有しているために、圧力室を小さくしても十分な量のインクを吐出することが可能となって、印刷ドットの高密度配置が実現される。また、1層で厚みの大きい非活性層を設ける場合と比較して製造が容易である。さらに、活性層及び非活性層が共に圧電素子層から構成されているので、焼結時の収縮率が活性層と非活性層とでほぼ同じになるため、寸法精度を向上させることができる。また、圧力室に最も近い電極が共通電極であるためにインクが電極電位からの悪影響を受けるのを抑制できるので、インクジェットヘッドの正常な動作を担保することが可能である。
また、最も圧力室から離れた電極の厚みを最も薄くしたことにより、十分なアクチュエータユニットの変位を確保することが可能となる。
【0044】
請求項2によると、複数層の活性層を有していることにより、圧電横効果により活性層及び非活性層の積層方向についてさらに大きな変位を得ることが可能となる。
【0045】
請求項3によると、活性層の一層の厚さを20μm以下としたことにより、さらに大きな変位を得ることが可能となる。請求項4によると、活性層と非活性層とを同じ材料で形成することができるために、製造工程が簡略化される。請求項5によると、活性層の一層及び非活性層の一層をすべて実質的に同じ厚みにすることにより、製造工程が簡略化される。請求項6によると、電気効率又は面積効率を向上させることができる。請求項7によると、駆動電極と圧力室との位置合わせ精度を高いものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態によるインクジェットヘッドの底面図である。
【図2】 図1内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図3】 図2内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図4】 図1に示すインクジェットヘッドの要部断面図である。
【図5】 図1に示すインクジェットヘッドの要部分解斜視図である。
【図6】 図4内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域を横方向から見た拡大断面図である。
【図7】 図6の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 インクジェットヘッド
2 インク吐出領域
3 インク溜まり
3a、3b 開口
5 マニホールド
5a 副マニホールド
8 インク吐出口
10 圧力室
12 アパーチャ
21 アクチュエータユニット
22 キャビティプレート
30 ノズルプレート
32 インク流路
34 共通電極
35 駆動電極(個別電極)
41 圧電シート(活性層)
42、43 圧電シート(非活性層)
Claims (7)
- 一端をインク吐出口に、他端をインク供給源にそれぞれ接続した複数の圧力室が相互に隣接配置されると共に、複数の前記圧力室の開口を塞ぐアクチュエータユニットが設けられたインクジェットヘッドにおいて、
前記アクチュエータユニットが、前記圧力室側に配置され、複数の前記圧力室に跨って連続した平板状をなし、さらにその厚み方向に積層された圧電材料からなる複数層の非活性層と、前記複数層の非活性層に対して前記圧力室とは反対側に積層され、前記圧力室ごとに分断されて設けられた圧電材料からなる、少なくとも1層の活性層とを含んでおり、
前記活性層が、グランド電位に保たれた共通電極と前記圧力室に対応して形成された駆動電極とによって挟まれているとともに、厚み方向に分極した前記分断された圧電材料からなり、
前記圧力室に最も近い電極が、前記複数層の非活性層の前記圧力室と反対側の表面上に配置され、前記複数の圧力室に跨って形成された幅広の前記共通電極であって、
前記共通電極及び前記駆動電極のうちで最も前記圧力室から離れた電極が最も薄い電極であり、
前記幅広の前記共通電極上には、前記活性層が積層されており、前記駆動電極を前記共通電極と異なる電位としたときに、前記活性層が圧電横効果によって前記分極の方向と直交する方向に伸縮することで、前記活性層と前記非活性層との間で歪みの差によるユニモルフ効果が生じて前記圧力室の容積が変化することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 複数層の前記活性層を有していることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記活性層の一層の厚さが20μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記活性層と前記非活性層とが同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記活性層の一層及び前記非活性層の一層がすべて実質的に同じ厚みを有していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記圧力室の短手方向の幅をL、幅Lと同方向の前記駆動電極の幅をδとしたときに、0.1mm≦L≦1mm、且つ、0.3≦δ/L≦1の条件を満たすことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
- 第1の方向に延在した矩形平面形状を有しており、
前記インク吐出口が設けられた底面には、台形形状のインク吐出領域が前記第1の方向に沿って千鳥状になって2列に配列されており、
前記底面には、前記インク吐出領域内だけに、前記インク吐出口が形成されており、
前記アクチュエータユニットが、前記インク吐出領域ごとに設けられており、
前記圧力室が、ほぼ菱形の平面形状を有し、
前記複数の圧力室は、前記第1の方向に等間隔に配列されているとともに、前記第1の方向に対して傾いた第2の方向に等間隔に配列されており、
前記圧力室が前記アクチュエータユニット内において前記第2の方向に最大個数配列されたことによる前記第1の方向への変位が、前記圧力室の1つ分に相当していることを特徴とする1〜6のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。
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