JP2002329377A - ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ - Google Patents

ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ

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JP2002329377A
JP2002329377A JP2001124241A JP2001124241A JP2002329377A JP 2002329377 A JP2002329377 A JP 2002329377A JP 2001124241 A JP2001124241 A JP 2001124241A JP 2001124241 A JP2001124241 A JP 2001124241A JP 2002329377 A JP2002329377 A JP 2002329377A
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head
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Tamon Kasashima
多聞 笠島
Kazumasa Shiraishi
一雅 白石
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SAE Magnetics HK Ltd
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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 共振周波数を高めることができ、風乱特性を
向上させることができ、Ｚ方向への耐衝撃性を高めるこ
とができ、さらに、荷重の公差を小さくすることができ
しかも製造工程が簡易となるヘッド素子の微小位置決め
用アクチュエータを備えたＨＧＡを提供する。 【解決手段】 少なくとも１つのヘッド素子を有するヘ
ッドスライダと、ロードビームと、ロードビームに固着
されており、ヘッドスライダの浮上姿勢を決めるための
フレクシャと、フレクシャに支持されていると共にヘッ
ドスライダを固着支持しており、ヘッドスライダのヘッ
ド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータと、
アクチュエータに設けられておりヘッドスライダへの荷
重を調整するための荷重調整機構とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド素
子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用ア
クチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧ
Ａ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、ＨＧＡのサスペ
ンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダ
を、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状
態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘ
ッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気デ
ィスクからの再生が行われる。
【０００３】近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
【０００４】磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行う技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。
【０００５】このような微小位置決め用アクチュエータ
を備えたＨＧＡにおいては、サーボを高速動作させるた
めに、サスペンションの共振周波数を充分に高くするこ
とが要求される。
【０００６】一般に、磁気ヘッドスライダへの荷重は、
ロードビームのベースプレート近傍に曲げ部を形成して
調整している。即ち、サスペンションのロードビーム
に、磁気ヘッドスライダが装着される先端部が磁気ディ
スク方向に若干曲がるような曲げ部を形成し、その曲げ
部の折れ曲がり角度によって磁気ヘッドスライダへの荷
重を調整している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな曲げ部をロードビームに設けると、ロードビームと
曲げ部との複合された形状により、サスペンション全体
としての共振周波数が大きく低下してしまう。その結
果、サーボの使用する周波数帯域内にこの共振周波数が
含まれてしまうことからサーボを高速で動作させること
が難しかった。
【０００８】また、ロードビームにこのような曲げ部を
設けると、風乱の影響が無視できなくなる。即ち、磁気
ディスクの高速回転によって生じる横風の影響をこの曲
げ部が受けることによって、サスペンションに不規則な
振動が起きることがある。特に、最近のハイエンドＨＤ
Ｄのごとく、磁気ディスクが１０，０００〜１５，００
０ｒｐｍ以上の高速で回転する場合には、このような風
乱の影響が大きい。
【０００９】さらに、荷重を調整するための曲げ部の剛
性が弱くなっているため、上下方向（Ｚ方向）の衝撃に
よりサスペンションの先端部はかなり大きな衝撃を受け
ることとなり、ＨＧＡ全体としての耐衝撃性が非常に低
い。
【００１０】加えて、曲げ部の折れ曲がり角度によって
荷重を調整する従来の方法は、その製造工程が煩雑とな
るのみならず、精度の高い荷重調整を期待することがで
きない。特に、磁気ヘッドスライダが軽量となるにつれ
その荷重値も小さくなるので、そのばらつきが無視でき
なくなり、荷重公差が大きくなる。
【００１１】従って本発明の目的は、共振周波数を高め
ることができるヘッド素子の微小位置決め用アクチュエ
ータを備えたＨＧＡを提供することにある。
【００１２】本発明の他の目的は、風乱特性を向上させ
ることができるヘッド素子の微小位置決め用アクチュエ
ータを備えたＨＧＡを提供することにある。
【００１３】本発明のさらに他の目的は、Ｚ方向への耐
衝撃性を高めることができるヘッド素子の微小位置決め
用アクチュエータを備えたＨＧＡを提供することにあ
る。
【００１４】本発明のまたさらに他の目的は、荷重の公
差を小さくすることができしかも製造工程が簡易となる
ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータを備えたＨ
ＧＡを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと、ロー
ドビームと、ロードビームに固着されており、ヘッドス
ライダの浮上姿勢を決めるためのフレクシャと、フレク
シャに支持されていると共にヘッドスライダを固着支持
しており、ヘッドスライダのヘッド素子の微小位置決め
を行うためのアクチュエータと、アクチュエータに設け
られておりヘッドスライダへの荷重を調整するための荷
重調整機構とを備えたヘッド素子の微小位置決め用アク
チュエータを備えたＨＧＡが提供される。
【００１６】ヘッドスライダへの荷重を調整するための
荷重調整機構がアクチュエータに設けられている。この
ため、従来、ロードビームのベースプレートの近くに設
けられていた荷重調整用の曲げ部が不要となるから、ロ
ードビームを剛性の高い系のみで構成することが可能と
なり、サスペンション全体の共振周波数を高めることが
できる。その結果、サーボが使用する周波数帯域を広げ
ることができるので、高速のサーボ動作が期待できる。
また、最も広い面積で横風を受けるロードビームが荷重
調整用の曲げ部を持たないことにより、風乱の影響を最
小限に抑えることができる。さらに、荷重調整用の曲げ
部がないことにより、サスペンションの剛性を上げるこ
とが可能となり、Ｚ方向への耐衝撃性が大幅に向上す
る。さらにまた、曲げ部の曲げ角度で荷重調整しなくて
良いため、製造工程がその分簡略化できて製造コストが
低下するのみならず、高い精度で荷重調整できるので製
造における荷重の公差をより小さくすることができる。
【００１７】荷重調整機構が、ヘッドスライダへの荷重
点と同軸に形成されていることが好ましい。
【００１８】荷重点を構成する突起（ディンプル）がロ
ードビームに形成されていることが好ましい。
【００１９】荷重調整機構が、一端が自由端でありヘッ
ドスライダへの荷重を制御する板ばね部を備えているこ
とが好ましい。
【００２０】アクチュエータが、多層構造の板部材を用
いて構成されていることが好ましい。この場合、多層構
造の板部材が、第１の金属薄板層と、第１の金属薄板層
上に積層された樹脂層と、樹脂層上に積層された第２の
金属薄板層とを含んでおり、荷重調整機構の板ばね部が
第１又は第２の金属薄板層の一部からなることがより好
ましい。
【００２１】アクチュエータが、単層構造の金属板部材
を用いて構成されていることも好ましい。この場合、荷
重調整機構が、単層構造の金属板部材と、金属板部材上
に積層されたスペーサ部材とを含んでおり、板ばね部が
金属板部材の一部から構成されていることがより好まし
い。
【００２２】アクチュエータが、フレクシャと一体的に
形成されているか、又はフレクシャとは別個に形成され
ていても良い。
【００２３】ロードビームが、剛性の高い系のみから構
成されていることが好ましい。ロードビームが、ヘッド
スライダの荷重調整機能を有していないことが好まし
い。この場合、ロードビームが、１枚の板部材のみから
形成されていることがより好ましい。
【００２４】磁気ディスク装置への装着時に折り曲げ可
能なバックベント部を備えていることも好ましい。
【００２５】アクチュエータが、ヘッドスライダの側面
に略平行な多層構造の板部材又は単層構造の金属板部材
で形成されており駆動信号に従って先端部が多層構造の
板部材又は単層構造の金属板部材の平面と交差する方向
に変位する１対の可動アーム部と、ヘッドスライダの浮
上面と反対側の面に略平行な多層構造の板部材又は単層
構造の金属板部材で形成されており１対の可動アーム部
を先端部で互いに連結する連結部とを備えており、連結
部にヘッドスライダの反対側の面が固着されていること
も好ましい。
【００２６】１対の可動アーム部を先端部で互いに連結
する連結部が設けられており、この連結部にヘッドスラ
イダを固着するように構成されているため、ヘッドスラ
イダを充分な強度を持って固着することができ、しか
も、上下方向の耐衝撃性を大幅に向上することができ
る。さらに、異なる寸法のヘッドスライダについても容
易に装着することが可能となる。
【００２７】もちろん、可動アーム部が主に多層構造の
板部材又は単層構造の金属板部材で形成されているた
め、アクチュエータ全体の軽量化を図ることができ、そ
の結果、機械的振動周波数を高めることができる。ま
た、強度があり軽量である多層構造の板部材又は単層構
造の金属板部材を基材として用いることにより、特に衝
撃に弱い可動アーム部の耐衝撃性を大幅に向上させるこ
とができる。しかも、強度の高い多層構造の板部材又は
単層構造の金属板部材を用いることから、ＨＧＡへの組
み立て時の取り扱いが非常に容易になる。さらに、金属
板部材を用いれば、その形状や寸法等で設計上の自由度
が向上するので、充分なストロークを確保することが可
能となる。しかも、高精度に加工できる金属板部材を用
いることによって、アクチュエータ自体の寸法精度を大
幅に高めることが可能となる。
【００２８】また、駆動信号に従って多層構造の板部材
又は単層構造の金属板部材の平面と交差する方向に変位
する１対の可動アーム部間の連結部にヘッドスライダを
固着するように構成しているため、アクチュエータを設
けてもこの部分でＨＧＡの厚み（Ｚ−ｈｅｉｇｈｔ）が
増大するような不都合が生じない。このため、アクチュ
エータ装着によるディスク装置の寸法変更等は不要とな
る。また、可動アーム部間にヘッドスライダを設ける構
造としているため、変位を実際に与える可動アーム部の
先端部がヘッドスライダの先端まで伸ばせることとな
る。このため、ヘッドスライダの寸法が変った場合にも
微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供で
きるから必要十分なストロークを得ることができる。
【００２９】ヘッドスライダのアクチュエータの連結部
への固着が部分的固着であるため、雰囲気温度変化によ
って接着剤に変形が生じたとしても、ヘッドスライダの
ＡＢＳの形状変化（クラウン、キャンバーの発生）を防
止することができる。
【００３０】アクチュエータの連結部に平行な多層構造
の板部材又は単層構造の金属板部材で形成されておりフ
レクシャに固着又は一体化している基部を備えており、
１対の可動アーム部がこの基部から前方に伸長している
ことが好ましい。アクチュエータの可動アーム部及び連
結部のみならず、基部も多層構造の板部材又は単層構造
の金属板部材で形成することにより、さらなる軽量化及
び耐衝撃性向上が図れることのみならず、アクチュエー
タ自体の寸法精度を大幅に高めることが可能となる。
【００３１】アクチュエータの１対の可動アーム部、連
結部及び基部が、１枚の多層構造の板部材又は単層構造
の金属板部材を折り曲げてなるコの字形状又はＵ字形状
の断面構造を有していることも好ましい。１枚の多層構
造の板部材又は単層構造の金属板部材からの折り曲げ加
工により、アクチュエータの主部が形成されているた
め、製造が容易でありかつ強度が高いアクチュエータが
得られる。
【００３２】１対の可動アーム部の各々が、多層構造の
板部材又は単層構造の金属板部材によるアーム部材と、
アーム部材の面上に積層又は接着された圧電素子とを備
えていることも好ましい。この場合、圧電素子が、圧電
材料層及び電極層の多層構造又は単層構造であるかもし
れない。多層構造とすれば、低い駆動電圧で充分な変位
量を得ることができるのみならず、水平方向の耐衝撃性
が増大する。
【００３３】アクチュエータの連結部とヘッドスライダ
とが、接着剤によって固着されていることが好ましい。
【００３４】ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子であるこ
とも好ましい。
【００３５】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態として
ＨＧＡ全体を概略的に表す平面図であり、図２は図１の
実施形態のＨＧＡの側面図であり、図３は図１の実施形
態におけるアクチュエータの構造を示す斜視図であり、
図４は図３のＡ−Ａ線断面図であり、図５は図１の実施
形態におけるアクチュエータの圧電素子部分の構造を示
す断面図であり、図６は図１の本実施形態におけるアク
チュエータの動作を説明するためのＡ−Ａ線断面図であ
る。
【００３６】本実施形態は、荷重調整機構を設けたアク
チュエータをフレクシャとは別個に形成した後、固着し
た場合である。
【００３７】図１及び図２に示すように、ＨＧＡは、サ
スペンション１０の先端部に、荷重調整機構１２を備え
た精密位置決めを行うためのアクチュエータ１１を固着
して構成される。このアクチュエータ１１には、磁気ヘ
ッド素子を有する磁気ヘッドスライダ１３のＡＢＳとは
反対側の面が固着されている。ＨＧＡには、さらに、磁
気ヘッド素子及びアクチュエータへの図示しないリード
導体等の電気的配線が設けられている。
【００３８】サスペンション１０は、ベースプレート１
４と、このベースプレート１４に連結された１枚の金属
平板部材からなるロードビーム１５と、このロードビー
ム１５に固着支持されたフレクシャ１６とを含んでい
る。アクチュエータ１１は、このフレクシャ１６の先端
部に固着されている。
【００３９】ベースプレート１４は、比較的厚い例えば
ステンレススチール板等の金属板部材で形成されてお
り、その後端部には、図示しない駆動アームへの取り付
け孔１４ａが形成されている。
【００４０】ロードビーム１５は、比較的厚い例えばス
テンレススチール板等の１枚の平坦な金属板部材で形成
されており、曲げ部は存在しない。従ってロードビーム
１５は剛性の高い系のみで構成されている。ロードビー
ム１５とベースプレート１４とを独立した部品として形
成することなく、一体化された１つの部品として形成し
て良いことは明らかである。このロードビーム１５とベ
ースプレート１４との固着及びフレクシャ１６との固着
は、複数の溶接点によるピンポイント固着によってなさ
れている。ロードビーム１５には、荷重点であるディン
プル１５ａがその先端部に形成されている。
【００４１】フレクシャ１６は、磁気ヘッドスライダ１
３の姿勢を制御するに適切なスティフネスを有してお
り、本実施形態では、１枚の薄い例えばステンレススチ
ール板等の金属板部材を図示のようにＭ形状の平面形状
に加工して形成されている。本実施形態のように、フレ
クシャ１６とアクチュエータ１１とが別個に形成された
後、フレクシャ１６の先端部にアクチュエータ１１の後
端部（基部）が固着される構造では、アクチュエータ１
１を支える点が荷重点であるディンプル１５ａの横又は
先端側にないため、浮上が安定しない場合があるが、フ
レクシャ１６の形状を図１に示すようにＭ形状とするこ
とによって、支点をディンプル１５ａの横又は先端側に
位置させることができる。
【００４２】図３に示すように、荷重調整機構１２を備
えたアクチュエータ１１の主要部は、本実施形態では、
第１のステンレススチール薄板１７ａ、ポリイミド樹脂
等による樹脂層１７ｂ及び第２のステンレススチール薄
板１７ｃを順次積層して一体化してなる３層構造の１枚
の板部材を所定の層に及び所定のパターンにエッチング
した後、立体的に折り曲げて形成されている。
【００４３】即ち、エッチングして切り離した後の個々
のアクチュエータ部材を、図３及び図４にて上側の面が
フレクシャ１６への固着面となる帯板形状の基部３０及
び図３及び図４にて下側の面が磁気ヘッドスライダ１３
が固着される帯板形状の連結部３１の両側端より内側の
部分で略垂直に折り曲げ、基部３０及び連結部３１に対
して略垂直を保った状態で１対の可動アーム部３２及び
３３が互いに平行に前後に伸長するように形成してい
る。連結部３１の両側端より内側の部分で折り曲げられ
ているため、可動アーム部３２及び３３の各々はストリ
ップ形状を有する平板状態に形成されている。可動アー
ム部が低い駆動力で大きく変位するためには、可動アー
ム部全体がこのように平板状態に形成されていることが
非常に重要である。
【００４４】可動アーム部３２及び３３は磁気ヘッドス
ライダ１３の側面に平行となるように形成されており、
基部３０及び連結部３１は磁気ヘッドスライダ１３のＡ
ＢＳとは反対側の面に平行となるように形成されてい
る。
【００４５】基部３０からは、先端方向に向かって伸長
する矩形状の板ばね部が突出して形成されており、これ
が荷重調整機構１２を構成している。
【００４６】可動アーム部３２は、アーム部材３２ａ
と、アーム部材３２ａの外側の側面に形成された圧電素
子３２ｂと、図示が省略されている圧電素子用信号端子
電極及びグランド電極とから構成されている。可動アー
ム部３３も同様の構成である。なお、本実施形態では、
圧電素子、信号端子電極及びグランド電極がアーム部材
外側の側面に形成されているが、これらをアーム部材の
内側の側面に形成しても良い。内側に形成した方が治具
によってアクチュエータを把持する際にその掴む領域が
広くなるため好都合である。
【００４７】基部３０並びに１対のアーム部材は第１の
ステンレススチール薄板１７ａ、樹脂層１７ｂ及び第２
のステンレススチール薄板１７ｃからなる３層構造の板
部材で形成されており、荷重調整機構１２は第１のステ
ンレススチール薄板１７ａのみから形成されており、連
結部３１は第２のステンレススチール薄板１７ｃのみか
ら形成されている。
【００４８】各圧電素子は、図５に示すように、逆圧電
効果又は電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料層５０
と信号電極層５１とグランド電極層５２とが交互に積層
された多層構造となっている。信号電極層５１はＢチャ
ネル信号端子電極又はＡチャネル信号端子電極に接続さ
れており、グランド電極層５２はグランド端子に接続さ
れている。
【００４９】圧電・電歪材料層５０がＰＺＴ等のいわゆ
る圧電材料から構成されており、通常、変位性能向上の
ための分極処理が施されている。この分極処理による分
極方向は、圧電素子の積層方向である。電極層に電圧を
印加したときの電界の向きが分極方向と一致する場合、
両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧
電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）す
る。一方、電界の向きが分極方向と逆である場合、圧電
・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、
その面内方向では伸長（圧電横効果）する。
【００５０】各圧電素子に、収縮又は伸長を生じさせる
電圧を印加すると、各圧電素子部分がその都度収縮又は
伸長し、これによって可動アーム部３２及び３３の各々
は、Ｓ字状に撓みその先端部が横方向に直線的に揺動す
る。その結果、磁気ヘッドスライダ１３も同様に横方向
に直線的に揺動する。このように、角揺動ではなく、直
線揺動であるため、磁気ヘッド素子のより精度の高い位
置決めが可能となる。
【００５１】両圧電素子に、互いに逆の変位が生じるよ
うな電圧を同時に印加してもよい。即ち、一方の圧電素
子と他方の圧電素子とに、一方が伸長したとき他方が収
縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電
圧を同時に印加してもよい。このときの可動アーム部の
揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。
この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、
電圧を交互に印加する場合の約２倍となる。ただし、こ
の場合、揺動の一方の側では圧電素子を伸長させること
になり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。
このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行
う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれが
ある。従って、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電
圧を加えておき、このバイアス電圧に上述の交番電圧を
重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の
向きが分極の向きと逆になることがないようにする。こ
の場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位
置を中央とするものとなる。
【００５２】なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果ま
たは電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電
歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部
に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が
高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）
Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌ
ａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３］、チタン酸バリウム（ＢａＴ
ｉＯ３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。
【００５３】圧電素子の各々を圧電・電歪材料層と信号
電極層とグランド電極層との単層構造とすることも可能
である。
【００５４】アクチュエータの連結部３１には、磁気ヘ
ッドスライダ１３のＡＢＳとは反対側の面が例えば樹脂
系の接着剤により接着される。連結部３１に磁気ヘッド
スライダ１３を固着するように構成されているため、磁
気ヘッドスライダ１３を充分な強度を持って接着固定す
ることができ、しかも、上下方向の耐衝撃性を大幅に向
上することができる。さらに、異なる幅を有する磁気ヘ
ッドスライダについても容易に装着することが可能とな
る。
【００５５】磁気ヘッドスライダ１３の連結部３１への
固着が部分的固着であるため、雰囲気温度変化によって
接着剤に変形が生じたとしても、磁気ヘッドスライダ１
３のＡＢＳの形状変化（クラウン、キャンバーの発生）
を防止することができる。さらにまた、磁気ヘッドスラ
イダ１３の側面にも接着剤が回り込むようにすれば、接
着強度をより高めることができる。接着剤として導電性
接着剤を用いれば、磁気ヘッドスライダ１３のボディー
をアクチュエータを介して容易に接地することができ
る。
【００５６】アクチュエータ１１の基部３０は、接着剤
によってフレクシャ１６の先端部に接着固定されてい
る。
【００５７】アクチュエータ１１の高さは、アクチュエ
ータ実装によりＨＧＡの高さ（厚さ）を増大させないよ
うに、磁気ヘッドスライダの厚さ以下に設定されてい
る。逆にいえば、アクチュエータ１１の高さを磁気ヘッ
ドスライダの厚さまで大きくすることによって、ＨＧＡ
の厚さを増大させることなくアクチュエータ自体の強度
を上げることができる。
【００５８】本実施形態におけるアクチュエータ１１
は、基部３０、連結部３１並びに可動アーム部３２及び
３３の主要部、さらに荷重調整機構１２が３層構造の板
部材で形成されているため、アクチュエータ全体の軽量
化を図ることができ、その結果、機械的振動周波数を高
めることができる。また、強度があり軽量である３層構
造の板部材を基材として用いることにより、特に衝撃に
弱い可動アーム部３２及び３３の耐衝撃性を大幅に向上
させることができる。
【００５９】しかも、強度の高い３層構造の板部材を用
いることから、ＨＧＡへの組み立て時の取り扱いが非常
に容易になる。さらに、３層構造の板部材を用いれば、
その形状や寸法等で設計上の自由度が向上するので、充
分なストロークを確保することが可能となる。また、ア
クチュエータ形状や寸法等の設計上の自由度が増すこと
によって、アクチュエータ１１の中心位置に磁気ヘッド
スライダ１３の中心及び荷重点（ディンプル位置）を合
わせることが可能となり、その結果、磁気ヘッドスライ
ダ１３の浮上特性が著しく安定化する。さらにまた、高
精度に加工できる金属板を用いることによって、アクチ
ュエータ１１自体の寸法精度を大幅に高めることが可能
となる。
【００６０】加えて、可動アーム部３２及び３３間に磁
気ヘッドスライダ１３を設けているため、アクチュエー
タ１１を設けてもその部分でＨＧＡの厚みが増大しな
い。このため、アクチュエータ装着による磁気ディスク
装置の寸法変更等は不要となる。
【００６１】しかも、可動アーム部３２及び３３間に磁
気ヘッドスライダ１３を設ける構造としているため、変
位を実際に与える可動アーム部３２及び３３の先端部が
磁気ヘッドスライダ１３の先端まで伸ばせることとな
る。このため、磁気ヘッドスライダ１３の寸法が変った
場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさのストローク
を提供できるから必要十分なストロークを得ることがで
きる。
【００６２】前述したように、荷重調整機構１２である
板ばね部は、アクチュエータ１１の一部として、基部３
０から突出する第１のステンレススチール薄板１７ａの
みの１層構造で構成されており、弾性を有している。
【００６３】図６に示すように、この板ばね部１２は荷
重点であるディンプル１５ａと同軸に位置するように構
成されており、ディンプル１５ａが弾性を有する板ばね
部１２を押圧することによって、この板ばね部１２が湾
曲して反撥し、両者の釣合ったところで磁気ヘッドスラ
イダ１３への荷重が定まる。
【００６４】このように、本実施形態では、ディンプル
１５ａの直下に設けられた板ばね部１２に荷重調整機能
を提供している。即ち、この板ばね部１２の幅、厚み及
び長さ等を調整し、与えられたＺ−ｈｅｉｇｈｔに対し
て規定の荷重値が得られるようにする。その際、板ばね
部１２が荷重を受けて湾曲するため、その先端部が磁気
ヘッドスライダ１３に当接しないようにギャップＧを設
ける必要がある。本実施形態では、このギャップＧは、
樹脂層１７ｂ及び第２のステンレススチール薄板１７ｃ
の厚みで形成している。
【００６５】このような構成のアクチュエータ１１及び
荷重調整機構１２を製造するには、３層シートを両面側
からエッチングし、第１のステンレススチール薄板１７
ａの一部領域及び第２のステンレススチール薄板１７ｃ
の一部領域をそれらの全ての厚みに渡って選択的に同時
に除去する。
【００６６】ステンレススチールのこのエッチングに
は、ＦｅＣｌ３（塩化第二鉄）等の酸が用いられる。こ
れら酸は、ステンレススチール薄板のみを選択的にエッ
チングし、ポリイミドには全く作用しない。従って、ポ
リイミド樹脂層１７ｂがストップ層となり、その部分の
第１のステンレススチール薄板１７ａ及び第２のステン
レススチール薄板１７ｃは全厚に渡って完全に除去され
る。このため、エッチング深さは常に一定に制御可能と
なる。
【００６７】一方、ポリイミド樹脂層１７ｂのエッチン
グは、ＫＯＨ（水酸化カリウム）等のアルカリを用いた
ウェットエッチングによるか、又はＯ２プラズマ若しく
はＣＦ４プラズマ等によるドライエッチングによる。こ
のようなエッチングによると、ポリイミドのみが選択的
にエッチングされ、ステンレススチールは全く削られな
い。従って、第１のステンレススチール薄板１７ａ又は
第２のステンレススチール薄板１７ｃがストップ層とな
り、その部分のポリイミド樹脂層１７ｂのみが除去され
る。
【００６８】アクチュエータ１１の圧電素子への電気的
配線及び磁気ヘッドスライダ１３の磁気ヘッド素子への
電気的配線は、フレクシャ１６上に複数のリード導体を
含む可撓性のトレースを直接的に積層形成して良いし、
このようなリード導体があらかじめ形成されている可撓
性のトレースシートをフレクシャ１６に貼り付けること
によって構成しても良い。
【００６９】上述したように、本実施形態によれば、ロ
ードビーム１５が荷重用の曲げ部を持たず、Ｚ−ｈｅｉ
ｇｈｔを維持するためだけの剛性の高い平坦な板部材で
構成される。従って、従来のように剛性の低い曲げ部の
共振特性の影響を全く受けないから、サスペンションの
共振特性のうち、ロードビームのスウェイモード（サス
ペンションの横方向に揺動するモード）、トーションモ
ード（サスペンションの縦軸を中心に回動する方向のモ
ード）及びベンディングモード（サスペンションの上下
方向に振動するモード）の全てについて共振周波数を高
めることができる。その結果、サーボの高速シーク動作
が可能となる。
【００７０】また、ロードビーム１５が荷重用の曲げ部
を持たないので、最も広い面積で横風を受けるロードビ
ームに対して高い剛性を与えることができ、非常に高回
転の磁気ディスク面が与える風による非線形的な動きを
最小限に抑えることができる。
【００７１】ロードビーム１５が剛性の弱い荷重用の曲
げ部を持たず全体として高い剛性を有しているため、Ｚ
方向への衝撃が印加されてもＨＧＡ先端部の上下方向へ
の曲がりを非常に小さく抑えることができ、従って耐衝
撃性が大幅に向上する。その結果、現在のＨＧＡにおい
て採用されている種々の衝撃対策機構、例えばフレクシ
ャの運動量を制限するリミッタ機構や、非動作時にＨＧ
Ａを磁気ディスク表面から離しておくためのランプロー
ディング機構を省略することができ、部品点数が削減で
きるので製造コストを低減化することができる。
【００７２】荷重値は、Ｚ−ｈｅｉｇｈｔと荷重調整機
構１２である板ばね部の形状及び寸法とによって決定さ
れる。この板ばね部１２は、従来の曲げ部のような折り
曲げ工程を行うことなくフォトプロセスで形成可能であ
るため、ばらつきのない高い精度で荷重値を設定可能で
ある。従って、磁気ヘッドスライダが小型かつ軽量化さ
れて荷重値のノミナル値が低下した場合にも高い精度か
つ小さな公差で所望の荷重値を実現可能となる。
【００７３】ロードビーム１５が１枚の板部材で構成さ
れているため、部品点数が少なくなり、また、溶接など
の固着個所が少ないので製造工程が簡略化されると共に
歩留りが向上する。しかも、荷重用の曲げ部の折り曲げ
量を厳密に調整する必要がなくなることからも、製造工
程が簡略化されると共に歩留りが向上し、製造コストも
低減化する。
【００７４】さらに、本実施形態のサスペンションは、
ロードビームと荷重部との構造が単純であるため、シュ
ミレーションによる特性の推測が非常に容易にかつ精度
良く行えるという利点をも有している。
【００７５】なお、本実施形態では、アクチュエータ１
１を３層構造の板部材で構成しているが、４層以上の多
層構造であっても良いことは明らかである。また、アク
チュエータ１１の可動アーム部が３層構造となっている
が、要求される特性に応じて１層又は２層であっても良
い。４層以上の多層構造でアクチュエータを構成する場
合、この可動アーム部も要求される特性に応じて４層以
上の層構成となり得る。さらに、アクチュエータ１１の
荷重調整機構１２が１層構造となっているが、要求され
る特性に応じて２層以上であっても良い。
【００７６】図７は、本発明の他の実施形態におけるア
クチュエータの構造を示すＡ−Ａ線断面に対応する断面
図である。
【００７７】本実施形態は、荷重調整機構を設けたアク
チュエータとフレクシャとを一体的に形成した場合であ
る。
【００７８】即ち、本実施形態においては、アクチュエ
ータ１１の荷重調整機構１２とフレクシャ１６とが３層
構造の板部材における第１のステンレススチール薄板１
７ａによって形成されている。本実施形態におけるそれ
以外の構成は、図１の実施形態の場合と全く同様である
ため、説明を省略する。また、この実施形態において、
図１の実施形態と同様の構成要素については同じ参照番
号を用いている。
【００７９】このように、アクチュエータとフレクシャ
とを一体的に形成することにより、アクチュエータとフ
レクシャとの固着工程が不要となり、その分、製造工程
が簡素化し製造コストが低減化する。また、固着強度を
全く考慮しないで良いと共にＨＧＡとしての製品の信頼
性も向上する。
【００８０】本実施形態における変更態様及びその他の
作用効果等は、図１の実施形態の場合と同様である。
【００８１】図８は、本発明のさらに他の実施形態にお
けるアクチュエータの構造を示すＡ−Ａ線断面に対応す
る断面図である。
【００８２】本実施形態も、荷重調整機構を設けたアク
チュエータとフレクシャとを一体的に形成した場合であ
る。
【００８３】ただし、本実施形態においては、アクチュ
エータ１１の荷重調整機構１２が３層構造の板部材にお
ける第１のステンレススチール薄板１７ａによって形成
されており、フレクシャ１６が３層構造の板部材におけ
る第２のステンレススチール薄板１７ｃによって形成さ
れている。本実施形態におけるそれ以外の構成は、図１
の実施形態の場合と全く同様であるため、説明を省略す
る。また、この実施形態において、図１の実施形態と同
様の構成要素については同じ参照番号を用いている。
【００８４】このように、アクチュエータとフレクシャ
とを一体的に形成することにより、アクチュエータとフ
レクシャとの固着工程が不要となり、その分、製造工程
が簡素化し製造コストが低減化する。また、固着強度を
全く考慮しないで良いと共にＨＧＡとしての製品の信頼
性も向上する。
【００８５】本実施形態における変更態様及びその他の
作用効果等は、図１の実施形態の場合と同様である。
【００８６】図９は、本発明のまたさらに他の実施形態
におけるアクチュエータの構造を示すＡ−Ａ線断面に対
応する断面図である。
【００８７】本実施形態も、荷重調整機構を設けたアク
チュエータとフレクシャとを一体的に形成した場合であ
る。
【００８８】ただし、本実施形態においては、荷重調整
機構１２を備えたアクチュエータ１１とフレクシャ１６
とが、単層構造の金属板部材、例えばステンレススチー
ル板部材によって形成されており、アクチュエータ１１
の連結部３１と磁気ヘッドスライダ１３との間にスペー
サ９８が挿入されている。本実施形態におけるそれ以外
の構成は、図１の実施形態の場合と全く同様であるた
め、説明を省略する。また、この実施形態において、図
１の実施形態と同様の構成要素については同じ参照番号
を用いている。
【００８９】荷重調整機構１２が荷重を受けて湾曲する
ため、その先端部が磁気ヘッドスライダ１３に当接しな
いようにギャップＧを設ける必要があるが、本実施形態
では、このギャップＧをスペーサ９８の厚みで形成して
いる。
【００９０】アクチュエータとフレクシャとを一体的に
形成することにより、アクチュエータとフレクシャとの
固着工程が不要となり、その分、製造工程が簡素化し製
造コストが低減化する。また、固着強度を全く考慮しな
いで良いと共にＨＧＡとしての製品の信頼性も向上す
る。
【００９１】本実施形態における変更態様及びその他の
作用効果等は、図１の実施形態の場合と同様である。
【００９２】図１０は、本発明のさらに他の実施形態に
おけるアクチュエータの構造を示すＡ−Ａ線断面に対応
する断面図である。
【００９３】本実施形態も、荷重調整機構を設けたアク
チュエータとフレクシャとを一体的に形成した場合であ
る。
【００９４】ただし、本実施形態においては、アクチュ
エータ１１の荷重調整機構１２が３層構造の板部材にお
ける第１のステンレススチール薄板１７ａによって形成
されており、フレクシャ１６が３層構造の板部材におけ
る第２のステンレススチール薄板１７ｃによって形成さ
れている。さらに、本実施形態では、アクチュエータ１
１の連結部３１と磁気ヘッドスライダ１３との間にスペ
ーサ９８が挿入されている。本実施形態におけるそれ以
外の構成は、図１の実施形態の場合と全く同様であるた
め、説明を省略する。また、この実施形態において、図
１の実施形態と同様の構成要素については同じ参照番号
を用いている。
【００９５】このように、スペーサ９８を設けることに
より、ギャップＧ´が、樹脂層１７ｂ及び第２のステン
レススチール薄板１７ｃの厚みとスペーサ９８の厚みと
で形成されることとなり、より大きくなる。
【００９６】アクチュエータとフレクシャとを一体的に
形成することにより、アクチュエータとフレクシャとの
固着工程が不要となり、その分、製造工程が簡素化し製
造コストが低減化する。また、固着強度を全く考慮しな
いで良いと共にＨＧＡとしての製品の信頼性も向上す
る。
【００９７】本実施形態における変更態様及びその他の
作用効果等は、図１の実施形態の場合と同様である。
【００９８】図１１は本発明のまたさらに他の実施形態
としてＨＧＡ全体を概略的に示す平面図であり、図１２
は図１１の実施形態におけるＨＧＡの種々の変更態様を
示す側面図である。
【００９９】ＨＧＡにＨＤＤへの装着時のバックベント
機能を持たせるには、ロードビームの幅を一部で狭くし
ても良いが、図１１に示すように、ロードビーム１１５
とベースプレート１１４とを弾性を有する連結部材１１
９で連結するようにしても良い。
【０１００】即ち、図１１に示すように、サスペンショ
ン１１０を、ベースプレート１１４と、１枚の平板部材
からなるロードビーム１１５と、このロードビーム１１
５の後端部をベースプレート１１４に結合する弾性を有
する連結部材１１９と、ロードビーム１１５に固着支持
されたフレクシャ１１６と、このフレクシャ１１６と一
体的に形成されており荷重調整機構１１２を備えたアク
チュエータ１１１とから構成し、このアクチュエータ１
１１上に少なくとも１つの磁気ヘッド素子を備えた磁気
ヘッドスライダ１１３を固着し、図示しないリード導体
の電気的接続を行うことによってＨＧＡを形成しても良
い。
【０１０１】連結部材１１９は、ＨＤＤへの装着時のバ
ックベント機能をＨＧＡに持たせるために設けられてい
るが、従来の荷重調整用の曲げ部よりはるかに大きな剛
性を有しており、また、ロードビーム１１５には荷重調
整用の曲げ部は存在しない。従って、ＨＧＡをＨＤＤへ
組み込む際にバックベントしたとしても、その組み込み
工程の前後で、荷重値の変化は生じない。
【０１０２】ベースプレート１１４及び連結部材１１９
を除くその他の構成、変更態様及び作用効果等は、前述
した実施形態の場合と同様である。
【０１０３】連結部材１１９によるベースプレート１１
４及びロードビーム１１５の接続態様は、種々のものが
考えられ、そのいくつかの例が図１２の（Ａ）〜（Ｄ）
に示されている。これらの構造は図より明らかであるた
め、説明は省略する。
【０１０４】本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの
構造は、以上述べた構造に限定されるものではないこと
は明らかである。なお、図示されていないが、サスペン
ションの途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着してもよ
い。
【０１０５】以上、薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決め
用アクチュエータを備えたＨＧＡについて本発明を説明
したが、本発明は、このようなＨＧＡにのみ限定される
ものではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッ
ド素子等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ
を備えたＨＧＡにも適用可能である。
【０１０６】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【０１０７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、ヘッドスライダへの荷重を調整するための荷重調整
機構がアクチュエータに設けられている。このため、従
来、ロードビームのベースプレートの近くに設けられて
いた荷重調整用の曲げ部が不要となるから、ロードビー
ムを剛性の高い系のみで構成することが可能となり、サ
スペンション全体の共振周波数を高めることができる。
その結果、サーボが使用する周波数帯域を広げることが
できるので、高速のサーボ動作が期待できる。また、最
も広い面積で横風を受けるロードビームが荷重調整用の
曲げ部を持たないことにより、風乱の影響を最小限に抑
えることができる。さらに、荷重調整用の曲げ部がない
ことにより、サスペンションの剛性を上げることが可能
となり、Ｚ方向への耐衝撃性が大幅に向上する。さらに
また、曲げ部の曲げ角度で荷重調整しなくて良いため、
製造工程がその分簡略化できて製造コストが低下するの
みならず、高い精度で荷重調整できるので製造における
荷重の公差をより小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態としてＨＧＡ全体を概略的
に示す平面図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡの側面図であ
る。
【図３】図１の実施形態におけるアクチュエータの構造
を示す斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図１の実施形態におけるアクチュエータの圧電
素子部分の構造を示す断面図である。
【図６】図１の本実施形態におけるアクチュエータの動
作を説明するためのＡ−Ａ線断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態におけるアクチュエータ
の構造を示すＡ−Ａ線断面に対応する断面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチュ
エータの構造を示すＡ−Ａ線断面に対応する断面図であ
る。
【図９】本発明のまたさらに他の実施形態におけるアク
チュエータの構造を示すＡ−Ａ線断面に対応する断面図
である。
【図１０】本発明のさらに他の実施形態におけるアクチ
ュエータの構造を示すＡ−Ａ線断面に対応する断面図で
ある。
【図１１】本発明のまたさらに他の実施形態としてＨＧ
Ａ全体を概略的に示す平面図である。
【図１２】図１１の実施形態におけるＨＧＡの種々の変
更態様を示す側面図である。
【符号の説明】
１０、１１０ サスペンション １１、１１´、１１１ アクチュエータ １２、１１２ 荷重調整機構 １３、１３´、１１３ 磁気ヘッドスライダ １４、１１４ ベースプレート １４ａ 取り付け部 １５、１１５ ロードビーム １５ａ ディンプル １６、１６´、１１６ フレクシャ １７ａ 第１のステンレススチール薄板 １７ｂ 第１の樹脂層 １７ｃ 第２のステンレススチール薄板 ３０ 基部 ３１ 連結部 ３２、３３ 可動アーム部 ３２ａ アーム部材 ３２ｂ 圧電素子 ５０ 圧電・電歪材料層 ５１ 信号電極層 ５２ グランド電極層 ９８ スペーサ １１９ 連結部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA13 CA23 DA11 EA01 5D096 NN03

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも１つのヘッド素子を有するヘ
    ッドスライダと、ロードビームと、該ロードビームに固
    着されており、前記ヘッドスライダの浮上姿勢を決める
    ためのフレクシャと、該フレクシャに支持されていると
    共に前記ヘッドスライダを固着支持しており、該ヘッド
    スライダの前記ヘッド素子の微小位置決めを行うための
    アクチュエータと、前記アクチュエータに設けられてお
    り前記ヘッドスライダへの荷重を調整するための荷重調
    整機構とを備えたことを特徴とするヘッド素子の微小位
    置決め用アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセン
    ブリ。
  2. 【請求項２】 前記荷重調整機構が、前記ヘッドスライ
    ダへの荷重点と同軸に形成されていることを特徴とする
    請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
  3. 【請求項３】 前記荷重点を構成する突起が前記ロード
    ビームに形成されていることを特徴とする請求項２に記
    載のヘッドジンバルアセンブリ。
  4. 【請求項４】 前記荷重調整機構が、一端が自由端であ
    り前記ヘッドスライダへの荷重を制御する板ばね部を備
    えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１
    項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
  5. 【請求項５】 前記アクチュエータが、多層構造の板部
    材を用いて構成されていることを特徴とする請求項１か
    ら４のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブ
    リ。
  6. 【請求項６】 前記多層構造の板部材が、第１の金属薄
    板層と、該第１の金属薄板層上に積層された樹脂層と、
    該樹脂層上に積層された第２の金属薄板層とを含んでお
    り、前記荷重調整機構の前記板ばね部が前記第１又は第
    ２の金属薄板層の一部からなることを特徴とする請求項
    ５に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
  7. 【請求項７】 前記アクチュエータが、単層構造の金属
    板部材を用いて構成されていることを特徴とする請求項
    １から４のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセン
    ブリ。
  8. 【請求項８】 前記荷重調整機構が、該単層構造の金属
    板部材と、該金属板部材上に積層されたスペーサ部材と
    を含んでおり、前記板ばね部が前記金属板部材の一部か
    ら構成されていることを特徴とする請求項７に記載のヘ
    ッドジンバルアセンブリ。
  9. 【請求項９】 前記アクチュエータが、前記フレクシャ
    と一体的に形成されていることを特徴とする請求項１か
    ら８のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブ
    リ。
  10. 【請求項１０】 前記アクチュエータが、前記フレクシ
    ャとは別個に形成されていることを特徴とする請求項１
    から８のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブ
    リ。
  11. 【請求項１１】 前記ロードビームが、剛性の高い系の
    みから構成されていることを特徴とする請求項１から１
    ０のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
  12. 【請求項１２】 前記ロードビームが、前記ヘッドスラ
    イダの荷重調整機能を有していないことを特徴とする請
    求項１から１１のいずれか１項に記載のヘッドジンバル
    アセンブリ。
  13. 【請求項１３】 前記ロードビームが、１枚の板部材の
    みから形成されていることを特徴とする請求項１１又は
    １２に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
  14. 【請求項１４】 磁気ディスク装置への装着時に折り曲
    げ可能なバックベント部を備えたことを特徴とする請求
    項１から１０のいずれか１項に記載のヘッドジンバルア
    センブリ。
  15. 【請求項１５】 前記アクチュエータが、前記ヘッドス
    ライダの側面に略平行な多層構造の板部材又は単層構造
    の金属板部材で形成されており駆動信号に従って先端部
    が該多層構造の板部材又は単層構造の金属板部材の平面
    と交差する方向に変位する１対の可動アーム部と、前記
    ヘッドスライダの浮上面と反対側の面に略平行な多層構
    造の板部材又は単層構造の金属板部材で形成されており
    前記１対の可動アーム部を先端部で互いに連結する連結
    部とを備えており、該連結部に前記ヘッドスライダの前
    記反対側の面が固着されていることを特徴とする請求項
    １から１４のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセ
    ンブリ。
  16. 【請求項１６】 前記アクチュエータが、前記連結部に
    平行な多層構造の板部材又は単層構造の金属板部材で形
    成されており前記フレクシャに固着又は一体化している
    基部を備えており、前記１対の可動アーム部が該基部か
    ら前方に伸長していることを特徴とする請求項１５に記
    載のヘッドジンバルアセンブリ。
  17. 【請求項１７】 前記アクチュエータの前記１対の可動
    アーム部、前記連結部及び前記基部が、１枚の多層構造
    の板部材又は単層構造の金属板部材を折り曲げてなるコ
    の字形状又はＵ字形状の断面構造を有していることを特
    徴とする請求項１５又は１６に記載のヘッドジンバルア
    センブリ。
  18. 【請求項１８】 前記１対の可動アーム部の各々が、多
    層構造の板部材又は単層構造の金属板部材によるアーム
    部材と、該アーム部材の面上に積層又は接着された圧電
    素子とを備えていることを特徴とする請求項１５から１
    ７のいずれか１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
  19. 【請求項１９】 前記圧電素子が、圧電材料層及び電極
    層の多層構造であることを特徴とする請求項１８に記載
    のヘッドジンバルアセンブリ。
  20. 【請求項２０】 前記圧電素子が、圧電材料層及び電極
    層の単層構造であることを特徴とする請求項１８に記載
    のヘッドジンバルアセンブリ。
  21. 【請求項２１】 前記アクチュエータの前記連結部と前
    記ヘッドスライダとが、接着剤によって固着されている
    ことを特徴とする請求項１５から２０のいずれか１項に
    記載のヘッドジンバルアセンブリ。
  22. 【請求項２２】 前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子
    であることを特徴とする請求項１から２１のいずれか１
    項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7345406B2 (en) * 2001-01-18 2008-03-18 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive device
JP2002329378A (ja) * 2001-04-23 2002-11-15 Shinka Jitsugyo Kk サスペンション及び該サスペンションを備えたヘッドジンバルアセンブリ
US6930860B1 (en) 2002-02-12 2005-08-16 Maxtor Corporation Micro-flexure suspension including piezoelectric elements for secondary actuation
US7280315B1 (en) * 2003-10-24 2007-10-09 Maxtor Corporation Passive compensation for pole tip protrusion by slider bending
US7218482B2 (en) * 2004-01-26 2007-05-15 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Micro-actuator, head gimbal assembly and manufacturing method thereof
WO2005078708A1 (en) * 2004-02-05 2005-08-25 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Microactuator, head gimbal assembly and magnetic disk drive
JP4146811B2 (ja) * 2004-03-03 2008-09-10 Ｔｄｋ株式会社 サスペンション、及びハードディスク装置
US7463453B2 (en) * 2004-08-03 2008-12-09 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Head arm assembly, head stack assembly and disk drive unit using the same
US7433159B2 (en) * 2005-01-27 2008-10-07 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Micro-actuator unit, head gimbal assembly, and disk drive unit with vibration canceller
US8134803B2 (en) * 2005-10-14 2012-03-13 Seagate Technology, Llc Suspension tongue design for varying the static pitch and roll torque on the slider of a disk drive
US7554772B2 (en) * 2006-04-24 2009-06-30 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Head gimbal assembly having an independent spacer therein and disk drive unit with the same
US7974045B2 (en) * 2006-06-29 2011-07-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus and method for a piezoelectric micro-actuator for a hard disk drive
US7660079B2 (en) * 2006-07-31 2010-02-09 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Method and system of using a step plate mechanically formed in a disk drive suspension flexure to mount a micro-actuator to the flexure
JP6352791B2 (ja) 2014-12-11 2018-07-04 Ckd株式会社 コイル用シート、コイル、及びコイルの製造方法
JP6247629B2 (ja) * 2014-12-11 2017-12-13 Ckd株式会社 コイル用シートの製造方法、及びコイルの製造方法
US11315592B1 (en) 2021-02-10 2022-04-26 Seagate Technology Llc Adjusting HGA z-height via HSA elevator using head/actuator feedback
US11875830B2 (en) 2021-02-10 2024-01-16 Seagate Technology Llc Adjusting HGA z-height via HSA elevator using head/actuator feedback
US11900965B2 (en) 2022-02-14 2024-02-13 Seagate Technology Llc Z-height control for disc drive using servo wedge timing

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE38340E1 (en) * 1996-11-04 2003-12-02 Seagate Technology Llc Multi-point bending of bars during fabrication of magnetic recording heads
US5856896A (en) * 1996-12-04 1999-01-05 Seagate Technology, Inc. Gimbal suspension for supporting a head in a disc drive assembly
US6078473A (en) * 1998-05-13 2000-06-20 Seagate Technology, Inc. Gimbal flexure for use with microactuator
US6297936B1 (en) * 1998-11-09 2001-10-02 Seagate Technology Llc Integral load beam push-pull microactuator
US6381104B1 (en) * 1998-11-13 2002-04-30 Tdk Corporation Write/read head supporting mechanism, and write/read system
US6549375B1 (en) * 1999-01-29 2003-04-15 Seagate Technology Llc Suspension gimbal with reduced pitch stiffness, compliant preloading bridge and unloading limiters
US6359757B1 (en) * 1999-06-02 2002-03-19 Maxtor Corporation Electrostatic actuator
JP2001211668A (ja) * 2000-01-27 2001-08-03 Tdk Corp 微小位置決めアクチュエータ、薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータ及び該アクチュエータを備えたヘッドサスペンションアセンブリ
SG147277A1 (en) * 2000-02-01 2008-11-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator
US6493192B2 (en) * 2000-06-22 2002-12-10 Seagate Technology Llc Disc drive with improved head pitch adjustment
US6618220B2 (en) * 2000-07-04 2003-09-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head actuator and hard disc drive including the same
WO2002043063A1 (en) * 2000-11-23 2002-05-30 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Rotary piezoelectric microactuator with an optimum suspension arrangement
WO2002077994A1 (fr) * 2001-03-23 2002-10-03 Tdk Corporation Actionneur pour positionner precisement un element de tete et dispositif de tete equipe de cet actionneur
JP2002298526A (ja) * 2001-04-02 2002-10-11 Shinka Jitsugyo Kk ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ、該アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリの製造方法

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