JP2009526971A - 電子ビーム照射器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の電子ビーム照射器10は、幅を有する真空チェンバ11と、真空チェンバ11内に位置決めされて電子を発生させる電子発生器24と、真空チェンバ11から長手軸心に沿って延出し、当該ノズル12の遠位端に出射窓42を備えた細長いノズル12とを備え、ノズル12が真空チェンバ11の幅よりも小さい幅を有し、電子発生器24が、ノズル12に入ってノズル12を通り、そして出射窓42から出る細い電子ビーム44を形成して案内するように、真空チェンバ11内に形成、寸法合わせ、および位置決めされている。
【選択図】図1
Description
11 真空チェンバ
12 ノズル
14 ノズルの遠位端
16 ネック部
18 ボトルの内部
20 ボトル
24 電子発生器(電子銃)
42 出射窓
44,46 電子ビーム
D1 真空チェンバの幅(直径)
e− 電子
X 長手軸心
Claims (30)
- 所定の幅を有する真空チェンバと、
前記真空チェンバ内に位置決めされて電子を発生させる電子発生器と、
前記真空チェンバから長手軸心に沿って延出し、当該ノズルの遠位端に出射窓を備えた細長いノズルとを備える電子ビーム照射器であって、
前記ノズルが前記真空チェンバの幅よりも小さい幅を有し、
前記電子発生器が、前記ノズルに入って前記ノズルを通り、そして前記出射窓から出る細い電子ビームを形成して案内するように、前記真空チェンバ内に形成、寸法合わせ、および位置決めされている電子ビーム照射器。 - 請求項1において、前記ノズルが、円状の外周と直径とを有する電子ビーム照射器。
- 請求項2において、前記真空チェンバが、円状の外周と、前記ノズルの直径よりも大きい直径とを有する電子ビーム照射器。
- 請求項3において、前記電子発生器が、前記ノズルの直径と同一の直径を有するハウジングを備えている電子ビーム照射器。
- 請求項1において、前記電子発生器によって形成される前記電子ビームが、前記ノズル内で収束する収束部と、この後に続く、前記出射窓に到達する前に前記ノズル内で発散する発散部とを有するように、前記電子発生器が形成、寸法合わせ、および位置決めされている電子ビーム照射器。
- 請求項5において、前記電子ビームが、前記出射窓を出た後にさらに発散する電子ビーム照射器。
- 請求項1において、前記電子発生器が、前記ノズルの前記長手軸心に沿う長手方向に向いた部位を備えた電子発生用のフィラメントを有する電子ビーム照射器。
- 請求項2において、前記ノズルが所定の長さを有し、このノズルの長さと直径との比率が少なくとも3:1である電子ビーム照射器。
- 請求項3において、真空チェンバの直径とノズルの直径との比率が少なくとも2:1である電子ビーム照射器。
- 所定の幅を有する真空チェンバ内に位置決めされた電子発生器を用いて電子を発生させ、
当該ノズルの遠位端に出射窓を備え、前記真空チェンバの幅よりも小さい幅を有する細長いノズルを、前記真空チェンバから長手軸心に沿って延出させ、
前記ノズルに入って前記ノズルを通り、そして前記出射窓から出る細い電子ビームを形成して案内するように、前記電子発生器を、前記真空チェンバ内に形成、寸法合わせ、および位置決めする電子ビームを発生させる方法。 - 請求項10において、さらに、前記ノズルに、円状の外周と直径とを設ける電子ビーム発生方法。
- 請求項11において、さらに、前記真空チェンバに、円状の外周と、前記ノズルの直径よりも大きい直径とを設ける電子ビーム発生方法。
- 請求項12において、さらに、前記電気発生器に、前記ノズルの直径と同一の直径を有するハウジングを設ける電子ビーム発生方法。
- 請求項10において、さらに、前記電子発生器によって形成される前記電子ビームが、前記ノズル内で収束する収束部と、この後に続く、前記出射窓に到達する前に前記ノズル内で発散する発散部とを有するように、前記電子発生器を、形成、寸法合わせ、および位置決めする電子ビーム発生方法。
- 請求項14において、さらに、前記電子ビームを、前記出射窓を出た後に発散させる電子ビーム発生方法。
- 請求項10において、前記電子発生器が電子発生用のフィラメントを有し、
さらに、前記フィラメントの一部を、前記ノズルの前記長手軸心に沿う長手方向に向かせる電子ビーム発生方法。 - 請求項11において、さらに、前記ノズルに所定の長さを設け、このノズルの長さと直径との比率を少なくとも3:1にする電子ビーム発生方法。
- 請求項12において、さらに、真空チェンバの直径とノズルの直径との比率を少なくとも2:1にする電子ビーム発生方法。
- ネック部を有するボトルの内部を照射する方法であって、
所定の幅を有する真空チェンバ内に位置決めされた電子発生器を用いて電子を発生させ、
当該ノズルの遠位端に出射窓を備え、前記真空チェンバの幅よりも小さい幅を有する細長いノズルを、前記真空チェンバから長手軸心に沿って延出させ、
前記ノズルに入って前記ノズルを通り、そして前記出射窓から出る細い電子ビームを形成して案内するように、前記電子発生器を、前記真空チェンバ内に形成、寸法合わせ、および位置決めし、
前記ノズルを、前記ボトルの前記ネック部を通して挿入し、前記電子ビームで前記ボトルの内部を照射するボトルの内部を照射する方法。 - 請求項19において、さらに、前記細長いノズルに、円状の外周と直径とを設けるボトルの内部を照射する方法。
- 請求項20において、さらに、前記真空チェンバに、円状の外周と、前記ノズルの直径よりも大きい直径とを設けるボトルの内部を照射する方法。
- 請求項21において、さらに、前記電気発生器に、前記ノズルの直径と同一の直径を有するハウジングを設けるボトルの内部を照射する方法。
- 請求項19において、さらに、前記電子発生器によって形成される前記電子ビームが、前記ノズル内で収束する収束部と、この後に続く、前記出射窓に到達する前に前記ノズル内で発散する発散部とを有するように、前記電子発生器を、形成、寸法合わせ、および位置決めするボトルの内部を照射する方法。
- 請求項23において、さらに、前記電子ビームを、前記出射窓を出た後に発散させるボトルの内部を照射する方法。
- 請求項19において、前記電子発生器が電子発生用のフィラメントを有し、
さらに、前記フィラメントの一部を、前記ノズルの前記長手軸心に沿う長手方向に向かせるボトルの内部を照射する方法。 - 請求項20において、さらに、前記ノズルに所定の長さを設け、このノズルの長さと直径との比率を少なくとも3:1にするボトルの内部を照射する方法。
- 請求項21において、さらに、真空チェンバの直径とノズルの直径との比率を少なくとも2:1にするボトルの内部を照射する方法。
- 請求項19において、さらに、照射の間、前記ボトルと前記ノズルとを互いに相対的に移動させるボトルの内部を照射する方法。
- 請求項19において、さらに、前記ボトルの内部における前記電子ビームの分散を、前記ボトルに隣接した少なくとも1つの電子案内部材によって支援するボトルの内部を照射する方法。
- 請求項19において、前記ボトルの前記内部を周囲の気体環境に設定し、
さらに、前記ボトル内の前記気体環境を変更するボトルの内部を照射する方法。
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