JP2009283551A - 半導体発光素子及びその製造方法、ランプ - Google Patents
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Abstract
【課題】p型半導体層の上面に形成された透光性電極層の接触抵抗が十分に低く、駆動電圧(Vf)の低い半導体発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板101と、基板101上にn型半導体層104と発光層105とp型半導体層106とが順次形成されてなる積層半導体層20と、p型半導体層106の上面106aに形成された透光性電極層109とを具備する半導体発光素子1であって、透光性電極層109が、ドーパント元素を含み、透光性電極層109中のドーパント元素の含有量が、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aに近づくに従って徐々に減少しており、透光性電極層109に、界面109aから透光性電極層109内に向かってp型半導体層106を構成する元素が拡散してなる拡散領域が形成されている半導体発光素子1とする。
【選択図】図1
【解決手段】基板101と、基板101上にn型半導体層104と発光層105とp型半導体層106とが順次形成されてなる積層半導体層20と、p型半導体層106の上面106aに形成された透光性電極層109とを具備する半導体発光素子1であって、透光性電極層109が、ドーパント元素を含み、透光性電極層109中のドーパント元素の含有量が、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aに近づくに従って徐々に減少しており、透光性電極層109に、界面109aから透光性電極層109内に向かってp型半導体層106を構成する元素が拡散してなる拡散領域が形成されている半導体発光素子1とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体発光素子及びその製造方法、ランプに関するものであり、特に、駆動電圧(Vf)の低い半導体発光素子及びその製造方法、ランプに関するものである。
近年、短波長光発光素子用の半導体材料として、GaN系化合物半導体が注目を集めている。GaN系化合物半導体は、サファイア単結晶を始めとして、種々の酸化物やIII−V族化合物を基板として、その上に有機金属気相化学反応法(MOCVD法)や分子線エピタキシー法(MBE法)等の薄膜形成手段によって形成される。
GaN系化合物半導体薄膜は、薄膜の面内方向への電流拡散が小さいという特性がある。さらに、p型のGaN系化合物半導体は、n型のGaN系化合物半導体に比べて抵抗率が高いという特性がある。従って、p型の半導体層の表面に、金属からなるp型電極を積層しただけではp型半導体層の面内方向への電流の広がりがほとんど無い。このため、n型半導体層、発光層、p型半導体層からなるLED構造を有する積層半導体層を形成し、最上部のp型半導体層にp型電極を形成した場合、発光層のうち、p型電極の直下に位置する部分しか発光しないという特性がある。
このため、p型電極の直下で発生した発光を、発光素子の外部に取り出すためには、p型電極に透光性を持たせる必要がある。透光性を持たせたp型電極として、ITO等の導電性透光性材料を用いる方法がある(例えば、特許文献1参照)。
また、透明導電膜からなる正極がp型半導体層と接している発光素子において、該透明導電膜のp型半導体側表面にIII族金属成分のGaを含む半導体金属混在層が存在し、p型半導体側では透明導電膜由来のInおよびSnが検出される領域の正極金属混在層が存在することが開示されている(例えば、特許文献2参照)。即ち、特許文献2には透明導電膜をp型半導体層上に形成するにあたり、RF放電によるスパッタリング成膜法で形成することが好ましいと開示され、RF放電によるスパッタリング成膜ではイオンアシスト効果により、p型半導体層に付着したスパッタ原子にエネルギーを与え、p型半導体との間で表面拡散を促す作用があることが記載されている。そして、金属酸化物のスパッタリングでは、GaN層表面がスパッタリング時のプラズマに曝されるとプラズマ粒子がGaN表面の結晶性を崩してしまい、結果として半導体金属混在層における半導体金属の割合が高く、混在層の膜厚が大きくなること、またGaN表面がまずプラズマ粒子により結晶性を崩された後に透明導電膜の成膜が行われるため、結晶構造を崩された半導体金属がより透明導電膜中に拡散するためだと考えられること等が記載されている。しかしながら、特許文献2の(0058)欄には、結晶性が崩れている証拠は観測されていないと記載され、拡散に係る現象は明確でないことが知られている。
このように、化合物半導体のエピ界面に関し、エピ界面を構成する材料元素の拡散・偏析については、エピ界面を構成する材料元素の種類や化合物半導体の成長条件、熱処理方法等によって依存し定かでない。
また、前記特許文献2には、Gaが含まれる半導体金属元素混在層(透光性電極層側)が存在することや、InやSnが含まれる透光性電極金属混在層(p型半導体層側)が存在することが開示されているが、半導体金属元素混在層(透光性電極層側)におけるSnドーパントの拡散状態や濃度分布については一切記載されていない。
このように、化合物半導体のエピ界面に関し、エピ界面を構成する材料元素の拡散・偏析については、エピ界面を構成する材料元素の種類や化合物半導体の成長条件、熱処理方法等によって依存し定かでない。
また、前記特許文献2には、Gaが含まれる半導体金属元素混在層(透光性電極層側)が存在することや、InやSnが含まれる透光性電極金属混在層(p型半導体層側)が存在することが開示されているが、半導体金属元素混在層(透光性電極層側)におけるSnドーパントの拡散状態や濃度分布については一切記載されていない。
一方、p型半導体層の上面にp型電極として機能するITO膜を形成した場合、ITOに含まれるSnがp型半導体層に対してn型のドーパントとして機能し、ITOとp型の半導体層との間に高い接触抵抗を発生させるので、p型電極の接触抵抗を十分に低くすることは困難となり、駆動電圧(Vf)を低下させる上で1つの障壁となる場合がある。
特開2007−73690号公報
特開2007−142028号公報
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、p型半導体層と透光性電極層の接触抵抗が十分に低く、駆動電圧(Vf)の低い半導体発光素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明は以下の発明を提供する。
[1] 基板と、前記基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とが順次形成されてなる積層半導体層と、前記p型半導体層の上面に形成された透光性電極層とを具備する半導体発光素子であって、
前記透光性電極層がドーパント元素としてZnを含むものであり、
前記透光性電極層中の前記Zn含有量が、前記p型半導体層と前記透光性電極層との界面に近づくに従って徐々に減少しており、
前記透光性電極層に、前記界面から前記透光性電極層内に向かって前記p型半導体層を構成する元素が拡散してなる拡散領域が形成されていることを特徴とする半導体発光素子。
[2] 前記拡散領域の前記界面から5nmの位置における前記p型半導体層を構成する元素の濃度(atom%)が2%以上であることを特徴とする前項1に記載の半導体発光素子。
[3] 前記拡散領域の厚みが、前記界面から3nm以上であることを特徴とする前項1または前項2に記載の半導体発光素子。
[4] 前記拡散領域の厚みが、前記界面から5nm以上であることを特徴とする前項1〜前項3のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[5] 前記拡散領域における前記ドーパント元素の含有量が、前記透光性電極層全体の平均濃度よりも低いことを特徴とする前項1〜前項4のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[6]前記p型半導体層がGaNを含むことを特徴とする前項1〜前項5のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[7] 前記透光性電極層がIn、Sn、Zn、Al、Ga、Ti、Ceからなる群から選ばれる少なくとも一つの金属の酸化物を含むことを特徴とする前項1〜前項6のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[8] 前記透光性電極層がIZOからなることを特徴とする前項1〜前項7のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[9] 基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とを順次積層して積層半導体層を形成する工程と、前記p型半導体層の上面にZnを含む透光性電極層を形成する工程とを含み、 前記透光性電極層を形成する工程が、スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程と、前記成膜工程後に300℃〜800℃で加熱処理する熱処理工程とを含むことを特徴とする前項1〜前項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
[10] 基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とを順次積層して積層半導体層を形成する工程と、前記p型半導体層の上面にZnを含む透光性電極層を形成する工程とを含み、 前記透光性電極層を形成する工程が、スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程と、前記成膜工程後に300℃〜800℃で加熱処理する熱処理工程とを含み、スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程が、RFスパッタリング及びDCスパッタリングによって前記透光性電極層を形成し、前記RFスパッタリング及び前記DCスパッタリングの少なくとも1種が2つのターゲットを有する工程を含むことを特徴とする 半導体発光素子の製造方法。
[11] 前項10に記載の製造方法によって半導体発光素子を製造する前項1〜前項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
[12] 前項1〜前項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子が備えられてなることを特徴とするランプ。
[13] 前項12に記載のランプが組み込まれている電子機器。
[14] 前項13に記載の電子機器が組み込まれている機械装置。
[1] 基板と、前記基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とが順次形成されてなる積層半導体層と、前記p型半導体層の上面に形成された透光性電極層とを具備する半導体発光素子であって、
前記透光性電極層がドーパント元素としてZnを含むものであり、
前記透光性電極層中の前記Zn含有量が、前記p型半導体層と前記透光性電極層との界面に近づくに従って徐々に減少しており、
前記透光性電極層に、前記界面から前記透光性電極層内に向かって前記p型半導体層を構成する元素が拡散してなる拡散領域が形成されていることを特徴とする半導体発光素子。
[2] 前記拡散領域の前記界面から5nmの位置における前記p型半導体層を構成する元素の濃度(atom%)が2%以上であることを特徴とする前項1に記載の半導体発光素子。
[3] 前記拡散領域の厚みが、前記界面から3nm以上であることを特徴とする前項1または前項2に記載の半導体発光素子。
[4] 前記拡散領域の厚みが、前記界面から5nm以上であることを特徴とする前項1〜前項3のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[5] 前記拡散領域における前記ドーパント元素の含有量が、前記透光性電極層全体の平均濃度よりも低いことを特徴とする前項1〜前項4のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[6]前記p型半導体層がGaNを含むことを特徴とする前項1〜前項5のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[7] 前記透光性電極層がIn、Sn、Zn、Al、Ga、Ti、Ceからなる群から選ばれる少なくとも一つの金属の酸化物を含むことを特徴とする前項1〜前項6のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[8] 前記透光性電極層がIZOからなることを特徴とする前項1〜前項7のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
[9] 基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とを順次積層して積層半導体層を形成する工程と、前記p型半導体層の上面にZnを含む透光性電極層を形成する工程とを含み、 前記透光性電極層を形成する工程が、スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程と、前記成膜工程後に300℃〜800℃で加熱処理する熱処理工程とを含むことを特徴とする前項1〜前項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
[10] 基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とを順次積層して積層半導体層を形成する工程と、前記p型半導体層の上面にZnを含む透光性電極層を形成する工程とを含み、 前記透光性電極層を形成する工程が、スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程と、前記成膜工程後に300℃〜800℃で加熱処理する熱処理工程とを含み、スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程が、RFスパッタリング及びDCスパッタリングによって前記透光性電極層を形成し、前記RFスパッタリング及び前記DCスパッタリングの少なくとも1種が2つのターゲットを有する工程を含むことを特徴とする 半導体発光素子の製造方法。
[11] 前項10に記載の製造方法によって半導体発光素子を製造する前項1〜前項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
[12] 前項1〜前項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子が備えられてなることを特徴とするランプ。
[13] 前項12に記載のランプが組み込まれている電子機器。
[14] 前項13に記載の電子機器が組み込まれている機械装置。
本発明の半導体発光素子は、透光性電極層が、ドーパント元素としてZnを含むものであり、前記透光性電極層中の前記Zn含有量が、前記p型半導体層と前記透光性電極層との界面に近づくに従って徐々に減少しており、前記透光性電極層に、前記界面から前記透光性電極層内に向かって前記p型半導体層を構成する元素が拡散してなる拡散領域が形成されているので、p型半導体層の上面に形成された透光性電極層の接触抵抗が十分に低くなり、その結果、駆動電圧(Vf)の低くすることができるという効果を有する。
また、本発明の半導体発光素子の製造方法では、スパッタ法においてターゲットを2つ使用することで成膜時間の短縮が可能となり生産性が向上し、特に界面の接触抵抗が十分に低い透光性電極層を有する駆動電圧(Vf)の低い半導体発光素子を製造することができる。
また、本発明の半導体発光素子の製造方法では、スパッタ法においてターゲットを2つ使用することで成膜時間の短縮が可能となり生産性が向上し、特に界面の接触抵抗が十分に低い透光性電極層を有する駆動電圧(Vf)の低い半導体発光素子を製造することができる。
以下に、本発明の実施形態である半導体発光素子及び半導体発光素子を備えたランプについて、図面を適宜参照しながら説明する。尚、以下の説明において参照する図面は、半導体発光素子及びランプを説明するための例示図面であり、図示される各部の大きさや厚さや寸法等は、実際の半導体発光素子等の寸法関係とは異なっている。図1は、本実施形態の半導体発光素子の断面模式図の一例であり、図2は、半導体発光素子の平面模式図の一例であり、図3は、半導体発光素子を構成する積層半導体層の断面模式図の一例である。
『半導体発光素子』
図1に示すように、本実施形態の半導体発光素子1は、基板101と、基板101上に積層された積層半導体層20と、積層半導体層20の上面に積層された透光性電極109と、透光性電極109上に積層されたボンディングパッド電極107とを具備して構成されている。本実施形態の半導体発光素子1は、積層半導体層20の発光層105からの光をボンディングパッド電極107が形成された側から取り出すフェイスアップマウント型の発光素子である。
図1に示すように、本実施形態の半導体発光素子1は、基板101と、基板101上に積層された積層半導体層20と、積層半導体層20の上面に積層された透光性電極109と、透光性電極109上に積層されたボンディングパッド電極107とを具備して構成されている。本実施形態の半導体発光素子1は、積層半導体層20の発光層105からの光をボンディングパッド電極107が形成された側から取り出すフェイスアップマウント型の発光素子である。
図1に示すように、積層半導体層20は、複数の半導体層が積層されて構成されている。より具体的には、積層半導体層20は、基板側から、n型半導体層104、発光層105、p型半導体層106が順次形成されて構成されている。p型半導体層106及び発光層105は、その一部がエッチング等の手段によって除去されており、除去された部分からn型半導体層104の一部が露出されている。そして、このn型半導体層104の露出面104cにn型電極108が積層されている。
また、p型半導体層106の上面106aには、透光性電極層109及びボンディングパッド電極107が積層されている。これら、透光性電極層109及びボンディングパッド電極107によって、p型電極111が構成されている。
また、p型半導体層106の上面106aには、透光性電極層109及びボンディングパッド電極107が積層されている。これら、透光性電極層109及びボンディングパッド電極107によって、p型電極111が構成されている。
本実施形態の半導体発光素子1においては、p型電極111とn型電極108との間に電流を通じることで、発光層105から発光を発せられるようになっている。
n型半導体層104、発光層105及びp型半導体層106は、化合物半導体を主体としてなることが好ましく、III族窒化物半導体を主体としてなることが好ましく、窒化ガリウム系を主体としてなることがより好ましい。
n型半導体層104、発光層105及びp型半導体層106は、化合物半導体を主体としてなることが好ましく、III族窒化物半導体を主体としてなることが好ましく、窒化ガリウム系を主体としてなることがより好ましい。
本実施形態において、p型半導体層106の上面106aに積層される透光性電極層109には、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aから透光性電極層109内に向かって、p型半導体層106を構成する金属元素が拡散してなる「半導体金属元素混在層」が存在する。換言すれば、(1)p型半導体層/界面/半導体金属元素混在層が存在する。p型半導体層/界面/半導体金属元素混在層の界面周辺領域に関し、本明細書においては、界面109aはp型半導体層106を構成するGa濃度が50atom%検出される深さ位置を界面(擬似的に界面109aと呼んでもよい。)として定義してもよい。
また、本実施形態において、p型半導体層106には、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aからp型半導体層106内に向かって、透光性電極層109を構成するInやZn元素が拡散してなる「透光性電極金属混在層」が存在する。換言すれば、(2)透光性電極金属混在層/界面/透光性電極層が存在する。
実質的には本実施形態において、(1)p型半導体層/界面/半導体金属元素混在層の界面周辺領域や(2)透光性電極金属混在層/界面/透光性電極層の界面周辺領域を含めた記述として、(3)透光性電極金属混在層(p型半導体層側)/界面/半導体金属元素混在層(透光性電極層側)と表現する界面周辺領域が存在する。
また、本実施形態において、p型半導体層106には、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aからp型半導体層106内に向かって、透光性電極層109を構成するInやZn元素が拡散してなる「透光性電極金属混在層」が存在する。換言すれば、(2)透光性電極金属混在層/界面/透光性電極層が存在する。
実質的には本実施形態において、(1)p型半導体層/界面/半導体金属元素混在層の界面周辺領域や(2)透光性電極金属混在層/界面/透光性電極層の界面周辺領域を含めた記述として、(3)透光性電極金属混在層(p型半導体層側)/界面/半導体金属元素混在層(透光性電極層側)と表現する界面周辺領域が存在する。
本発明において、半導体金属元素混在層(透光性電極層側)を「拡散領域」として定義し、界面周辺領域において、後述する二次イオン質量分析(SIMS)法で求められたGa、In、Znの原子濃度百分率(atom%)に基づき拡散領域の特徴を規定するのが良い。
特に、好ましくは、拡散領域を界面からの深さ範囲を基準に明示するのがよく、例えば図7に記載のようなp−GaN/IZO界面からの距離(nm)を示した原子濃度分布曲線に基づき、当該元素毎の原子濃度分布曲線の、98%を超える漸近領域や2%未満の漸近領域を除いた深さ範囲とするのが良い。
本発明においては、拡散領域の厚みは、界面109aから2nm以上であることが好ましく、より好ましくは界面109aから5nm以上であり、さらに好ましくは界面109aから10nm以上である。
特に、好ましくは、拡散領域を界面からの深さ範囲を基準に明示するのがよく、例えば図7に記載のようなp−GaN/IZO界面からの距離(nm)を示した原子濃度分布曲線に基づき、当該元素毎の原子濃度分布曲線の、98%を超える漸近領域や2%未満の漸近領域を除いた深さ範囲とするのが良い。
本発明においては、拡散領域の厚みは、界面109aから2nm以上であることが好ましく、より好ましくは界面109aから5nm以上であり、さらに好ましくは界面109aから10nm以上である。
拡散領域において、p型半導体層106を構成する元素の濃度は、界面109aから離れるに従って徐々に減少していることが好ましく、p型半導体層106を構成する元素の濃度は、例えば、界面109aから2nmの位置では20%以上であることが好ましく、界面109aから3nmの位置では10%以上、界面109aから10nmの位置では2%以上であることが好ましい。
より具体的には、例えば、p型半導体層106がGaNを含むものである場合、拡散領域におけるGa濃度は、界面109aから2nmの位置では20%以上であることが好ましく、界面109aから3nmの位置では10%以上、界面109aから10nmの位置では2%以上であることが好ましい。
より具体的には、例えば、p型半導体層106がGaNを含むものである場合、拡散領域におけるGa濃度は、界面109aから2nmの位置では20%以上であることが好ましく、界面109aから3nmの位置では10%以上、界面109aから10nmの位置では2%以上であることが好ましい。
また、透光性電極層109は、ドーパント元素を含むものであり、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aに近づくに従って徐々に、透光性電極層109中のドーパント元素の含有量が減少しているものである。例えば、透光性電極層109がIZO(酸化インジウム亜鉛(In2O3−ZnO))からなるものである場合、IZOのドーパント元素であるZnの含有量が、界面109aに近づくに従って徐々に減少しているものとなる。
したがって、本実施形態の透光性電極層109においては、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109a近傍の透光性電極層109中に、周辺よりもドーパント元素の含有量の多い領域(濃度のピーク)がない。ここで、例えば、透光性電極層109中におけるp型半導体層106と透光性電極層109との界面109a近傍に、透光性電極層109中のドーパント元素の濃度のピークがある場合には、透光性電極層109の接触抵抗が十分に低いものとならず、十分に駆動電圧(Vf)の低い半導体発光素子1が得られない。
さらに、本実施形態においては、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aからp型半導体層106内に向かって、透光性電極層109のドーパント元素が拡散していることが好ましい。また、p型半導体層106内に拡散している透光性電極層109のドーパント元素の濃度は、透光性電極層109中の最低のドーパント元素の濃度よりも低いことが好ましい。
また、p型半導体層106を構成する元素の拡散領域において、透光性電極層109中のドーパント元素の含有量が、透光性電極層109全体の平均濃度よりも低いことが好ましい。このような透光性電極層109とすることで、より一層接触抵抗の低い透光性電極層109となる。
p型半導体層106の上に積層される透光性電極層109は、p型半導体層106との接触抵抗が小さいものであることが好ましい。また、発光層105からの光をボンディングパッド電極107が形成された側から取り出すために、透光性電極層109は光透過性に優れていることが好ましい。また、p型半導体層106の全面に渡って均一に電流を拡散させるために、透光性電極層109は優れた導電性を有していることが好ましい。
以上のことから、透光性電極層109の構成材料としては、In、Sn、Zn、Al、Ga、Ti、Ceからなる群から選ばれる少なくとも一つの金属の酸化物を含むものであることが好ましい。特に、p型半導体層106がGaNを含むものである場合、より一層接触抵抗の低い透光性電極層109とするために、透光性電極層109の構成材料として、IZO(酸化インジウム亜鉛(In2O3−ZnO))、GZO(酸化ガリウム亜鉛(ZnO−Ga2O3))、IGO(酸化インジウムガリウム)、IGZO(InGaO3(Zn0)5)、AZO(アルミニウムドープ酸化亜鉛)等を用いることが好ましい。
また、透光性電極層109は、p型半導体層106の上面106aのほぼ全面を覆うように形成してもよく、隙間を開けて格子状や樹形状に形成してもよい。
さらに、透光性電極層109としては、結晶化された構造のものを使用してもよく、特に六方晶構造又はビックスバイト構造を有するIn2O3結晶を含む透光性電極(例えば、IZO等)を好ましく使用することができる。
例えば、透光性電極層109として、六方晶構造のIn2O3結晶を含むIZOを使用する場合、アモルファス状態のIZO膜を形成した後、熱処理等によりアモルファス状態のIZO膜を当該結晶を含む構造に転移させることで、アモルファス状態のIZO膜からなる透光性電極層109よりも透光性の優れたとものすることができる。
例えば、透光性電極層109として、六方晶構造のIn2O3結晶を含むIZOを使用する場合、アモルファス状態のIZO膜を形成した後、熱処理等によりアモルファス状態のIZO膜を当該結晶を含む構造に転移させることで、アモルファス状態のIZO膜からなる透光性電極層109よりも透光性の優れたとものすることができる。
また、透光性電極層109として、IZO膜を用いる場合、比抵抗が最も低くなる組成を使用することが好ましい。すなわち、比抵抗の低いIZO膜とするために、IZO中のZnO濃度(透光性電極層109全体の平均濃度)は1〜20質量%であることが好ましく、5〜15質量%の範囲であることがより好ましく、10質量%であることが特に好ましい。
また、IZO膜の膜厚は、低比抵抗、高光透過率を得ることができる35nm〜10000nm(10μm)の範囲であることが好ましい。さらに、生産コストの観点から、IZO膜の膜厚は1000nm(1μm)以下であることが好ましい。
また、IZO膜の膜厚は、低比抵抗、高光透過率を得ることができる35nm〜10000nm(10μm)の範囲であることが好ましい。さらに、生産コストの観点から、IZO膜の膜厚は1000nm(1μm)以下であることが好ましい。
例えば、六方晶構造のIn2O3結晶を含むIZOからなる透光性電極層109をp型半導体層106の上面106aに形成するには、例えばスパッタリング法を用いて室温でアモルファスのIZO膜を成膜する成膜工程と、成膜工程後に300℃〜800℃で加熱処理することにより、アモルファスのIZO膜を結晶化する熱処理工程とを行う方法が挙げられる。なお、透光性電極層109の成膜方法は、スパッタリング法を用いることが好ましいが、スパッタリング法でなくてもよい。また、熱処理工程は、アモルファスのIZO膜を結晶化させて、透光性電極層109の透光性を向上させるとともに、p型半導体層106との接着性を向上させるために行うことが好ましい。
アモルファス状態のIZO膜は、例えば300℃〜800℃の熱処理を行なうことで六方晶構造のIn2O3結晶を含むIZO膜や、ビックスバイト構造のIn2O3結晶を含むIZO膜となる。アモルファス状態のIZO膜を結晶化させる場合、IZO膜の成膜条件や熱処理条件などが異なるとIZO膜中の結晶構造が異なる。
IZO膜を熱処理する温度が300℃未満である場合、IZO膜を十分に結晶化できない恐れが生じ、IZO膜の光透過率が十分に高いものとならない場合がある。また、IZO膜を800℃を超える温度で熱処理した場合には、IZO膜は結晶化されているが、IZO膜の光透過率が十分に高いものとならない場合がある。また、800℃を超える温度で熱処理を行なった場合、IZO膜の下にある半導体層を劣化させる恐れもある。
IZO膜を熱処理する温度が300℃未満である場合、IZO膜を十分に結晶化できない恐れが生じ、IZO膜の光透過率が十分に高いものとならない場合がある。また、IZO膜を800℃を超える温度で熱処理した場合には、IZO膜は結晶化されているが、IZO膜の光透過率が十分に高いものとならない場合がある。また、800℃を超える温度で熱処理を行なった場合、IZO膜の下にある半導体層を劣化させる恐れもある。
また、IZO膜の熱処理は、O2を含まない雰囲気で行なうことが望ましく、O2を含まない雰囲気としては、N2雰囲気などの不活性ガス雰囲気や、またはN2などの不活性ガスとH2の混合ガス雰囲気などを挙げることができ、N2雰囲気、またはN2とH2の混合ガス雰囲気とすることが望ましい。
IZO膜の熱処理をN2雰囲気、またはN2とH2の混合ガス雰囲気中で行なうと、例えば、IZO膜を六方晶構造のIn2O3結晶を含む膜に結晶化させるとともに、IZO膜の接触抵抗を効果的に減少させることが可能である。
IZO膜の熱処理をN2雰囲気、またはN2とH2の混合ガス雰囲気中で行なうと、例えば、IZO膜を六方晶構造のIn2O3結晶を含む膜に結晶化させるとともに、IZO膜の接触抵抗を効果的に減少させることが可能である。
なお、IZO膜のパターニングは、熱処理工程を行なう前に行なうことが望ましい。熱処理により、アモルファス状態のIZO膜は結晶化されたIZO膜となるため、アモルファス状態のIZO膜と比較してエッチングが難しくなる。これに対し、熱処理前のIZO膜は、アモルファス状態であるため、周知のエッチング液(例えば、ITO−07Nエッチング液(関東化学社製))を用いて容易に精度良くエッチングすることが可能である。
また、アモルファス状態のIZO膜のエッチングは、ドライエッチング装置を用いて行なっても良い。このときのエッチングガスとしてはCl2、SiCl4、BCl3等を用いることができる。
また、アモルファス状態のIZO膜のエッチングは、ドライエッチング装置を用いて行なっても良い。このときのエッチングガスとしてはCl2、SiCl4、BCl3等を用いることができる。
次に、ボンディングパッド電極107は、発光層からの光を反射すると同時に、ボンディングワイヤとの密着性に優れたものがよい。ボンディングパッド電極107は、公知なものが使用でき、積層構造からなるものでもよく、例えば、Ag、Al、Ru、Rh、Pd、Os、Ir、Pt属元素のうちの何れかまたはこれら金属の何れかを含む合金からなる金属反射層107aと、ボンディング層107cとが少なくとも含まれるものであることが好ましい。より具体的には、図1に示すように、ポンディングパッド電極107は、透光性電極109側から順に、金属反射層107a、バリア層107b、ボンディング層107cが順次積層された積層体からなることが好ましい。また、ボンディングパッド電極107は、金属反射層107aのみからなる単層構造であってもよく、金属反射層107aとボンディング層107cとの二層構造であってもよい。
また、透光性電極層109と金属反射層107aとの間により密着性を高めるために、Al、Ti、V、Cr、Mn、Co、Zn、Ge、Zr、Nb、Mo、Ru、Hf、Ta、W、Re、Rh、Ir、Niからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素からなる接合層を用いてもよい。中でも、Cr、Ti、W、Mo、Zr、Hf、Co、Rh、Ir、Niからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素からなる接合層が好適である。
また、透光性電極層109と金属反射層107aとの間により密着性を高めるために、Al、Ti、V、Cr、Mn、Co、Zn、Ge、Zr、Nb、Mo、Ru、Hf、Ta、W、Re、Rh、Ir、Niからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素からなる接合層を用いてもよい。中でも、Cr、Ti、W、Mo、Zr、Hf、Co、Rh、Ir、Niからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素からなる接合層が好適である。
図1に示す金属反射層107aは、反射率の高い金属で構成することが好ましく、Ru、Rh、Pd、Os、Ir、Pt等の白金族金属、Al、Ag、およびこれらの金属の少なくも一種を含む合金で構成することがより好ましい。
また、金属反射層107aは、高い反射率を有する金属で形成した場合、厚さが20〜3000nmであることが望ましい。金属反射層107aが薄すぎると充分な反射の効果が得られない。厚すぎると特に利点は生じず、工程時間の長時間化と材料の無駄を生じるのみである。
また、金属反射層107aは、高い反射率を有する金属で形成した場合、厚さが20〜3000nmであることが望ましい。金属反射層107aが薄すぎると充分な反射の効果が得られない。厚すぎると特に利点は生じず、工程時間の長時間化と材料の無駄を生じるのみである。
ボンディングパッド電極107の反射層の上に形成されるバリア層107bには、ボンディングパッド電極107全体の強度を強化する役割や元素の拡散防止障壁の役割がある。材料として望ましいのは、Ti、CrまたはAlである。中でも、Tiは材料の強度の点で望ましいが、ボンディングパッド電極107の構成元素により、バリア層を用いなくてもよい。なお、バリア層107bの厚さは20〜3000nmであることが望ましい。バリア層107bが薄すぎると充分な強度強化の効果が得られず、厚すぎても特に利点は生ぜず、コスト増大を招くのみである。
ボンディングパッド電極107の最上層(反射層と反対側)となるボンディング層107cは、ボンディングボールとの密着性の良い材料とすることが望ましい。ボンディングボールには金を使用することが多く、金ボールとの密着性の良い金属としてはAuとAlが知られている。中でも、特に望ましいのは金である。この最上層の厚さは50〜20000nmが望ましく、更に望ましくは100〜1500nmである。薄すぎるとボンディングボールとの密着性が悪くなり、厚すぎても特に利点は生ぜず、コスト増大を招くのみである。
ボンディングパッド電極107に向かった光は、ボンディングパッド電極107の最下面(透光性電極側の面)の金属反射層107aで反射され、一部は散乱されて横方向あるいは斜め方向に進み、一部はボンディングパッド電極107の直下に進む。散乱されて横方向や斜め方向に進んだ光は、半導体発光素子1の側面から外部に取り出される。一方、ボンディングパッド電極107の直下の方向に進んだ光は、半導体発光素子1の下面でさらに散乱や反射されて、側面や透光性電極109(上にボンディングパッド電極が存在しない部分)を通じて外部へ取り出される。
次に、本実施形態の半導体発光素子1を構成する基板及び積層半導体層20について説明する。
(基板)
本実施形態の半導体発光素子の基板101としては、III族窒化物半導体結晶が表面にエピタキシャル成長される基板であれば、特に限定されず、各種の基板を選択して用いることができる。例えば、サファイア、SiC、シリコン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化ジルコニウム、酸化マンガン亜鉛鉄、酸化マグネシウムアルミニウム、ホウ化ジルコニウム、酸化ガリウム、酸化インジウム、酸化リチウムガリウム、酸化リチウムアルミニウム、酸化ネオジウムガリウム、酸化ランタンストロンチウムアルミニウムタンタル、酸化ストロンチウムチタン、酸化チタン、ハフニウム、タングステン、モリブデン等からなる基板を用いることができる。
また、上記基板の中でも、特に、c面を主面とするサファイア基板を用いることが好ましい。サファイア基板を用いる場合は、サファイアのc面上に中間層102(バッファ層)を形成するとよい。
(基板)
本実施形態の半導体発光素子の基板101としては、III族窒化物半導体結晶が表面にエピタキシャル成長される基板であれば、特に限定されず、各種の基板を選択して用いることができる。例えば、サファイア、SiC、シリコン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化ジルコニウム、酸化マンガン亜鉛鉄、酸化マグネシウムアルミニウム、ホウ化ジルコニウム、酸化ガリウム、酸化インジウム、酸化リチウムガリウム、酸化リチウムアルミニウム、酸化ネオジウムガリウム、酸化ランタンストロンチウムアルミニウムタンタル、酸化ストロンチウムチタン、酸化チタン、ハフニウム、タングステン、モリブデン等からなる基板を用いることができる。
また、上記基板の中でも、特に、c面を主面とするサファイア基板を用いることが好ましい。サファイア基板を用いる場合は、サファイアのc面上に中間層102(バッファ層)を形成するとよい。
(積層半導体層)
積層半導体層は、III族窒化物半導体からなる積層半導体であって、例えば、図1及び図3に示すように、基板上にn型半導体層104、発光層105及びp型半導体層106の各層がこの順で積層されてなるものである。積層半導体層20は、さらに下地層103、中間層102を含めて呼んでもよい。積層半導体層20は、MOCVD法で形成すると結晶性の良いものが得られるが、スパッタリング法によっても条件を最適化することで、MOCVD法よりも優れた結晶性を有する半導体層を形成できる。以下、順次説明する。
積層半導体層は、III族窒化物半導体からなる積層半導体であって、例えば、図1及び図3に示すように、基板上にn型半導体層104、発光層105及びp型半導体層106の各層がこの順で積層されてなるものである。積層半導体層20は、さらに下地層103、中間層102を含めて呼んでもよい。積層半導体層20は、MOCVD法で形成すると結晶性の良いものが得られるが、スパッタリング法によっても条件を最適化することで、MOCVD法よりも優れた結晶性を有する半導体層を形成できる。以下、順次説明する。
(バッファ層)
バッファ層102は、多結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)からなるものが好ましく、単結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)のものがより好ましい。
バッファ層102は、上述のように、例えば、多結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)からなる厚さ0.01〜0.5μmのものとすることができる。バッファ層102の厚みが0.01μm未満であると、バッファ層102により基板101と下地層103との格子定数の違いを緩和する効果が十分に得られない場合がある。また、バッファ層102の厚みが0.5μmを超えると、バッファ層102としての機能には変化が無いのにも関わらず、バッファ層102の成膜処理時間が長くなり、生産性が低下する虞がある。
バッファ層102は、多結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)からなるものが好ましく、単結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)のものがより好ましい。
バッファ層102は、上述のように、例えば、多結晶のAlxGa1−xN(0≦x≦1)からなる厚さ0.01〜0.5μmのものとすることができる。バッファ層102の厚みが0.01μm未満であると、バッファ層102により基板101と下地層103との格子定数の違いを緩和する効果が十分に得られない場合がある。また、バッファ層102の厚みが0.5μmを超えると、バッファ層102としての機能には変化が無いのにも関わらず、バッファ層102の成膜処理時間が長くなり、生産性が低下する虞がある。
バッファ層102は、基板101と下地層103との格子定数の違いを緩和し、基板101の(0001)C面上にC軸配向した単結晶層の形成を容易にする働きがある。したがって、バッファ層102を形成することで、より一層結晶性の良い下地層103が積層できる。
バッファ層102は、III族窒化物半導体からなる六方晶系の結晶構造を持つものであってもよい。また、バッファ層102をなすIII族窒化物半導体の結晶は、単結晶構造を有するものであってもよく、単結晶構造を有するものが好ましく用いられる。III族窒化物半導体の結晶は、成長条件を制御することにより、上方向だけでなく、面内方向にも成長して単結晶構造を形成する。このため、バッファ層102の成膜条件を制御することにより、単結晶構造のIII族窒化物半導体の結晶からなるバッファ層102とすることができる。このような単結晶構造を有するバッファ層102を基板101上に成膜した場合、バッファ層102のバッファ機能が有効に作用するため、その上に成膜されたIII族窒化物半導体は良好な配向性及び結晶性を有する結晶膜となる。
また、バッファ層102をなすIII族窒化物半導体の結晶は、成膜条件をコントロールすることにより、六角柱を基本とした集合組織からなる柱状結晶(多結晶)とすることも可能である。なお、ここでの集合組織からなる柱状結晶とは、隣接する結晶粒との間に結晶粒界を形成して隔てられており、それ自体は縦断面形状として柱状になっている結晶のことをいう。
(下地層)
下地層103としては、AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)が挙げられるが、AlxGa1−xN(0≦x<1)を用いると結晶性の良い下地層103を形成できるため好ましい。
下地層103の膜厚は0.1μm以上が好ましく、より好ましくは0.5μm以上であり、1μm以上が最も好ましい。この膜厚以上にした方が結晶性の良好なAlxGa1−xN層が得られやすい。
下地層103としては、AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)が挙げられるが、AlxGa1−xN(0≦x<1)を用いると結晶性の良い下地層103を形成できるため好ましい。
下地層103の膜厚は0.1μm以上が好ましく、より好ましくは0.5μm以上であり、1μm以上が最も好ましい。この膜厚以上にした方が結晶性の良好なAlxGa1−xN層が得られやすい。
下地層103の結晶性を良くするためには、下地層103は不純物をドーピングしない方が望ましい。しかし、p型あるいはn型の導電性が必要な場合は、アクセプター不純物あるいはドナー不純物を添加することが出来る。
(n型半導体層)
n型半導体層104は、通常nコンタクト層104aとnクラッド層104bとから構成されるのが好ましい。nコンタクト層104aはnクラッド層104bを兼ねることも可能である。また、前述の下地層をn型半導体層104に含めてもよい。
n型半導体層104は、通常nコンタクト層104aとnクラッド層104bとから構成されるのが好ましい。nコンタクト層104aはnクラッド層104bを兼ねることも可能である。また、前述の下地層をn型半導体層104に含めてもよい。
nコンタクト層104aは、n型電極を設けるための層である。nコンタクト層104aとしては、AlxGa1−xN層(0≦x<1、好ましくは0≦x≦0.5、さらに好ましくは0≦x≦0.1)から構成されることが好ましい。また、nコンタクト層104aにはn型不純物がドープされていることが好ましく、n型不純物を1×1017〜1×1020/cm3、好ましくは1×1018〜1×1019/cm3の濃度で含有すると、n型電極との良好なオーミック接触の維持の点で好ましい。n型不純物としては、特に限定されないが、例えば、Si、GeおよびSn等が挙げられ、好ましくはSiおよびGeが挙げられる。
nコンタクト層104aの膜厚は、0.5〜5μmとされることが好ましく、1〜3μmの範囲に設定することがより好ましい。nコンタクト層104aの膜厚が上記範囲にあると、半導体の結晶性が良好に維持される。
nコンタクト層104aと発光層105との間には、nクラッド層104bを設けることが好ましい。nクラッド層104bは、発光層105へのキャリアの注入とキャリアの閉じ込めを行なう層である。nクラッド層104bはAlGaN、GaN、GaInNなどで形成することが可能である。また、これらの構造のヘテロ接合や複数回積層した超格子構造としてもよい。nクラッド層104bをGaInNで形成する場合には、発光層105のGaInNのバンドギャップよりも大きくすることが望ましいことは言うまでもない。
nクラッド層104bの膜厚は、特に限定されないが、好ましくは0.005〜0.5μmであり、より好ましくは0.005〜0.1μmである。nクラッド層104bのn型ドープ濃度は1×1017〜1×1020/cm3が好ましく、より好ましくは1×1018〜1×1019/cm3である。ドープ濃度がこの範囲であると、良好な結晶性の維持および素子の動作電圧低減の点で好ましい。
なお、nクラッド層104bを、超格子構造を含む層とする場合には、詳細な図示を省略するが、100オングストローム以下の膜厚を有したIII族窒化物半導体からなるn側第1層と、該n側第1層と組成が異なるとともに100オングストローム以下の膜厚を有したIII族窒化物半導体からなるn側第2層とが積層された構造を含むものであっても良い。また、nクラッド層104bは、n側第1層とn側第2層とが交互に繰返し積層された構造を含んだものであってもよい。また、好ましくは、前記n側第1層又はn側第2層の何れかが、活性層(発光層15)に接する構成とすれば良い。
上述のようなn側第1層及びn側第2層は、例えばAlを含むAlGaN系(単にAlGaNと記載することがある)、Inを含むGaInN系(単にGaInNと記載することがある)、GaNの組成とすることができる。また、n側第1層及びn側第2層は、GaInN/GaNの交互構造、AlGaN/GaNの交互構造、GaInN/AlGaNの交互構造、組成の異なるGaInN/GaInNの交互構造(本発明における“組成の異なる”との説明は、各元素組成比が異なることを指し、以下同様である)、組成の異なるAlGaN/AlGaNの交互構造であってもよい。本発明においては、n側第1層及びn側第2層は、GaInN/GaNの交互構造又は組成の異なるGaInN/GaInNであることが好ましい。
上記n側第1層及びn側第2層の超格子層は、それぞれ60オングストローム以下であることが好ましく、それぞれ40オングストローム以下であることがより好ましく、それぞれ10オンストローム〜40オングストロームの範囲であることが最も好ましい。超格子層を形成するn側第1層とn側第2層の膜厚が100オングストローム超だと、結晶欠陥が入りやすく好ましくない。
上記n側第1層及びn側第2層は、それぞれドープした構造であってもよく、また、ドープ構造/未ドープ構造の組み合わせであってもよい。ドープされる不純物としては、上記材料組成に対して従来公知のものを、何ら制限無く適用できる。例えば、nクラッド層として、GaInN/GaNの交互構造又は組成の異なるGaInN/GaInNの交互構造のものを用いた場合には、不純物としてSiが好適である。また、上述のようなn側超格子多層膜は、GaInNやAlGaN、GaNで代表される組成が同じであっても、ドーピングを適宜ON、OFFしながら作製してもよい。
(発光層)
n型半導体層104の上に積層される発光層105としては、単一量子井戸構造あるいは多重量子井戸構造などの発光層105がある。図3に示すような、量子井戸構造の井戸層105bとしては、Ga1−yInyN(0<y<0.4)からなるIII族窒化物半導体層が通常用いられる。井戸層105bの膜厚としては、量子効果の得られる程度の膜厚、例えば1〜10nmとすることができ、好ましくは2〜6nmとすると発光出力の点で好ましい。
また、障壁層105aとしては、井戸層105bよりバンドギャップエネルギーが大きいAlzGa1−zN(0≦z<0.3)からなるIII族窒化物半導体層が用いられる。井戸層105bおよび障壁層105aには、設計により不純物をドープしてもしなくてもよい。
n型半導体層104の上に積層される発光層105としては、単一量子井戸構造あるいは多重量子井戸構造などの発光層105がある。図3に示すような、量子井戸構造の井戸層105bとしては、Ga1−yInyN(0<y<0.4)からなるIII族窒化物半導体層が通常用いられる。井戸層105bの膜厚としては、量子効果の得られる程度の膜厚、例えば1〜10nmとすることができ、好ましくは2〜6nmとすると発光出力の点で好ましい。
また、障壁層105aとしては、井戸層105bよりバンドギャップエネルギーが大きいAlzGa1−zN(0≦z<0.3)からなるIII族窒化物半導体層が用いられる。井戸層105bおよび障壁層105aには、設計により不純物をドープしてもしなくてもよい。
(p型半導体層)
p型半導体層106は、通常、pクラッド層106aおよびpコンタクト層106bから構成される。また、pコンタクト層106bがpクラッド層106aを兼ねることも可能である。
p型半導体層106は、通常、pクラッド層106aおよびpコンタクト層106bから構成される。また、pコンタクト層106bがpクラッド層106aを兼ねることも可能である。
pクラッド層106aは、発光層105へのキャリアの閉じ込めとキャリアの注入を行なう層である。pクラッド層106aとしては、発光層105のバンドギャップエネルギーより大きくなる組成であり、発光層105へのキャリアの閉じ込めができるものであれば特に限定されないが、好ましくは、AlxGa1−xN(0<x≦0.4)のものが挙げられる。pクラッド層106aが、このようなAlGaNからなると、発光層へのキャリアの閉じ込めの点で好ましい。pクラッド層106aの膜厚は、特に限定されないが、好ましくは1〜400nmであり、より好ましくは5〜100nmである。pクラッド層106aのp型ドープ濃度は、1×1018〜1×1021/cm3が好ましく、より好ましくは1×1019〜1×1020/cm3である。p型ドープ濃度が上記範囲であると、結晶性を低下させることなく良好なp型結晶が得られる。
また、pクラッド層106aは、複数回積層した超格子構造としてもよい。
また、pクラッド層106aは、複数回積層した超格子構造としてもよい。
なお、pクラッド層106aを、超格子構造を含む層とする場合には、詳細な図示を省略するが、100オングストローム以下の膜厚を有したIII族窒化物半導体からなるp側第1層と、該p側第1層と組成が異なるとともに100オングストローム以下の膜厚を有したIII族窒化物半導体からなるp側第2層とが積層された構造を含むものであっても良い。また、p側第1層とp側第2層とが交互に繰返し積層された構造を含んだものであっても良い。
上述のようなp側第1層及びp側第2層は、それぞれ異なる組成、例えば、AlGaN、GaInN又はGaNの内の何れの組成であっても良い、また、GaInN/GaNの交互構造、AlGaN/GaNの交互構造、又はGaInN/AlGaNの交互構造であっても良い。本発明においては、p側第1層及びp側第2層は、AlGaN/AlGaN又はAlGaN/GaNの交互構造であることが好ましい。
上記p側第1層及びp側第2層の超格子層は、それぞれ60オングストローム以下であることが好ましく、それぞれ40オングストローム以下であることがより好ましく、それぞれ10オングストローム〜40オングストロームの範囲であることが最も好ましい。超格子層を形成するp側第1層とp側第2層の膜厚が100オングストローム超だと、結晶欠陥等を多く含む層となり、好ましくない。
上記p側第1層及びp側第2層は、それぞれドープした構造であっても良く、また、ドープ構造/未ドープ構造の組み合わせであっても良い。ドープされる不純物としては、上記材料組成に対して従来公知のものを、何ら制限無く適用できる。例えば、pクラッド層として、AlGaN/GaNの交互構造又は組成の異なるAlGaN/AlGaNの交互構造のものを用いた場合には、不純物としてMgが好適である。また、上述のようなp側超格子多層膜は、GaInNやAlGaN、GaNで代表される組成が同じであっても、ドーピングを適宜ON、OFFしながら作製してもよい。
pコンタクト層106bは、正極を設けるための層である。pコンタクト層106bは、AlxGa1−xN(0≦x≦0.4)が好ましい。Al組成が上記範囲であると、良好な結晶性の維持およびpオーミック電極との良好なオーミック接触の点で好ましい。p型不純物(ドーパント)を1×1018〜1×1021/cm3の濃度、好ましくは5×1019〜5×1020/cm3の濃度で含有していると、良好なオーミック接触の維持、クラック発生の防止、良好な結晶性の維持の点で好ましい。p型不純物としては、特に限定されないが、例えば好ましくはMgが挙げられる。pコンタクト層106bの膜厚は、特に限定されないが、0.01〜0.5μmが好ましく、より好ましくは0.05〜0.2μmである。pコンタクト層106bの膜厚がこの範囲であると、発光出力の点で好ましい。
(n型電極)
n型電極108はボンディングパットを兼ねており、積層半導体層20のn型半導体層104に接するように形成されている。このため、n型電極108を形成する際には、発光層105およびp半導体層106の一部を除去してn型半導体層104のnコンタクト層を露出させ、この露出面104c上にボンディングパッドを兼ねるn型電極108を形成する。
n型電極108としては、各種組成や構造が周知であり、これら周知の組成や構造を何ら制限無く用いることができ、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。特に、n型電極108は、前述のボンディングパッド電極107の構造と同じ構成範囲から任意に選択して電極構成としてもよく、また前述のボンディングパッド電極107の電極構造と同じ構成としてもよい。
n型電極108はボンディングパットを兼ねており、積層半導体層20のn型半導体層104に接するように形成されている。このため、n型電極108を形成する際には、発光層105およびp半導体層106の一部を除去してn型半導体層104のnコンタクト層を露出させ、この露出面104c上にボンディングパッドを兼ねるn型電極108を形成する。
n型電極108としては、各種組成や構造が周知であり、これら周知の組成や構造を何ら制限無く用いることができ、この技術分野でよく知られた慣用の手段で設けることができる。特に、n型電極108は、前述のボンディングパッド電極107の構造と同じ構成範囲から任意に選択して電極構成としてもよく、また前述のボンディングパッド電極107の電極構造と同じ構成としてもよい。
(半導体発光素子の製造方法)
本実施形態の半導体発光素子1を製造するには、先ず、サファイア基板等の基板101を用意する。
次に、基板101の上面上にバッファ層102を積層する。
バッファ層102を基板101上に形成する場合、基板101に前処理を施してからバッファ層102を形成することが望ましい。
前処理としては、例えば、スパッタ装置のチャンバ内に基板101を配置し、バッファ層102を形成する前にスパッタするなどの方法によって行うことができる。具体的には、チャンバ内において、基板101をArやN2のプラズマ中に曝す事によって上面を洗浄する前処理を行なってもよい。ArガスやN2ガスなどのプラズマを基板101に作用させることで、基板101の上面に付着した有機物や酸化物を除去することができる。
本実施形態の半導体発光素子1を製造するには、先ず、サファイア基板等の基板101を用意する。
次に、基板101の上面上にバッファ層102を積層する。
バッファ層102を基板101上に形成する場合、基板101に前処理を施してからバッファ層102を形成することが望ましい。
前処理としては、例えば、スパッタ装置のチャンバ内に基板101を配置し、バッファ層102を形成する前にスパッタするなどの方法によって行うことができる。具体的には、チャンバ内において、基板101をArやN2のプラズマ中に曝す事によって上面を洗浄する前処理を行なってもよい。ArガスやN2ガスなどのプラズマを基板101に作用させることで、基板101の上面に付着した有機物や酸化物を除去することができる。
基板101上に、スパッタ法によってバッファ層102を成膜する。スパッタ法によって、単結晶構造を有するバッファ層102を形成する場合、チャンバ内の窒素原料と不活性ガスの流量に対する窒素流量の比を、窒素原料が50%〜100%、望ましくは75%となるようにすることが望ましい。
また、スパッタ法によって、柱状結晶(多結晶)を有するバッファ層102を形成する場合、チャンバ内の窒素原料と不活性ガスの流量に対する窒素流量の比を、窒素原料が1%〜50%、望ましくは25%となるようにすることが望ましい。なお、バッファ層102は、上述したスパッタ法だけでなく、MOCVD法で形成することもできる。
また、スパッタ法によって、柱状結晶(多結晶)を有するバッファ層102を形成する場合、チャンバ内の窒素原料と不活性ガスの流量に対する窒素流量の比を、窒素原料が1%〜50%、望ましくは25%となるようにすることが望ましい。なお、バッファ層102は、上述したスパッタ法だけでなく、MOCVD法で形成することもできる。
次に、バッファ層を形成した後、バッファ層102の形成された基板101の上面上に、単結晶の下地層103を形成する。下地層103は、スパッタ法を用いて成膜することが望ましい。スパッタ法を用いる場合には、MOCVD法やMBE法等と比較して、装置を簡便な構成とすることが可能となる。下地層103をスパッタ法で成膜する際、窒素等のV族原料をリアクタ内に流通させるリアクティブスパッタ法によって成膜する方法とすることが好ましい。
一般に、スパッタ法においては、ターゲット材料の純度が高い程、成膜後の薄膜の結晶性等の膜質が良好となる。下地層103をスパッタ法によって成膜する場合、原料となるターゲット材料としてIII族窒化物半導体を用い、Arガス等の不活性ガスのプラズマによるスパッタを行なうことも可能であるが、リアクティブスパッタ法においてターゲット材料に用いるIII族金属単体並びにその混合物は、III族窒化物半導体と比較して高純度化が可能である。このため、リアクティブスパッタ法では、成膜される下地層103の結晶性をより向上させることが可能となる。
一般に、スパッタ法においては、ターゲット材料の純度が高い程、成膜後の薄膜の結晶性等の膜質が良好となる。下地層103をスパッタ法によって成膜する場合、原料となるターゲット材料としてIII族窒化物半導体を用い、Arガス等の不活性ガスのプラズマによるスパッタを行なうことも可能であるが、リアクティブスパッタ法においてターゲット材料に用いるIII族金属単体並びにその混合物は、III族窒化物半導体と比較して高純度化が可能である。このため、リアクティブスパッタ法では、成膜される下地層103の結晶性をより向上させることが可能となる。
下地層103を成膜する際の基板101の温度、つまり、下地層103の成長温度は、800℃以上とすることが好ましく、より好ましくは900℃以上の温度であり、1000℃以上の温度とすることが最も好ましい。これは、下地層103を成膜する際の基板101の温度を高くすることによって原子のマイグレーションが生じやすくなり、転位のループ化が容易に進行するからである。また、下地層103を成膜する際の基板101の温度は、結晶の分解する温度よりも低温である必要があるため、1200℃未満とすることが好ましい。下地層103を成膜する際の基板101の温度が上記温度範囲内であれば、結晶性の良い下地層103が得られる。
下地層103の形成後、nコンタクト層104a及びnクラッド層104bを積層してn型半導体層104を形成する。nコンタクト層104a及びnクラッド層104bは、スパッタ法で形成してもよく、MOCVD法で形成してもよい。
発光層105の形成は、スパッタ法、MOCVD法のいずれの方法でもよいが、特にMOCVD法が好ましい。具体的には、障壁層105aと井戸層105bとを交互に繰り返して積層し、且つ、n型半導体層104側及びp型半導体層106側に障壁層105aが配される様に積層すればよい。
また、p型半導体層106の形成は、スパッタ法、MOCVD法のいずれの方法でもよい。具体的には、pクラッド層106aと、pコンタクト層106bとを順次積層すればよい。
また、p型半導体層106の形成は、スパッタ法、MOCVD法のいずれの方法でもよい。具体的には、pクラッド層106aと、pコンタクト層106bとを順次積層すればよい。
その後、p型半導体層106上に、例えば、スパッタリング法を用いて室温で透光性電極層109となる透光性電極膜を成膜した。スパッタリング装置から取り出した後、透光性電極膜を300℃〜800℃で加熱処理して透光性電極層109とする(熱処理工程)。
続いて、例えばフォトリソグラフィーによりパターニングして、所定の領域の積層半導体層の一部をエッチングしてnコンタクト層104aの一部を露出させ、nコンタクト層104aの露出面104cにn型電極108を形成する。
次いで、透光性電極109の上に、金属反射層107a、バリア層107b及びボンディング層107cを順次積層してボンディングパッド電極107を形成する。
このようにして、図1〜図3に示す半導体発光素子1が製造される。
続いて、例えばフォトリソグラフィーによりパターニングして、所定の領域の積層半導体層の一部をエッチングしてnコンタクト層104aの一部を露出させ、nコンタクト層104aの露出面104cにn型電極108を形成する。
次いで、透光性電極109の上に、金属反射層107a、バリア層107b及びボンディング層107cを順次積層してボンディングパッド電極107を形成する。
このようにして、図1〜図3に示す半導体発光素子1が製造される。
本実施形態の半導体発光素子1によれば、透光性電極層109が、ドーパント元素を含み、透光性電極層109中のドーパント元素の含有量が、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aに近づくに従って徐々に減少しており、透光性電極層109に、界面109aから透光性電極層109内に向かってp型半導体層106を構成する元素が拡散してなる拡散領域が形成されているので、p型半導体層106の上面106aに形成された透光性電極層109の接触抵抗が十分に低く、駆動電圧(Vf)の低いものとなる。
また、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109aから前記透光性電極層内に向かう領域において、拡散領域の厚みが、前記界面109aから3nm以上、好ましくは5nm以上、より好ましくは前記界面〜10nm付近の領域にある場合には、透光性電極層109中に拡散領域が形成されていることによって接触抵抗を低下させる効果がより効果的に得られ、より一層駆動電圧(Vf)の低いものとすることができる。
さらに、前記拡散領域において、界面109aから5nm付近における、p型半導体層106を構成する元素(Ga)の濃度が2%以上である場合には、透光性電極層109中に拡散領域が形成されていることによって前記接触抵抗を低下させる効果がより効果的に得られ、より一層駆動電圧(Vf)の低いものとすることができる。
さらに、拡散領域におけるドーパントのZn元素含有量が、透光性電極層109全体の平均濃度よりも低い場合には、接触抵抗を低下させるという格別な効果が得られる。
また、p型半導体層106がGaNを含むものであり、Zn元素を含む透光性電極層109がIZOからなるものである場合、IZOに含まれるZn(ドーパント元素)がp型半導体層106に対してp型のドーパントとして機能し、透光性電極層109とp型半導体層106との間における接触抵抗を効果的に低下させることができる。そのため、透光性電極層109の接触抵抗を十分に低くすることができ、駆動電圧(Vf)を低下させることができる。
また、本発明において、チャンバー(図示略)内の2つのターゲット2を同時に放電させてp型半導体層上に透光性電極層109を形成する工程が、室温で透光性電極膜を成膜する成膜工程と、成膜工程後に300℃〜800℃で加熱処理する熱処理工程とを含む場合、透光性電極層109の透光性を向上させるとともに、p型半導体層106との接着性を向上させることができる。前記熱処理温度は、好ましくは500℃〜800℃、より好ましくは600℃〜800℃で行うのがよい。
(ランプ)
本実施形態のランプは、本実施形態の半導体発光素子1が用いられてなるものである。本実施形態のランプとしては、例えば、上記の半導体発光素子1と蛍光体とを組み合わせてなるものを挙げることができる。半導体発光素子1と蛍光体とを組み合わせたランプは、当業者周知の手段によって当業者周知の構成とすることができる。また、従来より、半導体発光素子1と蛍光体とを組み合わせることによって発光色を変える技術が知られており、本実施形態のランプにおいてもこのような技術を何ら制限されることなく採用することが可能である。
本実施形態のランプは、本実施形態の半導体発光素子1が用いられてなるものである。本実施形態のランプとしては、例えば、上記の半導体発光素子1と蛍光体とを組み合わせてなるものを挙げることができる。半導体発光素子1と蛍光体とを組み合わせたランプは、当業者周知の手段によって当業者周知の構成とすることができる。また、従来より、半導体発光素子1と蛍光体とを組み合わせることによって発光色を変える技術が知られており、本実施形態のランプにおいてもこのような技術を何ら制限されることなく採用することが可能である。
図4は、本発明のランプの一例を模式的に示した断面模式図であり、上記の半導体発光素子1を用いて構成したランプを示した概略図である。図4に示すランプ3は、砲弾型のものであり、図1に示す半導体発光素子1が用いられている。図4に示すように、半導体発光素子1のボンディングパッド電極107がワイヤー33で2本のフレーム31、32の内の一方(図4ではフレーム31)に接着され、発光素子1のn型電極108(ボンディングパッド)がワイヤー34で他方のフレーム32に接合されることにより、半導体発光素子1が実装されている。また、半導体発光素子1の周辺は、透明な樹脂からなるモールド35で封止されている。
本実施形態のランプは、上記の半導体発光素子1が用いられてなるものであるので、駆動電圧(Vf)の低い優れたものとなる。
なお、本実施形態のランプは、一般用途の砲弾型、携帯のバックライト用途のサイドビュー型、表示器に用いられるトップビュー型等いかなる用途にも用いることができる。
また、本発明の半導体発光素子から作製したランプは、前述のように駆動電圧(Vf)の低くすることができるので、この技術によって作製したランプを組み込んだバックライト、携帯電話、ディスプレイ、各種パネル類、コンピュータ、ゲーム機、照明などの電子機器や、その電子機器を組み込んだ自動車などの機械装置類は、低電力での駆動が可能となり、高い特性を実現することが可能である。特に、バックライト、携帯電話、ディスプレイ、ゲーム機、照明などの、バッテリ駆動させる機器類において省電力の効果を発揮し、好ましい。
なお、本実施形態のランプは、一般用途の砲弾型、携帯のバックライト用途のサイドビュー型、表示器に用いられるトップビュー型等いかなる用途にも用いることができる。
また、本発明の半導体発光素子から作製したランプは、前述のように駆動電圧(Vf)の低くすることができるので、この技術によって作製したランプを組み込んだバックライト、携帯電話、ディスプレイ、各種パネル類、コンピュータ、ゲーム機、照明などの電子機器や、その電子機器を組み込んだ自動車などの機械装置類は、低電力での駆動が可能となり、高い特性を実現することが可能である。特に、バックライト、携帯電話、ディスプレイ、ゲーム機、照明などの、バッテリ駆動させる機器類において省電力の効果を発揮し、好ましい。
次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。
(実施例1)
図1〜図3に示す窒化ガリウム系化合物半導体からなる半導体発光素子を製造した。実施例1の半導体発光素子では、サファイアからなる基板101上に、AlNからなるバッファ層102を介して、厚さ8μmのアンドープGaNからなる下地層103、厚さ2μmのSiドープn型GaNコンタクト層104a、厚さ250nmのn型In0.1Ga0.9Nクラッド層104b、厚さ16nmのSiドープGaN障壁層および厚さ2.5nmのIn0.2Ga0.8N井戸層を5回積層し、最後に障壁層を設けた多重量子井戸構造の発光層105、厚さ10nmのMgドープp型Al0.07Ga0.93Nクラッド層106a、厚さ150nmのMgドープp型GaNコンタクト層106bを順に積層した。
図1〜図3に示す窒化ガリウム系化合物半導体からなる半導体発光素子を製造した。実施例1の半導体発光素子では、サファイアからなる基板101上に、AlNからなるバッファ層102を介して、厚さ8μmのアンドープGaNからなる下地層103、厚さ2μmのSiドープn型GaNコンタクト層104a、厚さ250nmのn型In0.1Ga0.9Nクラッド層104b、厚さ16nmのSiドープGaN障壁層および厚さ2.5nmのIn0.2Ga0.8N井戸層を5回積層し、最後に障壁層を設けた多重量子井戸構造の発光層105、厚さ10nmのMgドープp型Al0.07Ga0.93Nクラッド層106a、厚さ150nmのMgドープp型GaNコンタクト層106bを順に積層した。
バッファ層をスパッタリング法により形成し、それ以外の窒化ガリウム系化合物半導体層の積層は、MOCVD法により、当該技術分野においてよく知られた通常の条件で行なった。
更に、p型GaNコンタクト層106b上に、図5に示すスパッタ装置を用いるスパッタリング法により透光性電極層109となるIZO膜を250nm成膜(成膜工程)した。前記成膜工程では、先ず、p型GaNコンタクト層106b上に、2つのターゲット2を有するRFスパッタリング装置により透光性電極層109をおよそ2nmを成膜し、次に2つのターゲット2を有するDCスパッタリング装置により透光性電極層109をおよそ250nm積層した。RF成膜時の圧力はおよそ1Pa、供給電力は0.5kWとした。DC成膜時の圧力はArガスを導入し、およそ0.3Paとした。スパッタ成膜においては、ZnO濃度が10質量%のIZOターゲットを使用した。
図5(a)は実施例1で用いたスパッタ装置の概略断面図であり、図5(b)は図5(a)に示すスパッタ装置の平面図である。図5に示すスパッタ装置は、図5(b)に示すように、チャンバー(図示略)内にターゲット2が2つ設置されたものであり、RFスパッタリング及びDCスパッタリング共に2つのターゲット2を有し、2つのターゲット2を同時に放電させて、基板4上に成膜した。
次いで、フォトリソグラフィーの手法によって所定の領域以外のIZO膜を除去した。その後、透光性電極膜をN2雰囲気中で700℃で加熱処理(熱処理工程)して透光性電極層109とした。
図5(a)は実施例1で用いたスパッタ装置の概略断面図であり、図5(b)は図5(a)に示すスパッタ装置の平面図である。図5に示すスパッタ装置は、図5(b)に示すように、チャンバー(図示略)内にターゲット2が2つ設置されたものであり、RFスパッタリング及びDCスパッタリング共に2つのターゲット2を有し、2つのターゲット2を同時に放電させて、基板4上に成膜した。
次いで、フォトリソグラフィーの手法によって所定の領域以外のIZO膜を除去した。その後、透光性電極膜をN2雰囲気中で700℃で加熱処理(熱処理工程)して透光性電極層109とした。
その後、透光性電極層109の上に、200nmのAlからなる金属反射層107a、80nmのTiからなるバリア層107b、200nmのAuからなるボンディング層107cからなる3層構造のボンディングパッド構造107を、フォトリソグラフィーの手法を用いて、図2の107に示す領域に形成した。
次に、フォトリソグラフィーの手法を用いてエッチングを施し、所望の領域にn型コンタクト層を露出させ、このn型GaNコンタクト層上にTi/Auの二層構造のn型電極108を形成し、光取り出し面を半導体側とした。
次に、フォトリソグラフィーの手法を用いてエッチングを施し、所望の領域にn型コンタクト層を露出させ、このn型GaNコンタクト層上にTi/Auの二層構造のn型電極108を形成し、光取り出し面を半導体側とした。
このようにして得られた実施例1の半導体発光素子について、駆動電圧(Vf)を測定したところ、3.09Vであった。
また、二次イオン質量分析計(SIMS)を用いて、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109a近傍におけるGa、In、Znの濃度を3元素によるatom%濃度表示で調べた。その結果を図7に示す。図7は、実施例1の半導体発光素子のp型半導体層と透光性電極層との界面からの距離と、Ga、In、Znの濃度(atom%)との関係を示したグラフである。
また、二次イオン質量分析計(SIMS)を用いて、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109a近傍におけるGa、In、Znの濃度を3元素によるatom%濃度表示で調べた。その結果を図7に示す。図7は、実施例1の半導体発光素子のp型半導体層と透光性電極層との界面からの距離と、Ga、In、Znの濃度(atom%)との関係を示したグラフである。
図7に示すように、実施例1の半導体発光素子では、透光性電極層中のドーパント元素であるZnの含有量が界面に近づくに従って徐々に減少している。また、透光性電極層において、p型半導体層を構成する元素であるGaが、界面から透光性電極層内に向かって拡散されて拡散領域が形成されていることが分かる。また、界面から10nm離れた位置においてもGaが2%以上含まれており、拡散領域の厚みが、界面から5nm以上になっていることが分かる。また、拡散領域におけるZnの含有量が、透光性電極層全体の平均濃度である20atom%よりも低くなっていることが分かる。
さらに、実施例1の半導体発光素子では、p型半導体層と透光性電極層との界面からp型半導体層内に向かってZnが拡散している。また、p型半導体層内に拡散しているZn濃度は、透光性電極層中の最低のZn濃度よりも低くなっている。
さらに、実施例1の半導体発光素子では、p型半導体層と透光性電極層との界面からp型半導体層内に向かってZnが拡散している。また、p型半導体層内に拡散しているZn濃度は、透光性電極層中の最低のZn濃度よりも低くなっている。
(比較例)
図6に示すスパッタ装置を用いRFスパッタリング及びDCスパッタリング時のそれぞれのターゲットを1つに変更し、透光性電極層109となるIZO膜を成膜したこと以外は、実施例1と同様にして比較例の半導体発光素子を得た。なお、IZO膜全体の平均ZnO濃度は20質量%であった。
図6(a)は比較例で用いたスパッタ装置の概略断面図であり、図6(b)は図6(a)に示すスパッタ装置の平面図である。図6に示すスパッタ装置は、図6(b)に示すように、チャンバー(図示略)内にターゲット2が1つ設置されており、1つのターゲット2を放電させて、基板4上に成膜するものである。スパッタ条件は、実施例1と同様とした。
図6に示すスパッタ装置を用いRFスパッタリング及びDCスパッタリング時のそれぞれのターゲットを1つに変更し、透光性電極層109となるIZO膜を成膜したこと以外は、実施例1と同様にして比較例の半導体発光素子を得た。なお、IZO膜全体の平均ZnO濃度は20質量%であった。
図6(a)は比較例で用いたスパッタ装置の概略断面図であり、図6(b)は図6(a)に示すスパッタ装置の平面図である。図6に示すスパッタ装置は、図6(b)に示すように、チャンバー(図示略)内にターゲット2が1つ設置されており、1つのターゲット2を放電させて、基板4上に成膜するものである。スパッタ条件は、実施例1と同様とした。
このようにして得られた比較例の半導体発光素子について、駆動電圧(Vf)を測定したところ、3.39Vであった。
また、二次イオン質量分析計(SIMS)を用いて、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109a近傍におけるGa、In、Znの濃度を3元素によるatom%濃度表示で調べた。その結果を図8に示す。図8は、比較例の半導体発光素子のp型半導体層と透光性電極層との界面からの距離と、Ga、In、Znの濃度(atom%)との関係を示したグラフである。
また、二次イオン質量分析計(SIMS)を用いて、p型半導体層106と透光性電極層109との界面109a近傍におけるGa、In、Znの濃度を3元素によるatom%濃度表示で調べた。その結果を図8に示す。図8は、比較例の半導体発光素子のp型半導体層と透光性電極層との界面からの距離と、Ga、In、Znの濃度(atom%)との関係を示したグラフである。
図8に示すように、比較例の半導体発光素子では、透光性電極層中のドーパント元素であるZnの含有量が、界面から1nmの位置では、界面における濃度よりも高くなっているが、界面から3nmの位置での濃度が透光性電極層中で最も低い濃度となっている。また、比較例の半導体発光素子においても、p型半導体層を構成する元素であるGaが、界面から透光性電極層中に拡散されて拡散領域が形成されていることが分かる。しかし、比較例の半導体発光素子では、実施例1とは異なり、界面から5nm離れた位置ではGaはほとんど含まれておらず、界面から10nm離れた位置でのGaの濃度が2%未満となっている。また、比較例の半導体発光素子では、拡散領域である界面近傍の透光性電極層中(界面から1nmの位置)に周辺よりもZnの含有量の多い領域(濃度のピーク)があるとともに、この領域のZnの含有量が透光性電極層全体の平均濃度である20atom%よりも高い部分がある。
さらに、比較例の半導体発光素子では、p型半導体層と透光性電極層との界面からp型半導体層内に向かってZnが拡散している。また、p型半導体層内には、透光性電極層中の最低のZn濃度である界面から3nmの位置での濃度よりも、Zn濃度が高い部分(界面からp型半導体層内に向かって0.5nmまでの領域)がある。
さらに、比較例の半導体発光素子では、p型半導体層と透光性電極層との界面からp型半導体層内に向かってZnが拡散している。また、p型半導体層内には、透光性電極層中の最低のZn濃度である界面から3nmの位置での濃度よりも、Zn濃度が高い部分(界面からp型半導体層内に向かって0.5nmまでの領域)がある。
(実施例2)
実施例1で製造した半導体発光素子を特開2007−194401号公報の記載と同じ方法に準じて、前記半導体発光素子を搭載したランプ(パッケージ)を作製することができた。また、電子機器や機械装置の一例として、そのランプを組み込んだバックライトを作製することができた。
実施例1で製造した半導体発光素子を特開2007−194401号公報の記載と同じ方法に準じて、前記半導体発光素子を搭載したランプ(パッケージ)を作製することができた。また、電子機器や機械装置の一例として、そのランプを組み込んだバックライトを作製することができた。
1…半導体発光素子、20…積層半導体層、101…基板、104…n型半導体層、105…発光層、106…p型半導体層、106a…上面、107…ボンディングパッド電極、107a…金属反射層、107b…バリヤー層、107c…ボンディング層、108…n型電極、109…透光性電極層、109a…界面。
Claims (14)
- 基板と、前記基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とが順次形成されてなる積層半導体層と、前記p型半導体層の上面に形成された透光性電極層とを具備する半導体発光素子であって、
前記透光性電極層がドーパント元素としてZnを含むものであり、
前記透光性電極層中の前記Zn含有量が、前記p型半導体層と前記透光性電極層との界面に近づくに従って徐々に減少しており、
前記透光性電極層に、前記界面から前記透光性電極層内に向かって前記p型半導体層を構成する元素が拡散してなる拡散領域が形成されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記拡散領域の前記界面から5nmの位置における前記p型半導体層を構成する元素の濃度(atom%)が2%以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記拡散領域の厚みが、前記界面から3nm以上であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子。
- 前記拡散領域の厚みが、前記界面から5nm以上であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記拡散領域における前記ドーパント元素の含有量が、前記透光性電極層全体の平均濃度よりも低いことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記p型半導体層がGaNを含むことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記透光性電極層がIn、Sn、Zn、Al、Ga、Ti、Ceからなる群から選ばれる少なくとも一つの金属の酸化物を含むことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記透光性電極層がIZOからなることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とを順次積層して積層半導体層を形成する工程と、前記p型半導体層の上面にZnを含む透光性電極層を形成する工程とを含み、 前記透光性電極層を形成する工程が、スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程と、前記成膜工程後に300℃〜800℃で加熱処理する熱処理工程とを含むことを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 基板上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とを順次積層して積層半導体層を形成する工程と、前記p型半導体層の上面にZnを含む透光性電極層を形成する工程とを含み、
前記透光性電極層を形成する工程が、スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程と、前記成膜工程後に300℃〜800℃で加熱処理する熱処理工程とを含み、
スパッタ法により透光性電極膜を成膜する成膜工程が、RFスパッタリング及びDCスパッタリングによって前記透光性電極層を形成し、前記RFスパッタリング及び前記DCスパッタリングの少なくとも1種が2つのターゲットを有する工程を含むことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 請求項10に記載の製造方法によって半導体発光素子を製造する請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の半導体発光素子が備えられてなることを特徴とするランプ。
- 請求項12に記載のランプが組み込まれている電子機器。
- 請求項13に記載の電子機器が組み込まれている機械装置。
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