JP2010123931A - Soi基板及びその作製方法 - Google Patents
Soi基板及びその作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010123931A JP2010123931A JP2009243099A JP2009243099A JP2010123931A JP 2010123931 A JP2010123931 A JP 2010123931A JP 2009243099 A JP2009243099 A JP 2009243099A JP 2009243099 A JP2009243099 A JP 2009243099A JP 2010123931 A JP2010123931 A JP 2010123931A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- substrate
- semiconductor layer
- crystal semiconductor
- nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 357
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 98
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 418
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 318
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 301
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 145
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 144
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 144
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 144
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 81
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 81
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 379
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 126
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 54
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 54
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 52
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 50
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 31
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 27
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 19
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 17
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 8
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 7
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 85
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 169
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 50
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 47
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 44
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 32
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 31
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 24
- 230000001976 improved effect Effects 0.000 description 23
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 description 20
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 15
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 15
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 15
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 13
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 13
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 12
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 12
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 11
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 11
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 5
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 5
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 5
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 4
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 4
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001678 elastic recoil detection analysis Methods 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 4
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 238000010913 antigen-directed enzyme pro-drug therapy Methods 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000005001 rutherford backscattering spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102100040844 Dual specificity protein kinase CLK2 Human genes 0.000 description 2
- 101000749291 Homo sapiens Dual specificity protein kinase CLK2 Proteins 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005407 aluminoborosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100040862 Dual specificity protein kinase CLK1 Human genes 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000749294 Homo sapiens Dual specificity protein kinase CLK1 Proteins 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N Hydrogen atom Chemical compound [H] YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004286 SiNxOy Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXSJNBRAMXILSE-UHFFFAOYSA-N [Si].[P].[B] Chemical compound [Si].[P].[B] MXSJNBRAMXILSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 229910052800 carbon group element Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 1
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
- H01L21/76251—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using bonding techniques
- H01L21/76254—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using bonding techniques with separation/delamination along an ion implanted layer, e.g. Smart-cut, Unibond
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/20—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】単結晶半導体基板に加速された水素イオンを照射することにより、単結晶半導体基板の表面から所定の深さの領域に脆化領域を形成し、単結晶半導体基板とベース基板とを絶縁層を介して貼り合わせ、単結晶半導体基板を加熱し、脆化領域を境として分離することにより、ベース基板上に絶縁層を介して半導体層を形成し、半導体層の表面にレーザー光を照射して半導体層の少なくとも表層部を溶融させる際に窒素、酸素、又は炭素の少なくともいずれか一を半導体層に固溶する。
【選択図】図1
Description
本実施の形態では、SOI基板の作製方法の一例に関して図面を参照して説明する。具体的には、スマートカット法を用いてベース基板上に絶縁層を介して単結晶半導体層を形成し、当該単結晶半導体層の結晶性を回復する工程に関して説明する。
本実施の形態では、単結晶半導体基板100とベース基板120との貼り合わせに関して図面を参照して詳細に説明する。
O2+hν(λ1nm)→O(3P)+O(3P) ・・・ (1)
O(3P)+O2→O3 ・・・ (2)
O3+hν(λ2nm)→O(1D)+O2 ・・・ (3)
O2+hν(λ3nm)→O(1D)+O(3P) ・・・ (4)
O(3P)+O2→O3 ・・・ (5)
O3+hν(λ3nm)→O(1D)+O2 ・・・ (6)
本実施の形態では、ベース基板上に設けられた単結晶半導体層にレーザー光を照射する装置(レーザー照射装置)に関して図3を参照して説明する。
本実施の形態では、上記実施の形態で作製したSOI基板を用いて、半導体装置を作製する方法を説明する。
102 絶縁層
103 イオン
104 脆化領域
120 ベース基板
121 窒素含有層
124 単結晶半導体層
130 レーザー光
132 酸化膜
251 半導体層
252 半導体層
254 絶縁膜
255 ゲート電極
256 ゲート電極
257 低濃度不純物領域
258 チャネル形成領域
259 高濃度不純物領域
260 チャネル形成領域
261 サイドウォール絶縁膜
265 レジスト
267 高濃度不純物領域
268 絶縁膜
269 層間絶縁膜
270 配線
320 単結晶半導体層
322 走査線
323 信号線
324 画素電極
325 TFT
327 層間絶縁膜
328 電極
329 柱状スペーサ
330 配向膜
332 対向基板
333 対向電極
334 配向膜
335 液晶層
340 チャネル形成領域
341 高濃度不純物領域
401 選択用トランジスタ
402 表示制御用トランジスタ
403 半導体層
404 半導体層
405 走査線
406 信号線
407 電流供給線
408 画素電極
410 電極
411 電極
412 ゲート電極
413 電極
427 層間絶縁膜
428 隔壁層
429 EL層
430 対向電極
431 対向基板
432 樹脂層
451 チャネル形成領域
452 高濃度不純物領域
Claims (27)
- 単結晶半導体基板に水素を添加することにより、前記単結晶半導体基板の表面から所定の深さの領域に脆化領域を形成し、
前記単結晶半導体基板とベース基板とを絶縁層を介して貼り合わせ、
前記単結晶半導体基板を加熱し、前記脆化領域を境として分離することにより、前記ベース基板上に前記絶縁層を介して半導体層を形成し、
前記半導体層の表面にレーザー光を照射して前記半導体層の少なくとも表層部を溶融させる半導体装置の作製方法であって、
前記レーザー光を照射する際に窒素を前記半導体層に添加し、
前記半導体層中の窒素の濃度を5×1015atoms/cm3以上とすることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 単結晶半導体基板に水素を添加することにより、前記単結晶半導体基板の表面から所定の深さの領域に脆化領域を形成し、
前記単結晶半導体基板とベース基板とを絶縁層を介して貼り合わせ、
前記単結晶半導体基板を加熱し、前記脆化領域を境として分離することにより、前記ベース基板上に前記絶縁層を介して半導体層を形成し、
前記半導体層の表面にレーザー光を照射して前記半導体層の少なくとも表層部を溶融させる半導体装置の作製方法であって、
前記レーザー光を照射する際に酸素を前記半導体層に添加し、
前記半導体層中の酸素の濃度を2×1018atoms/cm3以上とすることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 単結晶半導体基板に水素を添加することにより、前記単結晶半導体基板の表面から所定の深さの領域に脆化領域を形成し、
前記単結晶半導体基板とベース基板とを絶縁層を介して貼り合わせ、
前記単結晶半導体基板を加熱し、前記脆化領域を境として分離することにより、前記ベース基板上に前記絶縁層を介して半導体層を形成し、
前記半導体層の表面にレーザー光を照射して前記半導体層の少なくとも表層部を溶融させる半導体装置の作製方法であって、
前記レーザー光を照射する際に酸素を前記半導体層に添加することにより、前記半導体層に酸素の濃度が2×1018atoms/cm3以上となる領域を形成することを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項2又は3において、
前記レーザー光を照射する際に窒素を前記半導体層に添加し、
前記半導体層中の窒素の濃度を5×1015atoms/cm3以上とすることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項1乃至4のいずれか一において、
前記レーザー光を照射する際にさらに炭素を前記半導体層に添加し、前記半導体層中の炭素の濃度を1×1017atoms/cm3以上とすることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項1乃至5のいずれか一において、
前記水素を添加すると同時に、窒素、酸素、又は炭素の少なくともいずれか一を前記単結晶半導体基板に添加することを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項1乃至6のいずれか一において、
前記半導体層に向かって窒素、酸素、又は炭素の少なくともいずれか一を含むガスを吹き付けながら、前記半導体層の表面に前記レーザー光を照射することを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項1乃至7のいずれか一において、
前記半導体層の表面にレーザー光を照射する前に、前記半導体層上に窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜又は窒化酸化シリコン膜を形成することを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 単結晶半導体基板に水素を添加することにより、前記単結晶半導体基板の表面から所定の深さの領域に脆化領域を形成し、
前記単結晶半導体基板とベース基板とを絶縁層を介して貼り合わせ、
前記単結晶半導体基板を加熱し、前記脆化領域を境として分離することにより、前記ベース基板上に前記絶縁層を介して半導体層を形成する半導体装置の作製方法であって、
前記水素を添加すると同時に、窒素を前記単結晶半導体基板に添加し、前記半導体層中の窒素の濃度を5×1015atoms/cm3以上とすることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 単結晶半導体基板に水素を添加することにより、前記単結晶半導体基板の表面から所定の深さの領域に脆化領域を形成し、
前記単結晶半導体基板とベース基板とを絶縁層を介して貼り合わせ、
前記単結晶半導体基板を加熱し、前記脆化領域を境として分離することにより、前記ベース基板上に前記絶縁層を介して半導体層を形成する半導体装置の作製方法であって、
前記水素を添加すると同時に、酸素を前記単結晶半導体基板に添加し、前記半導体層中の酸素の濃度を2×1018atoms/cm3以上とすることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 単結晶半導体基板に水素を添加することにより、前記単結晶半導体基板の表面から所定の深さの領域に脆化領域を形成し、
前記単結晶半導体基板とベース基板とを絶縁層を介して貼り合わせ、
前記単結晶半導体基板を加熱し、前記脆化領域を境として分離することにより、前記ベース基板上に前記絶縁層を介して半導体層を形成する半導体装置の作製方法であって、
前記水素を添加すると同時に、酸素を前記単結晶半導体基板に添加することにより、前記半導体層に酸素の濃度が2×1018atoms/cm3以上となる領域を形成することを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項10又は11において、
前記水素を添加すると同時に、窒素を前記単結晶半導体基板に添加し、前記半導体層中の窒素の濃度を5×1015atoms/cm3以上とすることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項9乃至12のいずれか一において、
前記水素を添加すると同時に炭素を添加し、前記半導体層中の炭素の濃度を1×1017atoms/cm3以上とすることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項1乃至13のいずれか一において、
前記ベース基板として、ガラス基板を用いることを特徴とするSOI基板の作製方法。 - 請求項1乃至14のいずれか一のSOI基板を用いてトランジスタを形成する半導体装置の作製方法。
- ベース基板と、前記ベース基板上の絶縁層と、前記絶縁層上の半導体層と、を有し、
前記半導体層は、水素を添加することにより形成された脆化領域を有する単結晶半導体基板の一部を前記脆化領域を境として分離した構造であり、
前記半導体層中の窒素の濃度は5×1015atoms/cm3以上であることを特徴とするSOI基板。 - 請求項16において、
前記半導体層中の窒素の濃度は1×1016atoms/cm3以上であることを特徴とするSOI基板。 - ベース基板と、前記ベース基板上の絶縁層と、前記絶縁層上の半導体層と、を有し、
前記半導体層は、水素を添加することにより形成された脆化領域を有する単結晶半導体基板の一部を前記脆化領域を境として分離した構造であり、
前記半導体層中の酸素の濃度は2×1018atoms/cm3以上であることを特徴とするSOI基板。 - 請求項18において、
前記半導体層中の酸素の濃度は5×1018atoms/cm3以上であることを特徴とするSOI基板。 - ベース基板と、前記ベース基板上の絶縁層と、前記絶縁層上の半導体層と、を有し、
前記半導体層は、水素を添加することにより形成された脆化領域を有する単結晶半導体基板の一部を前記脆化領域を境として分離した構造であり、
前記半導体層は酸素の濃度が2×1018atoms/cm3以上となる領域を有することを特徴とするSOI基板。 - ベース基板と、前記ベース基板上の絶縁層と、前記絶縁層上の半導体層と、を有し、
前記半導体層は、水素を添加することにより形成された脆化領域を有する単結晶半導体基板の一部を前記脆化領域を境として分離した構造であり、
前記半導体層は酸素の濃度が5×1018atoms/cm3以上となる領域を有することを特徴とするSOI基板。 - 請求項18乃至21のいずれか一において、
前記半導体層中の窒素の濃度は5×1015atoms/cm3以上であることを特徴とするSOI基板。 - 請求項18乃至21のいずれか一において、
前記半導体層中の窒素の濃度は1×1016atoms/cm3以上であることを特徴とするSOI基板。 - 請求項16乃至23のいずれか一において、
前記半導体層中の炭素の濃度は1×1017atoms/cm3以上であることを特徴とするSOI基板。 - ベース基板と、前記ベース基板上の絶縁層と、前記絶縁層上の半導体層と、を有し、
前記半導体層は、水素を添加することにより形成された脆化領域を有する単結晶半導体基板の一部を前記脆化領域を境として分離した構造であり、
前記半導体層中の窒素、酸素、又は炭素の濃度は、前記単結晶半導体基板中の窒素、酸素、又は炭素の濃度より高いことを特徴とするSOI基板。 - 請求項16乃至25のいずれか一において、
前記ベース基板はガラス基板であることを特徴とするSOI基板。 - 請求項16乃至26のいずれか一のSOI基板を用いて形成されたトランジスタを有する半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009243099A JP5613397B2 (ja) | 2008-10-22 | 2009-10-22 | Soi基板の作製方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008271676 | 2008-10-22 | ||
JP2008271676 | 2008-10-22 | ||
JP2009243099A JP5613397B2 (ja) | 2008-10-22 | 2009-10-22 | Soi基板の作製方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010123931A true JP2010123931A (ja) | 2010-06-03 |
JP2010123931A5 JP2010123931A5 (ja) | 2012-11-08 |
JP5613397B2 JP5613397B2 (ja) | 2014-10-22 |
Family
ID=42107980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009243099A Expired - Fee Related JP5613397B2 (ja) | 2008-10-22 | 2009-10-22 | Soi基板の作製方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8313989B2 (ja) |
JP (1) | JP5613397B2 (ja) |
KR (1) | KR101631456B1 (ja) |
CN (1) | CN101728312B (ja) |
SG (1) | SG161151A1 (ja) |
TW (1) | TWI483295B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018060959A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハおよびエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
JP2019117832A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-18 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハ、及び固体撮像素子の製造方法 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8859393B2 (en) | 2010-06-30 | 2014-10-14 | Sunedison Semiconductor Limited | Methods for in-situ passivation of silicon-on-insulator wafers |
US20120129318A1 (en) * | 2010-11-24 | 2012-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Atmospheric pressure plasma etching apparatus and method for manufacturing soi substrate |
US9227295B2 (en) * | 2011-05-27 | 2016-01-05 | Corning Incorporated | Non-polished glass wafer, thinning system and method for using the non-polished glass wafer to thin a semiconductor wafer |
JP5821311B2 (ja) * | 2011-06-17 | 2015-11-24 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
FR2984007B1 (fr) * | 2011-12-13 | 2015-05-08 | Soitec Silicon On Insulator | Procede de stabilisation d'une interface de collage situee au sein d'une structure comprenant une couche d'oxyde enterree et structure obtenue |
US9623628B2 (en) | 2013-01-10 | 2017-04-18 | Apple Inc. | Sapphire component with residual compressive stress |
CN104145320B (zh) | 2013-02-12 | 2018-02-02 | 苹果公司 | 多步骤离子注入 |
US9416442B2 (en) * | 2013-03-02 | 2016-08-16 | Apple Inc. | Sapphire property modification through ion implantation |
CN104008961A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-27 | 复旦大学 | 一种改善硅晶片机械性能的方法 |
CN105428301A (zh) * | 2014-09-17 | 2016-03-23 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 利用微波退火技术低温制备goi的方法 |
CN105428302A (zh) * | 2014-09-17 | 2016-03-23 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 利用低温剥离技术制备绝缘体上材料的方法 |
JP6137165B2 (ja) | 2014-12-25 | 2017-05-31 | 株式会社Sumco | 半導体エピタキシャルウェーハの製造方法および固体撮像素子の製造方法 |
CN106409650B (zh) * | 2015-08-03 | 2019-01-29 | 沈阳硅基科技有限公司 | 一种硅片直接键合方法 |
US10280504B2 (en) | 2015-09-25 | 2019-05-07 | Apple Inc. | Ion-implanted, anti-reflective layer formed within sapphire material |
CN107785304B (zh) * | 2016-08-31 | 2020-03-20 | 沈阳硅基科技有限公司 | 以氮化物薄膜为绝缘埋层的soi材料及其制备方法 |
US10943813B2 (en) | 2018-07-13 | 2021-03-09 | Globalwafers Co., Ltd. | Radio frequency silicon on insulator wafer platform with superior performance, stability, and manufacturability |
US11232975B2 (en) * | 2018-09-26 | 2022-01-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor-on-insulator (SOI) substrate having dielectric structures that increase interface bonding strength |
CN110098145B (zh) * | 2019-04-03 | 2021-08-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 单晶硅薄膜及其制作方法 |
CN110349843B (zh) * | 2019-07-26 | 2021-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管及其制备方法、生物识别器件、显示装置 |
US10950631B1 (en) | 2019-09-24 | 2021-03-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor-on-insulator wafer having a composite insulator layer |
CN114447257B (zh) * | 2022-01-17 | 2023-11-28 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性基板剥离方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04139727A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-13 | Kyocera Corp | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH09186085A (ja) * | 1995-10-25 | 1997-07-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザーアニール方法およびレーザーアニール装置 |
JP2002094032A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-03-29 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体基板およびその製作方法と、その基板を用いた半導体装置およびその製造方法 |
WO2004073057A1 (ja) * | 2003-02-14 | 2004-08-26 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation | シリコンウェーハの製造方法 |
JP2005203596A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Family Cites Families (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5870536A (ja) | 1981-10-22 | 1983-04-27 | Fujitsu Ltd | レ−ザアニ−ル方法 |
US4460670A (en) | 1981-11-26 | 1984-07-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoconductive member with α-Si and C, N or O and dopant |
JPH0658966B2 (ja) | 1982-05-17 | 1994-08-03 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
FR2681472B1 (fr) | 1991-09-18 | 1993-10-29 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication de films minces de materiau semiconducteur. |
US5923962A (en) | 1993-10-29 | 1999-07-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a semiconductor device |
TW264575B (ja) | 1993-10-29 | 1995-12-01 | Handotai Energy Kenkyusho Kk | |
JP3431033B2 (ja) | 1993-10-29 | 2003-07-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体作製方法 |
US6444506B1 (en) | 1995-10-25 | 2002-09-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing silicon thin film devices using laser annealing in a hydrogen mixture gas followed by nitride formation |
JPH1197379A (ja) | 1997-07-25 | 1999-04-09 | Denso Corp | 半導体基板及び半導体基板の製造方法 |
US6534380B1 (en) | 1997-07-18 | 2003-03-18 | Denso Corporation | Semiconductor substrate and method of manufacturing the same |
JP2000012864A (ja) | 1998-06-22 | 2000-01-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
US7153729B1 (en) | 1998-07-15 | 2006-12-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Crystalline semiconductor thin film, method of fabricating the same, semiconductor device, and method of fabricating the same |
JP4476390B2 (ja) | 1998-09-04 | 2010-06-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US6375738B1 (en) * | 1999-03-26 | 2002-04-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Process of producing semiconductor article |
JP4379943B2 (ja) | 1999-04-07 | 2009-12-09 | 株式会社デンソー | 半導体基板の製造方法および半導体基板製造装置 |
JP4101409B2 (ja) | 1999-08-19 | 2008-06-18 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2001223175A (ja) | 2000-02-08 | 2001-08-17 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | レーザアニール装置およびレーザアニール方法 |
US7253032B2 (en) | 2001-04-20 | 2007-08-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of flattening a crystallized semiconductor film surface by using a plate |
KR100543252B1 (ko) * | 2001-05-29 | 2006-01-20 | 신닛뽄세이테쯔 카부시키카이샤 | Soi 기판 |
TW544938B (en) | 2001-06-01 | 2003-08-01 | Semiconductor Energy Lab | Method of manufacturing a semiconductor device |
US7119365B2 (en) | 2002-03-26 | 2006-10-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and manufacturing method thereof, SOI substrate and display device using the same, and manufacturing method of the SOI substrate |
JP5110772B2 (ja) | 2004-02-03 | 2012-12-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体薄膜層を有する基板の製造方法 |
KR100567735B1 (ko) * | 2004-05-15 | 2006-04-04 | 주식회사 한택 | 레이저를 이용한 고품질 soi웨이퍼 제조장치 및 방법 |
JP2006216826A (ja) | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Sumco Corp | Soiウェーハの製造方法 |
US20070117287A1 (en) | 2005-11-23 | 2007-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus |
DE102006004870A1 (de) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Siltronic Ag | Halbleiterschichtstruktur und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterschichtstruktur |
JP2008004821A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Sumco Corp | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
EP2140480A4 (en) * | 2007-04-20 | 2015-04-22 | Semiconductor Energy Lab | METHOD FOR PRODUCING AN SOI SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR ARRANGEMENT |
US7960262B2 (en) | 2007-05-18 | 2011-06-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device by applying laser beam to single-crystal semiconductor layer and non-single-crystal semiconductor layer through cap film |
US7745268B2 (en) | 2007-06-01 | 2010-06-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a semiconductor device with irradiation of single crystal semiconductor layer in an inert atmosphere |
US7776718B2 (en) | 2007-06-25 | 2010-08-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing semiconductor substrate with reduced gap size between single-crystalline layers |
US7795111B2 (en) | 2007-06-27 | 2010-09-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of SOI substrate and manufacturing method of semiconductor device |
JP5442224B2 (ja) | 2007-07-23 | 2014-03-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Soi基板の製造方法 |
KR101499175B1 (ko) | 2007-10-04 | 2015-03-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 기판의 제조방법 |
US7799658B2 (en) | 2007-10-10 | 2010-09-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor substrate and method for manufacturing semiconductor device |
WO2009057669A1 (en) | 2007-11-01 | 2009-05-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing photoelectric conversion device |
US7851318B2 (en) | 2007-11-01 | 2010-12-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor substrate and method for manufacturing the same, and method for manufacturing semiconductor device |
JP5286046B2 (ja) | 2007-11-30 | 2013-09-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 光電変換装置の製造方法 |
JP5404064B2 (ja) | 2008-01-16 | 2014-01-29 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザ処理装置、および半導体基板の作製方法 |
US7932164B2 (en) | 2008-03-17 | 2011-04-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor substrate by using monitor substrate to obtain optimal energy density for laser irradiation of single crystal semiconductor layers |
JP5386856B2 (ja) * | 2008-06-03 | 2014-01-15 | 株式会社Sumco | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
US7943414B2 (en) | 2008-08-01 | 2011-05-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing SOI substrate |
SG160310A1 (en) * | 2008-10-02 | 2010-04-29 | Semiconductor Energy Lab | Manufacturing method of semiconductor substrate and semiconductor device |
-
2009
- 2009-10-05 SG SG200906654-9A patent/SG161151A1/en unknown
- 2009-10-16 KR KR1020090098600A patent/KR101631456B1/ko active IP Right Grant
- 2009-10-16 US US12/580,532 patent/US8313989B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-19 TW TW098135269A patent/TWI483295B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-10-22 JP JP2009243099A patent/JP5613397B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-22 CN CN200910206589.XA patent/CN101728312B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04139727A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-13 | Kyocera Corp | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH09186085A (ja) * | 1995-10-25 | 1997-07-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザーアニール方法およびレーザーアニール装置 |
JP2002094032A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-03-29 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体基板およびその製作方法と、その基板を用いた半導体装置およびその製造方法 |
WO2004073057A1 (ja) * | 2003-02-14 | 2004-08-26 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation | シリコンウェーハの製造方法 |
JP2005203596A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018060959A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハおよびエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
US11888036B2 (en) | 2016-10-07 | 2024-01-30 | Sumco Corporation | Method for setting a nitrogen concentration of a silicon epitaxial film in manufacturing an epitaxial silicon wafer |
JP2019117832A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-18 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハ、及び固体撮像素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100096720A1 (en) | 2010-04-22 |
TWI483295B (zh) | 2015-05-01 |
KR101631456B1 (ko) | 2016-06-17 |
KR20100044706A (ko) | 2010-04-30 |
CN101728312A (zh) | 2010-06-09 |
US8313989B2 (en) | 2012-11-20 |
JP5613397B2 (ja) | 2014-10-22 |
TW201030817A (en) | 2010-08-16 |
CN101728312B (zh) | 2014-04-09 |
SG161151A1 (en) | 2010-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5613397B2 (ja) | Soi基板の作製方法 | |
JP5552276B2 (ja) | Soi基板の作製方法 | |
JP5548395B2 (ja) | Soi基板の作製方法 | |
TWI494974B (zh) | Soi基板的製造方法 | |
KR20100038165A (ko) | Soi 기판의 제작 방법 | |
JP5663150B2 (ja) | Soi基板の作製方法 | |
US8343847B2 (en) | Manufacturing method of SOI semiconductor device | |
JP2010109353A (ja) | Soi基板の作製方法 | |
JP5667767B2 (ja) | Soi基板の作製方法 | |
JP5666794B2 (ja) | Soi基板の作製方法 | |
JP5580010B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
US20100173472A1 (en) | Method for manufacturing soi substrate and method for manufacturing semiconductor device | |
JP5618521B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2010147313A (ja) | Soi基板の作製方法 | |
JP2012186459A (ja) | Soi基板、およびsoi基板の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120920 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140318 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140819 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5613397 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |